JP2013221820A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. ベースと、
   前記ベースに設けられた移動機構と、
   前記移動機構により移動される測定プローブと、を備え、前記プローブを用いて前記ベース上の被測定物を測定する三次元座標測定機であって、
   前記移動機構は、
   機械的なベアリングを用いた１本のリニアガイドと、
   前記リニアガイドと平行に設けられたエアーベアリング機構と、を備えることを特徴とする三次元座標測定機。
2. 前記移動機構により移動される移動部の駆動点は、前記リニアガイド側に設けられ、前記エアーベアリング機構側には設けられない請求項１に記載の三次元座標測定機。
3. 前記エアーベアリング機構は、前記ベースに設けられる請求項１または２に記載の三次元座標測定機。
4. 前記ベースに設けられ、前記ベース面に平行な載置面を有するコラムをさらに備え、
   前記リニアガイドは、前記コラムの前記載置面に設けられる請求項３記載の三次元座標測定機。
5. 前記エアーベアリング機構は、
   前記リニアガイドと平行に設けられたエアーベアリング摺動案内部と、
   前記エアーベアリング摺動案内部に沿って移動するエアー移動部と、を備え、
   前記駆動機構により移動される移動部は、一方が前記リニアガイドにより移動するリニア移動ユニットに取り付けられ、他方が前記エアー移動部に揺動可能に取り付けられる請求項１から４のいずれか１項に記載の三次元座標測定機。
6. 前記移動部と前記エアー移動部の取り付け部は、球状の先端部と、少なくとも一部が円錐面である前記球状の先端部を受ける受け部と、を備える請求項５に記載の三次元座標測定機。