CN203811163U - 平面度检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种平面度检测装置。平面度检测装置包括检测平台和固定在检测平台上的移动装置，所述移动装置用于带动距离传感器移动，所述移动装置包括前后移动装置、左右移动装置、与前后移动装置相匹配的滑动装置、限制前后移动装置和左右移动装置移动的两个限位开关，前后移动装置和滑动装置均固定在检测平台上，左右移动装置固定在前后移动装置上，同时左右移动装置还与所述滑动装置固定，其中一个限位开关设在滑动装置内，另一限位开关设左右移动装置内。本实用新型平面度检测装置可消除机器自身振动的影响，检测结果准确。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置，特别是涉及一种平面度检测装置。
背景技术
平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，产品的平面度会直接影响到产品的装配和产品之间的间隙。
目前常用的检测平面度手段是利用三坐标测试机进行检测、简易的平面度检测装置检测或人工检测，三维坐标测试仪价格昂贵、测试速度慢；人工测量精度不高，误差大而且效率低；普通的简易平面度检测装置通过机械臂来移动距离传感器，机械臂只有一个支撑点固定在检测平台上，易受到机器自身振动的影响，使得检测结果不够精准，或机械臂不够灵活，只能检测某些点，检测点不能随机采取。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种检测速度快且精度高，不受振动影响，同时随机采取检测点的平面度检测装置。
为解决上述问题，本实用新型提供一种平面度检测装置，平面度检测装置包括检测平台和固定在检测平台上的移动装置，所述移动装 置用于带动距离传感器移动，所述移动装置包括前后移动装置、左右移动装置、与前后移动装置相匹配的滑动装置、限制前后移动装置和左右移动装置移动的两个限位开关，所述前后移动装置和滑动装置均固定在检测平台上，所述前后移动装置包括第一驱动电机、第一丝杠以及第一底座，所述第一驱动电机的转轴与第一丝杠中的第一螺杆一端固定，所述第一螺杆的另一端活动固定在所述第一底座上，所述第一驱动电机和所述第一底座均固定在所述检测平台的一侧，所述左右移动装置包括第二驱动电机、第二丝杠以及第二底座，所述第二驱动电机通过承接块固定在所述第一丝杠中的第一螺母上，所述第二驱动电机转轴与第二丝杠中的第二螺杆一端固定，所述第二螺杆的另一端活动固定在所述第二底座上，所述第二底座固定在所述滑动装置上，所述其中一个限位开关设在滑动装置内，并电连接在第一驱动电机与电源之间，所述另一限位开关设在第二丝杠的下方，并电连接在第二驱动电机与电源之间。
进一步的，所述滑动装置包括滑轨以及滑块，所述滑轨设在所述检测平台上，且与所述前后移动装置相对，所述设于滑动装置内的限位开关设于滑轨内，且该限位开关位于远离第一驱动电机的一端，所述滑块滑动设于滑轨内，所述滑块与所述第二底座固定。
进一步的，所述两个限位开关采用活塞式限位开关。
进一步的，所述第一驱动电机和第二驱动电机均为伺服电机。
进一步的，所述前后移动装置包括用于密封的密封罩，所述密封罩设在所述检测平台上，所述密封罩的顶部设有开口。
进一步的，所述左右移动装置还包括用于密封的密封壳体，所述密封壳体的一端固定在所述第二底座上，所述密封壳体的另一端固定在所述第二驱动电机上，所述密封壳体的一侧设有开口。
上述平面度检测装置有两个支撑点设置在检测平台上，若有振动时移动装置与检测平台一起振动，消除了振动产生的影响，使得检测结果更精准，移动装置包括前后移动装置和左右移动装置，可以带动距离传感器在检测平台上任意移动，不局限于某一条直线或某几条直线上，使其检测结果更真实即更准确。
附图说明
图1是本实用新型平面度检测装置的较佳实施方式的示意图。
图2是前后移动装置的结构示意图。
图3是左右移动装置的结构示意图。
图4是滑动装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1至图4所示，本实用新型平面度检测装置的较佳实施方式包括检测平台1和固定在检测平台1上的移动装置，所述移动装置用于带动距离传感器6移动。所述移动装置包括前后移动装置2、左右移动装置3、与前后移动装置2相匹配的滑动装置4、限制前后移动装置2和左右移动装置3移动的两个限位开关7，所述前后移动装置 2和滑动装置4均固定在检测平台1上，所述距离传感器6通过支杆5固定在所述左右移动装置3上。
所述前后移动装置2包括第一驱动电机21、第一丝杠22、第一底座23以及用于密封的密封罩24，所述密封罩24设在所述检测平台1上，所述第一驱动电机21、第一丝杠22以及第一底座23均位于所述密封罩24内，所述密封罩24的顶部设有开口，左右移动装置3通过该开口与第一丝杠22中的第一螺母221上的承接块8固定，所述第一驱动电机21的转轴与第一丝杠22中的第一螺杆222一端固定，所述第一螺杆222的另一端活动固定在所述第一底座23上，即所述第一螺杆222的另一端穿插在第一底座23上，且所述第一螺杆222可相对第一底座23旋转，所述第一驱动电机21和所述第一底座23均固定在所述检测平台1的一侧。
所述左右移动装置3包括第二驱动电机31、第二丝杠32、第二底座33以及密封壳体34；所述密封壳体34的一端固定在所述第二底座33上，所述密封壳体34的另一端固定在所述第二驱动电机31上，所述第二丝杠32位于所述密封壳体34内，所述密封壳体34的一侧设有开口，所述支杆5通过该开口与第二丝杠32中的第二螺母322固定；所述第二驱动电机31通过承接块8固定在所述第一丝杠22中的第一螺母221上，所述第二驱动电机31的转轴与第二丝杠32中的第二螺杆321一端固定，所述第二螺杆321的另一端活动固定在所述第二底座33上，所述第二底座33固定在所述滑动装置4上。所述其中一个限位开关7设在第二丝杠32的下方，该限位开关7电连 接在第二驱动电机31与电源之间，当第二螺母322运动到限位开关7处，限位开关7断开，使其第二驱动电机31断电；所述另一限位开关7设在滑动装置4内，该限位开关7电连接在第一驱动电机21与电源之间。其中，两个限位开关7采用活塞式限位开关，第一驱动电机21和第二驱动电机31均为伺服电机。
所述滑动装置4包括滑轨41和滑块42，所述滑轨41设在所述检测平台1上，且与所述前后移动装置2相对，所述滑块42滑动设于所述滑轨41内，所述设于滑动装置4内的限位开关7设于滑轨41内。具体而言，所述滑轨41与前后移动装置2平行，该限位开关7位于远离第一驱动电机21的一端，所述滑块42与所述第二底座33固定。当滑块42运动到限位开关7处，限位开关7断开，使其第一驱动电机21断电。
平面度检测装置有两个支撑点设置在检测平台1上，若有振动时移动装置与检测平台1一起振动，消除了振动产生的影响，使得检测结果更精准；移动装置包括前后移动装置2和左右移动装置3，可以带动距离传感器6在检测平台1上任意移动，不局限于某一条直线或某几条直线上，使其检测结果更真实即更准确；同时限位开关7可以防止左右移动装置3或前后移动装置2脱轨；密封罩24和密封壳体34可以防止灰尘进入第一丝杠22和第二丝杠32中，使第一丝杠22和第二丝杠32的使用寿命更长，还能美化外观。
以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，直接或 间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型的专利保护范围之内。
Claims (6)
1.一种平面度检测装置，包括检测平台和固定在检测平台上的移动装置，所述移动装置用于带动距离传感器移动，其特征在于：所述移动装置包括前后移动装置、左右移动装置、与前后移动装置相匹配的滑动装置、限制前后移动装置和左右移动装置移动的两个限位开关，所述前后移动装置和滑动装置均固定在检测平台上，所述前后移动装置包括第一驱动电机、第一丝杠以及第一底座，所述第一驱动电机的转轴与第一丝杠中的第一螺杆一端固定，所述第一螺杆的另一端活动固定在所述第一底座上，所述第一驱动电机和所述第一底座均固定在所述检测平台的一侧，所述左右移动装置包括第二驱动电机、第二丝杠以及第二底座，所述第二驱动电机通过承接块固定在所述第一丝杠中的第一螺母上，所述第二驱动电机转轴与第二丝杠中的第二螺杆一端固定，所述第二螺杆的另一端活动固定在所述第二底座上，所述第二底座固定在所述滑动装置上，所述其中一个限位开关设在滑动装置内，并电连接在第一驱动电机与电源之间，所述另一限位开关设在第二丝杠的下方，并电连接在第二驱动电机与电源之间。
2.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述滑动装置包括滑轨以及滑块，所述滑轨设在所述检测平台上，且与所述前后移动装置相对，所述设于滑动装置内的限位开关设于滑轨内，且该限位开关位于远离第一驱动电机的一端，所述滑块滑动设于滑轨内，所述滑块与所述第二底座固定。
3.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述两个限位开关采用活塞式限位开关。
4.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述第一驱动电机和第二驱动电机均为伺服电机。
5.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述前后移动装置包括用于密封的密封罩，所述密封罩设在所述检测平台上，所述密封罩的顶部设有开口。
6.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述左右移动装置还包括用于密封的密封壳体，所述密封壳体的一端固定在所述第二底座上，所述密封壳体的另一端固定在所述第二驱动电机上，所述密封壳体的一侧设有开口。
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