JP2013219484A - 高周波半導体増幅器 - Google Patents
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Abstract
【課題】不要な発振を抑制し、安定動作が容易な高周波半導体増幅器を提供する。
【解決手段】高周波増幅器は、入力端子と、出力端子と、第1の半導体増幅素子と、第2の半導体増幅素子と、分岐回路と、合成回路と、を有する。分岐回路は、入力端子と第1の半導体素子との間に設けられた第1入力回路と、入力端子と第2の半導体素子との間に設けられた第2入力回路と、を有する。第1入力回路の電気長は第2入力回路の電気長よりも大きい。合成回路は、出力端子と第1の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、出力端子と第2の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、を有する。第2出力回路の電気長は第1出力回路の電気長よりも大きい。第1入力回路の電気長と第2入力回路の電気長との差は、第2出力回路の電気長と第1出力回路の電気長との差と同一である。
【選択図】図1
【解決手段】高周波増幅器は、入力端子と、出力端子と、第1の半導体増幅素子と、第2の半導体増幅素子と、分岐回路と、合成回路と、を有する。分岐回路は、入力端子と第1の半導体素子との間に設けられた第1入力回路と、入力端子と第2の半導体素子との間に設けられた第2入力回路と、を有する。第1入力回路の電気長は第2入力回路の電気長よりも大きい。合成回路は、出力端子と第1の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、出力端子と第2の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、を有する。第2出力回路の電気長は第1出力回路の電気長よりも大きい。第1入力回路の電気長と第2入力回路の電気長との差は、第2出力回路の電気長と第1出力回路の電気長との差と同一である。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、高周波半導体増幅器に関する。
移動無線基地局、衛星通信基地局、レーダー装置など用いる半導体増幅器に対して、高周波化および高出力化が要求される。
GaN HEMT(High Electron Mobility Transistor)やGaAs FET(Field Effect Transistor)などを用いたマイクロ波半導体増幅器において、半導体増幅素子を並列に配置し入出力側に整合回路をそれぞれ設けると高出力化が容易となる。
半導体増幅器の出力を所望値以上とするために、多数の半導体増幅素子を並列接続すると、増幅素子が均等には動作せず反射が増加することがある。
また、利得を所望の範囲とするため半導体増幅器を多段接続する場合、反射が大きいと帯域内または帯域近傍で不要な発振が起こりやすくなり動作を不安定にすることがある。
不要な発振を抑制し、安定動作が容易な高周波半導体増幅器を提供する。
実施形態の高周波増幅器は、入力端子と、出力端子と、第1の半導体増幅素子と、第2の半導体増幅素子と、分岐回路と、合成回路と、を有する。前記分岐回路は、前記入力端子と前記第1の半導体素子との間に設けられた第1入力回路と、前記入力端子と前記第2の半導体素子との間に設けられた第2入力回路と、を有する。前記第1入力回路の電気長は前記第2入力回路の電気長よりも大きい。前記合成回路は、前記出力端子と前記第1の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、前記出力端子と前記第2の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、を有する。前記第2出力回路の電気長は前記第1出力回路の電気長よりも大きい。前記第1入力回路の電気長と前記第2入力回路の電気長との差は、前記第2出力回路の電気長と前記第1出力回路の電気長との差と同一である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。
図1(a)は第1の実施形態にかかる高周波半導体増幅器の模式平面図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図、である。
高周波半導体増幅器は、入力端子40と、出力端子42と、第1の半導体増幅素子10と、第2の半導体増幅素子12と、分岐回路20と、合成回路30と、を有している。第1の半導体増幅素子10と、第2の半導体増幅素子12と、は、高周波特性が揃ったものとすることが好ましい。たとえば、同一のウェーハから取りだしたチップとすることができる。
図1(a)は第1の実施形態にかかる高周波半導体増幅器の模式平面図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図、である。
高周波半導体増幅器は、入力端子40と、出力端子42と、第1の半導体増幅素子10と、第2の半導体増幅素子12と、分岐回路20と、合成回路30と、を有している。第1の半導体増幅素子10と、第2の半導体増幅素子12と、は、高周波特性が揃ったものとすることが好ましい。たとえば、同一のウェーハから取りだしたチップとすることができる。
分岐回路20は、入力端子40と、第1の半導体素子10、との間に設けられ、伝送線路を含む第1入力回路22と、入力端子40と第2の半導体素子12との間に設けられ、伝送線路を含む第2入力回路24と、を有する。また、第1入力回路22を構成する伝送線路の電気長L22は、第2入力回路24を構成する伝送線路の電気長L24よりも大きい。なお、電気長Lは、次式で表すことができる。
L=360°×M/λeff
但し M:伝送線路の長さ
λeff:所定の周波数での伝送線路内波長
出力端子42と第1の半導体素子10との間に設けられ、伝送線路を含む第2出力回路32と、出力端子42と第2の半導体素子12との間に設けられ、伝送線路を含む第2出力回路34と、を有する。第2出力回路34の伝送線路の電気長L34は第1出力回路32の伝送線路の電気長L32よりも大きい。
第1入力回路22の電気長L22と第2入力回路24の電気長L24との差φ1は、第2出力回路34の電気長L34と第1出力回路32の電気長L32との差φ2と同一とする。
なお、本明細書において、「φ1とφ2とが同一」とは、電気長の差φ1は、電気長の差φ2の90%以上、110%以下の範囲にあることを意味する。すなわち、電気長の差φ1を90°とする場合、電気長の差φ2が81度以上、99度以下の範囲であれば、同一の電気長であるものとする。
高周波半導体増幅器のパッケージは、金属ベース板44と、金属ベース板44の上に設けられた絶縁材46と、絶縁材46の上にそれぞれ設けられた入力端子40および出力端子42と、を有する。金属ベース板44を、たとえば、銅、銅合金などからなるものすると、放熱性を高めることができる。
半導体増幅素子10、12が、たとえば、GaN HEMTの場合、パッケージの金属ベース板44の上にメッキ層などを介して、接着することができる。分岐回路20は、アルミナなどの誘電体材を含む回路基板からなり、入力端子40と、半導体増幅素子10、12との間に設けられる。入力端子40と、分岐回路20の一方の端部と、はボンディングワイヤ50などで接続される。また、分岐回路20の他方の端部と、半導体増幅素子10、12の入力電極(たとえば、ゲート電極)と、は、ボンディングワイヤ51、52で接続される。
合成回路30は、誘電体材を含む回路基板からなり、出力端子42と、半導体増幅素子10、12との間に設けられる。半導体増幅素子10、12の出力電極(たとえば、ドレイン電極)と、合成回路20の一方の端部と、は、ボンディングワイヤ53、54で接続される。また、合成回路20の他方の端部と、出力端子42と、は、ボンディングワイヤ55などで接続される。高周波数の場合、インピーダンス変換において、ボンディングワイヤの誘導性リアクタンス分を考慮することが必要である。
半導体増幅素子10、12のソース電極と、金属ベース板44とは、直接、または回路基板に設けられた導電部(図示せず)を介して、金属ベース板44と接続される。ソース電極は、接地電極であるので、接地までの距離が短いことが好ましい。
なお、図1に表す第1の実施形態では、直流バイアスは、入力端子40および出力端子42を介して外部から供給される。または、パッケージに設けられた貫通端子(図示せず)を介して供給することもできる。
第1の実施形態では、小さい電気長L24の第2入力回路24は、サスペンデッド線路を用いて実現する。このため、図1(b)に表すように、第2入力回路24を構成する回路基板の下側に空隙44aを設け、実効誘電率を低減する。このようにすれば、伝送線路内波長λeffを長くし、電気長L24を短縮することができる。同様に、小さい電気長L32の第1出力回路32は、サスペンデッド線路を用いて実現する。このため、第1出力回路32を構成する回路基板の下側に空隙44aを設け、実効誘電率を低減する。
図2は、第1の実施形態にかかる高周波半導体増幅器の作用を説明する模式図である。
入力端子40に入射した入射波W1は、2つに分岐される。そのうちの一方は、第1入力回路22を経由して、第1の半導体増幅素子10へ入射する。入射波のうちの一部は、第1の半導体増幅素子10により増幅されたのち出力され、残余の一部は、反射され反射波W1aとなる。2つに分岐された入射波の他方は、第2入力回路22へ入射し第2の半導体増幅素子12へ入射する。他方の入射波のうちの一部は、第2の半導体増幅素子12により増幅されたのち出力され、残余の一部は反射され反射波W1bとなる。
入力端子40に入射した入射波W1は、2つに分岐される。そのうちの一方は、第1入力回路22を経由して、第1の半導体増幅素子10へ入射する。入射波のうちの一部は、第1の半導体増幅素子10により増幅されたのち出力され、残余の一部は、反射され反射波W1aとなる。2つに分岐された入射波の他方は、第2入力回路22へ入射し第2の半導体増幅素子12へ入射する。他方の入射波のうちの一部は、第2の半導体増幅素子12により増幅されたのち出力され、残余の一部は反射され反射波W1bとなる。
第2入力回路24の電気長L24は、第1入力回路22の電気長L22よりもφ1短いので、反射波W1bと反射波W1aとは位相が2φ1ずれ、入力点40aにおいて、互いに弱め合う。このため、電源ZGへ向かう反射が低減される。もし、電気長の差φ1を略90度とすると2つの反射波W1a、W1bの位相が約180度ずれるので合成された反射波の振幅はより小さくできる。
この場合、略90度とは、81度以上99度以下を意味するものとする。また、基準面P1と半導体増幅素子10、12の間において、第1入力回路22の振幅特性と、第2入力回路24の振幅特性と、を揃えると、反射波を殆どゼロまで近づけることができる。すなわち、電源ZGへ向かう反射波を抑制し、電圧定在波比を1に近づけることができる。
この場合、第1入力回路22を構成する伝送線路の特性インピーダンスをZC1とし、第2入力回路24を構成する伝送線路の特性インピーダンスをZC2とする。たとえば、特性インピーダンスZC1と、特性インピーダンスZC2と、を略同一とすると、振幅特性を揃えることが容易となる。
図1において、第1入力回路22は、半導体増幅素子10の横方向広がり幅に対応した広い線路幅を有する第1の線路22aと、狭い線路幅を有する第2の線路22b、とを含む。また、第2入力回路24は、半導体増幅素子12の横方向広がり幅に対応した広い線路幅を有する第1の線路24aと、狭い線路幅を有する第2の線路24b、とを含む。このように、途中で線路幅が変化しても、伝送線路の等価回路を略同等にすることにより、それぞれの振幅特性を揃えることができる。
他方、もし、出力端子42に入射波W2が入射すると、2つに分岐されたうちの一方は、第1出力回路32を経由して、第1の半導体増幅素子10へ入射する。この入射波のうちの一部は、反射され反射波W2aとなる。他方、2つに分岐されたうちの他方は、第2出力回路34へ入射し、第2の半導体増幅素子12へ入射する。この入射波のうちの一部は、反射され反射波W2bとなる。
第2出力回路34の電気長L34は、第1出力回路32の電気長L32よりもφ2短いので、反射波W2bと反射波W2aとは位相が2φ2ずれ、出力点42aにおいて互いに弱め合う。このため、負荷ZLへ向かう反射が低減される。もし、φ2を略90度とすると2つの反射波W2a、W2bの位相が約180度ずれるので合成された反射波の振幅はより小さくできる。この場合、略90度とは、81度以上99度以下を意味するものとする。
また、基準面P2と半導体増幅素子10、12の間において、第1出力回路22の振幅特性と、第2出力回路34の振幅特性と、を揃えると、反射波を殆どゼロまで近づけることができる。すなわち、負荷ZLへ向かう反射波を抑制でき、電圧定在波比を1に近づけることができる。
この場合、第1出力回路32を構成する伝送線路の特性インピーダンスをZC3とし、第2出力回路34を構成する伝送線路の特性インピーダンスをZC4としする。たとえば、特性インピーダンスZC3と、特性インピーダンスZC4と、を略同一とすると、振幅特性を揃えることが容易となる。第1出力回路32、第2出力回路34、においても、線路幅が途中で変化しても振幅特性を揃えることができる。
この結果、所望の利得を得るため図1に表す増幅器を多段接続しても、不要な発振を抑制できて、安定動作とすることができる。
一般に、並列接続する半導体増幅素子の数を増やすと、出力を増やすことができる。他方、半導体増幅素子の入出力インピーダンスがそれぞれ低下する。このため、広い帯域で、整合を取ることが困難となる。第1の実施形態では、2つの半導体増幅素子の間で、反射波を弱め合うので半導体増幅素子の数が増えても、電源ZGおよび負荷ZLの向かう反射波を低減をすることが容易となる。
図3は、電気長差に対する合成損失の依存性を表すグラフ図である。
図2において、分岐回路20の電気長差をφ1と、合成回路30の電気長差φ2と、を同一とする。また、電気長差φ1、φ2は、反射波を弱め合う効果が最も大きい電気長差である90度からのずれθ(度)を用いて、次式でそれぞれ表すものとする。
図2において、分岐回路20の電気長差をφ1と、合成回路30の電気長差φ2と、を同一とする。また、電気長差φ1、φ2は、反射波を弱め合う効果が最も大きい電気長差である90度からのずれθ(度)を用いて、次式でそれぞれ表すものとする。
φ1=90°±θ
φ2=90°±θ
図3において、第1の増幅ユニットは半導体増幅素子10を有し、基準面P1と基準面P2との間とする。また、第2の増幅ユニットは半導体増幅素子12を有し、基準面P1と基準面P2との間とする。
ずれ電気長θを0〜180度まで変化させると、合成損失(dB)は、0dBから約10dBまで増大する。電気長差φ(φ1=φ2)を70度以下とすると、合成損失を1dB以下とできるので好ましい。すなわち、電気長差は、20度以上、160度以下、とすることが好ましい。また、電気長差は、45度以上135度以下、とすると、合成損失を0.3dB以下とすることができるので、より好ましい。
図4(a)は比較例にかかる高周波半導体増幅器の模式平面図、図4(b)はその作用を説明する模式図、である。
図4(a)に表すように、分岐回路120、および合成回路130は、B−B線に関して略対称である。このため、図4(b)に表すように、入力端子140において、第1の半導体増幅素子110による反射波W11aと、第2の半導体増幅素子112による反射波W11bと、は、略同一の位相となる。このため、入力点140aにおいて、反射波W11a、W11bが強め合い、電源ZGに向かって伝搬する。
図4(a)に表すように、分岐回路120、および合成回路130は、B−B線に関して略対称である。このため、図4(b)に表すように、入力端子140において、第1の半導体増幅素子110による反射波W11aと、第2の半導体増幅素子112による反射波W11bと、は、略同一の位相となる。このため、入力点140aにおいて、反射波W11a、W11bが強め合い、電源ZGに向かって伝搬する。
また、出力端子142において、第1の半導体増幅素子110による反射波W22aと、第2の半導体増幅素子112による反射波W22bと、は、略同一の位相となる。このため、出力点142aにおいて、反射波W22a、W22bが強め合い、負荷ZLに向かって伝搬する。この結果、図4に表す半導体増幅器を多段接続すると、発振を生じ、動作不安定となることがある。
図5(a)は第2の実施形態にかかる高周波半導体増幅器の模式平面図、図5(b)はその作用を説明する模式図、である。
第2の実施形態では、第1入力回路22の電気長L22は、第2入力回路32の電気長L32よりも電気長差φ1だけ長い。また、第2出力回路34の電気長L34は、第1出力回路32の電気長L32よりも電気長差φ2だけ長い。すなわち、第2入力回路24は、第1マイクロストリップ線路を含み、第1入力回路22は、第1マイクロストリップ線路を構成する誘電率よりも高い誘電率を有する第2マイクロストリップ線路を含む。
第2の実施形態では、第1入力回路22の電気長L22は、第2入力回路32の電気長L32よりも電気長差φ1だけ長い。また、第2出力回路34の電気長L34は、第1出力回路32の電気長L32よりも電気長差φ2だけ長い。すなわち、第2入力回路24は、第1マイクロストリップ線路を含み、第1入力回路22は、第1マイクロストリップ線路を構成する誘電率よりも高い誘電率を有する第2マイクロストリップ線路を含む。
また、第1出力回路32は、第1マイクロストリップ線路を含み、第2出力回路34は、第1マイクロストリップ線路を構成する誘電率よりも高い誘電率を有する第2マイクロストリップ回路を含む。なお、第1入力回路22の電気長L22と第2入力回路24の電気長L24との差φ1は、第2出力回路34の電気長L34と第1出力回路32の電気長L32との差φ2と同一とする。
なお、第1の実施形態における第1入力回路22と第2出力回路34とを構成する回路基板と、第2の実施形態における第2入力回路24と第1出力回路32とを構成する回路基板と、は、同一構造および同一伝送特性を有するものとする。また、第2の実施形態では、高誘電率を有するマイクロストリップ線路を用いるので、伝送線路内波長が短縮され、分岐回路20および合成回路30を小型化することが容易となる。
また、一般に、高出力半導体増幅素子のインピーダンスは電源インピーダンスZGおよび負荷インピーダンスZLと比較して低く、5Ω以下となることが多い。このため、入力回路や出力回路を構成する伝送線路の特性インピーダンスは低くなり、線路幅が広くなる。第2の実施形態では高誘電率基板を用いることのより、特性インピーダンスを低下することが容易となる。
第1および第2の実施形態により、不要な発振を抑制し、安定動作が容易な高周波半導体増幅器が提供される。また、第1および第2の実施形態の高周波半導体増幅器を多段接続することにより所望の利得とすることができる。このような高周波半導体増幅器は、1GHz以上の周波数において、移動通信基地局、衛星通信基地局、レーダー装置などに広く用いることができる。
なお、半導体増幅素子としてGaN HEMTを用いると、破壊電圧が高くでき、ワイドバンドギャップのため高温動作が容易となる。このため、たとえば、X帯(8〜12GHz)において50W出力、C帯において150W、などを得ることができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10 第1の半導体増幅素子、12 第2の半導体増幅素子、20 分岐回路、22 第1入力回路、24 第2入力回路、30 合成回路、32 第1出力回路、34 第2出力回路、40 入力端子、42 出力端子、φ1 (入力側)の電気長差、φ2 (出力側の)電気長差
Claims (5)
- 入力端子と、
出力端子と、
第1の半導体増幅素子と、
第2の半導体増幅素子と、
前記入力端子と前記第1の半導体素子との間に設けられた第1入力回路と、前記入力端子と前記第2の半導体素子との間に設けられた第2入力回路と、を有する分岐回路であって、前記第1入力回路の電気長は前記第2入力回路の電気長よりも大きい分岐回路と、
前記出力端子と前記第1の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、前記出力端子と前記第2の半導体素子との間に設けられた第2出力回路と、を有する合成回路であって、前記第2出力回路の電気長は前記第1出力回路の電気長よりも大きい合成回路と、
を備え、
前記第1入力回路の電気長と前記第2入力回路の電気長との差は、前記第2出力回路の電気長と前記第1出力回路の電気長との差と同一である高周波半導体増幅器。 - 前記第1入力回路は、マイクロストリップ線路を含み、
前記第2入力回路は、サスペンデッド線路を含み、
前記第1出力回路は、サスペンデッド線路を含み、
前記第2出力回路は、マイクロストリップ回路を含む請求項1記載の高周波半導体増幅器。 - 前記第2入力回路は、第1マイクロストリップ線路を含み、
前記第1入力回路は、前記第1マイクロストリップ線路を構成する誘電率よりも高い誘電率を有する第2マイクロストリップ線路を含み、
前記第1出力回路は、前記第1マイクロストリップ線路を含み、
前記第2出力回路は、前記第2マイクロストリップ回路を含む請求項1記載の高周波半導体増幅器。 - 前記第1入力回路の電気長と前記第2入力回路の電気長との差は、20度以上、160度以下である請求項1〜3のいずれか1つに記載の高周波半導体増幅器。
- 前記第1入力回路の電気長と前記第2入力回路の電気長との差は、81度以上、99度以下であり、
前記第2出力回路の電気長と前記第1出力回路の電気長との差は、81度以上、99度以下である請求項1〜4のいずれか1つに記載の高周波半導体増幅器。
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