JP2013217915A - 蛍光ｘ線分析装置及び蛍光ｘ線分析方法 - Google Patents

Abstract

【課題】測定中に動いてしまう試料に関して、試料画像の変化から動いてしまった場合を自動検出する機能を提供すること。
【解決手段】被測定物の試料画像を撮影する撮像部を備え、測定開始時点での試料画像を一時的に保存して、測定中又は測定後の最新の試料画像と比較する機能を備え、画像処理の結果、差分が閾値以上であれば、表示部、ブザー音、シグナルタワー、遠隔の管理端末への通知により、測定者へ警告を発する機能を有するようにした。
【選択図】図３

Description

本発明は、蛍光Ｘ線分析装置及びその分析方法に関し、特に被測定物の測定部位の位置補正に関する。

近年、電気・電子機器の部品内に存在する環境負荷物質の濃度を規制する法律が各国で整備されつつあり、部品メーカーは製品検査においても、製品の開発過程においても、非破壊で元素分析を行う手段の需要が高まっている（例えば、特許文献１参照）。

特に、欧州でのＲｏＨＳ規制に伴うカドミウム、鉛、水銀、六価クロム、臭素の元素分析の需要が大きく、迅速に環境負荷物質の検出を行うために、蛍光Ｘ線分析が広く使われている。

蛍光Ｘ線分析はｐｐｍオーダーの高い感度を持ちながらも比較的短時間での測定が可能であり、前記非破壊の元素分析手段としては、環境負荷物質の検出以外にも、一般的に行われている。

蛍光Ｘ線分析とは、被測定物に対しＸ線を照射し、被測定物から発せられる蛍光Ｘ線を測定することで被測定物の元素含有量を分析するものである。

蛍光Ｘ線分析の測定には、Ｘ線発生部に使われているＸ線管の管電圧および管電流、測定時間、一次Ｘ線の性質を用途に合わせて変化させるための一次フィルターの種別、一次Ｘ線コリメータの形状と大きさ、検出部の検出回路のパラメータ、得られた蛍光Ｘ線スペクトルに対する処理方法、などの設定パラメータがある。蛍光Ｘ線は、測定時間を長くするに従い測定精度が向上するという性質を持つ。これは、検出器におけるＸ線による電離作用が確率的な現象であって、定量濃度の分散が測定時間の平方根に反比例するからである。したがって、所望の測定精度を得るためには、それに適した測定時間を設定する必要がある。

一般的な蛍光Ｘ線分析機は次のような手順で操作する。まず、被測定物の種別と分析対象元素ごとに用意された測定条件等を設定したレシピを測定者が選択する。前記レシピには、前記設定パラメータに加え、分析結果をＮＧと見なす濃度の閾値などが含まれる。測定者は、被測定物の種別を設定することで、その分析対象元素に適した最適なものを選ぶことが出来る。装置は、設定した測定時間が経過した後、元素の濃度計算を行い、結果を表示する場合がある。このほかにも、蛍光Ｘ線の強度から理論的に計算される誤差に基づき、それが一定の閾値以下になった時点をもって終了する場合がある。この場合は前記レシピに前記誤差の閾値が含まれる（特許文献２参照）。

特開２０１０−７８５９２号公報 国際公開第２００５／１０６４４０号公報

電気・電子機器の部品を検査する用途で蛍光Ｘ線分析装置を使う場合、被測定物は組み立て後の製品である場合があり、測定部に設置するのに適した形状ではない場合がある。このような被測定物の例を図１に示した。例えば、被測定物となる製品よっては、丸い形状のもの１１があり、測定機の中で転がるなどして位置が動いてしまうケースがある。また、粉末状のもの１２の場合は、設置の方法によっては動いてしまう。測定中に被測定物が動いてしまうと、組成の異なる部分を連続的に測定することになり、信頼性のあるデータが得られないばかりか、記録する試料の画像が測定点として正しい位置を示さないものになってしまう可能性がある。作業者はこれを防止するために試料をテープ等で固定する場合があるが、電気・電子機器の検査対象数は膨大な数になるため、作業者の負担が大きい。また、全ての試料がうまく固定できるわけではない。

従来はこの対策として、測定開始時点の試料の画像を保存しておき、測定終了時の試料の画像と比較することで、同じ部分を測定し続けているかを作業者が目視で判断していた。しかしながら、当該目視判定には作業者間の判断のバラツキが含まれ、かつ、判定のためには検出強度の差異の確認を要することから一連の測定が終了するのを待って再測定を行う、というように非常に時間効率が悪いという課題があった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、測定開始時点の画像と、測定中の画像とをリアルタイムで比較し、試料が動いた場合は、そのことを自動的に検出することで、作業者間の判断のバラツキを排除し、かつ、時間効率を向上させて再測定のオーバーヘッド時間を短縮させた、高精度及び高効率な測定を可能とした蛍光Ｘ線分析装置の提供を目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、必要な情報を入力する入力部と、被測定物の測定部位画像を取得する撮像部と、入力部からの入力情報および撮像部で取得した画像を処理・保存する演算部と、を備え、当該演算部が、撮像部が取得した被測定物の測定領域を含む測定開始の直前の第一の画像と、該第一の画像に対応する位置の測定時に所定時間毎に取得する第二の画像のうち最新の画像とから、演算部により求めたそれら２つの画像の被測定物の位置状態に基づくそれぞれの特性値の差の値を、予め定めた基準値と比較することで前記被測定物の移動の有無を判定する移動判定機構を備えたことを特徴とする。

また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、判定結果を受けて警告音を発する警告音発生器又は判定結果を受けて発光する発光装置を備えることを特徴とする。

また、本発明の蛍光Ｘ線分析方法は、測定直前の被測定物の画像を撮像する第一の撮像工程と、所定時間のＸ線の照射による蛍光Ｘ線分析を行う測定工程と、当該測定工程において所定時間毎に被測定物の画像を撮像する第二の撮像工程と、第一の撮像工程により取得した画像と、第二の撮像工程により取得した画像のうち1又は複数の画像と、を比較して試料の移動の有無を判定する移動判定工程とを有することを特徴とする。

本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、被測定物が多数の場合に個々の固定が不安定なまま測定を行った場合であっても、測定者によらない一定の判定基準の下で試料の移動の有無を、測定位置の検出及び照合を自動で行うことが可能となる。結果として得られる測定データの信頼度を向上することができる。また、その際に、従来であれば一連の測定が終了するまでの間、時間的な束縛を受けていた測定者は、測定の中断事由を表示や警告音により知ることが可能であり、監視から開放され得る。

また、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、本発明に係る試料の動きの有無を判定する機能が、従来の多くの蛍光Ｘ線分析装置へ適応可能であり、低コストでの機能向上が可能となる。

本発明に係る被測定物の例を示す図である。 表示部上のソフトウェア画面構成を示す図である。 本発明の実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。 本発明の実施の形態１に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。 本発明の実施の形態２に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の実施の形態３に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。 本発明の実施の形態３に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートを示す図である。 本発明の実施の形態４に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図である。 本発明の実施の形態４に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の実施の形態５に係る蛍光Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の実施の形態１、２、３、４、５に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料像が、検出している差異を示しているところである。

以下に本発明の具体的な実施の形態について図面を使って説明する。

なお、図面で同じ符号が付いたものは、説明を省略する場合もある。また、図面は理解をしやすくするためにそれぞれの構成要素を模式的に示している。よって、形状などについては正確な表示ではない場合もある。

（実施の形態１）
まず、蛍光Ｘ線分析装置（測定部）２００の構成について説明する。

図３は、本発明の実施の形態１における蛍光Ｘ線分析装置２００の概略構成図である。

図３において、蛍光Ｘ線分析装置２００は、データを入力する入力部２０１、各種の演算を行う演算部である演算機２０２、一次Ｘ線２０４を被測定物２０５へ照射するＸ線発生部２０３、被測定物２０５からの二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）２０６を検出する検出部２０７、各種のデータを表示する表示部２０８、被測定物２０５の測定部位を撮影する撮像部２０９、被測定物２０５が撮像部２０９によって観察できるように照明を当てる照明２１０、を備えている。

入力部２０１は、測定者が被測定物２０５の測定条件などを入力する部分であり、キーボード等からなる。

演算機２０２は、後述の判定部２１１を含む各種の信号処理回路からなり、入力２０１によって入力された測定条件等に基づいた、Ｘ線発生部２０３へのＸ線管電圧、管電流並びに照射時間等の設定機能、あるいは、検出部２０７で検出した二次Ｘ線２０６のスペクトルに基づいた各元素の定量分析を行う演算機能を有する。これには、パーソナルコンピュータなどが利用できる。

判定部２１１は、被測定物２０５の分析結果に対し、各成分の中で、特定元素の含有量が所定の閾値を越えているか否かを判定する。特定元素の指定は、予めデータとして用意されるレシピを選択することによって決まる。レシピは、被測定物の種別、分析対象元素ごとの測定条件である設定パラメータ（Ｘ線発生部に使われているＸ線管の管電圧および管電流、測定時間、一次フィルターの種別、一次Ｘ線コリメータの形状と大きさ、検出部の検出回路のパラメータ、得られた蛍光Ｘ線スペクトルに対する処理方法等）及び分析結果の判定情報などが格納されている。本実施の形態では、ＲｏＨＳ指令で規制される環境負荷物質を対象として説明する。

表示部２０８は、液晶ディスプレイなどの表示デバイスである。表示部２０８は、測定条件を設定する際には、例えば測定条件の入力画面や、被測定物２０５の試料像等を表示する。また、測定後には、演算機２０２による分析結果等を表示する。

撮像部２０９は、撮像用レンズや撮像素子などからなる。撮像部２０９は、試料台（図示せず）に配置された測定前の被測定物２０５の測定部位の画像（スチル画像）を撮影し、表示部２０８に表示させる。また、撮像部２０９は、リアルタイムで測定中の被測定物２０５の測定部位画像（ライブ画像）を表示部２０８に表示させることができる。また、前記測定部位画像が撮影される部分に照明を当てるため、照明２１０が設置されている。この照明強度は設定によって変えることができる。

表示部２０８に表示されるソフトウェア画面の構成を図２に示す。

ライブ画像１０１は、測定中にリアルタイムに更新される試料画像を示す。

スチル画像１０２は、測定開始時点で一時的に保存される試料画像を静止画で表示する。

分析結果１０３は、測定中および測定終了後の、各種元素の濃度演算結果を表形式で表示する。

被測定物となる部品を区別するための情報（製品名、品番、測定部位 等）を特定情報とする。

特定情報入力欄１０４は、測定結果と結びつける前記特定情報を入力することができる欄である。

測定開始ボタン１０５は、押すことで測定を開始できる。

メッセージエリア１０６は、装置の状態や、測定者が行うべき手順を説明するメッセージを表示する領域である。

以上、蛍光Ｘ線分析装置２００の構成についての説明である。

次に、蛍光Ｘ線分析装置２００の動作を説明する。図４は測定作業の流れをフローチャートで表したものである。領域Ｓ１１３は、分析装置が自動的に動作する範囲である。

ステップＳ１０１では、測定者が測定試料を測定位置に設置する。試料によっては形状が転がりやすく、従来は測定者が接着テープなどで簡易的に固定することがなされていた。本発明においても、ある程度の試料の移動を抑えるための固定は有効である。

ステップＳ１０２では、測定者が、撮像部２０９の画像が鮮明に見えるように照明２１０の強度を調整する。撮像部２０９の画像は一次Ｘ線２０４の照射領域を確認する目的でも使われるため、被測定物２０５のどの部分が測定対象になるか、できるだけ識別しやすい照明強度が必要である。識別しやすい照明強度は被測定物の材質や表面処理、表面状態によるところが大きいが、同類の試料であればほぼ同じ照明強度で識別できる。

ステップＳ１０３では、測定の直前に撮像部２１０が試料の画像Ａを撮影する。この画像Ａは、データとして測定が終了するまでの間、一時的に演算機２０２のメモリに記憶される。この後、ステップＳ１０４への移行は装置によって自動的に行われ、測定者にとっては一度の操作でＳ１０４まで移行させることになる。

ステップＳ１０４では、被測定物２０５に対する蛍光Ｘ線分析が開始される。具体的には、Ｘ線発生部２０３が被測定物２０５に対してＸ線を照射し始め、被測定物２０５から発せられる蛍光Ｘ線を検出部２０７が検出し始める。演算機２０２では、検出された蛍光Ｘ線のスペクトル等に基づいて、被測定物２０５の含有元素の濃度を定量分析する。この処理は測定が終了する前であってもリアルタイムに可能であり、処理の負荷によって１秒間隔あるいは１０秒間隔で演算を行い、表示部２０８に表示する。

ステップＳ１０５では、測定中に所定の時間毎に撮像部２１０が被測定物２０５の画像Ｂを撮影する。この一連の画像Ｂは、データとして一時的に演算機２０２のメモリに記憶される。

ステップＳ１０６では、画像ＡとＢのデータの比較を行い被測定物の移動があったか否かの判定を行なう機構の動作となる。比較のアルゴリズムは、ＡとＢの各画素の輝度値を、ＲＧＢの各チャンネルごとに差をとり、その絶対値の合計値を全ての画素について積算し、この合計値があらかじめ決められた値を上回った場合は画像ＡとＢに差があると判定する。

ただし、照明強度の変動や装置由来の微小振動の影響で、映像の見た目が変化し、Ｘ線の照射領域としては変化していないにも関わらず、すぐに警告が生じてしまうのを防ぐため、試料像Ｂは過去数フレームの映像について差を演算して平均をとる、あるいは、所定数の過去フレームの映像の輝度値の平均との差を演算することによって、外乱の影響を低減する処理を加える場合もある。

合計値と比較する値は、撮像部２１０の画素数、照明強度によって異なる値が設定される。図１２には、例としてボールペンを被測定物としたときの画像データ７０１と、分析装置が揺れて被測定物が動いてしまったときの、画像比較における輝度値の差の絶対値を画像にしたもの７０２を並べて示した。

ステップＳ１０７では、画像ＡとＢのデータ比較結果に基づき、処理が分岐する。差があると判断された場合は、Ｓ１１１に移行する。

ステップＳ１０８では、測定終了条件であるか否かによって分岐する。測定終了条件でなければ、Ｓ１０４に戻り、測定を継続する。前記測定終了条件は、通常、測定開始からの時間が所定の時間以上になったときであるが、被測定物の性質によって、蛍光Ｘ線の強度から理論的に演算される誤差に基づき、それが一定の閾値以下になった時点をもって終了させる高速測定を行うことでもよい。

ステップＳ１０９では、測定結果を演算機２０２に記録する。

ステップＳ１１０では、測定者が次の試料を持っているか否かで分岐する。次の試料があれば、Ｓ１０１に進み、再度試料の設置から始める。次の試料がなければ、測定作業を終了する。

ステップＳ１１１では、被測定物が動いたことを分析装置が測定者に警告する。このときの自動動作パターンは下記の２通りあり、どちらを選ぶかは測定者あるいは運用責任者が測定に先立って設定しておくことが出来る。

一つ目の自動動作パターンは、表示部２０３において警告を発するのみで、測定は中断せずに続けるものである。警告は、ソフトウェアの設定によって、ブザー音や、シグナルタワーなどの外部灯などによる通知への変更も出来る。

二つ目の自動動作パターンは、試料の動きを検出した瞬間に測定を停止し、警告を生じるものである。表示部２０３が警告を表示すると共に、測定機が測定者の応答を待つ状態になる。一つ目のパターンと同じく、警告は他の通知手段への変更も出来る。測定者は、ステップＳ７０３に戻り測定をやり直す。

ステップＳ１１２では、設定された前記自動動作パターンによって分岐する。前記一つ目の動作パターンの場合はＳ１０８に進む。前期二つ目の自動動作パターンの場合は、Ｓ１１３に進み、それまでの測定結果を破棄してＳ１０１に戻り、試料の設置をし直す。

（実施の形態２）
次に、実施の形態２について説明する。

図５は、本発明の実施の形態２における蛍光Ｘ線分析装置（測定部）３００の概略構成図である。構成は、データベース３１２と、遠隔の操作端末３１３の中の表示部３１４と入力部３１５が追加されていることを除けば、実施の形態１と同じである。

測定結果に関わる測定日時、分析結果、測定者、添付ファイルなどの情報を測定情報とする。

データベース３１２は、前記特定情報と、前記測定情報を結びつけ、管理者が閲覧・編集するために、実施の形態１に追加されるものである。前記品番や名称や文字列は特定情報として入力部３０１から入力され、測定終了時にデータベース３１２に格納される。管理者は遠隔の操作端末３１３からデータベース３１２の中身を閲覧し、前記測定情報を参照することが出来る。

遠隔の操作端末３１３は、装置から離れたところでの測定情報の閲覧、編集に使用される。遠隔の操作端末３１３は、データベース３１２の内容の閲覧・操作するものである。

次に、蛍光Ｘ線分析装置３００の動作を説明する。図６は測定作業の流れをフローチャートで表したものである。

蛍光Ｘ線分析装置３００の動作は以下の点を除いて実施の形態１と同じである。

ステップＳ２０２では、測定者が特定情報を入力する。照明２１０からは、特定情報に基づき、データベースに記録されている、最後に測定した同じ特定情報で使用した照明強度で照明光が発せられ、被測定物２０５のＸ線が照射される付近を明るくする。この照明の強度は、自動的に設定されるが、測定者が任意に変更することもできる。

また、ステップＳ２１１では、警告が表示部３０８に表示されるが、データベースを介して遠隔から監視している者が遠隔の表示部３１４を介して警告を受け取ることも出来る。また、測定者が、再測定は必要ないと判断した場合には測定を継続することもできるが、測定者が測定再開をできる権限を持っている必要があり、リスクのある判断をする権限を持たない測定者は、必ず再測定をしなければならない。

前記測定者の権限は、ソフトウェアのユーザー管理機能によって実現され、前記データベースにより集約管理され、運用責任者によって設定される。測定者は装置を使い始めるときにログインを行い、自分のアカウントの権限の範囲内で操作が可能である。

（実施の形態３）
次に、蛍光Ｘ線分析装置（測定部）４００の実施の形態３について説明する。

図７は、蛍光Ｘ線分析装置４００の概略構成図である。構成は、試料ステージ４１２が加わったことを除けば、実施の形態１と同じである。

試料ステージ４１２は、電動モータによるアクチュエータによりＸＹＺ３軸方向に駆動することが出来、被測定物４０５を載置して、測定箇所を動かすための構成部分である。試料ステージ４１２は、被測定物を複数並べることが出来、測定をそれぞれ自動で行うことで、複数試料の自動測定が可能である。

次に、蛍光Ｘ線分析装置４００の動作を説明する。図８は測定作業の流れをフローチャートで表したものである。

蛍光Ｘ線分析装置４００の動作は以下の点を除いて実施の形態１と同じである。

範囲Ｓ３１６は、分析装置が自動的に動作する範囲を示す。

ステップＳ３０２では、測定者が、一度に自動測定しようとしている複数の被測定物の分析条件と特定情報を入力する。前記分析条件はステージの座標を含み、被測定物の数だけ異なるものを用意する。

Ｓ３０３では、照明２１０の照明強度を設定する。一連の自動測定で使用される照明強度は一定であるので、測定者は、被測定物全体の状態を見て、適切な照明強度を判断する。

Ｓ３０４では、Ｓ３０２で入力されたステージ座標に基づき、ステージ４１２を移動する。

Ｓ３１５では、測定結果を破棄するが、実施の形態１とは異なり測定者が試料の設置をやりなおすことはできないので、当該試料の測定を諦め、Ｓ３０４で次の試料へ移る。この場合、後から試料状態の変化があったことがわかるように、当該試料の結果はエラーとして保存される。

本実施の形態では、実施の形態１と比べると、装置が自動的に動作する範囲Ｓ３１６が広く、測定者の負担が少ないことに注意されたい。

また、実施の形態１に対して実施の形態２で追加された機能は、本実施の形態に適用することも可能である。

（実施の形態４）
次に、蛍光Ｘ線分析装置（測定部）５００の実施の形態４について説明する。

図９は、蛍光Ｘ線分析装置５００の概略構成図である。構成は、サンプルホルダー５１６、サンプル測定位置５１７、サンプルトレイ５１８、サンプルチェンジャー５１９が加わったことを除けば、実施の形態２と同じである。

サンプルホルダー５１６は、一定の容積をもつ容器であり、粒状、粉状の被測定物５０５を収容したまま蛍光Ｘ線分析を行うためのものである。サンプルホルダー５１６は、被測定物に対する一次Ｘ線の照射や、二次Ｘ線を阻害しないように設計されている。

サンプル測定位置５１７は、サンプルホルダー５１６を設置できるように寸法が設計された装置の部位である。サンプル測定位置５１７はサンプルホルダー５１６を設置したときに分析が適切にできるように位置が決められている。

サンプルトレイ５１８は、サンプルホルダー５１６を多数並べることができる専用の置き場である。置き場にはサンプル番号が振られており、測定者は分析条件としてどのサンプル番号のサンプルホルダーをサンプル測定位置まで運搬して測定するかを指定することができる。

試料交換機構であるサンプルチェンジャー５１９は、サンプル置き場５１８とサンプル測定位置５１７の間で試料交換を行うロボットであり、サンプルホルダー５１６を把持したり、離したりすることのできるアームを使って試料交換を行う。サンプルチェンジャー５１９を用いて試料交換を自動で行うことで、複数試料の自動測定が可能である。

次に、蛍光Ｘ線分析装置５００の動作を説明する。図９は測定作業の流れをフローチャートで表したものである。

蛍光Ｘ線分析装置５００の動作は以下の点を除いて実施の形態１と同じである。

範囲Ｓ４１６は、分析装置が自動的に動作する範囲を示す。

ステップＳ４０２では、測定者が、一度に自動測定しようとしている複数の被測定物の分析条件と特定情報を入力する。前記分析条件はサンプルトレイのサンプル番号を含み、被測定物の数だけ異なるものを用意する。

Ｓ４０３では、Ｓ４０２で入力されたサンプルトレイのサンプル番号に基づき、サンプルホルダー５１６を交換する。照明５１０からは、特定情報に基づき、データベースに記録されている、最後に測定した同じ特定情報で使用した照明強度で照明光が発せられ、被測定物５０５のＸ線が照射される付近を明るくする。

Ｓ４１５では、測定結果を破棄するが、実施の形態２とは異なり測定者が試料の設置をやりなおすことはできないので、当該試料の測定を諦め、Ｓ４０３で次の試料へ移る。この場合、後から試料状態の変化があったことがわかるように、当該試料の結果はエラーとして保存される。

本実施の形態では、形態３と同様に、実施の形態２と比べると、装置が自動的に動作する範囲Ｓ４１６が広く、更に測定者の負担が少ないことになる。

（実施の形態５）
次に、実施の形態５について、図１１を用いて説明する。

図１１は、実施の形態４の蛍光Ｘ線分析装置５００における測定作業の示すフローチャート（図１０）のＳ４０７〜Ｓ４０９ならびにＳ４１３〜Ｓ４１５における、試料が動いたか否かについての判断を、測定後に試料像の撮影Ｓ４０７を行うようにしたものを示す図である。従って、符号等は、図１０と同様である。

このように、測定中の試料像の取得による場合以外に、測定後の試料像から試料が動いたか否かを判断することもできる。また、これは、前述の実施の形態１〜３に対しても同様に適応することが可能である。

以上のように、本発明によれば、蛍光Ｘ線分析機に被測定物の測定部位画像を取得する撮像部を備えている場合は、蛍光Ｘ線分析機の制御部に本発明を適用することで（例えば、制御用コンピュータに画像処理のソフトウェアとして）、大きなコスト増や設計の変更無しに当該機能を追加できる。

また、本発明の応用分野の蛍光Ｘ線分析装置は、一例としては、様々な素材から構成される電気・電子機器に用いられる部品に混入する環境負荷物質の分析に適している。

なお、本発明は、以上に記載した内容に固定されるものではなく、本発明の技術思想と同様の思想に基づく技術に及ぶことは言うまでもない。

１０１ ライブ画像
１０２ スチル画像
１０３ 分析結果表示
１０４ 特定情報入力欄
１０５ 測定開始ボタン
１０６ メッセージエリア
２００、３００、４００、５００ 蛍光Ｘ線分析装置（測定部）
３１２、５１２ データベース
３１３、５１３ 遠隔の管理端末
３１４、５１４ 遠隔の管理端末上の表示部
３１５、５１５ 遠隔の管理端末上の入力部
４１２ 試料ステージ
５１９ サンプルチェンジャー

Claims (15)

1. 試料ステージ上の被測定物にＸ線源からのＸ線を照射し、前記被測定物から発生する蛍光Ｘ線を測定することで、前記被測定物の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、
   必要な情報を入力する入力部と、
   前記被測定物の測定部位画像を取得する撮像部と、
   前記入力部からの入力情報および前記撮像部で取得した画像を処理・保存する演算部と、を備え、
   当該演算部が、前記撮像部が取得した前記被測定物の測定領域を含む測定開始の直前の第一の画像と、該第一の画像に対応する位置の測定時に所定時間毎に取得する第二の画像のうち最新の画像とから、前記演算部により求めたそれら２つの画像の被測定物の位置状態に基づくそれぞれの特性値の差の値を、予め定めた基準値と比較することで前記被測定物の移動の有無を判定する移動判定機構を備えたことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
2. 前記被測定物の位置状態に基づく特性値が、前記画像の各画素の輝度値である請求項1に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
3. 前記第二の画像が、前記第一の画像に対応する位置の測定終了後に取得するものである請求項１又は２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
4. 前記第二の画像が、その判定時点を含む過去の複数のフレームであって、
   前記特性値の差の値が、前記第一の画像と複数の前記第二の画像それぞれとの差の平均値である請求項１又は２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
5. 前記入力部への入力内容、前記撮像部による取得した画像及び前記演算部で処理した結果を表示する表示部を備え、
   当該表示部は、前記移動判定機構による判定結果を表示する請求項１乃至４のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置。
6. 前記移動判定機構による判定結果を受けて警告音を発する警告音発生器を備えた請求項１乃至５のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置。
7. 前記移動判定機構による判定結果を受けて発光する発光装置を備えた請求項１乃至６のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置。
8. 前記演算部が通信端子を備え、
   前記移動判定機構による判定結果を、当該通信端子を介して遠隔位置に配置した第２の演算部に配信する通信機能を備えた請求項１乃至７のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置。
9. 前記試料ステージが複数の被測定物を載置可能な構造を有し、
   １又は複数の前記被測定物それぞれの１又は複数の指定した測定位置に対して、前記Ｘ線源のＸ線の出射位置を順次相対的に位置合わせすることが可能な駆動機構を備えた請求項１乃至８のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置。
10. 前記駆動機構が、前記移動判定機構が前記被測定物に移動があったと判定した際に、その測定点の測定を中断して、次の被測定物の所定の測定位置に位置合わせが可能な請求項９に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
11. 前記被測定物が収納された試料容器を複数格納する試料収容部と、
    前記被測定物を当該試料容器と共に前記試料収容部から前記試料ステージの所定位置へ相互に移動可能な試料交換機構と、
    を備えた請求項１乃至８のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析装置。
12. 前記試料交換機構が、前記移動判定機構が前記被測定物に移動があったと判定した際に、その測定点の測定を中断し、その被測定物を前記試料収容部へ退避させると共に次の被測定物を前記試料収容部から前記試料ステージへ移動させる請求項１１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
13. 被測定物にＸ線を照射し、前記被測定物から発生する蛍光Ｘ線を測定することで、前記被測定物の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析方法であって、
    測定直前の前記被測定物の画像を撮像する第一の撮像工程と、
    所定時間のＸ線の照射による蛍光Ｘ線分析を行う測定工程と、
    前記測定工程において所定時間毎に前記被測定物の画像を撮像する第二の撮像工程と、
    前記第一の撮像工程により取得した画像と、前記第二の撮像工程により取得した画像のうち１又は複数の画像と、を比較して試料の移動の有無を判定する移動判定工程と、を有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
14. 被測定物にＸ線を照射し、前記被測定物から発生する蛍光Ｘ線を測定することで、前記被測定物の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析方法であって、
    測定直前の前記被測定物の画像を撮像する第一の撮像工程と、
    所定時間のＸ線の照射による蛍光Ｘ線分析を行う測定工程と、
    前記測定工程終了後に前記被測定物の画像を撮像する第二の撮像工程と、
    前記第一の撮像工程により取得した画像と、前記第二の撮像工程により取得した画像のうち１又は複数の画像と、を比較して試料の移動の有無を判定する移動判定工程と、を有することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
15. 前記移動判定工程の画像の比較が、各画像の各画素の輝度値の比較である請求項１３又は１４に記載の蛍光Ｘ線分析方法。