JP2013216731A - カチオン硬化型樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カチオン重合性官能基を有する樹脂(成分A)及びカチオン重合開始剤(成分B)を含有するインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物であって、
前記成分Aのカチオン重合性官能基がエポキシ基であり、
前記成分Bが、
下記式(1):X+(B(C6F5)4)− で表わされる化合物B1、及び/又は
下記式(2):X+((CF2CF3)3PF3)− で表わされる化合物B2
(式中、X+はヨードニウム塩又はスルホニウム塩の共役塩基である)であるインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
一方、金属配線だけでなく、層間絶縁膜等をインクジェットで描画して印刷回路基板を形成するための活性光線硬化型インク及びそれを用いた画像形成方法も開発が進んでおり(例えば、引用文献2)、特許文献2には、活性光線硬化型インク用のカチオン重合性化合物としてエポキシ化合物及び光重合開始剤として芳香族オニウム化合物を含有するものが開示されている。
カチオン重合性官能基を有する樹脂(成分A)及びカチオン重合開始剤(成分B)を含有するインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物であって、
前記成分Aのカチオン重合性官能基がエポキシ基であり、
前記成分Bが、
下記式(1):X+(B(C6F5)4)− で表わされる化合物B1、及び/又は
下記式(2):X+((CF2CF3)3PF3)− で表わされる化合物B2
(式中、X+はヨードニウム塩又はスルホニウム塩の共役塩基である)であるインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物に関する。
成分Aとしては、金属配線間のピッチが狭小な金属配線の場合でも電気腐食を抑制する観点から、カチオン重合性官能基がエポキシ基であり、例えば、
芳香族エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等が含まれる。
水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂の具体的な例として、ADEKA社製KRM−2408、JER社製のYX−8034などが好適である。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂の具体的な例として、DIC社製EPICLON830Sなどが好適である。
ナフタレン型エポキシ樹脂の具体的な例として、DIC社製EPICLONのHP4032D、HP−7200Hなどが好適である。
フェノールノボラック型エポキシ樹脂の具体的な例として、DIC社製EPICLON N−740,N−770などが好適である。
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂の具体的な例として、DIC社製のEPICLON N−660,N−670などが好適である。
脂肪族エポキシ樹脂の例として、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテルなどが挙げられる。
また、ブタジエン系エポキシ樹脂、イソプレン系エポキシ樹脂などの不飽和脂肪酸エポキシも用いることができる。トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテルは、粘度が低い点で好ましい。
脂肪族エポキシ樹脂の市販品には、例えば、共栄社化学(株)製エポライト100MF(トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル)、ナガセケムテックス(株)製EX−321L(トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル)がある。
3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート(ダイセル社製セロキサイド2021P)、
1,2:8,9ジエポキシリモネン(ダイセル社製セロキサイド3000)、
1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(ダイセル社製セロキサイド2000)、
2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物(ダイセル社製EHPE3150)などが好適である。
更に好ましくは、ビスフェノールA型エポキシ樹脂及び/又はナフタレン型エポキシ樹脂が更に好ましい。
成分Bは、本発明のインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物が金属配線に接触した際に、金属配線の電気腐食を抑制する観点から、
下記式(1):X+(B(C6F5)4)− で表わされる化合物B1、及び/又は
下記式(2):X+((CF3CF2)PF3)− で表わされる化合物B2
(式中、X+はヨードニウム塩又はスルホニウム塩の共役塩基である)である。
で表わされる(トリクミィル)ヨードニュウムテトラキス(ペンタフルオルフェニィル)ボレート)(例えば、ローディア社製PI−2074)、下記式(2):
で表わされるチオフェニルジフェニルスルフォニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェート(例えば、サンアプロ株式会社製CPI−210S、CPI−200K)が挙げられる。
金属配線間のピッチが狭小な金属配線の場合でも電気腐食を抑制する観点から、成分Aに対して、オキセタニル基を有する樹脂(成分C)を組合せることが好ましい。
3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン(オキセタンアルコール)(例えば、東亞合成社製OXT−101)、
2−エチルヘキシルオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−212)、キシリレンビスオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−121)、
3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−221)、
オキセタニルシルセスキオキセタン(例えば、東亜合成社製OXT−191)、
フェノールノボラックオキセタン(例えば、東亜合成社製PHOX)、及び
フェノキシオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−211)からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物、より好ましくは、
3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−221)、
キシリレンビスオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−121)、
オキセタニルシルセスキオキセタン(例えば、東亜合成社製OXT−191)、及び
フェノキシオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−211)からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物、更に好ましくは、
キシリレンビスオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−121)を含む樹脂である。
本発明のカチオン硬化型樹脂組成物の硬化強度の安定性の観点から、シランカップリング剤としては、好ましくは、
テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、ジメトキシジエトキシシラン、ジメトキシジイソプロポキシシラン、ジエトキシジイソプロポキシシラン、ジエトキシジブトキシシランなどのテトラアルコキシシラン類;
メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリブトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシランなどのトリアルコキシシラン類;及び
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジエチルジブトキシシラン、フェニルエチルジエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのジアルコキシシラン類からなる群から選ばれる少なくとも1種のシランカップリング剤が好ましく、
メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリブトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、及び3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランからなる群から選ばれる少なくとも1種のトリアルコキシシラン系シランカップリング剤が更に好ましく、
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランが更に好ましい。
界面活性剤としては、インクジェットの塗出性と銀配線等の基材に塗工したときのぬれ性の観点から、
アニオン界面活性剤として、石ケン、ラウリル硫酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルリン酸、N−アシルアミノ酸塩、α−オレフィンスルホン酸塩、アルキル硫酸エステル塩、アルキルフェニルエーテル硫酸エステル塩、メチルタウリン酸塩等が挙げられ、
両性界面活性剤としては、塩酸アルキルジアミノエチルグリシン、2−アルキル−N−カルボキシメチル−N−ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン、ラウリルジメチルアミノ酢酸ベタイン、ヤシ油脂肪酸アミドプロピルベタイン、脂肪酸アルキルベタイン、スルホベタイン、アミオキサイド等が挙げられ、
非イオン(ノニオン)型界面活性剤としては、ポリエチレングリコールのアルキルエステル型化合物、トリエチレングリコールモノブチルエーテル等のアルキルエーテル型化合物、ポリオキシソルビタンエステル等のエステル型化合物、アルキルフェノール型化合物、フッ素型化合物、シリコーン型化合物等が挙げられる。
これらの化合物は、1種類、又は2種類以上を適宜組み合わせて使用することができる。
本発明のカチオン硬化型樹脂組成物には、硬化収縮による硬化応力を低減と、金属配線間のピッチが狭小な金属配線の場合でも電気腐食を抑制する観点から、フィラーを添加することが好ましい。
無機フィラーとしては、タルク、シリカ、マイカなどが挙げられる。
有機フィラーとしては、ポリアクリレート粒子、コアシャル型のポリアクリレート粒子、ポリスチレン粒子、アクリル−スチレン共重合粒子、ポリプロピレン粒子、ポリエチレン粒子などが挙げられる。
なお、平均粒径は、HORIBA社製 レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置(例えば、HORIBA社製Partica LA−950V2)により測定される。
光増感剤としては、の硬化性の観点から、例えば、カルボニル化合物、有機硫黄化合物、過硫化物、レドックス系化合物、アゾ及びジアゾ化合物、ハロゲン化合物、光還元性色素など挙げられる。
光増感剤として、具体的には、
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、α,α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノンのようなベンゾイン誘導体;
ベンゾフェノン、2,4−ジクロロベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンのようなベンゾフェノン誘導体;
2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントンのようなチオキサントン誘導体;
2−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノンのようなアントラキノン誘導体;N−メチルアクリドン、N−ブチルアクリドンのようなアクリドン誘導体;
その他、α,α−ジエトキシアセトフェノン、ベンジル、フルオレノン、キサントン、ウラニル化合物などが挙げられる。これらの光増感剤は、単独で使用しても、又は二種以上を組み合わせて使用してもよい。
好ましい光増感剤は、2,4−ジエチルチオキサントン(例えば、日本化薬製DETX−S)である。
本発明のインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物(以下、樹脂組成物ともいう)の硬化強度を安定に確保し、金属配線の電気腐食を抑制する観点から、
成分Bの含有量は、成分A100重量部に対して、
好ましくは0.1〜10重量部、より好ましくは0.5〜6重量部、更に好ましくは1〜4重量部である。
成分A及び成分Bを組合せることで、樹脂組成物のイオン純度を抑制することができ、層間絶縁膜による金属配線間のピッチが狭小な金属配線の電気腐食を抑制する観点から、樹脂組成物のイオン純度は、
好ましくは100μS以下、より好ましくは70μS以下、更に好ましくは50μS以下、更に好ましくは40μS以下、更に好ましくは30μS以下、更に好ましくは20μS以下である。
有機溶剤としては、アルコール類、グリコールエーテル類、エステル類、およびケトン類、から1種類以上を選択することができる。
アルコール類としては、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコールなどが挙げられる。
グリコールエーテル類としては、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどが挙げられる。
エステル類としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
ケトン類としては、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロンなどが挙げられる。
樹脂組成物の有機溶剤に溶解する成分100重量部に対して、有機溶剤を、
好ましくは10〜1000重量部、より好ましくは20〜500重量部、更に好ましくは50〜200重量部である。
好ましくは0.2〜10重量部、より好ましくは0.5〜5重量部、更に好ましくは1〜3重量部である。
好ましくは0.1〜8重量部、より好ましくは0.5〜5重量部、更に好ましくは1〜3重量部である。
好ましくは0.1〜8重量%、より好ましくは0.5〜5重量%、更に好ましくは1〜3重量%である。
好ましくは5.0〜90.0重量部、より好ましくは10.0〜85.0重量部、更に好ましくは20.0〜80.0重量部である。
好ましくは0.3〜30.0重量部、より好ましくは1.0〜25.0重量部、更に好ましくは5.0〜25.0重量部、更に好ましくは10.0〜20.0重量部である。
(1)カチオン重合性官能基であるエポキシ基を有するカチオン重合性樹脂(成分A)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製EPICLON850CRP)
3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート(ダイセル社製セロキサイド2021P)(成分A)
ビスフェノールA型アクリル樹脂(日本化薬製KAYAHARD R−280)(20%2−ヒドロキシプロピルメタクリレート希釈品)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製 EPICLON N−660)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製 EPICLON N−655−EXP−S)
(トリクミィル)ヨードニュウムテトラキス(ペンタフルオルフェニィル)ボレート)(ローディア社製PI−2074)(成分B(化合物B1))
チオフェニルジフェニルスルフォニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェート(サンアプロ株式会社製CPI−210S)(成分B(化合物B2))
4−チオフェニルジフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネート(サンアプロ株式会社製CPI−101A)
実施例1〜3及び比較例1の各樹脂組成物を、離型処理したPETフィルムに塗布し、アイグラフィックス製メタルハライドランプを用いて6000mJ/cm2(365nm)を照射し0.5mm厚の皮膜を作製し、50mm×50mmにカットしてイオン純度を測定するための樹脂硬化物を得た。
樹脂硬化物を電動ミルによって粉砕し、500μmメッシュを通過し、180μmメッシュを通過しないものを5gテフロン(登録商標)カップに採取し、そこに50mlの純粋中に加え、テフロン(登録商標)カップを密閉し121℃20時間放置し、室温に冷えた後にカップ内の水の電導度を電導度計(堀場製作所製)で測定した。
以上の結果を表1にまとめた。
実施例1〜3の硬化前の樹脂組成物を、
エポキシ樹脂50部に対し、
BMGAC(ブチルグリコールアセテート)50部添加し溶解したものを、
インクジェット塗出機(武蔵エンジニアリング製SHOT MASTER 500)で描画したところ描画することが出来た。
Claims (4)
- カチオン重合性官能基を有する樹脂(成分A)及びカチオン重合開始剤(成分B)を含有するインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物であって、
前記成分Aのカチオン重合性官能基がエポキシ基であり、
前記成分Bが、
下記式(1):X+(B(C6F5)4)− で表わされる化合物B1、及び/又は
下記式(2):X+((CF2CF3)3PF3)− で表わされる化合物B2
(式中、X+はヨードニウム塩又はスルホニウム塩の共役塩基である)であるインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物。 - 金属配線と接触する絶縁膜の形成用である請求項1記載のインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物。
- 前記金属配線が、金属ナノ粒子含有インクがインクジェット描画されて形成される請求項1又は2記載のインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物。
- 前記金属配線が、金属配線間のピッチが30μm以下である金属配線を含む請求項1〜3のいずれか1項記載のインクジェット塗出用カチオン硬化型樹脂組成物。
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