JP2013213721A - 対象物移動制御装置及びフーリエ変換型赤外分光光度計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニアガイドに沿って一直線上を往復方向に移動する対象物をPID制御でフィードバック制御する。PID制御で使用される制御パラメータを決定するパラメータ調整部は、制御パラメータとしての比例係数CP、微分係数CD、積分係数CI及び摩擦係数CFのうちの少なくとも1つと逆方向最大電圧VAについて、フィードバック制御を行って現在速度の測定値と目標速度との誤差に基づく評価関数により制御パラメータの最適値を決定する。
【選択図】図4
Description
ここで、
Vn:求める電圧(今回印加する電圧)、
Verr:速度誤差、
ΔV:前回と今回の速度の差、
ΣVerr:速度誤差の和、
CP:比例係数、
CD:微分係数、
CI:積分係数、
CF:摩擦係数
である。
(a)コントロール干渉計の動作:
偏光ビームスプリッタ60で分割された互いに位相の異なるレーザ干渉光はそれぞれフォトダイオード62,64で受光され、それぞれのフォトダイオード62,64の検出信号は波形整形され、パルス信号となってアップ/ダウン・カウンタ82の2個の入力信号a,bとして取り込まれる。アップ/ダウン・カウンタ82ではアップ/ダウンのモードを両入力信号の位相関係から求める。すなわち、移動鏡6がビームスプリッタ2に近づく方向であれば、一方の信号aは他方の信号bに対して位相が90度進み、逆に移動鏡6がビームスプリッタ2から離れる方向であれば信号aはbに対して位相が90度遅れるからである。また、アップ/ダウン・カウンタ82で計数される入力信号のパルス数は、移動鏡6の位置に依存した信号となる。アップ/ダウン・カウンタ82の出力信号はバスライン84を介して制御部86の干渉計制御CPU100に取り込まれ、移動鏡の摺動の異常を検出し、また赤外分光測定のインターフェログラムの積分を行う際の信号として用いられる。
赤外光源22から射出されて干渉計で変調され、試料室34を経て赤外検出器38で電気信号に変換された信号は、プリアンプ40からフィルタ42、オートゲインアンプ44を経てサンプルホールドアンプ46でサンプリングされ、A/D変換器48でデジタル信号に変換されてバスライン84に取り込まれる。移動鏡6の移動に伴なってインターフェログラムが生成する。コントロール干渉計の干渉信号である信号aを用いてA/D変換器48のA/D変換が起動される。クアドラチュア・コントロールにより移動鏡6の現在位置がリアルタイムで検出されており、この現在位置信号はアップ/ダウン・カウンタ82により生成され、一連のインターフェログラムのデータ収集開始点、終了点を知るために逐次、制御部86の干渉計制御CPU100により認識され、移動鏡6の往復方向でデータ収集が行われる。
(1)制御パラメータの初期値を設定する(ステップS1)。制御パラメータは比例係数CP、微分係数CD、積分係数CI、摩擦係数CF及び逆方向最大電圧VAの5つである。これらの5つの制御パラメータ全てについてそれぞれの初期値を設定する。制御パラメータの初期値はいくつかの装置を用いて実験的に決めた値を用いればよい。その初期値から開始することで調整時間の短縮も期待できる。
f(CP,CD,CI,CF,VA)=α|Verr|ave+β|Verr|max
ここで、α、βは重み係数、|Verr|aveは速度誤差Verrの絶対値の平均値、|Verr|maxは速度誤差Verrの絶対値の最大値を意味する。
4 固定鏡
6 移動鏡
15 リニアガイド
16 リニアモータ
86 制御部
88a 制御パラメータ保持部
100 干渉計制御部
106 パラメータ調整部
Claims (4)
- ビームスプリッタと固定鏡又は移動鏡との間に位相板を配置し、前記ビームスプリッタで合波された干渉信号から2つの偏光成分を分離して検出し、互いに位相がずれている両検出信号の位相関係と波数とから移動鏡の移動方向と位置とを検出する方式の干渉計を備えた対象物移動制御装置において、
前記移動鏡はコイルに印加される電圧により流れる電流により発生する電磁力により駆動され、リニアガイドに沿って一直線上を往復方向に移動するように支持されており、
前記移動鏡を駆動するために前記コイルに印加する電圧を制御する制御部は、移動鏡の現在位置と現在速度の測定値を用い前記移動鏡の移動速度が設定された目標速度になるように移動鏡を駆動するために与える電圧を、PID制御式の比例係数CP、微分係数CD、積分係数CI、摩擦係数CF、及びフィードバック制御の際に前記移動鏡の速度を抑える方向に印加する逆方向電圧の最大値である逆方向最大電圧を制御パラメータとして、前記リニアガイドの設定された動作範囲にわたってPID方式でフィードバック制御する干渉計駆動部と、
前記干渉計駆動部で使用される制御パラメータを保持する制御パラメータ保持部と、
比例係数CP、微分係数CD、積分係数CI及び摩擦係数CFのうちの少なくとも1つと逆方向最大電圧について、フィードバック制御を行って現在速度の測定値と目標速度との誤差に基づく評価関数により制御パラメータの最適値を決定するパラメータ調整部と、
を備えていることを特徴とする対象物移動制御装置。 - 前記干渉計駆動部は前記目標速度を変更できるようになっており、前記パラメータ調整部は目標速度が変更されたときは制御パラメータの新たな最適値を求め、前記制御パラメータ保持部に保持されている制御パラメータを更新するものである請求1に記載の対象物移動制御装置。
- 前記干渉計駆動部は前記動作範囲を変更できるようになっており、前記パラメータ調整部は動作範囲が変更されたときは制御パラメータの新たな最適値を求め、前記制御パラメータ保持部に保持されている制御パラメータを更新するものである請求1又は2に記載の対象物移動制御装置。
- 試料の測定を行なう主干渉計のビームスプリッタと固定鏡又は移動鏡との間に位相板を配置し、前記ビームスプリッタで合波された干渉信号から2つの偏光成分を分離して検出し、互いに位相がずれている両検出信号の位相関係と波数とから移動鏡の移動方向と位置とを検出する方式のコントロール干渉計を備えた移動鏡制御装置を備えたフーリエ変換型赤外分光光度計において、
前記移動鏡制御装置は請求項1から3のいずれか一項に記載の対象物移動制御装置であることを特徴とするフーリエ変換型赤外分光光度計。
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