JP2013210315A - 光学式距離測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】測定時間や距離測定可能な走査範囲が損なわれることなく、戻り光の光量が多く得られて距離測定の有効範囲が十分に得られる光学式距離測定装置を提供する。
【解決手段】光学式距離測定装置10において、第2光学系20すなわち戻り光集光光学系が、レーザ光Lの光路を含み且つ走査面に垂直な面内の幅方向Wの屈折力がその走査面方向の屈折力よりも大きい光学特性を有して照射点Sからの戻り光Rを受けて走査ミラー14に集光する戻り光集光レンズ(光学素子)20aを含むことから、走査ミラー14の面積を大きくしたり、凸レンズを用いたりしないので、測定時間や距離測定可能な走査範囲が損なわれることなく、戻り光の光量が多く得られて距離測定の有効範囲が十分に得られる。
【選択図】図1

Description

本発明は、対象物までの距離を測定するために、照射点が対象物の表面上で一方向に沿って移動するようにレーザ光が走査されたとき、その照射点からの戻り光を集光してその戻り光との間の時間差や位相差などを算出する光学式距離測定装置に関するものである。
たとえば特許文献1に示されるように、対象物上のレーザ光の照射点から反射された散乱光である戻り光を検知して対象物までの距離を測定する光学式距離測定装置が提案されている。この光学式距離測定装置によれば、1軸まわりに往復振動する走査ミラーにより走査されたレーザ光が対象物上に照射されたとき、その対象物上の照射点から戻された拡散光である戻り光が、そのレーザ光の光路を逆進して走査ミラーに到達し、その走査ミラーから受光素子に到達して検出される。これにより、レーザ光の出力から戻り光の検出までの時間差に基づいて対象物上の照射点までの距離が算出されるとともに、その距離が算出された照射点へのレーザ光の走査角度に基づいて照射点の位置が算出され、それら距離と位置とから対象物の形状が算出されて対象物が識別される。
特開2004−170965号公報
ところで、上記のような従来の光学式距離測定装置では、レーザ光がその照射点において対象物から戻される戻り光は散乱光である。そのため、単位面積に入射する戻り光の強度は、戻り距離の二乗に比例して減衰する。このため、対象物からの距離が大きくなるほど受光素子に入射できる戻り光の光量が減少してその受光素子で検出される信号強度が微弱となり、安定して戻り信号を識別できなくなるので、距離測定の有効範囲が短く用途が制限されるという問題があった。特に、走査ミラーが、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術が適用されて製造された微小電気機械ミラー部品から構成される場合には、反射面の面積が微小であるので、上記のような問題が顕著となっていた。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、測定時間や距離測定可能な走査範囲が損なわれることなく、戻り光の光量が多く得られて距離測定の有効範囲が十分に得られる光学式距離測定装置を提供することを目的とする。
かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、(a)レーザ光出力素子から出力され、対象物に向かって走査されるレーザ光により照射される前記対象物の照射点からの戻り光を受光素子に入射させるように前記レーザ光の走査に同期して前記レーザ光の走査面に対して走査する走査ミラーと、前記戻り光を前記走査ミラーへ集光する戻り光集光光学系とを備え、前記戻り光に基づいて前記対象物までの距離測定を行なう光学式距離測定装置であって、(b)前記戻り光集光光学系は、前記対象物と前記走査ミラーとの間に配設され、且つ、前記走査面に垂直であり、前記レーザ光の走査の中心軸を通る面内の屈折力が、前記走査面の屈折力よりも大きい光学特性を有する光学素子を、含むことにある。
本発明の光学式距離測定装置によれば、その戻り光集光光学系が、前記対象物と前記走査ミラーとの間に配設され、且つ、前記走査面に垂直であり、前記レーザ光の走査の中心軸を通る面内の屈折力が該走査面内の屈折力よりも大きい光学特性を有する光学素子を、含むことから、対象物上の照射点からの走査ミラーに集光される戻り光は、走査面に垂直な方向において、照射点から走査ミラーを見たときの角度に対する照射点から前記光学素子を見たときの角度の割合で、走査ミラーに入射できる光量が増加する。これにより、戻り光の光量が多く得られて距離測定の有効範囲が十分に得られる光学式距離測定装置を提供することができる。
ここで、好適には、前記光学素子は、前記走査面内の屈折力が零である。このようにすれば、走査ミラーから光学素子を通して対象物へ向かうレーザ光の走査角の範囲が、その光学素子によって減少しない利点がある。
また、好適には、前記レーザ光を前記走査ミラーへ入射させる第1光学系と、前記レーザ光を前記走査ミラーから前記対象物へ導き、前記対象物からの戻り光を該走査ミラーへ導く前記光学素子を有する第2光学系と、前記走査ミラーから出射された戻り光を前記受光素子へ導く第3光学系とを、含む。このようにすれば、光学素子を有する第2光学系および走査ミラーが往路と復路とで共用される利点がある。
また、好適には、前記光学素子は、トロイダルレンズであり、前記トロイダルレンズは、前記レーザ光の前記走査方向において彎曲し、且つ、前記走査方向の屈折力が零である。このようにすれば、走査ミラーから光学素子を通して対象物へ向かうレーザ光の走査範囲が、その光学素子によって減少しない利点がある。
また、好適には、前記レーザ光源素子から前記走査ミラーまで前記レーザ光を導く前記第1光学系の光軸と、前記走査ミラーから前記受光素子まで前記戻り光を導く第3光学系の光軸とは、相互に異なるものである。このようにすれば、レーザ光源素子から出力されるレーザ光と戻り光とを分離するミラーを用いる必要がないので、光の伝播効率が高められ、光学式距離測定装置の性能が高められる。
また、好適には、前記光学素子は、前記走査面に垂直な面内の焦点距離だけ前記走査ミラーから前記対象物側に配置されている。このようにすれば、対象物表面のレーザ光照射点からの戻り光が走査ミラーに好適に集光される利点がある。
また、好適には、前記走査ミラーは、一対の捩れ梁部を介して共振板の一部に支持された微小共振ミラーである。このようにすれば、反射面積が微小な微小共振ミラーであっても、対象物表面のレーザ光照射点からの戻り光が走査ミラーに好適に集光されるので、大幅に小型とされ或いは携帯型の光学式距離測定装置が得られる。
本発明の一実施例における光学式距離測定装置の要部構成を説明する概略図であって、(a)は平面を、(b)はその下側面を、(c)はその右側面をそれぞれ示している。 図1の光学式距離測定装置に備えられた走査ミラーの構成例を説明する斜視図である。 図1の光学式距離測定装置の機能の要部を、レーザ光の照射点からの戻り光を集光する集光レンズとともに説明するブロック線図である。 戻り光の光量を増加させるために走査ミラーの反射面積を増加させた比較例の光学式距離測定装置の構成例を説明する図である。 戻り光の光量を増加させるために凸レンズを走査ミラーと対象物との間に介在させた比較例の光学式距離測定装置の構成例を説明する図である。 図5の光学式距離測定装置において、走査ミラーによる走査角が凸レンズによって減少させられる原理を説明する図であって、(a)は凸レンズがない例、(b)は凸レンズがある例をそれぞれ示している。 本発明の他の実施例における光学式距離測定装置の要部構成を説明する概略図であって、(a)は平面を、(b)はその下側面を、(c)はその右側面をそれぞれ示している。 本発明の他の実施例における光学式距離測定装置の要部構成を説明する概略図であって、(a)は平面を、(b)はその下側面を、(c)はその右側面をそれぞれ示している。
以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1において、光学式距離測定装置10は、光学機構11と電子制御装置30とを備えている。光学機構11は、光源として機能するレーザ光出力素子12と、レーザ光出力素子12から出力されたレーザ光Lを走査ミラー14へ導く第1光学系16と、走査ミラー14からその走査角度範囲A内で走査されたレーザ光Lを対象物18へ導くとともにその対象物18上の照射点Sからの戻り光Rを走査ミラー14へ導く第2光学系20と、走査ミラー14に反射された戻り光Rを戻り光検出器(受光素子)22へ導く第3光学系24と、走査ミラー14の走査角度範囲A内の端部に走査されたレーザ光Lを検出する光検出器として機能するビーム検出器26とを有している。
電子制御装置30は、光学式距離測定装置10の制御部に対応するものであり、たとえばCPU、RAM、ROM、インターフェースなどを含むマイクロコンピュータにより構成され、予め記憶されたプログラムに従って、戻り光検出器22およびビーム検出器26から供給される戻り光信号PDおよび検出信号BDを処理し、レーザ光出力素子12から出力されるレーザ光Lを制御するレーザ光駆動信号LDを出力する一方、戻り光信号PDに基づいて対象物18との間の距離を走査角度毎に算出するとともに、走査ミラー14によるレーザ光Lの走査振幅すなわち走査角度範囲Aが最大となるように調節した励振周波数を有するミラー駆動信号を出力する。さらに詳しくは、電子制御装置30は、予め設定された分解能が得られるように1走査内の計測点数Nおよび走査回数Mを決定してレーザ光出力素子12の出力を制御し、戻り光検出器22により検出された時間差に基づいて対象物18までの距離を走査範囲内の複数の測定点に対応する走査角度位置毎にそれぞれ算出する。
レーザ光出力素子12は、ガスレーザ装置や固体レーザ装置でもよいが、好適には半導体レーザダイオードから構成され、たとえば785nm程度の近赤外光を出力する。戻り光検出器22およびビーム検出器26も、好適には、ホトダイオードやホトトランジスタとして知られる半導体光センサから構成され、必要に応じて集光レンズを内蔵する。上記第1次光学系16は、レーザ光出力素子12から出力されたレーザ光Lを平行ビーム又は略平行ビームとするレンズ32を備え、そのレンズ32により平行ビーム又は略平行ビーム化されたレーザ光Lを走査ミラー14に入射させる。
走査ミラー14は、本実施例ではたとえばMEMS技術により構成されたたとえば1mm程度の長さと数十μm乃至数百μm程度の幅とを有する微小な共振ミラーを備えて構成される。この場合、走査ミラー14は、たとえば図2に示すように、たとえば数ミリ角の金属製或いは半導体製の矩形板からなり、4辺のうちの1辺が固定された片持ち状の基板14aと、その基板の中央部にエッチングなどにより中抜きされることにより形成され、上記固定辺に平行な方向の一対の梁部14bにより中央部が支持されたミラー部14cと、基板の一部に固着された圧電膜14dとを備え、その圧電膜に励振されて発生する基板の固有振動によりミラー部14cが一対の梁部14bまわりにすなわち回転の中心軸Cまわりに往復回転振動させられるように構成されている。これにより、ミラー部14cに入射されたレーザ光Lは、ミラー部14cの回転の中心軸Cに垂直な方向へ走査される。
第2光学系20は、対象物18を照射するために走査されるレーザ光Lの光路をそれほど曲げず、対象物18上の照射点Sからの散乱光である戻り光Rを可及的に集光して走査ミラー14へ入射させるために、走査ミラー14により走査されるレーザ光Lの走査面に直交する中心軸Cを含む面(図1(c)に示す面)内での屈折力すなわち焦点距離の逆数に比較して、走査面(図1(a)に示す面)内でレーザ光Lの光路方向すなわち中心軸Cを通る放射方向の屈折力が小さい戻り光集光レンズ(光学素子)20aを備えている。戻り光集光レンズ20aは、中心軸Cを通り、且つ走査面に垂直な面内において、走査ミラー14から焦点距離fの分、対象物18側に離れた位置に配置される。この戻り光集光レンズ20aは、走査面内では焦点距離が相対的に長く、中心軸Cを含み且つ走査面に垂直な面内では焦点距離が相対的に短く、相互に相違した焦点距離を有するトロイダルレンズの一種である。
上記の戻り光集光レンズ20aは、好適には、走査面内すなわち走査方向の屈折力が零すなわち焦点距離が無限大であるトロイダルレンズであり、レーザ光Lの走査面内において走査ミラー14の回転の中心軸Cから同じ距離に位置するように彎曲させられている。すなわち、戻り光集光レンズ20aは、レーザ光Lの走査面内において、走査ミラー14の回転の中心軸Cを中心とする曲率半径r20の円弧に沿って彎曲した同じ厚み形状を有し、且つレーザ光Lの光路を含み、且つ走査面に直交する面内すなわち走査面に垂直であり、且つレーザ光Lの走査方向に平行な方向では中央程厚みが増加した凸レンズ状の厚み形状を有し、いずれの走査方向でも同じ凸レンズ形状とされて焦点距離fが同じとされている。このため、戻り光集光レンズ20aは、彎曲したシリンドリカルレンズと称されてもよい。この戻り光集光レンズ20aは、走査面方向においてたとえば±45°程度の走査角度範囲Aまたはたとえば±42°程度の有効角度範囲A‘を十分にカバーできる周方向長さ寸法Sを備えるとともに、レーザ光Lの光路を通り且つ走査面に垂直な方向において走査ミラー14の幅寸法ωよりも十数倍乃至数十倍の幅寸法Wを備えている。なお、本実施例の戻り光集光レンズ20aは、周方向長さ寸法Sが幅寸法Wよりも大きく、レーザ光Lの走査面方向において長手状を成しているが、必ずしも長手状でなくてもよい。
対象物18上のレーザ光Lの照射点からの戻り光Rは球面状に拡がる拡散光であるため、距離の二乗に反比例して急速に減衰する性質がある。このため、戻り光検出器22により検出される戻り光信号PDは、対象物18からの距離が大きくなるほど微弱な信号強度となり、ノイズと識別困難となって安定して戻り光信号PDを識別できなくなるので、距離測定の有効範囲や用途が制限されるという場合があった。戻り光集光レンズ20aは、戻り光Rのより多くの光量を走査ミラー14に集光して、戻り光信号PDの強度を高めるためのものである。
走査ミラー14によるレーザ光Lの走査角度範囲A内の一端部たとえば角度0°で示される走査範囲Aの中心位置から+42°の角度位置すなわちレーザ光Lの実際の周期を検知する基準位置には、レーザ光Lをビーム検出器26へ向かって反射してそのレーザ光Lがその基準位置を通過したことをビーム検出器26で検出させるビーム反射ミラー20bが配置されている。
走査ミラー14に反射された戻り光Rを戻り光検出器22へ導く第3光学系24は、走査ミラー14からの戻り光Rを走査方向に直交する方向において平行光又は略平行光とするシリンドリカルレンズ24aと、戻り光Rを反射してレーザ光Lから分離するハーフミラー24bと、ハーフミラー24bにより反射された戻り光Rを戻り光検出器22に集光する集光レンズ24cとを備えている。
図3は、光学式距離測定装置10を構成する光学機構11と電子制御装置30との機能の要部を、レーザ光Lの照射点Sからの戻り光Rを集光する戻り光集光レンズ20aの機能とともに説明する機能ブロック線図である。光学機構11は、レーザ光出力素子12を有し、レーザ光Lの光源として機能する光源部40と、走査ミラー14を有し、光源部40からのレーザ光Lを対象物18へ向かって走査するミラー走査部42と、戻り光検出器22を有し、戻り光集光レンズ20aを通して戻り光Rを受光して戻り光信号PDを出力する受光部44とを備えている。電子制御装置30は、光源部40から放射されたレーザ光Lのパルス信号の出力時刻と、それに同期して対象物18から発生した戻り光Rが受光部44で検出された受光時刻との時間差であるTOF(nsec)を測定する時間測定部46と、そのTOF(ns)に基づいて、光学式距離測定装置10から対象物18までの距離D(m)=TOF/3.33ns/2を測定点毎にすなわち走査角度位置毎に算出する制御部48を備えている。なお、上記3.33nsは、1m当たりのレーザ光Lおよび戻り光Rの伝播時間である。制御部48は、たとえば、測定された走査角度毎の距離のうちの最も近い距離を対象物までの距離として図示しない表示器へ出力したり、距離および走査角度に基づいて対象物18の表面の3次元形状を算出し、三次元画像を表示器に出力させる。
ミラー走査部42内の走査ミラー14により走査されたレーザ光Lの対象物18上の照射点Sから発生する散乱光である戻り光Rは、戻り光集光レンズ20aにより集光されてミラー走査部42内の走査ミラー14へ入射させられる。図3の戻り光集光レンズ20aはレーザ光Lの光路を通り、且つレーザ光Lの走査面に対して垂直な断面で示されており、戻り光Rは、破線で示されるように集光される。ここで破線は、球面上に拡がる戻り光Rの外周を表現したものであり、実際の戻り光Rは、破線を外周とする内部前面に拡がっている。受光部44の戻り光検出器22に到達する戻り光Rの光量は、図3に示すように走査ミラー14の幅寸法をωとすると、戻り光集光レンズ20aによる集光によって、W/ω倍増加させられている。
また、戻り光集光レンズ20aは、レーザ光Lの光路を含み、且つ走査面に直交する面内での屈折力すなわち焦点距離の逆数に比較して、走査面内の屈折力が小さく、好適には零とされているので、対象物18を照射するために走査されるレーザ光Lの光路に対する戻り光集光レンズ20aの影響がないか或いは少なくなるように構成されている。このため、レーザ光Lの対象物18上の走査幅が確保される。
図4、図5、図6は比較例を示しており、図1の実施例と共通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。なお、図5、図6の第3光学系24において、24aはシリンドリカルレンズから凸レンズに変更されている。図4に示す光学式距離測定装置50は、検出できる戻り光Rの受光量を多くするために反射面積を大きくした走査ミラー52を備えている。この走査ミラー52は、図1および図2の走査ミラー14と同様に、MEMS技術により構成されているが、戻り光検出器22で検出できる戻り光Rの光量を多くするためにより反射面積の大きい外形寸法を有している。このため、走査ミラー52が大型となって歪みが発生しやすくなるので、十分な集光性能が得られないとともに、光学式距離測定装置50が大きくなる。また、走査ミラー52は、共振周波数が低くなって1走査当たりの計測点が少なくなるので、同じ分解能を得るために走査回数を多く必要とするので、光学式距離測定装置50で高速測定が困難である。
また、図5に示す光学式距離測定装置60は、検出できる戻り光の光量を多くするために対象物からの戻り光を走査ミラー14に集光する凸レンズ62を備えている。このため、図6に示されるように、走査ミラー14によるレーザ光Lの走査角度が上記凸レンズ62によって減少するので、対象物18上において十分な走査距離が得られず、光学式距離測定装置60の有効測定範囲が狭くなった。
図6の(b)は、走査ミラー14によるレーザ光Lの走査角度が上記凸レンズ62によって減少する点を詳細に説明するものである。すなわち、走査ミラー14から凸レンズ62までの距離をL1、凸レンズ62から対象物18までの距離をL2、凸レンズ62上でのレーザ光Lの走査量(変位量)をY1、対象物18上のレーザ光Lの走査量(変位量)をY2、凸レンズ62の焦点距離をf62、レーザ光Lの凸レンズ62への入射角度U1、レーザ光Lの凸レンズ62からの出射角度をU2としたとき、凸レンズの屈折式から次式(1)および(2)が成立する。また、走査ミラー14と凸レンズ62との位置関係から(3)式が成立する。また、(2)式および(3)式から(4)式が得られる。
U2=U1−Y1/f62 ・・・ (1)
Y2=Y1+U2×2 ・・・ (2)
U1=Y1/L1 ・・・ (3)
U2=Y1(1/L1−1/f62) ・・・ (4)
測定する対象物18からの散乱光である戻り光Rが走査ミラー14の反射面に集光するように配置するためには、L1>F62であることが必要であるため、(4)式よりU2<0であり、(2)式よりY2<Y2となり、走査ミラー14によるレーザ光Lの走査角度が上記凸レンズ62によって減少させられることがわかる。仮に、凸レンズ62がない場合は、図6の(a)に示すように、Y2/Y1=(L2+L1)/L1であり、明らかにY2>Y1となる。
上述のように、本実施例の光学式距離測定装置10によれば、その第2光学系20すなわち戻り光集光光学系が、対象物18と走査ミラー14との間に配設され、且つ走査面に垂直な面内の幅方向Wの屈折力すなわち走査面に垂直であり、レーザ光Lの走査の中心軸Cを含む面内の屈折力がその走査面方向の屈折力よりも大きい光学特性を有して照射点Sからの戻り光Rを受けて走査ミラー14に集光する戻り光集光レンズ20aを、含むことから、対象物18上の照射点Sからの走査ミラー14に集光される戻り光Rの光量が、照射点Sから走査ミラー14を見たときの角度に対する照射点Sから戻り光集光レンズ20aを見たときの角度の割合で、走査ミラー14に入射できる戻り光Rの光量が増加するので、その走査ミラー14を経て戻り光検出器22で検出される戻り光Rの信号強度が大幅に増加して、距離測定の有効範囲が長くなり、使用制限距離が大きく性能の高い光学式距離測定装置10が得られる。すなわち、走査ミラー14の面積を大きくしたり、凸レンズを用いたりしないので、測定時間や距離測定可能な走査範囲が損なわれることなく、戻り光の光量が多く得られて距離測定の有効範囲が十分に得られる光学式距離測定装置10を提供することができる。
また、本実施例の光学式距離測定装置10によれば、戻り光集光レンズ20aは、レーザ光Lの走査面内の屈折力が零であるので、走査ミラー14から戻り光集光レンズ20aを通して対象物18へ向かうレーザ光Lの走査角の範囲が、その戻り光集光レンズ20aによって減少しない利点がある。
また、本実施例の光学式距離測定装置10によれば、レーザ光出力素子12から出力されたレーザ光Lを走査ミラー14へ入射させる第1光学系16と、前記戻り光集光レンズ20aを有し、レーザ光Lを走査ミラー14から戻り光集光レンズ20aを通して対象物18へ導くとともに、その対象物18からの戻り光Rを戻り光集光レンズ20aを通して走査ミラー14へ導く第2光学系20と、走査ミラー14から出射された戻り光Rを戻り光検出器22へ導く第3光学系24とを、含む。このため、レーザ光出力素子12から出力されたレーザ光Lは、第1光学系16を通して走査ミラー14へ入射させられた後、その走査ミラー14から第2光学系20の戻り光集光レンズ20aを通して対象物18へ導かれるとともに、対象物18上のレーザ光照射点Sから戻された戻り光Rは、レーザ光Lの光路と逆方向の光路でその第2光学系20の戻り光集光レンズ20aを通して走査ミラー14に集光された後、その走査ミラー14から第3光学系24を通して戻り光検出器22へ導かれるので、戻り光集光レンズ20aを有する第2光学系20および走査ミラー14が往路と復路とで共用される利点がある。
また、本実施例の光学式距離測定装置10によれば、前記走査ミラー14による前記レーザ光Lの走査面内においてその走査面の円弧に沿って彎曲し、前記走査ミラー14からのレーザ光Lに対して前記走査面内の屈折力は零であるシリンドリカルレンズである。このようにすれば、シリンドリカルレンズが走査面の同心円弧に沿って円弧状に彎曲しているので、走査ミラーと対象物との間の光路で走査角度位置に拘わらず同様の位置に位置することができ、走査面に直角な面内の焦点距離が同じでよく、シリンドリカルレンズの加工が容易で安価となる。また、前記走査ミラー14からのレーザ光Lに対して、シリンドリカルレンズの走査面内の屈折力は零であるので、走査ミラー14から戻り光集光レンズ20aを通して対象物へ向かうレーザ光Lの走査範囲が、その戻り光集光レンズ20aによって減少しない利点がある。
また、本実施例の光学式距離測定装置10によれば、戻り光集光レンズ20aは、レーザ光Lの光路を通り且つ走査面に垂直な面内の焦点距離fだけ走査ミラー14から前記対象物側に配置されているので、対象物18の表面のレーザ光照射点Sからの戻り光Rが走査ミラー14に好適に集光される利点がある。
また、本実施例の光学式距離測定装置10によれば、走査ミラー14は、一直線沿って形成された一対の捩れ梁部14bを介して共振板14aの一部に支持された微小共振ミラーである。このように、反射面積が微小な微小共振ミラーであっても、対象物18の表面のレーザ光照射点Sからの戻り光Rが走査ミラー14に好適に集光されるので、大幅に小型とされ或いは携帯型の光学式距離測定装置10が得られる。
図7は、本発明の他の実施例における光学式距離測定装置70の要部構成を説明する概略図であって、(a)は平面を、(b)はその下側面を、(c)はその右側面をそれぞれ示している。本実施例の光学式距離測定装置70では、第1光学系16および第3光学系24において、レーザ光出力素子12から走査ミラー14に至るレーザ光Lの光軸は戻り光Rとの光軸から側方へオフセットされ、ハーフミラー24bが除去されている点で、図1の光学式距離測定装置10と相違しているが、他は同様に構成されている。
すなわち、図7の(a)および(b)に示すように、第3光学系24では、ハーフミラー24bが含まれておらず、戻り光検出器22、集光レンズ24c、およびシリンドリカルレンズ24aは同じ光軸上に設けられており、第1光学系16のレーザ光出力素子12およびレンズ32は、シリンドリカルレンズ24aの端を通る光軸上に設けられている。これにより、レーザ光出力素子12から出力されたレーザ光Lはレンズ32およびシリンドリカルレンズ24aの端部を経て走査ミラー14に到達させられる。また、走査ミラー14に集光された戻り光Rは、シリンドリカルレンズ24aにより平行光又は略平行光化され、集光レンズ24cにより戻り光検出器22に集光される。
本実施例の光学式距離測定装置70によれば、戻り光集光レンズ20aを有しているので、前述の光学式距離測定装置10と同様な効果が得られるのに加えて、レーザ光出力素子12から走査ミラー14までレーザ光Lを導く第1光学系16の光軸と、走査ミラー14から戻り光検出器22まで戻り光Rを導く第3光学系24の光軸とは、相互に異なるものであることから、レーザ光出力素子12から出力されるレーザ光Lと戻り光Rとを分離するためのハーフミラー24bや透過穴付ミラーを用いる必要がないので、光の伝播効率が高められ、光学式距離測定装置の性能が高められる。
図8は、本発明の他の実施例における光学式距離測定装置80の要部構成を説明する概略図であって、(a)は平面を、(b)はその下側面を、(c)はその右側面をそれぞれ示している。本実施例の光学式距離測定装置80では、第1光学系16および第3光学系24において、レーザ光出力素子12から走査ミラー14に至るレーザ光Lの光軸は戻り光Rとの光軸から側方へオフセットされるとともに、第1光学系16においてそのレーザ光Lを反射して走査ミラー14へ入射させる第1方向変換ミラー82と、第2光学系20において走査ミラー14から出射したレーザ光Lを反射して戻り光集光レンズ20aを通過させないで対象物18へ導く第2方向変換ミラー84とが設けられ、ハーフミラー24bが除去されている点で図1の光学式距離測定装置10と相違しているが、他は同様に構成されている。
すなわち、図8の(a)および(b)に示すように、第3光学系24では、ハーフミラー24bが含まれておらず、戻り光検出器22、集光レンズ24c、およびシリンドリカルレンズ24aは同じ光軸上に設けられており、第1光学系16のレーザ光出力素子12、レンズ32および第1方向変換ミラー82は、集光レンズ24cおよびシリンドリカルレンズ24aの外を通る光軸上に設けられている。これにより、レーザ光出力素子12から出力されたレーザ光Lはレンズ32および第1方向変換ミラー82を経て走査ミラー14に到達させられ、さらに走査ミラー14から第2方向変換ミラー84を経て対象物18に照射される。また、走査ミラー14に集光された戻り光Rは、シリンドリカルレンズ24aにより平行光又は略平行光化され、集光レンズ24cにより戻り光検出器22に集光される。
本実施例の光学式距離測定装置80によれば、戻り光集光レンズ20aを有しているので、前述の光学式距離測定装置10と同様な効果が得られるのに加えて、レーザ光出力素子12から走査ミラー14までレーザ光Lを導く第1光学系16の光軸と、走査ミラー14から戻り光検出器22まで戻り光Rを導く第3光学系24の光軸とは、相互に異なるものであることから、レーザ光出力素子12から出力されるレーザ光Lと戻り光Rとを分離するためのハーフミラー24bや透過穴付ミラーを用いる必要がないので、光の伝播効率が高められ、光学式距離測定装置の性能が高められる。
以上、本発明の一実施例を図面に基づいて説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。
たとえば、前述の実施例の光学式距離測定装置10、70、80では、走査面内において零の屈折力すなわち無限大の焦点距離を有する戻り光集光レンズ20aが用いられていたが、必ずしも走査面内の屈折力が零でなくてもよい。要するに、走査面内においてある程度の焦点距離を有していても、走査面に垂直な面内の屈折力が前記走査面内の屈折力よりも大きい光学特性を有していれば、戻り光Rの光量と走査範囲が得られるという点で一応の効果が得られる。
特に、前述の実施例の光学式距離測定装置80では、走査ミラー14により走査されるレーザ光Lは戻り光集光レンズ20aを通過せず、その戻り光集光レンズ20aの走査面内の屈折力によりレーザ光Lの走査角が制限されない。このため、好適には、戻り光集光レンズ20aは、走査面に垂直な面内において戻り光Rを走査ミラー14上に集光させる焦点距離を有するだけでなく、走査面内においても戻り光Rを走査ミラー14上にある程度集光させることに寄与できる焦点距離を有するものであってもよい。
また、前述の実施例の走査ミラー14は、図2に示されるようにMEMS技術により構成された、微小のミラー部14cが一対の梁部14bを介して回転の中心軸Cまわりに回転振動可能に基板14aに支持された共振型ミラーであったが、張力が付与されたワイヤの中間部に固定されてそのワイヤのねじれによりワイヤまわりの回転振動可能とされたコイルにミラーが固定され、外部の交流磁界により所定周波数で励振されるガルバノメータ形式の非共振ミラーなど、他の形式の共振周波数を有する走査ミラーであればよい。走査ミラー14が、非共振型ミラーである場合は、ミラー駆動制御部38により、走査振幅を最大とするための走査ミラー14の励振周波数の調節は不要となる。
また、前述の実施例の走査ミラー14は、1軸心まわりに連続的に回転駆動されるポリゴンミラーから構成されたものであってもよい。
また、図1に示されている光学式距離測定装置10において用いられている第1光学系16、第2光学系20、第3光学系24は、一例であり、他の光学素子が用いられたり、追加されたりしてもよい。たとえば、第3光学系24に用いられているハーフミラー24bは、レーザ光Lを貫通させる貫通孔が設けられていてもよいし、レーザ光Lは、戻り光Rと異なる光軸で走査ミラー14に入射させられていてもよい。
その他一々例示はしないが、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実施することができる。
10、70、80:光学式距離測定装置
12:レーザ光出力素子
14:走査ミラー
18:対象物
20:第2光学系(戻り光集光光学系)
20a:戻り光集光レンズ(光学素子)
22:戻り光検出器(受光素子)
24:第3光学系
26:ビーム検出器(光検出器)
30:電子制御装置(制御部)
L:レーザ光(光ビーム)

Claims (7)

  1. レーザ光出力素子から出力され、対象物に向かって走査されるレーザ光により照射される前記対象物の照射点からの戻り光を受光素子に入射させるように前記レーザ光の走査に同期して前記レーザ光の走査面に対して走査する走査ミラーと、前記戻り光を前記走査ミラーへ集光する戻り光集光光学系とを備え、前記戻り光に基づいて前記対象物までの距離測定を行なう光学式距離測定装置であって、
    前記戻り光集光光学系は、前記対象物と前記走査ミラーとの間に配設され、且つ、前記走査面に垂直であり、前記レーザ光の走査の中心軸を通る面内の屈折力が、前記走査面の屈折力よりも大きい光学特性を有する光学素子を、含むことを特徴とする光学式距離測定装置。
  2. 前記光学素子は、前記走査面内の屈折力が零である請求項1の光学式距離測定装置。
  3. 前記レーザ光を前記走査ミラーへ入射させる第1光学系と、
    前記レーザ光を前記走査ミラーから前記対象物へ導き、前記対象物からの戻り光を該走査ミラーへ導く前記光学素子を有する第2光学系と、
    前記走査ミラーから出射された戻り光を前記受光素子へ導く第3光学系と
    を、含むことを特徴とする請求項1または2の光学式距離測定装置。
  4. 前記光学素子は、トロイダルレンズであり、
    前記トロイダルレンズは、前記レーザ光の前記走査方向において彎曲し、且つ、前記走査方向の屈折力が零である請求項1乃至3のいずれか1の光学式距離測定装置。
  5. 前記レーザ光源素子から前記走査ミラーまで前記レーザ光を導く前記第1光学系の光軸と、該走査ミラーから前記受光素子まで前記戻り光を導く第3光学系の光軸とは、相互に異なるものである請求項3の光学式距離測定装置。
  6. 前記光学素子は、前記走査面に垂直な面内の焦点距離だけ前記走査ミラーから前記対象物側に配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1の光学式距離測定装置。
  7. 前記走査ミラーは、一対の捩れ梁部を介して共振板の一部に支持された微小共振ミラーである請求項1乃至6のいずれか1の光学式距離測定装置。
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