JP2013206493A - 半導体記憶装置およびその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】センスアンプのサイズが小さく、かつ、データ読出し動作において中間電圧の必要のない不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、不揮発性の複数のメモリ素子を備える。ビット線対はメモリ素子に電流を流す。センストランジスタは、メモリ素子の第1の端に接続されたゲートを含む。電圧センス線は、センストランジスタの第1の端の電圧を伝達する。センスアンプは電圧センス線から伝達されたセンストランジスタの第1の端の電圧を検知する。
【選択図】図3
【解決手段】半導体記憶装置は、不揮発性の複数のメモリ素子を備える。ビット線対はメモリ素子に電流を流す。センストランジスタは、メモリ素子の第1の端に接続されたゲートを含む。電圧センス線は、センストランジスタの第1の端の電圧を伝達する。センスアンプは電圧センス線から伝達されたセンストランジスタの第1の端の電圧を検知する。
【選択図】図3
Description
本発明による実施形態は、半導体記憶装置およびその駆動方法に関する。
従来、MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)等に用いられるセンスアンプは、メモリセルに流れる電流(セル電流)を検知することによってデータを検出している。従って、SRAM等の電圧検知型のセンスアンプに比較して、MRAM等の電流検知型のセンスアンプはサイズが大きい。
また、MRAM等では、リードディスプレイスターブを抑制するために、データ読出し時のビット線電圧は、高レベル電圧(VDD)と低レベル電圧(VSS)との間の中間電圧にする必要があった。
Noboru Sakimura et al., "MRAM Cell Technology for Over 500-MHz SoC"IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, VOL. 42, NO. 4, APRIL 2007
Toshikazu Suzuki et al., "A Stable SRAM Cell Design Against Simultaneously R/W Disturbed Accesses" 2006 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers
センスアンプのサイズが小さく、かつ、データ読出し動作において中間電圧の必要のない不揮発性半導体記憶装置を提供する。
本実施形態による半導体記憶装置は、不揮発性の複数のメモリ素子を備える。ビット線対はメモリ素子に電流を流す。センストランジスタは、メモリ素子の第1の端に接続されたゲートを含む。電圧センス線は、センストランジスタの第1の端の電圧を伝達する。センスアンプは電圧センス線から伝達されたセンストランジスタの第1の端の電圧を検知する。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に従った磁気ランダムアクセスメモリ(以下、MRAM)のメモリチップを示すブロック図である。尚、本実施形態は、これに限定されることなく、MRAM以外の抵抗変化型素子を用いたメモリ(例えば、PCRAM、RRAM等)にも適用可能である。
図1は、第1の実施形態に従った磁気ランダムアクセスメモリ(以下、MRAM)のメモリチップを示すブロック図である。尚、本実施形態は、これに限定されることなく、MRAM以外の抵抗変化型素子を用いたメモリ(例えば、PCRAM、RRAM等)にも適用可能である。
本実施形態によるMRAMは、メモリセルアレイMCAと、センスアンプSAと、メインデータコントローラMDCと、DQバッファDQBと、カラムコントローラCCと、ロウコントローラRCと、クロックバッファCLKBと、コマンドコントローラCMDCと、アドレスコントローラADDCと、アレイコントローラACとを備えている。
メモリセルアレイMCAは、例えばマトリクス状に二次元配置された複数のメモリセルMCを備えている。各メモリセルMCはビット線対(例えばBL1とBL2)とワード線WLとの交点に対応して配置されている。すなわち、メモリセルMCの一端は、ビット線対の一方BL1に接続され、他端はビット線対の他方BL2に接続される。ビット線対BL1、BL2は、カラム方向に延伸している。ワード線WLは、カラム方向に対して直交するロウ方向に延伸している。
センスアンプSAは、メモリセルMCのデータを検出する機能を有する。本実施形態では、センスアンプSAは、電圧検出型のセンスアンプである。ライトドライバWDは、例えば、ビット線BL1、BL2を介してメモリセルMCに接続されており、データを書き込むためにメモリセルMCに電圧差を印加する機能を有する。
メインデータコントローラMDCは、DQバッファDQBから受け取ったデータを、カラムコントローラCCの制御を受けて、所望のカラムに書き込むようにライトドライバWDへ転送し、あるいは、カラムコントローラCCの制御を受けて、所望のカラムから読み出したデータをDQバッファDQBへ転送する。
データバッファとしてのDQバッファDQBは、センスアンプSAで検出された読出しデータを一時的に保持し、その読出しデータをメモリチップ1の外部へ出力する。あるいは、DQバッファDQBは、DQパッドDQを介して受け取った書込みデータを一時的に保持し、その書込みデータをライトドライバWDへ転送する。
カラムコントローラCCは、カラムアドレスに従って所望のカラムのビット線BLを選択的に駆動するようにセンスアンプSAまたはライトドライバWDを動作させる。
ロウコントローラRCは、ロウアドレスに従って所望のワード線WLを選択的に駆動させるようにワード線ドライバWLDを動作させる。
クロックバッファCLKBは、メモリチップ1全体の動作のタイミングを決定するクロック信号を入力する。
コマンドコントローラCMDCは、読出し動作、書込み動作等の各種動作を示すコマンドを受け取り、それらのコマンドに従ってカラムコントローラCCおよびロウコントローラRCを制御する。
アドレスコントローラADDCは、ロウアドレスおよびカラムアドレス等を受け取り、これらのアドレスをデコードし、カラムコントローラCCおよびロウコントローラRCにこれらのアドレスを送る。
アレイコントローラACは、メモリセルアレイMCAの全体的な制御を行う。
図2は、単一のメモリセルMCの構成を示す説明図である。各メモリセルMCは、それぞれ磁気トンネル接合素子(MTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子)と、セルトランジスタCTとを含む。MTJ素子およびセルトランジスタCTは、ビット線BL1とビット線BL2との間に直列に接続されている。メモリセルMCにおいて、セルトランジスタCTがビット線BL1側に配置され、MTJ素子がビット線BL2側に配置されている。セルトランジスタCTのゲートは、ワード線WLに接続されている。セルトランジスタCTは、それに接続するMTJ素子が選択されたときにワード線WLの駆動によって導通状態になる。
TMR(tunneling magnetoresistive)効果を利用したMTJ素子は、2枚の強磁性層とこれらに挟まれた非磁性層(絶縁薄膜)とからなる積層構造を有し、スピン偏極トンネル効果による磁気抵抗の変化によりデジタルデータを記憶する。MTJ素子は、2枚の強磁性層の磁化配列によって、低抵抗状態と高抵抗状態とを取り得る。例えば、低抵抗状態をデータ“0”と定義し、高抵抗状態をデータ“1”と定義すれば、MTJ素子に1ビットデータを記録することができる。もちろん、低抵抗状態をデータ“1”と定義し、高抵抗状態をデータ“0”と定義してもよい。例えば、MTJ素子は、図2に示すように、固定層P、トンネルバリア層B、記録層Frを順次積層して形成される。固定層Pおよび記録層Frは、強磁性体で形成されており、トンネルバリア層Bは、絶縁膜からなる。固定層Pは、磁化の向きが固定されている層であり、記録層Frは、磁化の向きが可変であり、その磁化の向きによってデータを記憶する。
書込み時に矢印A1の向きに反転閾値電流以上の電流を流すと、固定層Pの磁化の向きに対して記録層Frのそれがアンチパラレル状態となり、高抵抗状態(データ“1”)となる。書込み時に矢印A2の向きに反転閾値電流以上の電流を流すと、固定層Pと記録層Frとのそれぞれの磁化の向きがパラレル状態となり、低抵抗状態(データ“0”)となる。このように、TMJ素子は、電流の方向によって異なるデータを書き込むことができる。
MRAMのデータ読出し動作では、センスアンプSAは、メモリセルMCに電流(セル電流)を供給することによってメモリセルMCの抵抗値の違いを検知する。このとき、セル電流は、書込み時の反転閾値電流未満の電流であり、従って、読出し電流は、必然的に非常に小さい値となる。
例えば、センスアンプSAには、定電流型センスアンプおよび定電圧クランプ型センスアンプ等がある。定電流型センスアンプを用いた場合、データ“0”とデータ“1”との電圧差(信号差)は数10mVである。定電圧クランプ型センスアンプを用いた場合、データ“0”とデータ“1”との電流比(信号比)は数μAである。
このような小さいセル電流はノイズに弱い。従って、電流検知型のセンスアンプを採用した場合、セル電流を検知するために、センスアンプSAは、サイズの大きなトランジスタを必要とする。
図3は、第1の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。MTJ素子、セルトランジスタCT、ワード線WL、ビット線対BL1、BL2については、図2を参照して説明した通りである。本実施形態によるMRAMは、電圧センス線としてのリードビット線RBLと、センストランジスタ10と、短絡回路SCとをさらに備えている。
リードビット線RBLは、各ビット線対BL1、BL2ごとに対応して設けられている。尚、隣接する複数のメモリセルMCがリードビット線RBLを共有する場合もある。この場合には、リードビット線RBLは、複数のビット線対BL1、BL2に対応して設けられる。
リードビット線RBLは、センストランジスタ10のドレイン(またはソース)とセンスアンプSAとの間を接続している。これにより、リードビット線RBLは、センストランジスタ10のドレイン(またはソース)の電圧をセンスアンプSAへ伝達することができる。
センストランジスタ10のゲートは、MTJ素子とセルトランジスタCTとの間のノードN1(MTJ素子の第1の端)に接続されている。また、センストランジスタ10は、ビット線BL2(MTJ素子の第2の端)とリードビット線RBLとの間に接続されている。即ち、センストランジスタ10のソース(またはドレイン)は、MTJ素子の第2の端とビット線BL2との間のノードN2に接続されている。センストランジスタ10は、ノードN1の電圧を検知し、ノードN1の電圧に応じた電圧をリードビット線RBLに伝達する。センストランジスタ10は、N型FET(Field Effect Transistor)を用いて形成されている。しかし、ビット線対BL1、BL2に印加される電圧の正負を逆にすれば、センストランジスタ10としてP型FETを用いてもよい。
センスアンプSAは、リードビット線RBLを介して伝達されたセンストランジスタ10のドレイン(またはソース)の電圧を検知する。即ち、センスアンプSAは、電圧検知型のセンスアンプである。電圧検知型のセンスアンプは、SRAM等のメモリにおいて広く知られているので、その構成の詳細な説明は省略する。
例えば、データ読出し動作において、図3のメモリセルMCが選択されたものとする。このとき、ビット線BL1(ノードN0)の電圧をV0とし、ノードN1の電圧をV1とし、ノードN2の電圧をN2とする。このとき、V1は、式1に示すように、(V0−V2)をセルトランジスタCTの抵抗値RctおよびMTJ素子の抵抗値Rmtjによって抵抗分割した値となる。
V1=(V0−V2)*(Rmtj/(Rct+Rmtj)) (式1)
Rmtjは、MTJ素子に格納されているデータの論理によって異なる。Rmtjが比較的高い場合、V1は、V1_Hとなる。Rmtjが比較的低い場合、V1は、V1_Lとなる。センストランジスタ10の閾値電圧Vthは、V1_HとV1_Lとのほぼ中間電圧(例えば、Vth=(V1_H+V1_L)/2)であることが好ましい。即ち、センストランジスタ10の閾値電圧Vthは、データ読出し動作において、データ“0”を記憶しているMTJ素子のノードN1の電圧V1_Lとデータ“1”を記憶しているMTJ素子のノードN1の電圧V1_Hとの間の中間電圧であることが好ましい。これにより、MTJ素子に格納されているデータの論理によって、大きな電圧差がリードビット線RBLにおいて得られる。
Rmtjは、MTJ素子に格納されているデータの論理によって異なる。Rmtjが比較的高い場合、V1は、V1_Hとなる。Rmtjが比較的低い場合、V1は、V1_Lとなる。センストランジスタ10の閾値電圧Vthは、V1_HとV1_Lとのほぼ中間電圧(例えば、Vth=(V1_H+V1_L)/2)であることが好ましい。即ち、センストランジスタ10の閾値電圧Vthは、データ読出し動作において、データ“0”を記憶しているMTJ素子のノードN1の電圧V1_Lとデータ“1”を記憶しているMTJ素子のノードN1の電圧V1_Hとの間の中間電圧であることが好ましい。これにより、MTJ素子に格納されているデータの論理によって、大きな電圧差がリードビット線RBLにおいて得られる。
短絡回路SCは、ビット線BL2とリードビット線RBLとの間に接続されている。短絡回路SCは、データ書込み時において導通状態となり、リードビット線RBLをビット線BL2と等電圧にする。これにより、データ書込み動作中においては、リードビット線RBLとビット線BL2との間に電圧差が無いので、センストランジスタ10に貫通電流は流れない。その結果、MTJ素子へデータを書き込むときに、センストランジスタ10およびセンスアンプSAは、メモリセルMCへ悪影響を与えない。短絡回路SCは、ビット線対ごとに(カラムごとに)設ければよい。また、短絡回路SCは、トランジスタを用いて形成すればよい。
このように、本実施形態によるMRAMは、各メモリセルMCにセンストランジスタ10を追加し、かつ、各ビット線対BL1、BL2に対してリードビット線RBLおよび短絡回路SCを追加することによって、センスアンプSAとして電圧検知型センスアンプを採用することができる。
図4は、第1の実施形態に従ったMRAMの動作を示すタイミング図である。図4は、t1〜t2においてデータ書込み動作を示し、t3〜t4においてデータ読出し動作を示している。
まず、t1において、選択ワード線WLが論理ハイに活性化される。また、短絡回路SCが導通状態になり、リードビット線RBLをビット線BL2に短絡させる。これにより、データ書込み時に、リードビット線RBLは、ビット線BL2と同電圧に維持されている。
次に、t11において、書込みデータが選択されたビット線対BL1、BL2に伝達される。例えば、図2のA1の方向に電流を流す場合には、ビット線BL1が低レベル電圧になり、ビット線BL2が高レベル電圧に設定される。一方、A2の方向に電流を流す場合には、ビット線BL1が高レベル電圧になり、ビット線BL2が低レベル電圧に設定される。
選択ビット線対BL1、BL2の電圧により、選択ロウのノードN1の電圧は、式1に示すようにセルトランジスタCTおよびMTJ素子によって抵抗分割された電圧V1となる。データ書込み時においても、電圧V1は、選択ビット線対BL1、BL2の電圧により決定される。非選択ロウではセルトランジスタCTが非導通状態であるので、非選択ロウのノードN1の電圧は、ビット線BL2の電圧と等電圧となる。
尚、非選択カラムのビット線対BL1、BL2は、ともに低レベル電圧に維持されているので、非選択カラムのノードN1の電圧は、低レベル電圧である。
その後、t2において、選択ワード線WLが論理ロウに不活性化されることによって、書込み動作が終了する。書込み動作において、センストランジスタ10、センスアンプSAは動作しない。
データ読出し動作では、まず、t3において、選択ワード線WLが論理ハイに活性化される。このとき、選択されたビット線BL1とビット線BL2との間に電圧差が与えられており、選択メモリセルMCのMTJ素子にその電圧差が印加される。例えば、図4では、ビット線BL1に高レベル電圧を印加し、ビット線BL2に低レベル電圧を印加している。これにより、MTJ素子に記憶されたデータの論理に応じて、ノードN1の電圧がV1_LまたはV1_Hとなる。尚、非選択のビット線対BL1、BL2は、低レベル電圧に維持される。
MTJ素子に記憶されたデータが、例えば、“1”であり、MTJ素子が低抵抗状態である場合、ノードN1の電圧がV1_Lとなる。これにより、センストランジスタ10は、非導通状態を維持し、あるいは、高抵抗状態を維持する。その結果、高レベル電圧にプリチャージされたリードビット線RBLは、高レベル電圧を維持する。
MTJ素子に記憶されたデータが、例えば、“0”であり、MTJ素子が高抵抗状態である場合、ノードN1の電圧がV1_Hとなる。これにより、センストランジスタ10は、導通状態になり、あるいは、低抵抗状態になる。その結果、高レベル電圧にプリチャージされたリードビット線RBLは、低レベル電圧になる。
センスアンプSAは、リードビット線RBLの電圧レベルを検知することによって選択メモリセルMCに格納されていたデータを読むことができる。
t4において、選択ワード線WLが論理ロウに不活性化されると、データ読出し動作は終了する。
ここで、データ読出し期間t3〜t4は、データ書込み期間t1〜t2に比べて短く設定されている。これにより、データの非破壊読出しが可能になる。即ち、図4に示すデータ読出し動作では、データ読出し動作において、データをメモリセルMCへ再度書き込む必要がない。
データ書込みにおいて、MTJ素子に電流を流す時間が短いほど、書込み不良率は増大する。これは、データ読出しにおいては、MTJ素子に電流を流す時間が短いほど、MTJ素子のデータを破壊する確率が減少することを意味する。従って、本実施形態のように、データ読出し期間を短くすることによって、データの非破壊読出しが可能になる。
本実施形態によれば、各メモリセルMCにセンストランジスタ10を追加し、各カラムにリードビット線RBLを追加することによって、センスアンプSAとして電圧検知型センスアンプを採用することができる。電圧検知型センスアンプは、ノイズに強く、小型化に有利である。例えば、1メガビットのメモリセルアレイ(マット)に対して電流検知型センスアンプは、8個程度しか配置できない。しかし、電圧検知型センスアンプは、256個以上の配置が可能となる。従って、本実施形態では、センストランジスタ10およびリードビット線RBLの配置が必要となるので、メモリセルアレイの面積が大きくなるが、センスアンプSAの面積が非常に小さくなる。あるいは、センスアンプSAの個数を非常に多くできる。即ち、本実施形態は、センスアンプSAを各カラムに対して設けることが可能になる。これは、高速読出し動作が可能となることを意味する。例えば、本実施形態によるMRAMは、SRAMと同程度の読出し速度(約1ns〜2ns)を得ることができる。
一般に、SRAMの各メモリセルは、6個のトランジスタで構成されている。さらに、SRAMの各メモリセルは、センストランジスタおよびスイッチングトランジスタを必要とする。スイッチングトランジスタは、非選択時にセンストランジスタとリードビット線との間を切断するトランジスタである。このように、SRAMの各メモリセルは、少なくとも8個のトランジスタを必要とする。
これに対し、本実施形態によるMRAMの各メモリセルは、MTJ素子、セルトランジスタおよびセンストランジスタのみで構成可能である。よって、SRAMと比較すると本実施形態によるMRAMのメモリセルMCは非常に小さい。
このように、本実施形態によるMRAMは、SRAMと同程度の読出し速度を有しながら、メモリセルMCの面積をSRAMのメモリセルの面積よりも小さくすることができる。
尚、本実施形態によるMRAMでは、SRAMおける上記スイッチングトランジスタは不要である。その理由は以下の通りである。非選択時において、MRAMのメモリセルMCのノードN1の電圧は、MTJ素子に記憶されているデータの論理に関わらず、ビット線BL2の電圧と等電圧(例えば、低レベル電圧)に固定される。従って、スイッチングトランジスタが無くても、非選択メモリセルのセンストランジスタ10は動作しない。
本実施形態では、高レベル電圧および低レベル電圧が用いられているが、それらの中間電圧は用いられていない。従って、中間電圧を生成する電源回路が不要である。
図5は、第1の実施形態のレイアウトの一例を示す図である。図5では、ビット線BL2がロウ方向に隣接する2つのメモリセルMCにおいて共有されている。ロウ方向に隣接する2つのメモリセルMC1、MC2は、それぞれL字型にレイアウトされている。1つのメモリセルMC1を、ビット線BL2を軸に回転させ、かつ、上下に反転させると、該メモリセルMC1に隣接するメモリセルMC2の配置になる。これにより、ロウ方向に隣接する2つのメモリセルMC1,MC2のレイアウトは、1つの長方形を形成する。この長方形がロウ方向およびカラム方向に連続して配列されることによって第1の実施形態によるMRAMのレイアウトが形成されている。
AAは、アクティブエリアである。ビット線BL1は、コンタクトCS1を介してセルトランジスタCTのドレインに接続されている。セルトランジスタCTのソースは、コンタクトCS2を介してMTJ素子の下端およびセンストランジスタ10のゲートG10に接続されている。Gctは、セルトランジスタCTのゲートである。MTJ素子の上端は、コンタクトCS3およびメタル配線M1(図示せず)を介してビット線BL2に接続されている。また、ビット線BL2は、コンタクトCS4を介してセンストランジスタ10のソースに接続されている。センストランジスタ10のドレインは、コンタクトCS5を介してリードビット線RBLに接続されている。
尚、図5では、ロウ方向に隣接する2つのメモリセルMCを表示している。この2つのメモリセルMCは、ビット線BL2を共有している。このため、コンタクトCS4およびCS5は、ビット線BL2に沿って交互に現われる。
このメモリセルMCのサイズは、30F2である。F(Feature Size)は、半導体製造工程における最小加工寸法を示す。
図6は、第1の実施形態のレイアウトの他の例を示す図である。図5のレイアウトでは、コンタクトCS4、CS5は、ビット線BL2に沿って直線状に配置されていたコンタクトCS4、CS5がビット線BL2およびリードビット線RBLの延伸方向へ千鳥配置されている。これにより、図6では、ビット線BL2およびリードビット線RBLの両方がロウ方向に隣接する2つのメモリセルMC1、MC2において共有されている。コンタクトCS4は、ロウ方向に隣接する2つのメモリセルMCによって共有されている。図6に示すその他のレイアウトは、図5に示すレイアウトと同様でよい。データ書込みまたはデータ読出し時にメモリセルMC1、MC2は、同時に選択されないので、図6のようなレイアウトでも問題はない。
(第1の実施形態の変形例1)
図7は、第1の実施形態の変形例1によるMRAMの動作を示すタイミング図である。本変形例によるMRAMの構成は、第1の実施形態によるMRAMの構成と同様でよい。
図7は、第1の実施形態の変形例1によるMRAMの動作を示すタイミング図である。本変形例によるMRAMの構成は、第1の実施形態によるMRAMの構成と同様でよい。
本変形例では、データ読出し時における選択ビット線対BL1、BL2の電圧差がデータ書込み時における選択ビット線対BL1、BL2の電圧差よりも小さい。例えば、データ書込み時における選択ビット線対BL1、BL2の電圧がVddまたはVssとすると、データ読出し時における選択ビット線対BL1、BL2の電圧は、それぞれVdd_LおよびVss_Hとなる。ここで、Vdd_Lは、Vddよりも低く、Vss_Hよりも高い電圧である。Vss_Hは、Vssよりも高く、Vdd_Lよりも低い電圧である。
このように、データ読出し時における選択ビット線対BL1、BL2の電圧差(Vdd_L−Vss_H)を小さくすることによって、メモリセルMCのデータを破壊することなく、データ読出し時間t3〜t4を長くすることができる。
尚、選択ビット線対BL1、BL2の電圧がそれぞれVdd_LおよびVss_Hとなることに伴い、ノードN1の電圧差(V1_H−V1_L)が第1の実施形態のそれより小さくなる。
本変形例の他の動作は、第1の実施形態の動作と同様である。従って、本変形例は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。尚、本変形例では、高レベル電圧Vddと低レベル電圧Vssとの間の電圧Vdd_L、Vss_Hを生成する電源回路が必要となる。
本変形例では、データ読出し時に、ビット線BL1およびBL2の両方の電圧を、高レベル電圧Vddおよび低レベル電圧Vssからシフトさせている。しかし、ビット線BL1およびBL2のいずれか一方の電圧のみをシフトさせてもよい。これにより、データ読出し時におけるノードN1の電圧V1を調節してもよい。つまり、電圧V1_Lと電圧V1_Hとの間の中間電圧がセンストランジスタ10の閾値電圧Vthとほぼ等しくなるように、データ読出し時におけるビット線BL1およびBL2の電圧をシフトさせてもよい。
(第1の実施形態の変形例2)
図8は、第1の実施形態の変形例2によるMRAMの動作を示すタイミング図である。本変形例によるMRAMの構成は、第1の実施形態によるMRAMの構成と同様でよい。
図8は、第1の実施形態の変形例2によるMRAMの動作を示すタイミング図である。本変形例によるMRAMの構成は、第1の実施形態によるMRAMの構成と同様でよい。
変形例2では、MRAMは、メモリセルMCのデータがデータ読出し時に破壊されることを想定してライトバックを実行する。この場合、t3〜t4の読出し動作のうちt13〜t14は、ライトバックの期間である。これにより、データ読出し時にメモリセルMCのデータが破壊されても、メモリセルMCにデータを書き戻すことによって、メモリセルMCのデータを元に戻すことができる。
本変形例の他の動作は、第1の実施形態の動作と同様である。従って、本変形例は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。尚、本変形例では、データ読出し期間t3〜t4は短くする必要が無い。
(第2の実施形態)
図9は、第2の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。第2の実施形態では、センストランジスタ10のソース(またはドレイン)が低レベル電圧Vss(接地電圧)に接続されており、短絡回路SCを有さない。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図9は、第2の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。第2の実施形態では、センストランジスタ10のソース(またはドレイン)が低レベル電圧Vss(接地電圧)に接続されており、短絡回路SCを有さない。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
第2の実施形態では、センストランジスタ10がリードビット線RBLと低レベル電圧Vssとの間に接続されている。このように、センストランジスタ10のソース(またはドレイン)が低レベル電圧Vss(接地電圧)に固定されていても、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様に動作することができる。よって、第2の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
ただし、第2の実施形態は、短絡回路SCを有さないので、データ書込み時において、リードビット線RBLは電位的にフローティング状態にする必要がある。
上記変形例1および変形例2は、第2の実施形態にも適用することができる。
(第3の実施形態)
図10は、第3の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。第3の実施形態では、センストランジスタ10のソース(またはドレイン)がビット線BL1に接続されている。また、短絡回路SCは、ビット線BL1とリードビット線RBLとの間に接続されている。第3の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図10は、第3の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。第3の実施形態では、センストランジスタ10のソース(またはドレイン)がビット線BL1に接続されている。また、短絡回路SCは、ビット線BL1とリードビット線RBLとの間に接続されている。第3の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図11は、第3の実施形態によるMRAMの動作を示すタイミング図である。第3の実施形態では、センストランジスタ10がビット線BL1とリードビット線RBLとの間に接続されている。このため、リードビット線RBLは、データ読出し前において、低レベル電圧Vssにプリチャージされている。そして、データ読出し時において、選択メモリセルMCのデータの論理に応じて、リードビット線RBLの電圧は、高レベル電圧Vddに遷移するか、あるいは、低レベル電圧Vssを維持する。
例えば、MTJ素子に記憶されたデータが、例えば、“1”であり、MTJ素子が低抵抗状態である場合、ノードN1の電圧がV1_Lとなる。これにより、センストランジスタ10は、非導通状態を維持し、あるいは、高抵抗状態を維持する。その結果、低レベル電圧にプリチャージされたリードビット線RBLは、低レベル電圧を維持する。
MTJ素子に記憶されたデータが、例えば、“0”であり、MTJ素子が高抵抗状態である場合、ノードN1の電圧がV1_Hとなる。これにより、センストランジスタ10は、導通状態になり、あるいは、低抵抗状態になる。その結果、低レベル電圧にプリチャージされたリードビット線RBLは、高レベル電圧になる。
このように、第3の実施形態では、リードビット線RBLの電圧の動作が第1の実施形態のそれと逆になる。第3の実施形態のその他の動作は、第1の実施形態の動作と同様である。
従って、第3の実施形態は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、上記変形例1および変形例2は、第3の実施形態にも適用することができる。
(第4の実施形態)
図12は、第4の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。第4の実施形態では、センストランジスタ10のドレイン(またはソース)が、スイッチングトランジスタ11を介してリードビット線RBLに接続されている。スイッチングトランジスタ11のゲートは、データ読出し時に駆動されるリードワード線RWLに接続されている。第4の実施形態のその他の構成は、第2の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図12は、第4の実施形態によるMRAMのメモリセルMCの構成を示す説明図である。第4の実施形態では、センストランジスタ10のドレイン(またはソース)が、スイッチングトランジスタ11を介してリードビット線RBLに接続されている。スイッチングトランジスタ11のゲートは、データ読出し時に駆動されるリードワード線RWLに接続されている。第4の実施形態のその他の構成は、第2の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図13は、第4の実施形態によるMRAMの動作を示すタイミング図である。第4の実施形態では、リードワード線RWLがデータ読出し期間t3〜t4において活性化されており、それ以外の期間において不活性状態である。これにより、スイッチングトランジスタ11は、データ読出し期間t3〜t4において導通状態となる。つまり、スイッチングトランジスタ11は、データ読出し時にセンストランジスタ10をリードビット線RBLに接続するが、それ以外の期間においてセンストランジスタ10をリードビット線RBLから切断する。これにより、リードビット線RBLは、データ読出し以外の期間において高レベル電圧にプリチャージすることができる。即ち、リードビット線RBLをフローティング状態にする必要はない。第4の実施形態のその他の動作は、第2の実施形態の動作と同様でよい。従って、第4の実施形態は、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。
第4の実施形態では、SRAMのようにスイッチングトランジスタ11が設けられている。しかし、8個のトランジスタを要するSRAMのメモリセルと比べると、第4の実施形態によるMRAMのメモリセルMCは、依然としてサイズが小さい。また、第4の実施形態によるMRAMは不揮発性メモリであることにおいてSRAMより優位である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
MC・・・メモリセル、MCA・・・メモリセルアレイ、SA・・・センスアンプ、WD・・・ライトドライバ、BL1、BL2・・・ビット線、WL・・・ワード線、MTJ・・・MTJ素子、CT・・・セルトランジスタ、10・・・センストランジスタ、RBL・・・リードビット線、短絡回路・・・SC、N0〜N2・・・ノード、RWL・・・リードワード線
Claims (10)
- 不揮発性の複数のメモリ素子と、
前記メモリ素子に電流を流すビット線対と、
前記メモリ素子の第1の端に接続されたゲートを含むセンストランジスタと、
前記センストランジスタの第1の端の電圧を伝達する電圧センス線と、
前記電圧センス線から伝達された前記センストランジスタの第1の端の電圧を検知するセンスアンプと、
前記電圧センス線と前記ビット線対のうち第1または第2のビット線との間に接続され、データ書込み時に導通状態となり、データ読出し時に非導通状態となる短絡回路とを備え、
前記センストランジスタの閾値電圧は、データ読出し動作において、第1の論理データを記憶している前記メモリ素子の第1の端の電圧と第2の論理データを記憶している前記メモリ素子の第1の端の電圧との間のほぼ中間電圧に設定されていることを特徴とする半導体記憶装置。 - 不揮発性の複数のメモリ素子と、
前記メモリ素子に電流を流すビット線対と、
前記メモリ素子の第1の端に接続されたゲートを含むセンストランジスタと、
前記センストランジスタの第1の端の電圧を伝達する電圧センス線と、
前記電圧センス線から伝達された前記センストランジスタの第1の端の電圧を検知するセンスアンプとを備えた半導体記憶装置。 - 前記センストランジスタの閾値電圧は、データ読出し動作において、第1の論理データを記憶している前記メモリ素子の第1の端の電圧と第2の論理データを記憶している前記メモリ素子の第1の端の電圧との間のほぼ中間電圧に設定されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
- 前記センストランジスタの第2の端は、前記メモリ素子の第2の端に接続されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体記憶装置。
- データ読出し時における前記ビット線対の電圧差が、データ書込み時における前記ビット線対の電圧差よりも小さいことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれかに記載の半導体記憶装置。
- 前記センストランジスタの第2の端は、接地電圧に保持されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体記憶装置。
- 前記センストランジスタの第2の端は、前記ビット線対のうち第1のビット線に接続されており、
前記メモリ素子の第2の端は、前記ビット線対のうち第2のビット線に接続されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体記憶装置。 - 前記電圧センス線と前記ビット線対のうち第1または第2のビット線との間に接続され、データ書込み時に導通状態となり、データ読出し時に非導通状態となる短絡回路をさらに備えたことを特徴とする請求項2から請求項5、請求項7のいずれかに記載の半導体記憶装置。
- 前記センストランジスタの第1の端と前記電圧センス線との間に接続されているスイッチングトランジスタと、
前記スイッチングトランジスタのゲートに接続され、データ読出し時に駆動されるリードワード線とをさらに備えたことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体記憶装置。 - 不揮発性の複数のメモリ素子と、前記メモリ素子に電流を流すビット線対と、前記メモリ素子の第1の端に接続されたゲートを含むセンストランジスタと、前記センストランジスタの第1の端の電圧を伝達する電圧センス線と、前記電圧センス線から伝達された前記センストランジスタの第1の端の電圧を検知するセンスアンプとを備えた半導体記憶装置の駆動方法であって、
データ読出し動作において、前記ビット線対から前記メモリ素子に電流を流し、
前記メモリ素子に記憶されたデータの論理に応じて導通状態または非導通状態になった前記センストランジスタの第1の端の電圧を前記電圧センス線に伝達し、
前記電圧センス線に伝達された前記センストランジスタの一端の電圧を前記センスアンプにおいて検知することを具備する半導体記憶装置の駆動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012072291A JP2013206493A (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 半導体記憶装置およびその駆動方法 |
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US9230629B2 (en) | 2013-09-06 | 2016-01-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device |
-
2012
- 2012-03-27 JP JP2012072291A patent/JP2013206493A/ja active Pending
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