JP2013186108A - 物理量センサーモジュール及び電子機器 - Google Patents
物理量センサーモジュール及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013186108A JP2013186108A JP2012054188A JP2012054188A JP2013186108A JP 2013186108 A JP2013186108 A JP 2013186108A JP 2012054188 A JP2012054188 A JP 2012054188A JP 2012054188 A JP2012054188 A JP 2012054188A JP 2013186108 A JP2013186108 A JP 2013186108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- physical quantity
- quantity sensor
- substrate
- sensor module
- main surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】物理量センサーモジュール1は、第1接続端子101bを有する第1基板101と、樹脂スペーサー102を介して第1基板101に取り付けられた金属ブロック103と、サイドスルーホール104aが設けられた第2基板104と、第2基板104に取り付けられ、配線パターン104bを介してサイドスルーホール104aと電気的に接続されている物理量センサー2と、第1基板101に取り付けられ、少なくとも樹脂スペーサー102、金属ブロック103、第2基板104、物理量センサー2を覆うケース105と、を備え、第2基板104は、第1基板101に立設されると共に、サイドスルーホール104aを介して第1接続端子101bと電気的に接続され、物理量センサー2は、導電性接着剤108を介して金属ブロック103に接合されている。
【選択図】図1
Description
このままの形態で実装されるとすれば、センサーブロックは、周辺温度の変化がダイレクトに伝わることから、周辺温度の変化に伴って、センサーチップを支持するベースブロックや、センサーチップなどの温度が大きく変化する虞がある。
この結果、センサーブロックは、センサーチップを支持するガラス製のベースブロック、センサーチップを構成する半導体基板及びガラス基板の線膨張係数の違いに起因して発生する熱応力により、センサーチップに歪みが生じることから、物理量の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)が劣化する虞がある。
そして、物理量センサーモジュールは、第2基板が第1基板に立設されると共に、第2接続端子を介して第1基板の第1接続端子と電気的に接続され、物理量センサーが導電性接合部材を介して金属ブロックに接合されている。
この結果、物理量センサーモジュールは、従来技術(例えば、特許文献1)と比較して、物理量の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)を向上させることができる。
この結果、物理量センサーモジュールは、第1基板と物理量センサーとの電気的接続の作業性が良好となり、生産性を向上させることができる。
この結果、物理量センサーモジュールは、周辺温度の変化に伴う物理量センサーの温度変化を更に抑制できることから、従来技術(例えば、特許文献1)と比較して、物理量の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)を更に向上させることができる。
これにより、本構成の物理量センサーモジュールは、1個で検出方向が異なる複数の検出軸を備えた物理量センサーモジュールを提供することができる。
この結果、物理量センサーモジュールは、物理量の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)を、上記従来技術よりも向上させることができる。
これにより、物理量センサーモジュールは、例えば、加わる物理量による可動部の変位に応じて振動梁が伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による振動梁の振動周波数の変化を物理量に変換するという構成が可能となる。
物理量センサーの温度変化が抑制されることにより、本構成の物理量検出素子は、物理量の検出感度、検出精度などの検出特性において優れた性能を発揮することができる。
<物理量センサーモジュール>
最初に、物理量センサーモジュールについて説明する。
図1は、本実施形態の物理量センサーモジュールの概略構成を示す模式斜視図である。図2は、図1の矢印A方向または矢印B方向から見た模式要部側面図である。なお、図1では、一部の部品を展開してある。また、以下の各図において、分かり易くするために各構成要素の寸法比率は、実際と異なる。
また、第1基板101には、外部部材との電気的接続用の外部接続端子101dが、両端部に複数設けられている。なお、外部接続端子101dと第1接続端子101bとは、図示しない配線パターンにより電気的に接続されている。
これにより、物理量センサーモジュール1は、外部部材からの接触による第1基板101全体への熱伝導が他の材料よりも遅延(抑制)されることになる。
なお、第1接続端子101b及び外部接続端子101dは、例えば、銅箔にニッケル、金などの各被膜がメッキなどにより積層された金属膜からなる。
樹脂スペーサー102には、例えば、4フッ化エチレン(ポリテトラフルオロエチレン)などのフッ素樹脂(熱伝導率:約0.25W/(m・K))、PBT(ポリブチレンテレフタレート)(熱伝導率:約0.27W/(m・K))、LCP(液晶ポリマー)(熱伝導率:約0.5W/(m・K))、ポリイミド(熱伝導率:約0.29W/(m・K))などの比較的熱伝導率が低く、耐熱性、電気特性、寸法安定性などに優れた樹脂が用いられている。
樹脂スペーサー102は、例えば、エポキシ樹脂系、シリコーン樹脂(熱伝導率:約0.15W/(m・K))系、ポリイミド樹脂系などの比較的熱伝導率が低い接着剤を用いて、第1基板101の主面101aの略中央部に接着固定されている。
金属ブロック103は、樹脂スペーサー102の上に、上述したエポキシ樹脂系、シリコーン樹脂系、ポリイミド樹脂系などの比較的熱伝導率が低い接着剤を用いて接着固定されている。
第2基板104には、第1基板101と同様に、例えば、FR−4などの比較的熱伝導率が低いガラス繊維及びエポキシ樹脂などを主材料とした耐熱性、耐湿性、電気特性などに優れた基板が用いられている。
第2基板104には、サイドスルーホール104aと後述する物理量センサー2とを電気的に接続する配線パターン104bが設けられている。配線パターン104bは、複数の折り返し部104cを備えている。サイドスルーホール104a及び配線パターン104bは、例えば、銅箔にニッケル、金などの各被膜がメッキなどにより積層された金属膜からなる。なお、配線パターン104bは、電気的接続に支障がない程度に、極力細く形成されていることが、配線パターン104bによる熱伝導を抑制する上で好ましい。
また、図2に示すように、第2基板104の主面104d側には、物理量センサー2を駆動する駆動回路としての発信回路を内蔵するICチップ106が、物理量センサー2の一方側の近傍に設けられている(取り付けられている)。
なお、第2基板104の主面104d側には、物理量センサー2の周辺温度を検出する、例えば、サーミスターなどの温度検出素子107が、物理量センサー2の他方側の近傍に設けられている(取り付けられている)ことが好ましい。この場合、ICチップ106は、温度検出素子107の検出した周辺温度に基づき物理量センサー2の温度特性を補正する温度補償回路を備えていることが好ましい。
ここでは、この形態でも、物理量センサー2は、配線パターン104bを介してサイドスルーホール104aと電気的に接続されていると定義する。
なお、ICチップ106が第2基板104に設けられていない場合には、物理量センサー2は、配線パターン104bを介して直接サイドスルーホール104aと電気的に接続されていることとなる。
第2基板104に取り付けられている物理量センサー2は、銀(熱伝導率:約420W/(m・K))などの金属フィラーが混合されていることにより熱伝導率が高くなったエポキシ樹脂系、シリコーン樹脂系、ポリイミド樹脂系などの、導電性接合部材としての導電性接着剤108を用いて、金属ブロック103に接合されている(接着固定されている)。これにより、物理量センサー2は、金属ブロック103との熱結合が容易となる。
これにより、2つの物理量センサー2は、金属ブロック103の互いに隣り合う側面(第1基板101の主面101aとの成す角度が略直角な面)に接合されていることとなる。
ケース105には、例えば、4フッ化エチレン(ポリテトラフルオロエチレン)などのフッ素樹脂、PBT(ポリブチレンテレフタレート)、LCP(液晶ポリマー)などの比較的熱伝導率が低く、耐熱性、寸法安定性などに優れた樹脂を用いることが好ましい。
ケース105は、上述したエポキシ樹脂系、シリコーン樹脂系、ポリイミド樹脂系などの比較的熱伝導率が低い接着剤を用いた接着固定方法、または両面粘着テープなどを用いた粘着固定方法などにより第1基板101に取り付けられている。
図3は、物理量センサーの概略構成を示す模式図である。図3(a)は、リッド(蓋体)側から見た模式平面図であり、図3(b)は、図3(a)のC−C線での模式断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、各配線は省略してある。
図3に示すように、物理量センサー2は、平板状のベース部10と、ベース部10に継ぎ手部11を介して接続された略矩形平板状の可動部12と、ベース部10と可動部12とに掛け渡された物理量検出素子としての加速度検出素子13と、少なくとも上記各構成要素を内部に収容し、第2基板104に取り付けられるパッケージ20と、を備えている。
可動部12は、第1主面12a及び第2主面12bの少なくとも一方(ここでは両方)に質量部(錘)15が配置され、第1主面12aと交差する第1方向としてのZ軸方向に加わる物理量としての加速度に応じて、継ぎ手部11を支点にしてZ軸方向に変位(回動)可能に構成されている。
ベース部10、継ぎ手部11、可動部12、支持部14の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。
溝部11aにより、継ぎ手部11のY軸方向に沿った断面形状(図3(b)の形状)は、略H字状に形成されている。
質量部15は、物理量センサー2の感度向上を図るべく平面サイズを極力大きくするために、可動部12における継ぎ手部11側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子13を避けて二股状で継ぎ手部11近傍まで延び、平面視において、略U字状に形成されている。質量部15には、例えば、銅及び銅合金などの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。
接合材16には、例えば、シリコーン樹脂系の接着剤が用いられている。
加速度検出素子13は、2つの振動梁13a,13bと一対の基部13d,13eとで二組の音叉を構成することから、双音叉素子(双音叉型振動片)とも呼ばれている。
加速度検出素子13は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部13cと基部13d,13eとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子13の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。
詳述すると、引き出し電極13fは、接続端子10bと接続され、引き出し電極13gは、接続端子10cと接続されている。
ベース部10の接続端子10b,10cは、図示しない配線によって支持部14の外部接続端子14e,14fと接続されている。詳述すると、接続端子10bは、外部接続端子14eと接続され、接続端子10cは、外部接続端子14fと接続されている。
なお、励振電極、引き出し電極13f,13g、接続端子10b,10c、外部接続端子14e,14fは、例えば、クロムを下地層とし、その上に金が積層された金属膜となっている。
なお、固定部14b,14cは、ベース部10に形成されていてもよい。
パッケージベース21には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料や、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。
リッド22には、パッケージベース21と同材料、または、コバール、42アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。
内部端子24,25は、支持部14に設けられた外部接続端子14e,14fと対向する位置(平面視において重なる位置)に設けられている。なお、外部接続端子14e,14fは、支持部14の固定部14b,14cと平面視において重なる位置に設けられている。
内部端子24,25及び外部端子27,28は、タングステンなどのメタライズ層にニッケル、金などの各被膜をメッキなどにより積層した金属膜からなる。
封止部29は、パッケージベース21に形成された、外底面26側の孔径が内底面23側の孔径より大きい段付きの貫通孔29aに、金/ゲルマニウム合金、ハンダなどからなる封止材29bを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ20の内部を気密に封止する構成となっている。
ここで、固定部14b,14cが外部接続端子14e,14fと内部端子24,25とを接続する部分であることから、接着剤30には、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤(例えば、シリコーン樹脂系導電性接着剤)が用いられている。なお、固定部14a,14dの固定には、金属フィラーなどの導電性物質を含まない接着剤(例えば、シリコーン樹脂系接着剤)を用いてもよい。
物理量センサー2は、リッド22の接合後、パッケージ20の内部が減圧された状態(真空度の高い状態)で、封止部29の貫通孔29aに封止材29bが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ20の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ20の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。また、パッケージ20は、パッケージベース21及びリッド22の両方に凹部を有していてもよい。
そして、物理量センサー2は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出素子13の共振周波数を出力信号として出力する。
図4は、物理量センサーの動作について説明する模式断面図である。図4(a)は、可動部が紙面下方(−Z方向)に変位した状態を示す模式断面図であり、図4(b)は、可動部が紙面上方(+Z方向)に変位した状態を示す模式断面図である。
これにより、物理量センサー2は、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部13cの振動梁13a,13bの振動周波数(以下、共振周波数ともいう)が高くなる方に変化する。
これにより、物理量センサー2は、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部13cの振動梁13a,13bの共振周波数が低くなる方に変化する。
これにより、物理量センサー2は、加速度+αに応じて−Z方向に変位する可動部12の変位を、所定の範囲内に規制する。
これにより、物理量センサー2は、加速度−αに応じて+Z方向に変位する可動部12の変位を、所定の範囲内に規制する。
そして、物理量センサーモジュール1は、第2基板104が第1基板101上に立設されると共に、サイドスルーホール104aを介して第1基板101の第1接続端子101bと電気的に接続され、物理量センサー2が導電性接着剤108を介して金属ブロック103に接合されている。
この結果、物理量センサーモジュール1は、従来技術(例えば、特許文献1)と比較して、加速度の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)を向上させることができる。
これにより、物理量センサーモジュール1は、第1基板101と物理量センサー2との電気的接続に、従来技術(例えば、特許文献1)のような、空中配線が不要となる。
この結果、物理量センサーモジュール1は、第1基板101と物理量センサー2との電気的接続の作業性が良好となり、生産性を向上させることができる。
この結果、物理量センサーモジュール1は、周辺温度の変化に伴う物理量センサー2の温度変化を更に抑制できることから、従来技術(例えば、特許文献1)と比較して、加速度の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)を更に向上させることができる。
なお、ケース105には、例えば、SUS316、SUS304など、金属の中では比較的熱伝導率が低いステンレス鋼(熱伝導率:約20W/(m・K))などを用いてもよい。
これにより、本構成の物理量センサーモジュール1は、1個で検出方向が異なる2つの検出軸を備えた物理量センサーモジュールを提供することができる。
この結果、物理量センサーモジュール1は、加速度の検出感度、検出精度などの検出特性(特に温度特性)を、上記従来技術よりも向上させることができる。
これにより、物理量センサーモジュール1は、例えば、加わる加速度による可動部12の変位に応じて振動梁13a,13bが伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による振動梁13a,13bの振動周波数の変化を加速度に変換するという構成が可能となる。
物理量センサー2の温度変化が抑制されることにより、本構成の加速度検出素子13は、加速度の検出感度、検出精度などの検出特性において優れた性能を発揮することができる。
これにより、物理量センサーモジュール1は、第1基板101と樹脂スペーサー102との接触面積、及び樹脂スペーサー102と金属ブロック103との接触面積が小さくなることから、第1基板101から金属ブロック103への熱伝導を更に抑制することができる。
また、第2基板104の第2接続端子は、サイドスルーホール104aに限定されるものではなく、第2基板104の主面104dの反対側の面の端部に設けられた通常の配線パターンのランド部であってもよい。
また、物理量センサー2の加速度検出素子13の主材料は、水晶に限定されるものではなく、例えば、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、四ホウ酸リチウム(Li2B4O7)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。
また、物理量センサー2は、上述した構成の加速度センサーに限定されるものではなく、物理量検出素子として角速度検出素子を備えた角速度センサー(ジャイロセンサー)、圧力検出素子を備えた圧力センサー、重量検出素子を備えた重量センサーなどでもよい。
次に、上述した物理量センサーモジュール1を備えている電子機器について説明する。
図6は、物理量センサーモジュールを備えている電子機器の一例としての傾斜計を示す模式斜視図である。
傾斜計5は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計5は、外部からケーブル40を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって物理量センサーモジュール1(傾斜センサーモジュール)に駆動信号が送られている。
そして、傾斜計5は、図示しない検出回路によって、物理量センサーモジュール1に加わる重力加速度に応じて変化する物理量センサー2の共振周波数から、傾斜計5の姿勢の変化(傾斜計5に対する重力加速度が加わる方向の変化)を検出し、それをルックアップテーブルなどによって角度に換算して、例えば、無線またはケーブル40などで基地局にデータ転送する。
このように、傾斜計5は、検出特性(特に温度特性)に優れた物理量センサーモジュール1を備えていることから、被計測場所の日常の管理(保全)や異常の早期発見に貢献することができる。
Claims (8)
- 主面に第1接続端子を有し、外部部材に取り付け可能な第1基板と、
樹脂スペーサーを介して前記第1基板の前記主面側に取り付けられている金属ブロックと、
端部に第2接続端子が設けられている第2基板と、
前記第2基板に取り付けられ、前記第2基板に設けられている配線パターンを介して前記第2接続端子と接続されている物理量センサーと、
前記第1基板の前記主面側に取り付けられ、少なくとも前記樹脂スペーサー、前記金属ブロック、前記第2基板、および前記物理量センサーを覆っているケースと、
を備え、
前記第2基板は、前記第1基板の前記主面側に立設されていると共に、前記第2接続端子を介して前記第1基板の前記第1接続端子と接続され、
前記物理量センサーは、導電性接合部材を介して前記金属ブロックに接合されていることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項1に記載の物理量センサーモジュールにおいて、
前記ケースは、樹脂製であることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項1または請求項2に記載の物理量センサーモジュールにおいて、
前記配線パターンは、複数の折り返し部を備えていることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の物理量センサーモジュールにおいて、
前記物理量センサーが取り付けられた前記第2基板を複数備え、
各前記第2基板は、各前記物理量センサーの物理量検出軸が互いに交差するように、前記第1基板に立設されていることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の物理量センサーモジュールにおいて、
前記物理量センサーを駆動する駆動回路を更に備え、
前記駆動回路は、前記第2基板に設けられていることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の物理量センサーモジュールにおいて、
前記物理量センサーは、
ベース部と、
該ベース部に継ぎ手部を介して接続されている板状の可動部と、
前記ベース部と前記可動部とに掛け渡されている物理量検出素子と、
少なくとも上記構成要素を内部に収容し、前記第2基板に取り付けられているパッケージと、
を備え、
前記可動部は、第1主面及び第2主面の少なくとも一方に質量部が配置され、前記第1主面と交差する第1方向に加わる物理量に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記第1方向に変位可能に構成されていることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項6に記載の物理量センサーモジュールにおいて、
前記物理量検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも1つの振動梁を有する物理量検出部と、該物理量検出部の両端に接続されている一対の基部と、を備え、
一方の前記基部が前記ベース部に固定され、他方の前記基部が前記可動部に固定されていることを特徴とする物理量センサーモジュール。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の物理量センサーモジュールを備えていることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012054188A JP5982889B2 (ja) | 2012-03-12 | 2012-03-12 | 物理量センサーモジュール及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012054188A JP5982889B2 (ja) | 2012-03-12 | 2012-03-12 | 物理量センサーモジュール及び電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013186108A true JP2013186108A (ja) | 2013-09-19 |
JP2013186108A5 JP2013186108A5 (ja) | 2015-04-23 |
JP5982889B2 JP5982889B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=49387632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012054188A Expired - Fee Related JP5982889B2 (ja) | 2012-03-12 | 2012-03-12 | 物理量センサーモジュール及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5982889B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017207462A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッドAac Technologies Pte.Ltd. | 圧力センサー |
JP2017207461A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッドAac Technologies Pte.Ltd. | 加速度センサー |
US11073532B2 (en) | 2018-03-09 | 2021-07-27 | Seiko Epson Corporation | Sensor module, inclinometer, and structural health monitoring |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01137474U (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | ||
JPH0943270A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電型力学量センサ |
JP2003028892A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
JP2007040766A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Toyota Motor Corp | センサユニット |
JP2007127607A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Mitsutoyo Corp | センサブロック |
-
2012
- 2012-03-12 JP JP2012054188A patent/JP5982889B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01137474U (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | ||
JPH0943270A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧電型力学量センサ |
JP2003028892A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 加速度センサ |
JP2007040766A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Toyota Motor Corp | センサユニット |
JP2007127607A (ja) * | 2005-11-07 | 2007-05-24 | Mitsutoyo Corp | センサブロック |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017207462A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッドAac Technologies Pte.Ltd. | 圧力センサー |
JP2017207461A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッドAac Technologies Pte.Ltd. | 加速度センサー |
US11073532B2 (en) | 2018-03-09 | 2021-07-27 | Seiko Epson Corporation | Sensor module, inclinometer, and structural health monitoring |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5982889B2 (ja) | 2016-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5678741B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
JP2013050321A (ja) | 物理量検出器及び電子機器 | |
JP5896114B2 (ja) | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 | |
EP1353146B1 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2013122375A (ja) | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 | |
US6880399B1 (en) | Angular velocity sensor | |
JP5982889B2 (ja) | 物理量センサーモジュール及び電子機器 | |
JP5712755B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
US11251771B2 (en) | Piezoelectric device and electronic apparatus | |
JP6517553B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5838694B2 (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス及び電子機器 | |
US11662204B2 (en) | Vibrator device | |
CN112448690B (zh) | 振动器件 | |
JP2007181130A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2007235289A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2013201638A (ja) | 振動デバイス | |
JP2012242344A (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
JP2013024828A (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器及び物理量検出器の製造方法 | |
JP5867631B2 (ja) | 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 | |
CN112272754A (zh) | 传感器元件以及角速度传感器 | |
JP5302733B2 (ja) | 圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP2013246121A (ja) | 圧力センサー素子およびその製造方法、圧力センサー、並びに電子機器 | |
JP2023110338A (ja) | 振動デバイス | |
JP2019215271A (ja) | 角速度センサおよびその製造方法 | |
JP2013160553A (ja) | 物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150306 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160310 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160609 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160705 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160718 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5982889 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |