JP2013175555A - 電界効果型薄膜トランジスタの製造方法及び酸化物半導体膜の形成方法 - Google Patents
電界効果型薄膜トランジスタの製造方法及び酸化物半導体膜の形成方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の電界効果型薄膜トランジスタの製造方法では、ガラス基板101上に、マグネトロンスパッタによりIGZO系アモルファス酸化物薄膜104からなる半導体層を形成し、半導体層形成の前または後にゲート電極102、ゲート絶縁膜103、ソース電極105、ドレイン電極106を設ける電界効果型薄膜トランジスタの製造方法において、IGZO系アモルファス酸化物薄膜104をマグネトロンスパッタで形成する際に、クリプトン(Kr)を含む雰囲気およびキセノン(Xe)を含む雰囲気のいずれか一方の雰囲気で成膜する。
【選択図】図10
Description
101 ガラス基板
102 ゲート電極
103 ゲート絶縁膜
104 アモルファスIGZO薄膜
105 ソース電極
106 ドレイン電極
110 レジスト
Claims (9)
- 基板上に、マグネトロンスパッタによりIGZO系アモルファス酸化物薄膜からなる半導体層を形成し、該半導体層形成の前または後にゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極を設ける電界効果型薄膜トランジスタの製造方法において、
前記IGZO系アモルファス酸化物薄膜をマグネトロンスパッタで形成する際に、クリプトン(Kr)を含む雰囲気およびキセノン(Xe)を含む雰囲気のいずれか一方の雰囲気で成膜することを特徴とする電界効果型薄膜トランジスタの製造方法。 - 基板上に、ゲート電極を設け、前記基板および前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を設け、前記ゲート絶縁膜上にマグネトロンスパッタによりIGZO系アモルファス酸化物薄膜からなる半導体層を形成し、前記半導体層にソース電極と、ドレイン電極とを設ける電界効果型薄膜トランジスタの製造方法において、
前記IGZO系アモルファス酸化物薄膜をマグネトロンスパッタで形成する際に、クリプトン(Kr)を含む雰囲気およびキセノン(Xe)を含む雰囲気のいずれか一方の雰囲気で成膜することを特徴とする電界効果型薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記雰囲気は、クリプトン(Kr)と酸素(O2)を混合した雰囲気、もしくはキセノン(Xe)と酸素(O2)を混合した雰囲気であることを特徴とする請求項1または2のいずれか一項に記載の電界効果型薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記雰囲気における酸素の分圧は2%〜15%であることを特徴とする請求項3記載の電界効果型薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記IGZO系アモルファス酸化物薄膜を成膜した後に、酸素を含む雰囲気中で熱処理することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の電界効果型薄膜トランジスタの製造方法。
- IGZO系アモルファス酸化物薄膜をマグネトロンスパッタで形成する際に、クリプトン(Kr)を含む雰囲気およびキセノン(Xe)を含む雰囲気のいずれか一方の雰囲気で成膜することを特徴とする酸化物半導体膜の形成方法。
- 前記雰囲気は、クリプトン(Kr)と酸素(O2)を混合した雰囲気、もしくはキセノン(Xe)と酸素(O2)を混合した雰囲気であることを特徴とする請求項6記載の酸化物半導体膜の形成方法。
- 前記雰囲気における酸素の分圧は2%〜15%であることを特徴とする請求項7記載の酸化物半導体膜の形成方法。
- 前記IGZO系アモルファス酸化物薄膜を成膜した後に、酸素を含む雰囲気中で熱処理することを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載の酸化物半導体膜の形成方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07262829A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 透明導電膜及びその形成方法 |
JPH0978236A (ja) * | 1995-09-14 | 1997-03-25 | Fuji Electric Co Ltd | 酸化インジウム・すず透明導電膜の成膜方法 |
JP2007109918A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Toppan Printing Co Ltd | トランジスタおよびその製造方法 |
WO2009142289A1 (ja) * | 2008-05-22 | 2009-11-26 | 出光興産株式会社 | スパッタリングターゲット、それを用いたアモルファス酸化物薄膜の形成方法、及び薄膜トランジスタの製造方法 |
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2012
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07262829A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 透明導電膜及びその形成方法 |
JPH0978236A (ja) * | 1995-09-14 | 1997-03-25 | Fuji Electric Co Ltd | 酸化インジウム・すず透明導電膜の成膜方法 |
JP2007109918A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Toppan Printing Co Ltd | トランジスタおよびその製造方法 |
WO2009142289A1 (ja) * | 2008-05-22 | 2009-11-26 | 出光興産株式会社 | スパッタリングターゲット、それを用いたアモルファス酸化物薄膜の形成方法、及び薄膜トランジスタの製造方法 |
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