JP2013172130A - Electronic component mounting method - Google Patents

Electronic component mounting method Download PDF

Info

Publication number
JP2013172130A
JP2013172130A JP2012037103A JP2012037103A JP2013172130A JP 2013172130 A JP2013172130 A JP 2013172130A JP 2012037103 A JP2012037103 A JP 2012037103A JP 2012037103 A JP2012037103 A JP 2012037103A JP 2013172130 A JP2013172130 A JP 2013172130A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
mounting
head
substrate
cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012037103A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5927490B2 (en
Inventor
Yuji Miyazaki
優次 宮崎
Toshihiko Nagaya
利彦 永冶
Kenji Okamoto
健二 岡本
Kunio Yamamoto
邦雄 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2012037103A priority Critical patent/JP5927490B2/en
Priority to CN201210479216.1A priority patent/CN103298328B/en
Publication of JP2013172130A publication Critical patent/JP2013172130A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5927490B2 publication Critical patent/JP5927490B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component mounting method which allows for reliable mounting of an electronic component in each cavity even if a circuit board is deformed.SOLUTION: A plurality of reference marks 2m and a plurality of cavities 3 provided in a circuit board 2 are recognized, respectively, by means of an inspection camera 34a provided in an inspection head 34, and relative positional relation of the reference mark 2m and the position of center of each cavity 3 is calculated. Subsequently, the plurality of reference marks 2m provided on a circuit board 2 are recognized by means of a second circuit board recognition camera 38 provided in a mounting head 35, and the position of each reference mark 2m in the mounting head movement axis reference coordinate system is calculated with reference to the movement axis of the mounting head 35. Thereafter, the position of center of each cavity 3 in the mounting head movement axis reference coordinate system is calculated based on the position of each reference mark 2m thus calculated, and the relative positional relation thus calculated. The position of center of each cavity 3 thus calculated is set as the mounting position of an electronic component 4.

Description

本発明は、基板に設けられたキャビティ内に電子部品を搭載する電子部品搭載システムによる電子部品搭載方法に関するものである。   The present invention relates to an electronic component mounting method by an electronic component mounting system in which an electronic component is mounted in a cavity provided on a substrate.

従来、プリント基板の中には2層以上の複数配線を縦方向(厚さ方向)に積み重ねた多層配線構造を有する多層基板が知られており、このような多層基板の製造には、電子部品が搭載される複数のキャビティ(凹状部)を備えた基板(キャビティ基板)が用いられる(例えば、特許文献1参照)。キャビティ基板は電子部品が搭載される前は1枚の大きな基板から成り、各キャビティに電子部品が搭載された後、最終製品の大きさに分割される。   Conventionally, a multilayer board having a multilayer wiring structure in which a plurality of wirings of two or more layers are stacked in the vertical direction (thickness direction) is known as a printed circuit board. A substrate (cavity substrate) having a plurality of cavities (concave portions) on which is mounted is used (see, for example, Patent Document 1). The cavity substrate is composed of one large substrate before electronic components are mounted. After the electronic components are mounted in each cavity, the cavity substrate is divided into sizes of final products.

このようなキャビティ基板への電子部品の搭載作業に用いられる電子部品搭載システムは通常、一又は複数の作業機が連結されて成り、隣接する作業機間で基板搬送コンベアによる基板の受け渡しと作業位置への位置決めを行いつつ、塗布ヘッドを備えた作業機によって各キャビティ内への接着剤の塗布を行い、搭載ヘッドを備えた作業機によって、接着剤が塗布された各キャビティ内への電子部品の搭載を行うようになっている。   An electronic component mounting system used for mounting electronic components on such a cavity substrate is usually formed by connecting one or a plurality of work machines, and transferring and working positions of substrates by a board transfer conveyor between adjacent work machines. The adhesive is applied to each cavity by a working machine equipped with a coating head, and the electronic component is placed in each cavity coated with the adhesive by a working machine equipped with a mounting head. It comes to carry.

ここで搭載ヘッドを備えた作業機は、基板搬送コンベアによって作業位置に位置決めした基板に設けられた複数の基準マークを搭載ヘッドが備える基板認識カメラにより認識することによって、搭載ヘッドの移動軸を基準とした座標系(搭載ヘッド移動軸基準座標系)での各基準マークの位置を算出し、その算出した各基準マークの位置と、予め基板情報として与えられた、基準マークと各キャビティの中心位置との相対的な位置関係のデータ(基板設計データ)に基づいて搭載ヘッド移動軸基準座標系での各キャビティの中心位置(設計データ上の中心位置)を求め、その求めた各キャビティの設計データ上の中心位置を電子部品の搭載位置に設定して電子部品を搭載するようになっている。   Here, the working machine equipped with the mounting head uses the substrate recognition camera provided on the mounting head to recognize a plurality of reference marks provided on the substrate positioned at the work position by the substrate transport conveyor, thereby determining the movement axis of the mounting head as a reference. The position of each reference mark in the coordinate system (mounted head movement axis reference coordinate system) is calculated, the position of each calculated reference mark, and the center position of each reference mark and each cavity previously given as substrate information The center position of each cavity (center position in the design data) in the mounting head movement axis reference coordinate system is determined based on the relative positional relationship data (substrate design data) with the design data of each cavity thus obtained. The electronic component is mounted by setting the upper center position to the mounting position of the electronic component.

特許第3238966号公報Japanese Patent No. 3238966

しかしながら、キャビティ基板は生産性の向上と最終製品の小型化から年々大型化・薄型化していて変形し易くなっていることから、電子部品の搭載時において各キャビティの実際の中心位置は設計データ上の中心位置からずれていることがあり、このため電子部品をキャビティ内に搭載し損なう場合があるという問題点があった。   However, since the cavity substrate is becoming larger and thinner year after year due to improved productivity and downsizing of the final product, the actual center position of each cavity when mounting electronic components depends on the design data. There is a problem that electronic components may not be mounted in the cavity.

そこで本発明は、基板が変形しているような場合であっても各キャビティ内に確実に電子部品を搭載することができるようにした電子部品搭載方法を提供すること目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electronic component mounting method capable of reliably mounting an electronic component in each cavity even when the substrate is deformed.

請求項1に記載の電子部品搭載方法は、検査カメラを備えた検査ヘッド及び基板認識カメラを備えた搭載ヘッドを用いて基板に設けられた複数のキャビティそれぞれの内部に電子部品を搭載する電子部品搭載システムによる電子部品搭載方法であって、前記検査ヘッドが備える前記検査カメラによって前記基板に設けられた複数の基準マーク及び前記複数のキャビティそれぞれを認識して前記基準マークと前記各キャビティの中心位置との相対的な位置関係を算出する中心位置算出工程と、前記搭載ヘッドが備える前記基板認識カメラによって前記基板に設けられた前記複数の基準マークを認識して前記搭載ヘッドの移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各基準マークの位置を算出し、その算出した前記各基準マークの位置と前記中心位置算出工程で算出した前記相対的な位置関係とに基づいて前記搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各キャビティの中心位置を求め、その求めた前記各キャビティの中心位置を電子部品の搭載位置に設定する電子部品搭載位置設定工程と、前記搭載ヘッドにより電子部品を保持し、その保持した電子部品を前記電子部品搭載位置設定工程で設定した前記電子部品の搭載位置に搭載する電子部品搭載工程とを含む。   The electronic component mounting method according to claim 1, wherein an electronic component is mounted in each of a plurality of cavities provided on a substrate using an inspection head having an inspection camera and a mounting head having a substrate recognition camera. An electronic component mounting method by a mounting system, wherein the inspection camera provided in the inspection head recognizes each of a plurality of reference marks and the plurality of cavities provided on the substrate, and a center position of the reference marks and the cavities. A center position calculating step for calculating a relative positional relationship with the mounting head, and the plurality of reference marks provided on the substrate are recognized by the substrate recognition camera provided in the mounting head, and the moving axis of the mounting head is used as a reference. The position of each reference mark in the mounted head movement axis reference coordinate system is calculated, and the calculated position of each reference mark is calculated. And the relative position relationship calculated in the center position calculating step, the center position of each cavity in the mounting head moving axis reference coordinate system is determined, and the determined center position of each cavity is determined as an electronic component. An electronic component mounting position setting step that sets the mounting position of the electronic component, and an electronic component that holds the electronic component by the mounting head and mounts the held electronic component at the mounting position of the electronic component set in the electronic component mounting position setting step Component mounting process.

請求項2に記載の電子部品搭載方法は、検査カメラを備えた検査ヘッド、第1の基板認識カメラを備えた塗布ヘッド及び第2の基板認識カメラを備えた搭載ヘッドを用いて基板に設けられた複数のキャビティそれぞれの内部に電子部品を搭載する電子部品搭載システムによる電子部品搭載方法であって、前記検査ヘッドが備える前記検査カメラによって前記基板に設けられた複数の基準マーク及び前記複数のキャビティそれぞれを認識して前記基準マークと前記各キャビティの中心位置との相対的な位置関係を算出する中心位置算出工程と、前記塗布ヘッドが備える前記第1の基板認識カメラによって前記基板に設けられた前記複数の基準マークを認識して前記塗布ヘッドの移動軸を基準とした塗布ヘッド移動軸基準座標系での前記各基準マークの位置を算出し、その算出した前記各基準マークの位置と前記中心位置算出工程で算出した前記相対的な位置関係とに基づいて前記塗布ヘッド移動軸基準座標系での前記各キャビティの中心位置を求め、その求めた前記各キャビティの中心位置を接着剤の塗布位置に設定する接着剤塗布位置設定工程と、前記塗布ヘッドにより、前記接着剤塗布位置設定工程で設定した前記接着剤塗布位置に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記接着剤塗布工程の後、前記搭載ヘッドが備える前記第2の基板認識カメラによって前記基板に設けられた前記複数の基準マークを認識して前記搭載ヘッドの移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各基準マークの位置を算出し、その算出した前記各基準マークの位置と前記中心位置算出工程で算出した前記相対的な位置関係とに基づいて前記搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各キャビティの中心位置を求め、その求めた前記各キャビティの中心位置を電子部品の搭載位置として設定する電子部品搭載位置設定工程と、前記搭載ヘッドにより、前記電子部品搭載位置設定工程で設定した前記電子部品の搭載位置に電子部品を搭載する電子部品搭載工程とを含む。   The electronic component mounting method according to claim 2 is provided on a substrate using an inspection head provided with an inspection camera, a coating head provided with a first substrate recognition camera, and a mounting head provided with a second substrate recognition camera. An electronic component mounting method using an electronic component mounting system for mounting an electronic component inside each of the plurality of cavities, the plurality of reference marks provided on the substrate by the inspection camera provided in the inspection head and the plurality of cavities A center position calculating step of recognizing each of the reference marks and calculating a relative positional relationship between the center position of each of the cavities, and the first substrate recognition camera included in the coating head; Recognizing the plurality of reference marks, each reference marker in the coating head movement axis reference coordinate system based on the movement axis of the coating head. Center of each cavity in the coating head moving axis reference coordinate system based on the calculated position of each reference mark and the relative positional relationship calculated in the center position calculating step An adhesive application position setting step for determining a position and setting the center position of each of the determined cavities as an adhesive application position, and the adhesive application position set in the adhesive application position setting step by the application head An adhesive application step of applying an adhesive to the substrate, and after the adhesive application step, the second substrate recognition camera included in the mounting head recognizes the plurality of reference marks provided on the substrate and mounts the same The position of each reference mark in the mounting head movement axis reference coordinate system based on the head movement axis is calculated, and the calculated position of each reference mark and the center position calculation process are calculated. The center position of each cavity in the mounting head moving axis reference coordinate system is determined based on the relative positional relationship calculated in step S1, and the determined center position of each cavity is set as the mounting position of the electronic component. An electronic component mounting position setting step, and an electronic component mounting step of mounting an electronic component at the mounting position of the electronic component set in the electronic component mounting position setting step by the mounting head.

請求項3に記載の電子部品搭載方法は、請求項2に記載の電子部品搭載方法であって、前記塗布ヘッドは、接着剤を下端に付着させて転写する転写ピンを備えて成り、前記転写ピンの先端を前記各キャビティの内部に挿入して接着剤を塗布する。   The electronic component mounting method according to claim 3 is the electronic component mounting method according to claim 2, wherein the coating head includes a transfer pin for transferring the adhesive by attaching an adhesive to a lower end thereof. The tip of the pin is inserted into each cavity and the adhesive is applied.

請求項4に記載の電子部品搭載方法は、請求項2に記載の電子部品搭載方法であって、前記塗布ヘッドは、接着剤を吐出する吐出ノズルを備えて成り、前記吐出ノズルの先端を前記各キャビティの内部に挿入して接着剤を塗布する。   The electronic component mounting method according to claim 4 is the electronic component mounting method according to claim 2, wherein the coating head includes a discharge nozzle that discharges an adhesive, and the tip of the discharge nozzle is placed at the tip of the discharge nozzle. Insert the adhesive inside each cavity.

本発明では、電子部品の搭載位置の設定に用いる基準マークと各キャビティの中心位置との相対的な位置関係を、各キャビティを実際に認識して求めるようになっているので、基板が変形しており、電子部品の搭載時において各キャビティの実際の中心位置が設計データ上の中心位置からずれている場合であっても各キャビティ内に確実に電子部品を搭載することができる。   In the present invention, since the relative positional relationship between the reference mark used for setting the mounting position of the electronic component and the center position of each cavity is obtained by actually recognizing each cavity, the substrate is deformed. Even when the actual center position of each cavity is shifted from the center position in the design data when the electronic component is mounted, the electronic component can be reliably mounted in each cavity.

本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムの平面図The top view of the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention 本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムが電子部品の搭載を行う基板をキャリヤ及び電子部品とともに示す斜視図The perspective view which shows the board | substrate with which the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention mounts an electronic component with a carrier and an electronic component. 本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムが電子部品の搭載を行う基板の部分拡大平面図The partial enlarged plan view of the board | substrate which the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention mounts an electronic component 本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムが電子部品の搭載を行う基板のキャビティ内に接着剤を塗布した状態を示す図The figure which shows the state which apply | coated the adhesive agent in the cavity of the board | substrate which mounts the electronic component in the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムの制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention 本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムが実行する検査工程の手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the procedure of the test | inspection process which the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention performs. 本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムが実行する搭載工程の手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the procedure of the mounting process which the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention performs. (a)(b)本発明の第1実施形態における電子部品搭載システムが実行する搭載工程の手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the procedure of the mounting process which the electronic component mounting system in 1st Embodiment of this invention performs. 本発明の第2実施形態における電子部品搭載システムの平面図The top view of the electronic component mounting system in 2nd Embodiment of this invention 本発明の第2実施形態における電子部品搭載システムの制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the electronic component mounting system in 2nd Embodiment of this invention 本発明の第2実施形態における電子部品搭載システムが実行する塗布工程の手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the procedure of the application | coating process which the electronic component mounting system in 2nd Embodiment of this invention performs. 本発明の第3実施形態における電子部品搭載システムの簡略構成図Simplified block diagram of the electronic component mounting system in the third embodiment of the present invention

(第1実施形態)
先ず、本発明の第1実施形態について説明する。図1に示す電子部品搭載システム1Aは基板2を水平方向(X軸方向とする)に搬送しつつ、基板2に設けられた複数のキャビティ3(図2中に示す拡大図参照)それぞれの内部に電子部品4を搭載するものであり、接着剤塗布装置11とその下流工程側に配置された電子部品搭載装置12から構成されている。この第1実施形態では、基板2は平板状の部材から成るキャリヤCrの上面に貼り付けられた状態で電子部品搭載システム1Aに供給されるようになっているが、キャリヤCrに貼り付けられることなく、基板2単体で供給されるのであってもよい。基板2に設けられた各キャビティ3の内形は平面視において矩形形状を有しており、各電子部品4の外形はその電子部品4が搭載される対象となるキャビティ3よりもひと回り小さい矩形形状を有している。
(First embodiment)
First, a first embodiment of the present invention will be described. The electronic component mounting system 1A shown in FIG. 1 transports the substrate 2 in the horizontal direction (X-axis direction), while each of the plurality of cavities 3 provided in the substrate 2 (see the enlarged view shown in FIG. 2). The electronic component 4 is mounted on the electronic component 4 and is composed of an adhesive application device 11 and an electronic component mounting device 12 disposed on the downstream process side. In the first embodiment, the substrate 2 is supplied to the electronic component mounting system 1A in a state of being attached to the upper surface of the carrier Cr made of a flat member, but is attached to the carrier Cr. Instead, the substrate 2 may be supplied alone. The inner shape of each cavity 3 provided on the substrate 2 has a rectangular shape in plan view, and the outer shape of each electronic component 4 is a rectangular shape that is slightly smaller than the cavity 3 on which the electronic component 4 is mounted. have.

図1において、接着剤塗布装置11は基台21上にX軸方向に基板2を搬送する基板搬送コンベア22と、X軸方向と直交する方向(Y軸方向とする)に延びて設けられた一対のY軸テーブル23a、X軸方向に延びて一対のY軸テーブル23a上をY軸方向に移動するX軸テーブル23b及びX軸テーブル23b上をX軸方向に移動する移動ステージ23cから成るヘッド移動機構23を備えており、ヘッド移動機構23の移動ステージ23cには塗布ヘッド24が取り付けられている。   In FIG. 1, an adhesive application device 11 is provided on a base 21 so as to extend in a direction perpendicular to the X-axis direction (referred to as the Y-axis direction) and a substrate transfer conveyor 22 that transfers the substrate 2 in the X-axis direction. A head comprising a pair of Y-axis tables 23a, an X-axis table 23b extending in the X-axis direction and moving on the pair of Y-axis tables 23a in the Y-axis direction, and a moving stage 23c moving on the X-axis table 23b in the X-axis direction. A moving mechanism 23 is provided, and a coating head 24 is attached to a moving stage 23 c of the head moving mechanism 23.

塗布ヘッド24は下方に延びた転写ピン24aと撮像視野を下方に向けた第1基板認識カメラ25を備えており、ヘッド移動機構23の動作(Y軸テーブル23aに対するX軸テーブル23bの移動動作及びX軸テーブル23bに対する移動ステージ23cの移動動作の組み合わせ)によって、塗布ヘッド24の移動軸を基準とした塗布ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)で移動自在になっている。   The coating head 24 includes a transfer pin 24a extending downward and a first substrate recognition camera 25 with the imaging field of view facing downward, and the operation of the head moving mechanism 23 (the movement operation of the X-axis table 23b relative to the Y-axis table 23a and The movement of the moving stage 23c with respect to the X-axis table 23b can be freely moved in a coating head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) based on the movement axis of the coating head 24.

基台21上には転写ユニット26が設けられている。この転写ユニット26は、転写皿26a内の接着剤Bに対してスキージ26bを水平方向に移動させることによって接着剤Bの厚さを一定に保持する。   A transfer unit 26 is provided on the base 21. The transfer unit 26 keeps the thickness of the adhesive B constant by moving the squeegee 26b horizontally relative to the adhesive B in the transfer plate 26a.

この接着剤塗布装置11が備える制御装置(図示せず)は、上流工程側の他の装置から基板2が投入されたことを検知したら、基板搬送コンベア22の作動制御を行って、その基板2を基台21の中央の作業位置まで搬送して位置決めする。そして、塗布ヘッド24を基板2の上方に移動させ、第1基板認識カメラ25によって基板2の対角位置に設けられた2つの基準マーク2m(図1及び図2)の撮像を行い、各基準マーク2mの画像認識を行うことによって、その位置を算出する。   When a control device (not shown) provided in the adhesive application device 11 detects that the substrate 2 has been input from another device on the upstream process side, it controls the operation of the substrate transport conveyor 22 and the substrate 2. Is transferred to the center work position of the base 21 and positioned. Then, the coating head 24 is moved above the substrate 2, and two reference marks 2m (FIGS. 1 and 2) provided at diagonal positions of the substrate 2 are imaged by the first substrate recognition camera 25, and each reference is performed. The position of the mark 2m is calculated by performing image recognition.

接着剤塗布装置11の制御装置は、各基準マーク2mの位置を算出したら、その算出した各基準マーク2mの位置と、予め基板情報として与えられた、基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係に基づいて、上記塗布ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各キャビティ3の中心位置(設計データ上の中心位置)を求める。ここで、上記基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係は、例えば、2つの基準マーク2mを基準とした基板固定座標系(ここでは、一方の基準マーク2mと他方の基準マーク2mとを結ぶ線が偏角φとなる直交するε軸及びη軸から成るεη座標系。図2及び図3参照)での各キャビティ3の中心位置P0の座標(ε0,η0)のデータ(基板設計データ)として与えられる。   When the controller of the adhesive application device 11 calculates the position of each reference mark 2m, the calculated position of each reference mark 2m and the reference mark 2m and the center position of each cavity 3 given in advance as substrate information Based on the relative positional relationship, the center position (center position on the design data) of each cavity 3 in the coating head moving axis reference coordinate system (XY coordinate system) is obtained. Here, the relative positional relationship between the reference mark 2m and the center position of each cavity 3 is, for example, a substrate fixed coordinate system based on the two reference marks 2m (here, one reference mark 2m and the other reference mark 2m). An εη coordinate system composed of orthogonal ε-axis and η-axis in which the line connecting the reference mark 2m is the declination φ (see FIGS. 2 and 3) of the coordinates (ε0, η0) of the center position P0 of each cavity 3 It is given as data (board design data).

接着剤塗布装置11の制御装置は、上記のようにして塗布ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各キャビティ3の中心位置(設計データ上の中心位置)を求めたら、その求めた各キャビティ3の設計データ上の中心位置を接着剤Bの塗布位置として接着剤Bを塗布する。   When the control device of the adhesive application device 11 obtains the center position (center position on the design data) of each cavity 3 in the application head moving axis reference coordinate system (XY coordinate system) as described above, the determination is made. The adhesive B is applied with the center position on the design data of each cavity 3 as the application position of the adhesive B.

この接着剤Bの塗布は、具体的には、制御装置が塗布ヘッド24を移動させて転写ピン24aを転写皿26a内で一定厚さに保持された接着剤Bに上方から差し込み、これにより転写ピン24aの下端部に付着させた接着剤Bをキャビティ3の底面に接触(転写)させることによって行う(図4)。制御装置は、各キャビティ3内への接着剤Bの塗布が終了したら、基板搬送コンベア22を作動させて基板2を下流工程側の電子部品搭載装置12に搬出する。   Specifically, the adhesive B is applied by the controller moving the application head 24 and inserting the transfer pin 24a into the adhesive B held at a constant thickness in the transfer plate 26a from above, thereby transferring the adhesive. The adhesive B adhered to the lower end portion of the pin 24a is brought into contact (transferred) with the bottom surface of the cavity 3 (FIG. 4). When the application of the adhesive B into each cavity 3 is completed, the control device operates the substrate transport conveyor 22 to carry the substrate 2 to the electronic component mounting device 12 on the downstream process side.

図1において、電子部品搭載装置12は基台31上にX軸方向に基板2を搬送する基板搬送コンベア32、Y軸方向に延びて設けられた一対のY軸テーブル33a、X軸方向に延びて一対のY軸テーブル33a上をY軸方向に移動する2つのX軸テーブル33b及び各X軸テーブル33b上をX軸方向に移動する移動ステージ33cから成るヘッド移動機構33を有し、ヘッド移動機構33の一方の移動ステージ33cには検査ヘッド34が取り付けられており、他方の移動ステージ33cには搭載ヘッド35が取り付けられている。基台31上のY軸方向に対向する両端部の一端側には電子部品4を供給する複数のパーツフィーダ36が取り付けられており、これらパーツフィーダ36と基板搬送コンベア32の間には撮像視野を上方に向けた部品認識カメラ37が設けられている。   In FIG. 1, an electronic component mounting apparatus 12 includes a substrate transport conveyor 32 for transporting a substrate 2 in the X-axis direction on a base 31, a pair of Y-axis tables 33a provided extending in the Y-axis direction, and extending in the X-axis direction. A head moving mechanism 33 comprising two X-axis tables 33b that move in the Y-axis direction on a pair of Y-axis tables 33a and a moving stage 33c that moves in the X-axis direction on each X-axis table 33b. An inspection head 34 is attached to one moving stage 33c of the mechanism 33, and a mounting head 35 is attached to the other moving stage 33c. A plurality of parts feeders 36 for supplying the electronic components 4 are attached to one end sides of both ends facing the Y-axis direction on the base 31, and an imaging field of view is provided between these parts feeders 36 and the substrate transport conveyor 32. A component recognition camera 37 is provided with the facing upward.

検査ヘッド34は撮像視野を下方に向けた検査カメラ34aを備えており、搭載ヘッド35は下方に延びて真空圧により電子部品4を吸着保持する複数の吸着ノズル35aと撮像視野を下方に向けた第2基板認識カメラ38を備えている。検査ヘッド34はヘッド移動機構33の動作(Y軸テーブル33aに対するX軸テーブル33bの移動動作及びX軸テーブル33bに対する移動ステージ33cの移動動作の組み合わせ)によって、検査ヘッド34の移動軸を基準とした検査ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)で移動自在になっている。また同様に、搭載ヘッド35は、ヘッド移動機構33の動作によって、搭載ヘッド35の移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)で移動自在になっている。   The inspection head 34 includes an inspection camera 34a with the imaging field of view facing downward, and the mounting head 35 extends downward and has a plurality of suction nozzles 35a that suck and hold the electronic component 4 by vacuum pressure, and the imaging field of view is directed downward. A second substrate recognition camera 38 is provided. The inspection head 34 is based on the movement axis of the inspection head 34 by the operation of the head moving mechanism 33 (combination of the movement operation of the X-axis table 33b with respect to the Y-axis table 33a and the movement operation of the moving stage 33c with respect to the X-axis table 33b). It is movable in the inspection head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system). Similarly, the mounting head 35 is movable in a mounting head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) based on the movement axis of the mounting head 35 by the operation of the head moving mechanism 33.

図5において、基板搬送コンベア32による基板2の搬送及び位置決め動作、ヘッド移動機構33による検査ヘッド34と搭載ヘッド35の移動動作、検査ヘッド34が備える検査カメラ34aの撮像動作、第2基板認識カメラ38の撮像動作、各吸着ノズル35aによる電子部品4の吸着を行わせる搭載ヘッド35内に設けられた吸着機構39の動作及び部品認識カメラ37の撮像動作の各制御は、電子部品搭載装置12が備える制御装置40によって行われる。   In FIG. 5, the operation of transporting and positioning the substrate 2 by the substrate transport conveyor 32, the moving operation of the inspection head 34 and the mounting head 35 by the head moving mechanism 33, the imaging operation of the inspection camera 34 a provided in the inspection head 34, the second substrate recognition camera The electronic component mounting device 12 controls each of the imaging operation of 38, the operation of the suction mechanism 39 provided in the mounting head 35 that performs suction of the electronic component 4 by each suction nozzle 35a, and the imaging operation of the component recognition camera 37. This is performed by the control device 40 provided.

電子部品搭載装置12の制御装置40は、上流工程側の接着剤塗布装置11から基板2が送られてきたことを検知したら、基板搬送コンベア32の作動制御を行ってその基板2を基台31の中央の作業位置まで搬送して位置決めしたうえで、図6のフローチャートに示す検査工程を実行する。   When the control device 40 of the electronic component mounting device 12 detects that the substrate 2 has been sent from the adhesive application device 11 on the upstream process side, the control device 40 controls the operation of the substrate transfer conveyor 32 to place the substrate 2 on the base 31. Then, the inspection process shown in the flowchart of FIG. 6 is executed.

検査工程では、制御装置40は、先ず、検査ヘッド34を基板2の上方に移動させ、検査カメラ34aによって基板2に設けられた2つの基準マーク2mの撮像を行い、得られた画像データに基づいて、基板認識部40a(図5)において、各基準マーク2mの位置の位置を算出する(図6に示すステップST1)。   In the inspection process, first, the control device 40 moves the inspection head 34 above the substrate 2 and images the two reference marks 2m provided on the substrate 2 by the inspection camera 34a, and based on the obtained image data. Then, in the substrate recognition unit 40a (FIG. 5), the position of each fiducial mark 2m is calculated (step ST1 shown in FIG. 6).

また制御装置40は、検査カメラ34aによって基板2に設けられた複数のキャビティ3それぞれを撮像し、得られた画像データに基づいて、キャビティ認識部40b(図5)において、各キャビティ3の四隅の位置を算出する(図6に示すステップST2)。そして、算出した各キャビティ3の四隅の位置に基づいて(四隅の位置の座標値の平均することによって)、各キャビティ3の中心位置を算出する(図6に示すステップST3)。   Further, the control device 40 images each of the plurality of cavities 3 provided on the substrate 2 by the inspection camera 34a, and based on the obtained image data, the cavity recognition unit 40b (FIG. 5) has four corners of each cavity 3. The position is calculated (step ST2 shown in FIG. 6). Then, based on the calculated four corner positions of each cavity 3 (by averaging the coordinate values of the four corner positions), the center position of each cavity 3 is calculated (step ST3 shown in FIG. 6).

なお、ステップST2で算出される2つの基準マーク2mの位置、同じくステップST2で算出される各キャビティ3の四隅の位置及びステップST3で算出される各キャビティ3の中心位置は、検査ヘッド34の移動軸を基準とした検査ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)を基準として算出される。   The positions of the two reference marks 2m calculated in step ST2, the positions of the four corners of each cavity 3 calculated in step ST2 and the center positions of the cavities 3 calculated in step ST3 are the movements of the inspection head 34. It is calculated with reference to the inspection head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) with reference to the axis.

制御装置40は、上記ステップST3が終了したら、ステップST1で算出した2つの基準マーク2mの位置と、ステップST3で算出した各キャビティ3の中心位置に基づいて、基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係を算出し、その算出した相対的な位置関係のデータを、制御装置40に繋がる記憶装置41の相対的位置関係記憶部41a(図5)に記憶する(図6に示すステップST4)。   When step ST3 is completed, the control device 40 determines the center of the reference mark 2m and each cavity 3 based on the position of the two reference marks 2m calculated in step ST1 and the center position of each cavity 3 calculated in step ST3. The relative positional relationship with the position is calculated, and the calculated relative positional relationship data is stored in the relative positional relationship storage unit 41a (FIG. 5) of the storage device 41 connected to the control device 40 (FIG. 6). Step ST4) shown in FIG.

ここで、上記ステップST4で相対的位置関係記憶部41aに記憶する相対的な位置関係は、図3に示すように、ステップST1で求めた2つの基準マーク2mを基準とした基板固定座標系(εη座標系)での座標P1(ε1,η1)であってもよいし、予め基板情報として与えられて記憶装置41の基板情報記憶部41b(図5)に記憶された、基板設計データとしての各キャビティ3の中心位置P0の座標(ε0,η0)と、この中心位置P0(ε0,η0)からのずれ量ΔP(Δε,Δη)との組み合わせ(ε0+Δε,η0+Δη)のデータであってもよい。   Here, as shown in FIG. 3, the relative positional relationship stored in the relative positional relationship storage unit 41a in step ST4 is the substrate fixed coordinate system (based on the two reference marks 2m obtained in step ST1). The coordinate P1 (ε1, η1) in the εη coordinate system) may be used, or the substrate design data previously given as substrate information and stored in the substrate information storage unit 41b (FIG. 5) of the storage device 41 may be used. It may be data of a combination (ε0 + Δε, η0 + Δη) of the coordinates (ε0, η0) of the center position P0 of each cavity 3 and the deviation amount ΔP (Δε, Δη) from the center position P0 (ε0, η0). .

制御装置40は、ステップST4が終了したら(或いはステップST4と並行して)、ステップST2で算出した各キャビティ3の四隅の位置に基づいて各キャビティ3のε軸方向の最小寸法dε及びη軸方向の最小寸法dη(図3)を求め、これらの寸法から各キャビティ3の内形寸法を算出して記憶装置41のキャビティ内形寸法記憶部41c(図5)に記憶する(図6に示すステップST5)。これにより検査工程は終了する。   When step ST4 is completed (or in parallel with step ST4), the control device 40 determines the minimum dimensions dε and η-axis directions of the cavities 3 in the ε-axis direction based on the positions of the four corners of the cavities 3 calculated in step ST2. Minimum dimension dη (FIG. 3) is calculated, and the inner dimension of each cavity 3 is calculated from these dimensions and stored in the cavity inner dimension storage unit 41c (FIG. 5) of the storage device 41 (step shown in FIG. 6). ST5). This completes the inspection process.

電子部品搭載装置12の制御装置40は、上記の検査工程が終了したら、図7のフローチャートに示す搭載工程を実行する。搭載工程では、制御装置40は、搭載ヘッド35を基板2の上方に移動させ、第2基板認識カメラ38によって基板2に設けられた一対の基準マーク2mの撮像を行い、得られた画像データに基づいて、各基準マーク2mの位置を算出する(図7に示すステップST11)。そして、その算出した各基準マーク2mの位置と、前述のステップST4で算出した、基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係とに基づいて、搭載ヘッド35の移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各キャビティ3の中心位置Pを算出し(図7に示すステップST12)、その算出した各キャビティ3の中心位置Pを電子部品4の搭載位置に設定して記憶装置41の電子部品搭載位置記憶部41d(図5)に記憶する(図7に示すステップST13)。   The control device 40 of the electronic component mounting apparatus 12 executes the mounting process shown in the flowchart of FIG. In the mounting process, the control device 40 moves the mounting head 35 above the substrate 2 and images the pair of reference marks 2m provided on the substrate 2 by the second substrate recognition camera 38, and obtains the obtained image data. Based on this, the position of each fiducial mark 2m is calculated (step ST11 shown in FIG. 7). Based on the calculated position of each reference mark 2m and the relative positional relationship between the reference mark 2m and the center position of each cavity 3 calculated in step ST4, the movement axis of the mounting head 35 is determined. The center position P of each cavity 3 in the reference mounting head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) as a reference is calculated (step ST12 shown in FIG. 7), and the calculated center position P of each cavity 3 is used as the electronic component 4. Is stored in the electronic component mounting position storage unit 41d (FIG. 5) of the storage device 41 (step ST13 shown in FIG. 7).

制御装置40は、上記のようにして電子部品4の搭載位置を設定したら、ヘッド移動機構33の作動制御を行って搭載ヘッド35を移動させ、パーツフィーダ36が供給する電子部品4を吸着ノズル35aに吸着させて保持する(図7に示すステップST14)。そして、その保持した電子部品4が部品認識カメラ37の上方を通過するように搭載ヘッド35を移動させ、部品認識カメラ37によって搭載ヘッド35により保持した(吸着ノズル35aに吸着させた)電子部品4の撮像を行った後、部品認識部40c(図5)において部品認識を実行することにより(図8(a))、各キャビティ3内に搭載しようとする電子部品4の外形寸法(Dx,Dy)の情報を取得する(図7に示すステップST15)。また、このとき吸着ノズル35aに対する電子部品4の位置ずれを検出する。   When the mounting position of the electronic component 4 is set as described above, the control device 40 controls the operation of the head moving mechanism 33 to move the mounting head 35, and the electronic component 4 supplied by the parts feeder 36 is picked up by the suction nozzle 35 a. (Step ST14 shown in FIG. 7). Then, the mounting head 35 is moved so that the held electronic component 4 passes above the component recognition camera 37, and the electronic component 4 held by the mounting head 35 (adsorbed by the suction nozzle 35 a) by the component recognition camera 37. After the image is taken, the component recognition unit 40c (FIG. 5) executes component recognition (FIG. 8 (a)), whereby the external dimensions (Dx, Dy) of the electronic component 4 to be mounted in each cavity 3 are obtained. ) Is acquired (step ST15 shown in FIG. 7). At this time, the positional deviation of the electronic component 4 with respect to the suction nozzle 35a is detected.

なお、この電子部品4の外形寸法の情報の取得は、認識した電子部品4の画像データから電子部品4の外形寸法を算出し、或いは記憶装置41の電子部品寸法データ記憶部41e(図5)に記憶された外形寸法(Dx,Dy)のデータを読み出すことによって行う。   The information on the external dimensions of the electronic component 4 is acquired by calculating the external dimensions of the electronic component 4 from the recognized image data of the electronic component 4 or the electronic component dimension data storage unit 41e of the storage device 41 (FIG. 5). This is performed by reading out the data of the external dimensions (Dx, Dy) stored in.

制御装置40は、ステップST15で電子部品4の外形寸法を取得したら、判断部40d(図5)において、ステップST15で取得した電子部品4の外形寸法をステップST5で算出したキャビティ3の内形寸法と比較して、電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能か否かの判断を行う(図7に示すステップST16)。   After acquiring the external dimensions of the electronic component 4 in step ST15, the control device 40 uses the determination unit 40d (FIG. 5) to calculate the internal dimensions of the cavity 3 calculated in step ST5 for the external dimensions of the electronic component 4 acquired in step ST15. In comparison with the above, it is determined whether or not the electronic component 4 can be mounted in the corresponding cavity 3 (step ST16 shown in FIG. 7).

ここで、制御装置40の判断部40dは、ステップST15で取得した電子部品4の外形寸法に所定の余裕値を加えた寸法がステップST5で算出したキャビティ3の内形寸法以下であるときにその電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能であると判断する。例えば、図8(b)において、電子部品4の一辺の寸法Dxの値にDxの方向における余裕値(δx1+δx2)を加えた寸法がキャビティ3の一辺の最小寸法dε以下であり、かつ、電子部品4のもう一辺の寸法Dyの値にDyの方向における余裕値(δy1+δy2))を加えた寸法がキャビティ3のもう一辺の最小寸法dη以下であるときに、その電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能であると判断する。   Here, the determination unit 40d of the control device 40 determines that the dimension obtained by adding a predetermined margin value to the outer dimension of the electronic component 4 acquired in step ST15 is equal to or smaller than the inner dimension of the cavity 3 calculated in step ST5. It is determined that the electronic component 4 can be mounted in the corresponding cavity 3. For example, in FIG. 8B, the dimension obtained by adding the margin value (δx1 + δx2) in the direction Dx to the value of the dimension Dx on one side of the electronic component 4 is equal to or smaller than the minimum dimension dε on one side of the cavity 3. When the dimension obtained by adding the margin value (δy1 + δy2)) in the direction of Dy to the value of the dimension Dy on the other side of 4 is equal to or smaller than the minimum dimension dη on the other side of the cavity 3, the electronic component 4 is in the corresponding cavity 3 It is determined that it can be installed in

制御装置40は、上記ステップST16において、判断部40dが、搭載ヘッド35により保持した電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能であると判断した場合には、ステップST15で検出した吸着ノズル35aに対する電子部品4の位置ずれが修正されるようにしつつ、その電子部品4をステップST12で設定した電子部品4の搭載位置(キャビティ3内)へ搭載し、搭載ヘッド35により保持した電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能でないと判断した場合には、その電子部品4のキャビティ3内への搭載を中止して基台31上に設けられた廃棄ボックス42(図1)に廃棄する(図7に示すステップST17)。   When the determination unit 40d determines in step ST16 that the electronic component 4 held by the mounting head 35 can be mounted in the corresponding cavity 3, the controller 40 adsorbs the suction nozzle 35a detected in step ST15. The electronic component 4 is mounted on the electronic component 4 mounting position (in the cavity 3) set in step ST12, and the electronic component 4 held by the mounting head 35 is corrected. If it is determined that the electronic component 4 cannot be mounted in the corresponding cavity 3, the electronic component 4 is stopped from being mounted in the cavity 3 and discarded in the disposal box 42 (FIG. 1) provided on the base 31 ( Step ST17 shown in FIG.

制御装置40は、ステップST17が終わったら、基板2に搭載予定の全ての電子部品4についてステップST14〜ステップST17の処置が完了したか否かの判断を行う(図7に示すステップST18)。そして、その結果、基板2に搭載予定の全ての電子部品4について上記処置が完了していなかった場合にはステップST14に戻ってまだ処置を行っていない電子部品4について処置を行い、全ての電子部品4について上記処置が完了していた場合には一連の搭載工程を終了し、基板搬送コンベア32を作動させて基板2を下流工程側に搬出する。   When step ST17 is completed, the control device 40 determines whether or not the treatment of steps ST14 to ST17 has been completed for all the electronic components 4 to be mounted on the substrate 2 (step ST18 shown in FIG. 7). As a result, when all the electronic components 4 scheduled to be mounted on the substrate 2 have not been processed, the process returns to step ST14 to perform the processing on the electronic components 4 that have not yet been processed. In the case where the above-described treatment has been completed for the component 4, the series of mounting steps is finished, and the substrate carrying conveyor 32 is operated to carry the substrate 2 to the downstream step side.

このように、第1実施形態における電子部品搭載システム1Aによる電子部品搭載方法は、検査カメラ34aを備えた検査ヘッド34及び基板認識カメラ(第2基板認識カメラ38)を備えた搭載ヘッド35を用いて基板2に設けられた複数のキャビティ3それぞれの内部に電子部品4を搭載する電子部品搭載方法であり、検査ヘッド34が備える検査カメラ34aによって基板2に設けられた複数(ここでは2つ)の基準マーク2m及び複数のキャビティ3それぞれを認識して基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係を算出する中心位置算出工程(ステップST1〜ステップST4)、搭載ヘッド35が備える基板認識カメラ(第2基板認識カメラ38)によって基板2に設けられた複数の基準マーク2mを認識して搭載ヘッド35の移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各基準マーク2mの位置を算出し、その算出した各基準マーク2mの位置と中心位置算出工程で算出した相対的な位置関係とに基づいて搭載ヘッド移動軸基準座標系での各キャビティ3の中心位置を求め、その求めた各キャビティ3の中心位置を電子部品4の搭載位置に設定する電子部品搭載位置設定工程(ステップST11〜ステップST13)及び搭載ヘッド35により電子部品4を保持し、その保持した電子部品4を電子部品搭載位置設定工程で設定した電子部品4の搭載位置に搭載する電子部品搭載工程(ステップST14〜ステップST17)を含むものとなっている。   Thus, the electronic component mounting method by the electronic component mounting system 1A in the first embodiment uses the inspection head 34 provided with the inspection camera 34a and the mounting head 35 provided with the substrate recognition camera (second substrate recognition camera 38). This is an electronic component mounting method in which the electronic component 4 is mounted inside each of the plurality of cavities 3 provided on the substrate 2, and a plurality (two in this case) provided on the substrate 2 by the inspection camera 34a included in the inspection head 34. A center position calculating step (step ST1 to step ST4) for recognizing each of the reference mark 2m and the plurality of cavities 3 and calculating a relative positional relationship between the reference mark 2m and the center position of each cavity 3, and the mounting head 35 A plurality of reference marks 2m provided on the substrate 2 are recognized by the substrate recognition camera (second substrate recognition camera 38) provided. The position of each reference mark 2m in the mounting head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) with reference to the movement axis of the mounting head 35 is calculated, and the calculated position and center position of each reference mark 2m are calculated. An electronic component that determines the center position of each cavity 3 in the mounting head movement axis reference coordinate system based on the calculated relative positional relationship and sets the determined center position of each cavity 3 as the mounting position of the electronic component 4 The electronic component 4 is held by the mounting position setting step (steps ST11 to ST13) and the mounting head 35, and the held electronic component 4 is mounted at the mounting position of the electronic component 4 set in the electronic component mounting position setting step. The mounting process (steps ST14 to ST17) is included.

第1実施形態における電子部品搭載方法では、電子部品4の搭載位置の設定に用いる基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係を、各キャビティ3を実際に認識して求めるようになっているので、基板2が変形しており、電子部品4の搭載時において各キャビティ3の実際の中心位置が設計データ上の中心位置からずれている場合であっても各キャビティ3内に確実に電子部品4を搭載することができる。   In the electronic component mounting method according to the first embodiment, the relative positional relationship between the reference mark 2m used for setting the mounting position of the electronic component 4 and the center position of each cavity 3 is obtained by actually recognizing each cavity 3. Therefore, even when the substrate 2 is deformed and the actual center position of each cavity 3 is deviated from the center position in the design data when the electronic component 4 is mounted, The electronic component 4 can be reliably mounted.

なお、上述の例では、塗布ヘッド24は転写ピン24aを備え、その先端部を各キャビティ3の内部に挿入して接着剤Bを塗布するようになっていたが、このような構成に替えて、塗布ヘッド24が接着剤Bを吐出する吐出ノズル(図示せず)を備えて成るものとし、その吐出ノズルの先端を各キャビティ3の内部に挿入して接着剤Bを塗布するようにしてもよい。   In the above-described example, the coating head 24 is provided with the transfer pin 24a, and the tip portion thereof is inserted into each cavity 3 to apply the adhesive B. The coating head 24 includes a discharge nozzle (not shown) for discharging the adhesive B, and the tip of the discharge nozzle is inserted into each cavity 3 to apply the adhesive B. Good.

(第2実施形態)
図9は本発明の第2実施形態における電子部品搭載システム1Bを示している。この電子部品搭載システム1Bは、第1実施形態における電子部品搭載システム1Aと同様、基板2を水平方向(X軸方向)に搬送しつつ、基板2に設けられた複数のキャビティ3それぞれの内部に電子部品4を搭載するものであり、ひとつの電子部品搭載装置50から構成されている。
(Second Embodiment)
FIG. 9 shows an electronic component mounting system 1B according to the second embodiment of the present invention. As in the electronic component mounting system 1A according to the first embodiment, the electronic component mounting system 1B transports the substrate 2 in the horizontal direction (X-axis direction), and within each of the plurality of cavities 3 provided in the substrate 2. The electronic component 4 is mounted and is composed of one electronic component mounting device 50.

電子部品搭載装置50は、基台51上にX軸方向に基板2を搬送する基板搬送コンベア52と、第1実施形態と同様のヘッド移動機構33が上流側と下流側に1基ずつ設けられている。上流側のヘッド移動機構33の一方の移動ステージ33cには第1実施形態の塗布ヘッド24と同様に下方に延びた転写ピン53aを備えた塗布ヘッド53が取り付けられており、他方の移動ステージ33cには第1実施形態と同様の検査ヘッド34が取り付けられている。また、下流側のヘッド移動機構33の2つの移動ステージ33cのそれぞれには第1実施形態と同様の構成の搭載ヘッド35が取り付けられている。   In the electronic component mounting apparatus 50, a substrate transport conveyor 52 that transports the substrate 2 in the X-axis direction on a base 51, and a head moving mechanism 33 similar to that of the first embodiment are provided one by one on the upstream side and the downstream side. ing. As with the coating head 24 of the first embodiment, a coating head 53 having a transfer pin 53a extending downward is attached to one moving stage 33c of the upstream head moving mechanism 33, and the other moving stage 33c. The same inspection head 34 as that of the first embodiment is attached. A mounting head 35 having the same configuration as that of the first embodiment is attached to each of the two moving stages 33c of the downstream head moving mechanism 33.

塗布ヘッド53は第1実施形態の第1基板認識カメラ25と同様の撮像視野を下方に向けた第1基板認識カメラ54を備えており、ヘッド移動機構33の動作によって、塗布ヘッド53の移動軸を基準とした塗布ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)で移動自在になっている。   The coating head 53 includes a first substrate recognition camera 54 with the same imaging field of view as the first substrate recognition camera 25 of the first embodiment. The movement axis of the coating head 53 is determined by the operation of the head moving mechanism 33. Can be moved in a reference coordinate system (XY coordinate system) of the application head moving axis.

基台51上には第1実施形態と同様の構成の転写ユニット26が設けられており、基台51上の下流側半分のY軸方向に対向する端部の両端部には第1実施形態と同様のパーツフィーダ36が取り付けられている。これらパーツフィーダ36と基板搬送コンベア52の間には第1実施形態と同様の部品認識カメラ37が設けられている。   The transfer unit 26 having the same configuration as that of the first embodiment is provided on the base 51, and both ends of the downstream half of the base 51 facing the Y-axis direction are arranged in the first embodiment. The same parts feeder 36 is attached. A component recognition camera 37 similar to that of the first embodiment is provided between the parts feeder 36 and the board transfer conveyor 52.

検査ヘッド34は第1実施形態と同様に撮像視野を下方に向けた検査カメラ34aを備えており、搭載ヘッド35は第1実施形態と同様に下方に延びて真空圧により電子部品4を吸着保持する吸着ノズル35aと撮像視野を下方に向けた第2基板認識カメラ38を備えている。   As in the first embodiment, the inspection head 34 includes an inspection camera 34a with the imaging field of view facing downward, and the mounting head 35 extends downward in the same manner as in the first embodiment to hold the electronic component 4 by vacuum pressure. And a second substrate recognition camera 38 with the imaging field of view facing downward.

検査ヘッド34は上流側のヘッド移動機構33の動作によって、検査ヘッド34の移動軸を基準とした検査ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)で移動自在になっている。同様に、2つの搭載ヘッド35はそれぞれ、下流側のヘッド移動機構33の動作によって、搭載ヘッド35の移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)で移動自在になっている。   The inspection head 34 is movable in an inspection head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) based on the movement axis of the inspection head 34 by the operation of the upstream head movement mechanism 33. Similarly, each of the two mounting heads 35 is movable in a mounting head moving axis reference coordinate system (XY coordinate system) based on the moving axis of the mounting head 35 by the operation of the downstream head moving mechanism 33. Yes.

図10において、基板搬送コンベア52による基板2の搬送及び位置決め動作、2つのヘッド移動機構33による塗布ヘッド53、検査ヘッド34及び2つの搭載ヘッド35の移動動作、検査ヘッド34が備える検査カメラ34aの撮像動作、第1基板認識カメラ54の撮像動作、2つの第2基板認識カメラ38の撮像動作、各吸着ノズル35aによる電子部品4の吸着を行わせる各搭載ヘッド35内に設けられた吸着機構39の動作及び2つの部品認識カメラ37の撮像動作の各制御は、電子部品搭載装置50が備える制御装置60によって行われる。   In FIG. 10, the substrate 2 is transported and positioned by the substrate transport conveyor 52, the coating head 53, the inspection head 34, and the two mounting heads 35 are moved by the two head moving mechanisms 33, and the inspection camera 34a included in the inspection head 34 is moved. An image pickup operation, an image pickup operation of the first substrate recognition camera 54, an image pickup operation of the two second substrate recognition cameras 38, and a suction mechanism 39 provided in each mounting head 35 for sucking the electronic component 4 by each suction nozzle 35a. Each control of this operation and the imaging operation of the two component recognition cameras 37 is performed by the control device 60 provided in the electronic component mounting device 50.

制御装置60は、上流工程側の他の装置から基板2が投入されたことを検知したら、基板搬送コンベア52の作動制御を行って、その基板2を基台51の上流側半分の領域の中央の作業位置まで搬送して位置決めする。そして、検査ヘッド34を用いて、第1実施形態の場合と同様の検査工程を行う。   When the control device 60 detects that the substrate 2 has been input from another device on the upstream process side, the control device 60 controls the operation of the substrate transfer conveyor 52 to place the substrate 2 in the center of the upstream half region of the base 51. It is transported to the working position and positioned. Then, using the inspection head 34, the same inspection process as in the first embodiment is performed.

すなわち制御装置60は、検査ヘッド34を作業位置に位置決めした基板2の上方に移動させ、検査カメラ34aによって基板2に設けられた2つの基準マーク2mを撮像し、得られた画像データに基づいて、基板認識部60a(図10)において、各基準マーク2mの位置を算出する(図6に示すステップST1)。また制御装置60は、検査カメラ34aによって基板2に設けられた複数のキャビティ3それぞれを撮像し、得られた画像データに基づいて、キャビティ認識部60b(図10)において、各キャビティ3の四隅の位置を算出する(図6に示すステップST2)。そして、算出した各キャビティ3の四隅の位置に基づいて、各キャビティ3の中心位置を算出する(図6に示すステップST3)。   That is, the control device 60 moves the inspection head 34 above the substrate 2 positioned at the work position, images the two reference marks 2m provided on the substrate 2 by the inspection camera 34a, and based on the obtained image data. Then, the substrate recognition unit 60a (FIG. 10) calculates the position of each reference mark 2m (step ST1 shown in FIG. 6). Further, the control device 60 images each of the plurality of cavities 3 provided on the substrate 2 by the inspection camera 34a, and based on the obtained image data, in the cavity recognition unit 60b (FIG. 10), the four corners of each cavity 3 are displayed. The position is calculated (step ST2 shown in FIG. 6). Based on the calculated positions of the four corners of each cavity 3, the center position of each cavity 3 is calculated (step ST3 shown in FIG. 6).

なお、ここでも、ステップST2で算出される2つの基準マーク2mの位置および各キャビティ3の四隅の位置と、ステップST3で算出される各キャビティ3の中心位置は、検査ヘッド34の移動軸を基準とした検査ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)を基準として求められる。   In this case as well, the positions of the two reference marks 2m and the positions of the four corners of each cavity 3 calculated in step ST2 and the center position of each cavity 3 calculated in step ST3 are based on the moving axis of the inspection head 34. The inspection head moving axis reference coordinate system (XY coordinate system) is used as a reference.

制御装置60は、上記ステップST3が終了したら、ステップST1で算出した2つの基準マーク2mの位置と、ステップST3で算出した各キャビティ3の中心位置に基づいて、基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係を算出して制御装置60に繋がる記憶装置61の相対的位置関係記憶部61a(図10)に記憶する(図6に示すステップST4)。   When step ST3 is completed, the control device 60 determines the center of the reference mark 2m and each cavity 3 based on the position of the two reference marks 2m calculated in step ST1 and the center position of each cavity 3 calculated in step ST3. The relative positional relationship with the position is calculated and stored in the relative positional relationship storage unit 61a (FIG. 10) of the storage device 61 connected to the control device 60 (step ST4 shown in FIG. 6).

ここで、上記ステップST4で相対的位置関係記憶部61aに記憶する相対的位置関係は、ステップST1で求めた2つの基準マーク2mを基準とした基板固定座標系(εη座標系)での座標P1(ε1,η1)であってもよいし、予め基板情報として与えられて記憶装置61の基板情報記憶部61b(図10)に記憶された、基板設計データとしての各キャビティ3の中心位置P0の座標(ε0,η0)と、この中心位置P0(ε0,η0)からのずれ量ΔP(Δε,Δη)との組み合わせ(ε0+Δε,η0+Δη)のデータであってもよい。   Here, the relative positional relationship stored in the relative positional relationship storage unit 61a in step ST4 is the coordinate P1 in the substrate fixed coordinate system (εη coordinate system) based on the two reference marks 2m obtained in step ST1. (Ε1, η1), or the center position P0 of each cavity 3 as substrate design data, which is given in advance as substrate information and stored in the substrate information storage unit 61b (FIG. 10) of the storage device 61. Data of a combination (ε0 + Δε, η0 + Δη) of the coordinates (ε0, η0) and the deviation amount ΔP (Δε, Δη) from the center position P0 (ε0, η0) may be used.

制御装置60は、ステップST4が終了したら(或いはステップST4と並行して)、ステップST2で算出した各キャビティ3の四隅の位置に基づいてε軸方向の最小寸法dε及びη軸方向の最小寸法dηを求め、これらの寸法から各キャビティ3の内形寸法を算出して記憶装置61のキャビティ内形寸法記憶部61cに記憶する(図6に示すステップST5)。これにより検査工程は終了する。   When step ST4 ends (or in parallel with step ST4), the control device 60 determines the minimum dimension dε in the ε-axis direction and the minimum dimension dη in the η-axis direction based on the positions of the four corners of each cavity 3 calculated in step ST2. Are calculated, and the internal shape dimensions of the cavities 3 are calculated from these dimensions and stored in the internal cavity size storage section 61c of the storage device 61 (step ST5 shown in FIG. 6). This completes the inspection process.

制御装置60は、上記の検査工程が終了したら、図11のフローチャートに示す塗布工程を実行する。塗布工程では、制御装置60は、塗布ヘッド53を基板2の上方に移動させ、第1基板認識カメラ54によって基板2に設けられた2つの基準マーク2mの撮像を行い、得られた画像データに基づいて、基板認識部60aにおいて、各基準マーク2mの位置の位置を算出する(図11に示すステップST21)。そして、その算出した各基準マーク2mの位置と、検査工程のステップST4で算出した、基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係とに基づいて、塗布ヘッド53の移動軸を基準とした塗布ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各キャビティ3の中心位置Pを算出し(図11に示すステップST22)、その算出した各キャビティ3の中心位置Pを接着剤Bの塗布位置に設定して記憶装置61の塗布位置記憶部61d(図10)に記憶する(図11に示すステップST23)。   The control device 60 executes the application process shown in the flowchart of FIG. 11 when the above inspection process is completed. In the coating process, the control device 60 moves the coating head 53 above the substrate 2, images the two reference marks 2 m provided on the substrate 2 by the first substrate recognition camera 54, and obtains the obtained image data. Based on this, the substrate recognition unit 60a calculates the position of each fiducial mark 2m (step ST21 shown in FIG. 11). Based on the calculated position of each reference mark 2m and the relative positional relationship between the reference mark 2m and the center position of each cavity 3 calculated in step ST4 of the inspection process, the moving axis of the coating head 53 is moved. The center position P of each cavity 3 in the coating head moving axis reference coordinate system (XY coordinate system) with reference to the above is calculated (step ST22 shown in FIG. 11), and the calculated center position P of each cavity 3 is determined as an adhesive. The B application position is set and stored in the application position storage unit 61d (FIG. 10) of the storage device 61 (step ST23 shown in FIG. 11).

制御装置60は、上記のようにして接着剤Bの塗布位置を設定したら、上流側のヘッド移動機構33の作動制御を行って塗布ヘッド53を移動させ、設定した接着剤Bの塗布位置に、第1実施形態の場合と同様の要領で転写ピン53aを用いて接着剤Bを塗布する(図11に示すステップST24)。これにより塗布工程が終了する。   After setting the application position of the adhesive B as described above, the control device 60 controls the operation of the upstream-side head moving mechanism 33 to move the application head 53, and to the set adhesive B application position. The adhesive B is applied using the transfer pin 53a in the same manner as in the first embodiment (step ST24 shown in FIG. 11). This completes the coating process.

制御装置60は、上記塗布工程が終了したら、基板搬送コンベア52を作動させて、基板2を下流側半分の領域の中央の作業位置に移動させて位置決めする。そして、2つの搭載ヘッド35を用いて、第1実施形態の場合と同様の搭載工程を行う。   When the coating process is completed, the control device 60 operates the substrate transport conveyor 52 to move the substrate 2 to the central work position in the downstream half area and position it. And the mounting process similar to the case of 1st Embodiment is performed using the two mounting heads 35. FIG.

すなわち制御装置60は、下流側のヘッド移動機構33の作動制御を行って搭載ヘッド35を基板2の上方に移動させ、第2基板認識カメラ38によって基板2に設けられた2つの基準マーク2mの撮像を行い、得られた画像データに基づいて、基板認識部60aにおいて、各基準マーク2mの位置の位置を算出する(図7に示すステップST11)。そして、その算出した各基準マーク2mの位置と、ステップST4で算出した、基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係とに基づいて、搭載ヘッド35の移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各キャビティ3の中心位置Pを算出し(図7に示すステップST12)、その算出した各キャビティ3の中心位置Pを電子部品4の搭載位置に設定して記憶装置61の電子部品搭載位置記憶部61e(図10)に記憶する(図7に示すステップST13)。   That is, the control device 60 controls the operation of the downstream head moving mechanism 33 to move the mounting head 35 above the substrate 2, and the two reference marks 2 m provided on the substrate 2 by the second substrate recognition camera 38. Imaging is performed, and the position of each fiducial mark 2m is calculated in the substrate recognition unit 60a based on the obtained image data (step ST11 shown in FIG. 7). Based on the calculated position of each reference mark 2m and the relative positional relationship between the reference mark 2m and the center position of each cavity 3 calculated in step ST4, the moving axis of the mounting head 35 is used as a reference. The center position P of each cavity 3 in the mounted head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) is calculated (step ST12 shown in FIG. 7), and the calculated center position P of each cavity 3 is mounted on the electronic component 4. The position is set and stored in the electronic component mounting position storage unit 61e (FIG. 10) of the storage device 61 (step ST13 shown in FIG. 7).

制御装置60は、上記のようにして電子部品4の搭載位置を設定したら搭載ヘッド35を移動させ、パーツフィーダ36が供給する電子部品4を吸着ノズル35aに吸着させて保持する(図7に示すステップST14)。そして、その保持した電子部品4が部品認識カメラ37の上方を通過するように搭載ヘッド35を移動させ、部品認識カメラ37によって搭載ヘッド35により保持した電子部品4の撮像を行った後、部品認識部60c(図10)において部品認識を実行することにより、各キャビティ3内に搭載しようとする電子部品4の外形寸法(Dx,Dy)の情報を取得する(図7に示すステップST15)。なお、この場合も電子部品4の外形寸法の情報の取得は、認識した電子部品4の画像データから電子部品4の外形寸法を算出し、或いは記憶装置41の電子部品寸法データ記憶部61f(図10)に記憶された外形寸法(Dx,Dy)のデータを読み出すことによって行う。   When the mounting position of the electronic component 4 is set as described above, the control device 60 moves the mounting head 35 so that the electronic component 4 supplied by the parts feeder 36 is sucked and held by the suction nozzle 35a (shown in FIG. 7). Step ST14). Then, the mounting head 35 is moved so that the held electronic component 4 passes above the component recognition camera 37, and after the electronic component 4 held by the mounting head 35 is imaged by the component recognition camera 37, the component recognition is performed. Information on the external dimensions (Dx, Dy) of the electronic component 4 to be mounted in each cavity 3 is acquired by executing component recognition in the unit 60c (FIG. 10) (step ST15 shown in FIG. 7). In this case as well, the external dimension information of the electronic component 4 is acquired by calculating the external dimension of the electronic component 4 from the recognized image data of the electronic component 4 or the electronic component dimension data storage unit 61f (see FIG. This is performed by reading the data of the external dimensions (Dx, Dy) stored in 10).

制御装置60は、ステップST15で電子部品4の外形寸法を取得したら、判断部60d(図10)において、ステップST15で算出した電子部品4の外形寸法をその電子部品4に対応するキャビティ3の内形寸法と比較して、電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能か否かの判断を行う(図7に示すステップST16)。   After acquiring the external dimensions of the electronic component 4 in step ST15, the control device 60 determines the external dimensions of the electronic component 4 calculated in step ST15 in the cavity 3 corresponding to the electronic component 4 in the determination unit 60d (FIG. 10). It is determined whether or not the electronic component 4 can be mounted in the corresponding cavity 3 as compared with the shape dimension (step ST16 shown in FIG. 7).

なお、ここでも、制御装置60の判断部60dは、ステップST15で取得した電子部品4の外形寸法に所定の余裕値を加えた寸法が、ステップST5で算出したキャビティ3の内形寸法以下であるときにその電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能であると判断する。   Here, the determination unit 60d of the control device 60 also has a dimension obtained by adding a predetermined margin value to the outer dimension of the electronic component 4 acquired in step ST15, which is equal to or smaller than the inner dimension of the cavity 3 calculated in step ST5. Sometimes it is determined that the electronic component 4 can be mounted in the corresponding cavity 3.

制御装置60は、ステップST16において、判断部60dが、搭載ヘッド35により保持した電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能であると判断した場合には、その電子部品4をステップST12で設定した電子部品4の搭載位置へ搭載し、搭載ヘッド35により保持した電子部品4が対応するキャビティ3内に搭載可能でないと判断した場合には、その電子部品4のキャビティ3内への搭載を中止して基台31上に設けられた廃棄ボックス42(図9)に廃棄する(図7に示すステップST17)。   When the determination unit 60d determines in step ST16 that the electronic component 4 held by the mounting head 35 can be mounted in the corresponding cavity 3, the control device 60 sets the electronic component 4 in step ST12. When it is determined that the electronic component 4 mounted on the mounting position of the electronic component 4 and held by the mounting head 35 cannot be mounted in the corresponding cavity 3, the mounting of the electronic component 4 in the cavity 3 is stopped. Then, it is discarded in a disposal box 42 (FIG. 9) provided on the base 31 (step ST17 shown in FIG. 7).

制御装置60は、ステップST17が終わったら、基板2に搭載予定の全ての電子部品4についてステップST14〜ステップST17の処置が完了したかの判断を行う(図7に示すステップST18)。そして、その結果、基板2に搭載予定の全ての電子部品4について上記処置が完了していなかった場合にはステップST14に戻ってまだ処置を行っていない電子部品4について処置を行い、全ての電子部品4について上記処置が完了していた場合には一連の搭載工程を終了し、基板搬送コンベア52を作動させて基板2を下流工程側に搬出する。   When step ST17 is completed, the control device 60 determines whether or not the treatment of steps ST14 to ST17 has been completed for all the electronic components 4 scheduled to be mounted on the substrate 2 (step ST18 shown in FIG. 7). As a result, when all the electronic components 4 scheduled to be mounted on the substrate 2 have not been processed, the process returns to step ST14 to perform the processing on the electronic components 4 that have not yet been processed. When the above-described treatment is completed for the component 4, the series of mounting steps is finished, and the substrate carrying conveyor 52 is operated to carry the substrate 2 to the downstream step side.

このように、第2実施形態における電子部品搭載システム1Bによる電子部品搭載方法は、検査カメラ34aを備えた検査ヘッド34、第1基板認識カメラ54を備えた塗布ヘッド53及び第2基板認識カメラ38を備えた搭載ヘッド35を用いて基板2に設けられた複数のキャビティ3それぞれの内部に電子部品4を搭載する電子部品搭載方法であり、検査ヘッド34が備える検査カメラ34aによって基板2に設けられた複数(ここでは2つ)の基準マーク2m及び複数のキャビティ3それぞれを認識して基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係を算出する中心位置算出工程(ステップST1〜ステップST4)、塗布ヘッド53が備える第1基板認識カメラ54によって基板2に設けられた複数の基準マーク2mを認識して塗布ヘッド53の移動軸を基準とした塗布ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各基準マーク2mの位置を算出し、その算出した各基準マーク2mの位置と中心位置算出工程で算出した相対的な位置関係とに基づいて塗布ヘッド移動軸基準座標系での各キャビティ3の中心位置を求め、その求めた各キャビティ3の中心位置を接着剤Bの塗布位置に設定する接着剤塗布位置設定工程(ステップST21〜ステップST23)、塗布ヘッド53により、接着剤塗布位置設定工程で設定した接着剤塗布位置に接着剤Bを塗布する接着剤塗布工程(ステップST24)、接着剤塗布工程の後、搭載ヘッド35が備える第2基板認識カメラ38によって基板2に設けられた複数の基準マーク2mを認識して搭載ヘッド35の移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系(XY座標系)での各基準マーク2mの位置を算出し、その算出した各基準マーク2mの位置と中心位置算出工程で算出した相対的な位置関係とに基づいて搭載ヘッド移動軸基準座標系での各キャビティ3の中心位置を求め、その求めた各キャビティ3の中心位置を電子部品4の搭載位置として設定する電子部品搭載位置設定工程(ステップST11〜ステップST13)及び搭載ヘッド35により、電子部品搭載位置設定工程で設定した電子部品4の搭載位置に電子部品4を搭載する電子部品搭載工程(ステップST14〜ステップST17)を含むものとなっている。   As described above, the electronic component mounting method by the electronic component mounting system 1B in the second embodiment includes the inspection head 34 including the inspection camera 34a, the coating head 53 including the first substrate recognition camera 54, and the second substrate recognition camera 38. This is an electronic component mounting method in which the electronic component 4 is mounted inside each of the plurality of cavities 3 provided on the substrate 2 using the mounting head 35 provided with an inspection head 34 provided on the substrate 2 by the inspection camera 34a included in the inspection head 34. A center position calculation step (steps ST1 to ST2) of recognizing each of the plurality (here, two) of the reference marks 2m and the plurality of cavities 3 and calculating the relative positional relationship between the reference marks 2m and the center positions of the cavities 3. Step ST4), a plurality of reference marks provided on the substrate 2 by the first substrate recognition camera 54 provided in the coating head 53 m is recognized, the position of each reference mark 2m in the coating head movement axis reference coordinate system (XY coordinate system) with respect to the movement axis of the coating head 53 is calculated, and the calculated position and center of each reference mark 2m are calculated. The center position of each cavity 3 in the coating head moving axis reference coordinate system is determined based on the relative positional relationship calculated in the position calculating step, and the determined center position of each cavity 3 is set as the application position of the adhesive B. Adhesive application position setting process (step ST21 to step ST23) to be set, Adhesive application process (step ST24) of applying the adhesive B to the adhesive application position set in the adhesive application position setting process by the application head 53, After the adhesive application process, the second head recognition camera 38 provided in the mounting head 35 recognizes the plurality of reference marks 2m provided on the substrate 2 and moves the mounting head 35. The position of each reference mark 2m in the mounting head moving axis reference coordinate system (XY coordinate system) with reference to the position is calculated, and the relative position relationship calculated in the center position calculation step and the calculated position of each reference mark 2m Based on the above, the center position of each cavity 3 in the mounting head moving axis reference coordinate system is determined, and the determined center position of each cavity 3 is set as the mounting position of the electronic component 4 (step ST11). Step ST13) and the mounting head 35 include an electronic component mounting step (Step ST14 to Step ST17) for mounting the electronic component 4 at the mounting position of the electronic component 4 set in the electronic component mounting position setting step. .

第2実施形態における電子部品搭載方法においても、電子部品4の搭載位置の設定に用いる基準マーク2mと各キャビティ3の中心位置との相対的な位置関係を、各キャビティ3を実際に認識して求めるようになっているので、第1実施形態の場合と同様の効果が得られるほか、接着剤Bを常に実際のキャビティ3の中心位置に塗布することができるようになっていることから、基板2が変形しており、電子部品4の搭載時において各キャビティ3の実際の中心位置が設計データ上の中心位置からずれている場合であっても各キャビティ3内に確実に接着剤Bを塗布することができるという更なる効果が得られる。   In the electronic component mounting method according to the second embodiment, each cavity 3 is actually recognized with respect to the relative positional relationship between the reference mark 2m used for setting the mounting position of the electronic component 4 and the center position of each cavity 3. Since the same effect as in the case of the first embodiment can be obtained, the adhesive B can always be applied to the actual center position of the cavity 3. 2 is deformed, and the adhesive B is surely applied to each cavity 3 even when the actual center position of each cavity 3 is deviated from the design data center position when the electronic component 4 is mounted. The further effect that it can do is acquired.

(第3実施形態)
第3実施形態における電子部品搭載システム1Cは、図12に示すように、接着剤塗布装置70A、検査装置70B及び電子部品搭載装置70Cがこの順で上流工程側から下流工程側に並べられたものとなっている。ここで接着剤塗布装置70Aは第1実施形態における接着剤塗布装置11と同様の塗布ヘッド24を備えて基板2の各キャビティ3に接着剤Bを塗布する装置である。検査装置70Bは、第1実施形態における電子部品搭載装置12或いは第2実施形態における電子部品搭載装置50と同様の検査ヘッド34を備え、前述の検査工程における中心位置算出工程(ステップST1〜ステップST4)とキャビティ内形寸法算出工程(ステップST2及びステップST5)を実行する装置である。また、電子部品搭載装置70Cは、第1実施形態における電子部品搭載装置12或いは第2実施形態における電子部品搭載装置50と同様の搭載ヘッド35を備え、前述の搭載工程における電子部品搭載位置設定工程(ステップST11〜ステップST13)と電子部品搭載工程(ステップST14〜ステップST17)を実行する装置である。
(Third embodiment)
In the electronic component mounting system 1C according to the third embodiment, as shown in FIG. 12, an adhesive application device 70A, an inspection device 70B, and an electronic component mounting device 70C are arranged in this order from the upstream process side to the downstream process side. It has become. Here, the adhesive application device 70 </ b> A is an apparatus that includes the application head 24 similar to the adhesive application device 11 in the first embodiment and applies the adhesive B to each cavity 3 of the substrate 2. The inspection apparatus 70B includes the inspection head 34 similar to the electronic component mounting apparatus 12 in the first embodiment or the electronic component mounting apparatus 50 in the second embodiment, and the center position calculation process (steps ST1 to ST4 in the above-described inspection process). ) And the cavity inner dimension calculation step (step ST2 and step ST5). The electronic component mounting apparatus 70C includes a mounting head 35 similar to the electronic component mounting apparatus 12 in the first embodiment or the electronic component mounting apparatus 50 in the second embodiment, and the electronic component mounting position setting process in the mounting process described above. It is an apparatus that executes (step ST11 to step ST13) and an electronic component mounting process (step ST14 to step ST17).

第1実施形態及び第2実施形態では、中心位置算出工程を実行する装置と電子部品搭載位置設定工程及び電子部品搭載工程を実行する装置は同一の装置から成っていた(第1実施形態では電子部品搭載装置12、第2実施形態では電子部品搭載装置50)が、このように中心位置算出工程を実行する装置(検査装置70B)と電子部品搭載位置設定工程及び電子部品搭載工程を実行する装置(電子部品搭載装置70C)が別々の装置であっても、本発明の電子部品搭載方法を実施して第1実施形態、第2実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。   In the first embodiment and the second embodiment, the device that executes the center position calculation step and the device that executes the electronic component mounting position setting step and the electronic component mounting step are composed of the same device (the electronic device in the first embodiment is an electronic device). The component mounting apparatus 12, in the second embodiment, the electronic component mounting apparatus 50), the apparatus (inspection apparatus 70B) that executes the center position calculation process in this way, and the apparatus that executes the electronic component mounting position setting process and the electronic component mounting process. Even if (electronic component mounting apparatus 70C) is a separate apparatus, the same effects as those of the first embodiment and the second embodiment can be obtained by implementing the electronic component mounting method of the present invention.

なお、この場合には、検査装置70Bが中心位置算出工程(ステップST1〜ステップST4)を実行することによって算出した各キャビティ3の中心位置のデータと、キャビティ内形寸法算出工程(ステップST2及びステップST5)を実行することによって算出した各キャビティ3の内形寸法のデータを電子部品搭載装置70Cに受け渡す必要があることから、図12に示すように、検査装置70Bと電子部品搭載装置70Cとの双方と繋がる上位コンピュータCPを設けて上記データの受け渡しをさせるようになっている。或いは、このような上位コンピュータCPを介さず、検査装置70Bから電子部品搭載装置70Cに直接上記データを送信するようにしてもよい。   In this case, the data of the center position of each cavity 3 calculated by the inspection apparatus 70B executing the center position calculation step (steps ST1 to ST4) and the cavity internal dimension calculation step (steps ST2 and step ST2). Since it is necessary to transfer the data of the internal dimensions of each cavity 3 calculated by executing ST5) to the electronic component mounting apparatus 70C, as shown in FIG. 12, the inspection apparatus 70B and the electronic component mounting apparatus 70C A host computer CP connected to both of them is provided to transfer the data. Alternatively, the above data may be directly transmitted from the inspection apparatus 70B to the electronic component mounting apparatus 70C without using such a host computer CP.

本発明は、基板が変形しているような場合であっても各キャビティ内に確実に電子部品を搭載することができるようにした電子部品搭載方法を提供する。   The present invention provides an electronic component mounting method in which an electronic component can be reliably mounted in each cavity even when the substrate is deformed.

1A,1B,1C 電子部品搭載システム
2 基板
2m 基準マーク
3 キャビティ
4 電子部品
34 検査ヘッド
34a 検査カメラ
35 搭載ヘッド
38 第2基板認識カメラ(基板認識カメラ、第2の基板認識カメラ)
53 塗布ヘッド
53a 転写ピン
54 第1基板認識カメラ(第1の基板認識カメラ)
1A, 1B, 1C Electronic component mounting system 2 Substrate 2m Reference mark 3 Cavity 4 Electronic component 34 Inspection head 34a Inspection camera 35 Mounting head 38 Second substrate recognition camera (substrate recognition camera, second substrate recognition camera)
53 Coating head 53a Transfer pin 54 First substrate recognition camera (first substrate recognition camera)

Claims (4)

検査カメラを備えた検査ヘッド及び基板認識カメラを備えた搭載ヘッドを用いて基板に設けられた複数のキャビティそれぞれの内部に電子部品を搭載する電子部品搭載システムによる電子部品搭載方法であって、
前記検査ヘッドが備える前記検査カメラによって前記基板に設けられた複数の基準マーク及び前記複数のキャビティそれぞれを認識して前記基準マークと前記各キャビティの中心位置との相対的な位置関係を算出する中心位置算出工程と、
前記搭載ヘッドが備える前記基板認識カメラによって前記基板に設けられた前記複数の基準マークを認識して前記搭載ヘッドの移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各基準マークの位置を算出し、その算出した前記各基準マークの位置と前記中心位置算出工程で算出した前記相対的な位置関係とに基づいて前記搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各キャビティの中心位置を求め、その求めた前記各キャビティの中心位置を電子部品の搭載位置に設定する電子部品搭載位置設定工程と、
前記搭載ヘッドにより電子部品を保持し、その保持した電子部品を前記電子部品搭載位置設定工程で設定した前記電子部品の搭載位置に搭載する電子部品搭載工程とを含むことを特徴とする電子部品搭載方法。
An electronic component mounting method by an electronic component mounting system in which an electronic component is mounted inside each of a plurality of cavities provided on a substrate using an inspection head equipped with an inspection camera and a mounting head equipped with a substrate recognition camera,
A center for recognizing each of the plurality of reference marks and the plurality of cavities provided on the substrate by the inspection camera included in the inspection head and calculating a relative positional relationship between the reference marks and the center positions of the cavities. A position calculating step;
The position of each reference mark in the mounting head movement axis reference coordinate system based on the movement axis of the mounting head by recognizing the plurality of reference marks provided on the substrate by the substrate recognition camera provided in the mounting head. And calculating the center position of each cavity in the mounting head moving axis reference coordinate system based on the calculated position of each reference mark and the relative positional relationship calculated in the center position calculating step. An electronic component mounting position setting step for setting the center position of each of the obtained cavities as a mounting position of the electronic component;
An electronic component mounting process comprising: holding an electronic component by the mounting head, and mounting the held electronic component at the mounting position of the electronic component set in the electronic component mounting position setting step Method.
検査カメラを備えた検査ヘッド、第1の基板認識カメラを備えた塗布ヘッド及び第2の基板認識カメラを備えた搭載ヘッドを用いて基板に設けられた複数のキャビティそれぞれの内部に電子部品を搭載する電子部品搭載システムによる電子部品搭載方法であって、
前記検査ヘッドが備える前記検査カメラによって前記基板に設けられた複数の基準マーク及び前記複数のキャビティそれぞれを認識して前記基準マークと前記各キャビティの中心位置との相対的な位置関係を算出する中心位置算出工程と、
前記塗布ヘッドが備える前記第1の基板認識カメラによって前記基板に設けられた前記複数の基準マークを認識して前記塗布ヘッドの移動軸を基準とした塗布ヘッド移動軸基準座標系での前記各基準マークの位置を算出し、その算出した前記各基準マークの位置と前記中心位置算出工程で算出した前記相対的な位置関係とに基づいて前記塗布ヘッド移動軸基準座標系での前記各キャビティの中心位置を求め、その求めた前記各キャビティの中心位置を接着剤の塗布位置に設定する接着剤塗布位置設定工程と、
前記塗布ヘッドにより、前記接着剤塗布位置設定工程で設定した前記接着剤塗布位置に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記接着剤塗布工程の後、前記搭載ヘッドが備える前記第2の基板認識カメラによって前記基板に設けられた前記複数の基準マークを認識して前記搭載ヘッドの移動軸を基準とした搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各基準マークの位置を算出し、その算出した前記各基準マークの位置と前記中心位置算出工程で算出した前記相対的な位置関係とに基づいて前記搭載ヘッド移動軸基準座標系での前記各キャビティの中心位置を求め、その求めた前記各キャビティの中心位置を電子部品の搭載位置として設定する電子部品搭載位置設定工程と、
前記搭載ヘッドにより、前記電子部品搭載位置設定工程で設定した前記電子部品の搭載位置に電子部品を搭載する電子部品搭載工程とを含むことを特徴とする電子部品搭載方法。
An electronic component is mounted in each of a plurality of cavities provided on a substrate using an inspection head provided with an inspection camera, a coating head provided with a first substrate recognition camera, and a mounting head provided with a second substrate recognition camera. An electronic component mounting method by an electronic component mounting system
A center for recognizing each of the plurality of reference marks and the plurality of cavities provided on the substrate by the inspection camera included in the inspection head and calculating a relative positional relationship between the reference marks and the center positions of the cavities. A position calculating step;
Recognizing each of the plurality of reference marks provided on the substrate by the first substrate recognition camera included in the coating head, each reference in the coating head movement axis reference coordinate system based on the movement axis of the coating head The center of each cavity in the coating head movement axis reference coordinate system is calculated based on the calculated position of each reference mark and the relative positional relationship calculated in the center position calculating step. An adhesive application position setting step for determining a position and setting the center position of each of the determined cavities as an adhesive application position;
An adhesive application step of applying an adhesive to the adhesive application position set in the adhesive application position setting step by the application head;
After the adhesive coating step, the mounting head moving axis based on the moving axis of the mounting head by recognizing the plurality of reference marks provided on the substrate by the second substrate recognition camera provided in the mounting head. Calculate the position of each reference mark in a reference coordinate system, and based on the calculated position of each reference mark and the relative positional relationship calculated in the center position calculation step, the mounting head moving axis reference coordinates An electronic component mounting position setting step for determining a center position of each cavity in the system and setting the determined center position of each cavity as an electronic component mounting position;
An electronic component mounting method comprising: mounting an electronic component at the mounting position of the electronic component set in the electronic component mounting position setting step by the mounting head.
前記塗布ヘッドは、接着剤を下端に付着させて転写する転写ピンを備えて成り、前記転写ピンの先端を前記各キャビティの内部に挿入して接着剤を塗布することを特徴とする請求項2に記載の電子部品搭載方法。   3. The coating head is provided with a transfer pin for transferring an adhesive attached to a lower end, and the adhesive is applied by inserting the tip of the transfer pin into each cavity. The electronic component mounting method described in 1. 前記塗布ヘッドは、接着剤を吐出する吐出ノズルを備えて成り、前記吐出ノズルの先端を前記各キャビティの内部に挿入して接着剤を塗布することを特徴とする請求項2に記載の電子部品搭載方法。   The electronic component according to claim 2, wherein the coating head includes a discharge nozzle that discharges an adhesive, and the adhesive is applied by inserting a tip of the discharge nozzle into each cavity. Mounting method.
JP2012037103A 2012-02-23 2012-02-23 Electronic component mounting method Expired - Fee Related JP5927490B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012037103A JP5927490B2 (en) 2012-02-23 2012-02-23 Electronic component mounting method
CN201210479216.1A CN103298328B (en) 2012-02-23 2012-11-22 Electronic component method for loading

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012037103A JP5927490B2 (en) 2012-02-23 2012-02-23 Electronic component mounting method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013172130A true JP2013172130A (en) 2013-09-02
JP5927490B2 JP5927490B2 (en) 2016-06-01

Family

ID=49098401

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012037103A Expired - Fee Related JP5927490B2 (en) 2012-02-23 2012-02-23 Electronic component mounting method

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5927490B2 (en)
CN (1) CN103298328B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105552015A (en) * 2014-10-24 2016-05-04 细美事有限公司 Apparatus for handling semiconductor packaging body and method of acquiring location information of the semiconductor devices using the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11163509A (en) * 1997-11-28 1999-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for setting bond application position
JP2000277990A (en) * 1999-03-24 2000-10-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for mounting electronic component
JP2006229244A (en) * 2006-04-10 2006-08-31 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Automatic mounting apparatus for electronic component
JP2011082242A (en) * 2009-10-05 2011-04-21 Panasonic Corp Electronic component mounting device and electronic component mounting method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004186308A (en) * 2002-12-02 2004-07-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd Device and method for mounting component
JP2007220837A (en) * 2006-02-16 2007-08-30 Juki Corp Method and device for mounting electronic component
JP2007287779A (en) * 2006-04-13 2007-11-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd System and method for mounting electronic component, and mounted state inspection apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11163509A (en) * 1997-11-28 1999-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for setting bond application position
JP2000277990A (en) * 1999-03-24 2000-10-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for mounting electronic component
JP2006229244A (en) * 2006-04-10 2006-08-31 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Automatic mounting apparatus for electronic component
JP2011082242A (en) * 2009-10-05 2011-04-21 Panasonic Corp Electronic component mounting device and electronic component mounting method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105552015A (en) * 2014-10-24 2016-05-04 细美事有限公司 Apparatus for handling semiconductor packaging body and method of acquiring location information of the semiconductor devices using the same

Also Published As

Publication number Publication date
CN103298328B (en) 2017-03-01
JP5927490B2 (en) 2016-06-01
CN103298328A (en) 2013-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6411028B2 (en) Management device
JP4629584B2 (en) Mounting system and electronic component mounting method
JP2009044044A (en) Method and apparatus for mounting electronic-component
JP2010073929A (en) Electronic component mounting device and electronic component mounting method
JP2007319956A (en) Drilling apparatus
JP5282137B2 (en) Board work equipment
JP2008091815A (en) Mounting machine, and components imaging method thereof
JP2009054759A (en) Abnormality detecting method and device
JP5873972B2 (en) Electronic component mounting method
EP2931014B1 (en) Apparatus and method for generating mounting data, and substrate manufacturing system
JP5476609B2 (en) Component mounting system and component mounting method
JP6467634B2 (en) Component mounting system and component mounting method in component mounting system
JP4760752B2 (en) Component mounting device and mounting position accuracy measuring method in component mounting device
JP5927490B2 (en) Electronic component mounting method
JP5879493B2 (en) Electronic component mounting method
JP2007287838A (en) Parts transfer device, mounting machine, and parts transfer device for parts inspection machine
JP4809251B2 (en) Implementation method
JP5338767B2 (en) Calibration method for electronic component mounting apparatus
TWI418501B (en) A positioning apparatus of synchronously connecting pcbs and method thereof
JP2018074090A (en) Component mounting device
JP6371129B2 (en) Component mounter
JP2011086695A (en) Method for mounting connector
JP6259616B2 (en) Die bonder and semiconductor manufacturing method
JP5181383B2 (en) Bonding equipment
JP6349546B2 (en) Component mounting method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140711

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20140807

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20141007

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150708

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150728

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150916

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160223

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160307

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5927490

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees