JP2013168559A - アパーチャーおよびそれを用いるマスク露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源から照射される露光光の光路に垂直に設けられるアパーチャーであって、複数の光シャッター部を光路に垂直な同一平面A上に配列した光シャッターアレイと、平面Aの入射面側に所定の距離を離して平面Aと平行に設けた他の異なる平面B、および平面Aの出射面側に所定の距離を離して平面Aと平行に設けた他の異なる平面C、上のそれぞれに、各光シャッター部と一対一に対応する平面位置にマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイB、およびマイクロレンズアレイCと、からなり、前記光シャッターアレイが、構成要素の各光シャッター部の動作を独立に制御されて開閉動作する。
【選択図】図1
Description
フォトマスクのリソグラフィ条件下での分析及び最終検査において、例えば、カールツァイス社のAerial Image Measurement System(登録商標:AIMS)と称する模擬的な手法による空間像分析システムを用いることが公知であり、かつ確立されている。このシステムにおいて、フォトマスクは、後にウェハ加工用のフォトリソグラフィに用いるものと同じ露光設定及び波長を用いて露光されるので、ウェハへの露光を模擬して分析するシステムとして有用である。
フォトマスク構造がウェハ上に大幅に縮小されて結像されるステッパとは対照的に、AIMS(登録商標)では、検出ユニット、例えば、CCDカメラ上に結像されてデジタル化及び格納される拡大空間像を生成するように用いられる。この場合、空間像は、フォトリソグラフィスキャナにおいてフォトレジスト層上に生成されることになる像に対応する。従って、高価な一連の試験体を露光する必要はなく、AIMS(登録商標)を利用して正しいリソグラフィ挙動を得てフォトマスクパターンを精査し、確認することができる。
定の距離を離して平面Aと平行に設けた他の異なる平面C、上のそれぞれに、各光シャッター部と一対一に対応する平面位置にマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイB、およびマイクロレンズアレイCと、からなり、前記光シャッターアレイが、構成要素の各光シャッター部の動作を独立に制御して開閉動作させるので、パターン形状が微細化、複雑化するフォトマスクパターンに対応して、露光照明形状を規定するアパーチャー形状とアパーチャーの開口部透過率を自由に設定し、その設定内容を確実に再現することが可能なフォトマスク露光用のアパーチャーを提供することができる。
図1は、本発明のアパーチャー1の構成を説明するための模式断面図である。
アパーチャー1の構成は、先ず、図の上から下に向かう光路に垂直な同一平面A12上に、一点鎖線の小枠で囲った一単位の光シャッター部20を規則的に複数個配列し、一点鎖線の大枠で囲った光シャッターアレイ2として備えるものである。また、光シャッターアレイ2の表裏面から所定の距離だけ離れたところに、平面Aと平行に、平面B13および平面C14を設定し、平面Bおよび平面Cのそれぞれにマイクロレンズアレイ3が配置されている。それぞれのマイクロレンズアレイ3を構成する各マイクロレンズ30は、各光シャッター部20と一対一に対応する。レーザー光源(図示なし)から発せられる露光光4の光束は、図の上から下に向かう破線で示すように、平面B上の入射側のマイクロレンズアレイB31を構成する各マイクロレンズ30により各光シャッター部20の孔22に集光される。光シャッター部20の孔22が閉じている場合は、露光光はそこで遮蔽されるが、開口状態の孔22を抜けて光シャッターアレイ2を通過した光は、光シャッターアレイ基板21の反対側に設けた平面C上の出射側のマイクロレンズアレイC32を構成する各マイクロレンズ30を通過し、フォトマスクを露光するための露光照明形状を規定することができる。
光シャッターアレイ2の面内には、光源から入射する露光光が通過する孔22が二次元配
列、例えば、格子状に配列されており、一つの孔に対応して、図の縦横の一点鎖線で仕切った一単位ずつの光シャッター部20が配列されている。光シャッター部20には、それぞれの孔22に相対するように配置される、孔を通過する露光光を遮断できる可動式のシャッターユニット23が、破線で示す枠で囲った状態で搭載されている。シャッターユニット23は、柔軟電極24とそれに連なる遮光板25とを備え、シャッターユニット23のそれぞれが独立して対応する遮光板25の開閉動作ができるように、柔軟電極24への駆動のための配線(図示せず)を通じて制御される。上記制御は、使用するフォトマスクパターンに応じて決まる、光源から照射される露光光をどのように規定すべきかを与える露光照明形状のデータに基づいて、所望の各光シャッター部の開閉動作を行うことが望ましく、光シャッターアレイ全体として、所望範囲に露光光を照射させることができる。
第2電圧は第1電圧より高いレベルの電圧であり、第1柔軟電極24aと第3柔軟電極24cとの間の静電気による引力によって第1〜第3柔軟電極24a、24b、24cの全部をつなげることができる程度の電圧レベルに該当する。すなわち、第2電圧が第1柔軟電極24aと第2柔軟電極24bに印加された場合、第3柔軟電極24cと第1柔軟電極24aと第2柔軟電極24bとの間の静電気力は第1電圧が印加された場合より大きい。
この場合の静電気力は第2柔軟電極24bの低い柔軟性によるバリアを克服することができる程度に大きい。その結果、第1柔軟電極24a、第2柔軟電極24bおよび第3柔軟電極24cは全てつながり、第3柔軟電極24cに接続された遮光板25は第3柔軟電極24cが移動した距離だけ移動する。
2・・・光シャッターアレイ
3・・・マイクロレンズアレイ
4・・・露光光(光束)
12・・・平面A
13・・・平面B
14・・・平面C
20・・・光シャッター部(一単位)
21・・・光シャッターアレイ基板
22・・・孔
23・・・シャッターユニット
24・・・柔軟電極
24a・・・第1柔軟電極
24b・・・第2柔軟電極
24c・・・第3柔軟電極
25・・・遮光板
30・・・マイクロレンズ
31・・・マイクロレンズアレイB
32・・・マイクロレンズアレイC
Claims (5)
- フォトマスクパターンを露光する際の光源から照射される露光光の光路に垂直に設けられ露光照明形状を規定するアパーチャーであって、
複数の光シャッター部を光路に垂直な同一平面A上に配列した光シャッターアレイと、
平面Aの入射面側に所定の距離を離して平面Aと平行に設けた他の異なる平面B、および平面Aの出射面側に所定の距離を離して平面Aと平行に設けた他の異なる平面C、上のそれぞれに、各光シャッター部と一対一に対応する平面位置にマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイB、およびマイクロレンズアレイCと、からなり、
前記光シャッターアレイが、構成要素の各光シャッター部の動作を独立に制御されて開閉動作することを特徴とするアパーチャー。 - 前記光シャッター部が、光源から入射する露光光が通過する孔と、孔を通過する露光光を遮断できる可動式のシャッターユニットとが相対して、配置されることを特徴とする請求項1に記載のアパーチャー。
- 前記光シャッターアレイが、光源から照射される露光光を規定すべき露光照明形状のデータに基づいて、所望の各光シャッター部の開閉動作を制御され、所望範囲に露光光を照射させることを特徴とする請求項1または2に記載のアパーチャー。
- 前記光シャッター部の開閉動作が、任意の開口範囲で制御されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアパーチャー。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のアパーチャーを設置したことを特徴とするマスク露光装置。
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