JP2013166214A - 流動式バレル研磨装置 - Google Patents

流動式バレル研磨装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2013166214A
JP2013166214A JP2012031331A JP2012031331A JP2013166214A JP 2013166214 A JP2013166214 A JP 2013166214A JP 2012031331 A JP2012031331 A JP 2012031331A JP 2012031331 A JP2012031331 A JP 2012031331A JP 2013166214 A JP2013166214 A JP 2013166214A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge port
closing member
barrel polishing
closing
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012031331A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5904403B2 (ja
Inventor
Tetsuya Kuroki
哲也 黒木
Tomohiro Tokumasu
智宏 徳升
Hitoshi Nishijima
仁 西嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sintokogio Ltd
Original Assignee
Sintokogio Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sintokogio Ltd filed Critical Sintokogio Ltd
Priority to JP2012031331A priority Critical patent/JP5904403B2/ja
Priority to CN 201210587508 priority patent/CN103252703A/zh
Publication of JP2013166214A publication Critical patent/JP2013166214A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5904403B2 publication Critical patent/JP5904403B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

【課題】
研磨槽の底部に配置された排出口近傍が、砥粒またはバレル研磨によって生じた切削粉により閉止することのない、流動式バレル研磨装置を提供する。
【解決手段】
前記排出口の開口の周縁を押圧して該排出口を閉止するための閉止部材を備える閉止手段を配置する。バレル研磨時には排出口を直接閉止することができるため、排出経路で砥粒またはバレル研磨によって生じた切削粉が堆積する恐れがない。また、圧縮空気で前記閉止部材によって前記排出口の開口の周縁を押圧する構造とすることで、機械式のバルブのような摺動部への粉体の噛み込みによる故障がない。
【選択図】図2

Description

本発明は、研磨槽に投入した被加工物と研磨媒体と液体とを該研磨槽内にある回転盤の回転により旋回流動させて混合されたマスを形成して被加工物を研磨するようにした流動式バレル研磨装置に関する。
バレル研磨は、スケール除去、バリ取り、丸み付け、傷の除去、光沢仕上げ等の表面仕上げの分野で従来より用いられている。バレル研磨は加工効率の観点から湿式の流動バレル研磨装置が広く用いられている。流動バレル研磨装置によるバレル研磨は、底部に回転盤を備える研磨槽に被加工物と研磨能力を有する研磨媒体と水及び必要に応じて研磨助剤を投入し(以上、研磨槽に投入されたものを総じて「マス」と記す)、前記回転盤を回転させることでマスを流動化させ、被加工物の研磨が行われる。粉砕媒体は、通常メディアと呼ばれる砥粒を含む塊状物が使用されるが砥粒自体を用いる場合もある(例えば特許文献1)。
従来の流動式バレル研磨装置は、例えば特許文献2における図1に示すように、回転盤13の下側に形成される底面部12に、液抜き孔(排出口)が配置されている。排出口の近傍には排出経路を形成する管体Pが配置されており、排出経路の途中にバルブVが配置されている。バルブVを閉じて研磨を行い、研磨が終わると、開閉弁Vを開にして研磨槽から水を排出した後、被研磨物を回収していた。
特開2003−103451号公報 特開2008−000833号公報
研磨中は開閉弁Vによって管体Pが閉止されているため、前記排出口と開閉弁Vとの間では砥粒を含んだ水が溜まり、流動状態にならない。また、砥粒は水に比べ比重が大きいため管体内で沈降して堆積した結果、砥粒が管体内で固着することで管体が砥粒によって閉止される恐れがある。また、前記バルブVとしてゲートバルブやボールバルブといった一般的に使用されるバルブを用いた場合、砥粒が摺動部に噛み込み、故障の原因となる。本発明は、研磨槽中への水の貯留および排出を確実に行うことができ、かつ故障の少ない流動式バレル研磨装置を提供する。
第1の発明は、研磨槽に投入した被加工物と研磨媒体と水とを旋回流動させて被加工物を研磨するようにした流動式バレル研磨装置であって、前記研磨槽は、側壁部と、前記水を排出するための排出口が設けられ、該排出口を開放・閉止するための閉止手段を備える底面部と、前記底面部上方に配置され軸心を中心に回転する回転盤と、を備え、前記閉止手段は前記排出口近傍で閉止するための閉止部材を備えていることを特徴とする。前記排出口を前記排出部材で押圧することで、該排出部材と該排出口との隙間がなくなるので、該排出口を完全に閉止することができる。バレル研磨後に該排出口を開放する際は、該排出部材の押圧を解除すればよい。本発明によって簡単な構造で排出口の閉止および開放ができる。
また、第2の発明は、第1の発明に記載の流動式バレル研磨装置であって、前記排出口は、圧縮空気の圧力によって前記閉止部材を、前記排出口の開口の周縁に押圧することで閉止されることを特徴とする。本発明によって、機械式で前記排出口を排出する構造に比べ故障の少ない流動バレル研磨装置を提供することができる。
また、第3の発明は、第1または第2の発明に記載の流動式バレル研磨装置であって、前記排出口の開口は円形であり、前記閉止部材の先端の形状は、円錐形状、円錐台形状、半球形状のいずれかであることを特徴とする。排出口が円形でありかつ閉止部材を円錐形状または円錐台形状または半球形状とすることで、閉止部材の押圧力が前記排出口に対して均等に付加されるので、前記排出口と前記閉止部材との密着性が良くなるので、排出口を確実に閉止することができる。ここでいう半球形状は球形状の一部(いわゆるドーム型)も含む概念である。また、真球ばかりでなく楕円体も含む概念である。また、前記閉止部材の形状は、は前記排出口と前記閉止部材との接触部近傍が円錐形状、円錐台形状、半球形状のいずれかあればよく、接触しない箇所の形状は特に限定されない。例えば、単に円錐形状、円錐台形状、半球形状のいずれかである閉止部材ばかりでなく、先端が円錐形状、円錐台形状、半球形状のいずれかである円柱形状の閉止部材も含まれる。
また、第4の発明は、第2または第3の発明に記載の流動式バレル研磨装置の前記閉止部材は、前記排出口と接触する箇所が弾性体で構成されていることを特徴とする。前記排出口が前記閉止部材によって押圧閉止される際に、該排出口の形状に合わせて前記弾性体が変形し、該該排出口と閉止部材とが密着する。これにより確実に排出口を閉止することができる。
また、第5の発明は、第2または第3の発明に記載の流動式バレル研磨装置の前記閉止部材が配置される側の前記排出口近傍に弾性体が配置されていることを特徴とする。前記排出口が前記閉止部材によって押圧閉止される際に、該閉止部材の形状に合わせて前記弾性体が変形し、該該排出口と閉止部材とが密着する。これにより確実に排出口を閉止することができる。
また、第6の発明は、第2または第3の発明のいずれか1つに記載の流動式バレル研磨装置の前記閉止手段は、前記閉止部材と、該閉止部材を外包する筐体と、該筐体に管体を介して連結された開閉弁と、を備え、前記閉止部材は、圧縮空気の圧力および前記筐体の内圧によって前記排出口を閉止することを特徴とする。押圧後に筐体の内部を加圧することで、前記排出口と前記閉止部材との密着性がさらに向上し、より確実に排出口を閉止することができる。
本発明によって、バレル研磨中は研磨槽中の水が排出口より漏れず、バレル研磨後は排出経路が閉止することなく水を排出することができる流動式バレル研磨装置を提供することができる。本発明の構造はシンプルであるのでメンテナンス性に優れている。また、排出経路の故障も少ない。
従来のバレル研磨装置を説明するための説明図である。 本発明の流動バレル研磨装置を説明するための説明図である。図2(A)は本発明の流動バレル研磨装置を示す一部断面図、図2(B)は要部の断面図を示す。 閉止部材の変更例を説明するための説明図である。 排出口に弾性体を配置した例を説明するための説明図である。
本発明における流動式バレル研磨装置の一例を、図を用いて説明する。なお、上下左右方向は特に断りのない限り図における方向とする。
本実施形態の研磨槽は、円筒形状の側壁部11と、前記側壁部に連結されて底部を閉止する底面部12と、前記底面部12の上方に位置し、かつ該底面部12との間に空間を形成するように配置された回転盤13と、で構成される。また、前記側壁部11と前記回転盤13の側壁とはわずかに空隙が形成されている。
回転盤13には、駆動軸を介して回転手段(本実施形態ではモータ)が連結されており、該回転盤13は軸心を中心に回転することができる。
底面部12には円形の排出口Dが設けられている。また、排出口Dの近傍には閉止手段20が配置されている。閉止手段20は、排出口Dの開口の周縁を押圧して該排出口Dを閉止するための閉止部材21と、前記閉止部材の底部に連結される連結部材23と、前記閉止部材21に押圧力を伝達する伝達手段22と、前記閉止部材と前記伝達手段22とを連結するための連結部材23と、前記閉止部材21を収める筐体24と、前記筐体24の閉止および開放を行うための開閉弁25と、前記筐体24と前記開閉弁25とを連結するための管体26と、で構成されている。本実施形態では、閉止部材21の押圧力として圧縮空気供給源(図示せず)より供給される圧縮空気を用いた場合について説明する。
前記筐体24は一端が開口され、他端が閉止された円筒形状であり、開口面は前記排出口Dの近傍の前記底面部12に連結されている。閉止面側には開閉弁25が連結された管体26が連結されている。開閉弁25は管体26を閉止できれば特に限定されてないが、研磨後に水と共に砥粒やバレル研磨で生じた切削粉といった粉体が流れることを考慮すると、摺動部に粉体が入り込まない構造が好ましい。本実施形態では、開閉弁25としてピンチバルブを連結させた。ピンチバルブは、軟質チューブを変形させることで閉止および開放を行うことができる構造であり、該軟質チューブの一端を前記管体26に連結させることで、開閉弁25の摺動部に粉体が入り込むことがないので、粉体の噛み込みによる故障がない。
前記筐体24の内部には、一端を円錐台形に成形した円柱形状の閉止部材21が収められている。閉止部材21は、排出口Dの開口の周縁と接触した際に密着性をよくするために、弾性体(例えばシリコンゴム)で形成されている。前記閉止部材21の底面中央には、両端が開口された円筒形状の連結部材23の一端面が連結されている。
伝達手段22は管体であって、該伝達手段22の外径は前記連結部材23の内径より小さい。伝達手段22は、前記筐体24の壁面を貫通し、その一端が該筐体24の内部に収まるように配置されている。筐体24内の伝達手段22の端面近傍は、前記排出口Dの中心方向に向かうように、垂直に配置されている。該端面には、前記連結部材23によって伝達手段22が包囲されるように、前記閉止部材21が載置されている。また、伝達手段22の他端は、前記圧縮空気供給源(図示せず)が連結されている。(図2(B)参照)
以下、バレル研磨の手順に従って、前記閉止手段20を詳しく説明する。
まず、開閉弁25を閉にして、管体26を閉止する。次に、圧縮空気供給源を稼働させて、伝達手段22の一端面より圧縮空気を導入する。導入された圧縮空気の力により閉止部材21および連結部材23が伝達部材22に沿って上方に移動すると共に前記排出口Dの開口の周縁が該閉止部材21によって押圧されて閉止される。このように、前記伝達部材22は、閉止部材21に押圧力を伝達するばかりでなく、閉止部材21が確実に排出口Dの方向に移動するためのガイドの役割をも担っている。
また、伝達部材22と連結部材23との隙間からは若干の圧縮空気が漏れており、筐体24の内部は加圧状態となる。筐体24の内圧によって、該閉止部材21の押圧力はさらに強くなる。閉止部材21は弾性体で形成されているので、押圧に従って排出口Dの開口の周縁の形状に合わせて変形する。したがって、閉止部材21と排出口Dの開口の周縁とは密着することになり、より確実に排出口Dを閉止することができる。なお、閉止部材21は全体が弾性体でなくてもよく、少なくとも排出口Dの開口の周縁と接触する位置の近傍が弾性体で形成されていればよい。
排出口Dを閉止した後、研磨槽01に被加工物と研磨媒体と水とを所定量投入する。本実施形態では、研磨媒体を平均粒子径63〜150μmのアルミナ砥粒を使用したが、研磨力を増大させるためにメディアも一緒に投入してもよい。また、必要に応じて研磨助剤(コンパウンド)を一緒に投入してもよい。研磨助剤は、例えば水質調整(軟化)、メディアの洗浄、光沢仕上げ促進、研磨材および被加工物の切削粉の分散、被加工物の防錆、被加工物の脱脂、被加工物の打痕およびチッピングの抑制、等目的に合わせて適宜選択する。
水と被加工物と砥粒とを所定量投入した後、前記回転盤13を回転手段(実施例ではモータM)によって回転させることで、該水と該被加工物と該砥粒とが旋回流動化され、混合されたマスmを形成し、被研磨物同士との接触または被研磨物と研磨媒体との接触によってバレル研磨が行われる。
所定時間運転した後、前記回転盤の回転を止める。開閉弁25を開にして筐体24の内圧を開放した後、圧縮空気の供給を止める。閉止部材21と連結部材23とが下方に移動し、前記排出口Dの閉止が解除される。排出口Dの閉止が解除されることで、研磨槽01中の水を該排出口Dより外部へ排出される。
水を排出した後、被研磨物を取り出し、洗浄、乾燥、等の工程を経てバレル研磨が完了する。
(変更例)
閉止部材21の形状は、排出口Dを押圧閉止できれば特に制限されない。例えば、図3(A)に示すように先端が三角錐である円柱形状であってもよいし、図3(B)に示すように半球形状であってもよい。
閉止部材21を硬質材料(例えば、鉄)で形成した場合、図4に示すように、閉止部材が配置される側の前記排出口近傍にゴム等の弾性体を配置してもよい。閉止部材21に押圧力が加わった際に該弾性体が該閉止部材21の形状に合わせて変形し、密着させることができる。
閉止部材21の押圧力は、圧縮空気に限られない。例えば、高圧水を伝達手段より導入してもよいし、ばね等を利用した機械的な力を加えてよい。
筐体24の内圧がなくても十分に前記排出口Dを閉止することができれば、前記筐体24の内部を加圧状態にしなくてもよい。
前記筐体24の内部を加圧状態にするために、加圧手段を別途配置してもよい。例えば、筐体24の内部に圧縮空気等を導入するための管体を連結し、該圧縮空気を筐体24内部に送ることで該筐体24の内部を加圧状態にすることができる。
本実施例では、研磨媒体として砥粒を使用する場合について説明したが、研磨媒体としてメディアを使用したバレル研磨装置にも適用できる。バレル研磨によって被加工物の切削粉等が発生するので、流動式バレル研磨装置を本発明の構造とすることで、排出口に連結されたバルブが前記切削粉を噛み込むことによる故障を防ぐことができる。
01 流動式バレル研磨装置
10 研磨槽
11 側壁部
12 底面部
13 回転盤
20 閉止手段
21 閉止部材
22 伝達部材
23 連結部材
24 筐体
25 開閉弁
26 管体
D 排出口
M モータ
m マス
P 管体
V バルブ

Claims (6)

  1. 研磨槽に投入した被加工物と研磨媒体と水とを旋回流動させて被加工物を研磨する流動式バレル研磨装置であって、
    前記研磨槽は、側壁部と、前記水を排出するための排出口が設けられ、該排出口を開放・閉止するための閉止手段を備える底面部と、前記底面部上方に配置され軸心を中心に回転する回転盤と、を備え、
    前記閉止手段は前記排出口を直接閉止するための閉止部材を備えていることを特徴とする流動式バレル研磨装置。
  2. 前記排出口は、圧縮空気の圧力によって前記閉止部材を、前記排出口の開口の周縁に押圧することで閉止されることを特徴とする請求項1に記載の流動式バレル研磨装置。
  3. 前記排出口の開口は円形であり、前記閉止部材の先端の形状は、円錐形状、円錐台形状、半球形状のいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の流動式バレル研磨装置。
  4. 前記閉止部材は、前記排出口の開口の周縁と接触する箇所が弾性体で構成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の流動式バレル研磨装置。
  5. 前記閉止部材が接触する前記排出口の開口の周縁に弾性体が配置されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の流動式バレル研磨装置。
  6. 前記閉止手段は、前記閉止部材と、該閉止部材を収めた筐体と、該筐体に管体を介して連結された開閉弁と、を備え、
    前記閉止部材は、圧縮空気の圧力および前記筐体の内圧によって前記排出口を閉止することを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1つに記載の流動式バレル研磨装置。
JP2012031331A 2012-02-16 2012-02-16 流動式バレル研磨装置 Active JP5904403B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012031331A JP5904403B2 (ja) 2012-02-16 2012-02-16 流動式バレル研磨装置
CN 201210587508 CN103252703A (zh) 2012-02-16 2012-12-28 湿式流动滚磨装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012031331A JP5904403B2 (ja) 2012-02-16 2012-02-16 流動式バレル研磨装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013166214A true JP2013166214A (ja) 2013-08-29
JP5904403B2 JP5904403B2 (ja) 2016-04-13

Family

ID=48957097

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012031331A Active JP5904403B2 (ja) 2012-02-16 2012-02-16 流動式バレル研磨装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5904403B2 (ja)
CN (1) CN103252703A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112847155A (zh) * 2021-03-29 2021-05-28 河南五建建设集团有限公司 一种建筑小工件简易喷砂处理装置
CN112917373A (zh) * 2021-03-29 2021-06-08 河南五建建设集团有限公司 一种建筑小构件除锈装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6376465B2 (ja) * 2013-11-27 2018-08-22 新東工業株式会社 バレル研磨方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55109865A (en) * 1979-02-13 1980-08-23 Sumitomo Chem Co Ltd Gas shut-valve
JPS57205067A (en) * 1981-06-08 1982-12-16 Toyota Motor Corp Barrel for barrel-finishing equipment
US5211673A (en) * 1990-11-30 1993-05-18 Friedhold Ditscherlein Centrifugal treatment machine
JP2002295717A (ja) * 2001-04-03 2002-10-09 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd ニードルバルブ
JP2006118593A (ja) * 2004-10-21 2006-05-11 Shiga Yamashita:Kk 流体制御バルブ
JP2008000833A (ja) * 2006-06-20 2008-01-10 Sinto Brator Co Ltd 流動バレル研磨装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55109865A (en) * 1979-02-13 1980-08-23 Sumitomo Chem Co Ltd Gas shut-valve
JPS57205067A (en) * 1981-06-08 1982-12-16 Toyota Motor Corp Barrel for barrel-finishing equipment
US5211673A (en) * 1990-11-30 1993-05-18 Friedhold Ditscherlein Centrifugal treatment machine
JP2002295717A (ja) * 2001-04-03 2002-10-09 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd ニードルバルブ
JP2006118593A (ja) * 2004-10-21 2006-05-11 Shiga Yamashita:Kk 流体制御バルブ
JP2008000833A (ja) * 2006-06-20 2008-01-10 Sinto Brator Co Ltd 流動バレル研磨装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112847155A (zh) * 2021-03-29 2021-05-28 河南五建建设集团有限公司 一种建筑小工件简易喷砂处理装置
CN112917373A (zh) * 2021-03-29 2021-06-08 河南五建建设集团有限公司 一种建筑小构件除锈装置
CN112917373B (zh) * 2021-03-29 2022-07-15 河南五建建设集团有限公司 一种建筑小构件除锈装置
CN112847155B (zh) * 2021-03-29 2022-12-20 浙江他山环境工程有限公司 一种建筑小工件简易喷砂处理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5904403B2 (ja) 2016-04-13
CN103252703A (zh) 2013-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5904403B2 (ja) 流動式バレル研磨装置
JP6352326B2 (ja) 下部ウエハ欠陥に対する保持リング
JP5753352B2 (ja) ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置
US20090305613A1 (en) Single Type Substrate Treating Apparatus and Method
CN103522188B (zh) 研磨垫整理方法、研磨垫整理器及研磨机台
CN107243816B (zh) 一种铜管内壁的抛光机
JP2017164886A (ja) 金属部品の表面処理方法
US10857651B2 (en) Apparatus of chemical mechanical polishing and operating method thereof
CN205765521U (zh) 一种零部件去毛刺用全自动光饰机
CN103962937A (zh) 研磨装置
KR100897226B1 (ko) 화학기계 연마장치의 내부 세척식 연마헤드
US9358666B2 (en) Slurry supply device and polishing apparatus including the same
JP2010179407A (ja) Cmp装置
US6514127B2 (en) Conditioner set for chemical-mechanical polishing station
TWI465316B (zh) 化學機械研磨系統
CN215147947U (zh) 用于抛光机的内倾斜式排液槽和抛光机
CN202656040U (zh) 砂带机
CN102773786A (zh) 化学机械抛光系统
JP2016057453A (ja) レンズ製造装置及びレンズ製造方法
CN201020653Y (zh) 一种细径薄壁金属管材的内壁表面抛光装置
KR101544327B1 (ko) 가압유체를 이용하는 도관연마제염방법 및 도관연마제염장치
JP2008137097A (ja) バレル研磨方法
CN114378714A (zh) 一种研磨盘及抛光设备
CN105832249A (zh) 一种竹木地板抛光装置
JP7147558B2 (ja) 乾式バレル研磨方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20141008

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150728

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150731

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150910

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160219

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160303

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5904403

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250