JP2013157571A - 真空吸着装置及びその製造方法 - Google Patents
真空吸着装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013157571A JP2013157571A JP2012019259A JP2012019259A JP2013157571A JP 2013157571 A JP2013157571 A JP 2013157571A JP 2012019259 A JP2012019259 A JP 2012019259A JP 2012019259 A JP2012019259 A JP 2012019259A JP 2013157571 A JP2013157571 A JP 2013157571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- skeleton
- ceramic
- pores
- slurry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】載置面10に物体を吸着保持するためのセラミックス多孔質体からなる載置部1が、骨格粒子としてのセラミックス粒子が結合材粒子によって結合されることにより構成されている。載置部1の気孔率が25〜45%の範囲にある。載置部1における気孔のメディアン径が15[μm]以下である。載置部1における気孔のうち25[μm]以上の径を有する気孔の積算容積が0.02[ml/g]以下である。
【選択図】図2
Description
図1(a)に示されている本発明の一実施形態としての真空吸着装置は、平板状のセラミックス多孔質体からなる載置部1と、セラミックス緻密質体からなる支持部2とを備えている。支持部2は、凹部21と、溝部22と、貫通孔23とを備えている。
まず、骨格粒子と、結合材粒子とが、水又はアルコールとともに混合されることによりスラリーが調整される(スラリー調整工程)。原料の混合法としては、ボールミル又はミキサーを用いた混合法等、公知の方法が採用される。水又はアルコールの添加量は特に限定されず、所望の流動性が得られるように適当に調整されればよい。
(実施例1)
第1骨格粒子を構成する粒子径60[μm]のアルミナ粉末(純度96.5%)と、第2骨格粒子を構成する粒子径8.0[μm]のアルミナ粉末(純度96.5%)と、結合材粒子を構成する粒子径2.5[μm]の硼珪酸ガラス(SiO2+B2O3)とが混合されることによりスラリーが調製された。第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比は、0.75:0.25に調節された。第1骨格粒子と第2骨格粒子との総和に対する結合材粒子の質量比は0.15に調節された。緻密質体及びスラリーの乾燥物が1000[℃]で3[hr]にわたって熱処理されることにより、実施例1の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子を構成するアルミナ粉末の粒子径が55[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で実施例2の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子を構成するアルミナ粉末の粒子径が40[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で実施例3の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子を構成するアルミナ粉末の粒子径が55[μm]に変更され、第2骨格粒子を構成するアルミナ粉末の粒子径が6.7[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で実施例4の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子を構成するアルミナ粉末の粒子径が55[μm]に変更され、第2骨格粒子を構成するアルミナ粉末の粒子径が5.5[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で実施例5の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.85:0.15に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例6の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.80:0.20に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例7の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.70:0.30に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例8の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.65:0.35に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例9の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.60:0.40に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例10の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.55:0.45に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例11の真空吸着装置が製造された。
結合材粒子を構成する硼珪酸ガラスの粒子径が5.0[μm]に変更されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例12の真空吸着装置が製造された。
結合材粒子を構成する硼珪酸ガラスの粒子径が2.0[μm]に変更されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例13の真空吸着装置が製造された。
結合材粒子を構成する硼珪酸ガラスの粒子径が1.5[μm]に変更されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例14の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との総和に対する結合材粒子の質量比が0.10に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例15の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との総和に対する結合材粒子の質量比が0.20に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例15の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子の粒子径が15[μm]に変更され、第2骨格粒子の添加量が0に調節され、結合材粒子がSiO2+CaCO3に変更され、結合材粒子の粒子径が0.6[μm]に変更されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例17の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子の粒子径が5.5[μm]に変更され、第2骨格粒子の添加量が0に調節され、第1骨格粒子(第1骨格粒子と第2骨格粒子との総和)に対する結合材粒子の質量比が0.10に調節され、結合材粒子がSiO2+NaOHに変更され、焼成温度が1550[℃]に調節されたほかは、実施例5と同様の条件下で実施例18の真空吸着装置が製造された。
(比較例1)
第1骨格粒子の粒子径が55[μm]に変更され、第2骨格粒子の添加量が0に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で比較例1の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子の粒子径が60[μm]より大きい65[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で比較例2の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子の粒子径が55[μm]に変更され、第2骨格粒子の粒子径が第1骨格粒子の粒子径の1/5より大きい12[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で比較例3の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.90:0.10に調節されたほかは、実施例4と同様の条件下で比較例4の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との質量比が0.50:0.50に調節されたほかは、実施例4と同様の条件下で比較例5の真空吸着装置が製造された。
結合材粒子の粒子径が第1骨格粒子の粒子径(55[μm])の1/10より大きい6.5[μm]に変更されたほかは、実施例4と同様の条件下で比較例6の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子の粒子径が40[μm]に変更され、第2骨格粒子の粒子径が8.0[μm]に変更され、結合材粒子の粒子径が第1骨格粒子の粒子径の1/10より大きい4.5[μm]に変更されたほかは、実施例1と同様の条件下で比較例7の真空吸着装置が製造された。
結合材粒子の粒子径が1.5[μm](第1骨格粒子の粒子径の1/10)に変更されたほかは、実施例17と同様の条件下で比較例8の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との総和に対する結合材粒子の質量比が0.1未満である0.08に調節されたほかは、実施例4と同様の条件下で比較例9の真空吸着装置が製造された。
第1骨格粒子と第2骨格粒子との総和に対する結合材粒子の質量比が0.2を超えている0.22に調節されたほかは、実施例4と同様の条件下で比較例10の真空吸着装置が製造された。
Claims (2)
- 載置面に物体を吸着保持するためのセラミックス多孔質体からなる載置部と、前記載置部の気孔に連通する吸気孔を有するセラミックス緻密質体からなる支持部とを備え、
前記載置部は、骨格粒子としてのセラミックス粒子が結合材粒子によって結合されることにより構成され、
前記載置部と前記支持部との接合界面が隙間なく構成され、
前記載置部の気孔率が25〜45%の範囲にあり、前記載置部における気孔のメディアン径が15[μm]以下であり、かつ、前記載置部における気孔のうち25[μm]以上の径を有する気孔の積算容積が0.02[ml/g]以下であることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1記載の真空吸着装置を製造する方法であって、
粒子径が60[μm]以下である第1骨格粒子を構成するセラミックス粒子と、粒子径が前記第1骨格粒子の1/5以下であり、前記第1骨格粒子に対する質量比が0.15〜0.45の範囲にある第2骨格粒子を構成するセラミックス粒子と、粒子径が前記第1骨格粒子の粒子径の1/10以下であり、前記第1骨格粒子と第2骨格粒子の総和に対する質量比が0.1〜0.2の範囲にある結合材粒子とを、水又はアルコールを加えて混合することによりスラリーを調整するスラリー調整工程と、
前記支持部の基礎となるセラミックス緻密質体に形成されている凹部に前記スラリーを充填するスラリー充填工程と、
前記緻密質体を前記凹部に充填された前記スラリーとともに前記結合材粒子の軟化点以上の温度で熱処理する焼成工程とを含むことを特徴とする製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019259A JP2013157571A (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | 真空吸着装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019259A JP2013157571A (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | 真空吸着装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013157571A true JP2013157571A (ja) | 2013-08-15 |
Family
ID=49052447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012019259A Pending JP2013157571A (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | 真空吸着装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013157571A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015065327A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 太平洋セメント株式会社 | 真空吸着装置 |
JP2015126208A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社日本セラテック | 真空吸着装置およびその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004306254A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Ibiden Co Ltd | 真空チャック |
JP4336532B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2009-09-30 | 太平洋セメント株式会社 | 真空吸着装置およびその製造方法 |
-
2012
- 2012-01-31 JP JP2012019259A patent/JP2013157571A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004306254A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-11-04 | Ibiden Co Ltd | 真空チャック |
JP4336532B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2009-09-30 | 太平洋セメント株式会社 | 真空吸着装置およびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015065327A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 太平洋セメント株式会社 | 真空吸着装置 |
JP2015126208A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社日本セラテック | 真空吸着装置およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101763665B1 (ko) | 연마물품 및 이의 성형방법 | |
JP5527602B2 (ja) | 吸着部材及びその製造方法 | |
JP4718397B2 (ja) | 真空吸着装置の製造方法 | |
JP2008211098A (ja) | 真空吸着装置、その製造方法および被吸着物の吸着方法 | |
JP5261057B2 (ja) | 吸着盤および真空吸着装置 | |
JP6279269B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP2008028170A (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP2013157571A (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP4336532B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP5681481B2 (ja) | 緻密質−多孔質接合体 | |
JP2005205507A (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP5973147B2 (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 | |
JP6179030B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP4405887B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP4704971B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP2012069557A (ja) | ポーラスチャック及びその製造方法 | |
JP4964910B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP6199180B2 (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP4405886B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP2012201578A (ja) | 真空吸着装置およびその製造方法 | |
JP6590675B2 (ja) | 真空吸着装置 | |
JP4468059B2 (ja) | 静圧軸受け装置 | |
JP6154274B2 (ja) | 吸着盤 | |
JP2008238357A (ja) | 真空チャック、真空吸着装置、吸着方法、および真空チャックの水分保持率管理方法 | |
JP2012015300A (ja) | 真空吸着装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141208 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20150326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160125 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160401 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160726 |