JP2013140094A - 波長検出器および、これを用いた接触プローブ - Google Patents
波長検出器および、これを用いた接触プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013140094A JP2013140094A JP2012000730A JP2012000730A JP2013140094A JP 2013140094 A JP2013140094 A JP 2013140094A JP 2012000730 A JP2012000730 A JP 2012000730A JP 2012000730 A JP2012000730 A JP 2012000730A JP 2013140094 A JP2013140094 A JP 2013140094A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- stylus
- lens group
- contact probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 79
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 54
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 44
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 40
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims abstract description 36
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 56
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 6
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 11
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 37
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 17
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 12
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】接触プローブ10は、被測定物Wに接触する接触部26を有するスタイラス22と、その姿勢を光学的に検出する光学検出手段30とを備える。スタイラスには照射対象の被照射部24が設けられ、この被照射部には3つの反射面28が形成されている。光学検出手段は、照射光を伝搬する3つのファイバ34と、各ファイバに所定の波長幅のスペクトルを示す照射光を供給する光源32と、各ファイバからの照射光を集光する集光レンズ群36と、各反射面の反射光を各ファイバ経由で受光し、その波長を検出する波長検出器40とを有する。波長検出器は、反射面と集光レンズ群との間隔変化に起因する波長変化に基づいて、スタイラスの姿勢情報を算出する。
【選択図】図1
Description
すなわち、本発明に係る波長検出器は、所定の波長域のスペクトルを示す3以上の照射光を被照射部の3以上の反射面に当てた際の、それぞれの反射光から取り出された部分波長の光を受光して、これらの光の波長をそれぞれ検出する波長検出器であって、並行レンズ群、分光素子、検出レンズ群、および、受光素子群を有して構成される。
並行レンズ群は、前記3以上の反射光から取り出された各光を3以上のレンズによって互いに並行な光にする。
分光素子は、前記並行レンズ群からの各光の照射を受けてその波長に応じた方向にそれぞれ出射する。
検出レンズ群は、前記分光素子からの出射方向に応じた各出射光を3以上のレンズによってそれぞれ集光する。
受光素子群は、前記検出レンズ群で集光された3以上の光の焦点位置をそれぞれ検出する。
そして、前記受光素子群は、前記分光素子からの出射方向に応じた3以上の光の焦点位置の各範囲をカバーする複数の素子からなり、前記複数の素子が一平面上に配置され、検出する焦点位置に基づいて各光の波長を算出する。
分光素子によって、並行レンズ群からの3以上の光は、それぞれの波長に応じた方向に進行する。並行レンズ群を用いるので、3以上の光が光ファイバなどからの放射光であっても、効率よく互いに並行する光を作り出せる。分光素子としては、プリズムや回折格子を利用できるが、特に、省スペース化のためには回折格子を採用することが好ましい。
また、分光素子の出射側に検出レンズ群を設けている。分光素子からの各光は、対応する個々の検出レンズで集光されて、その後段に設けられた受光素子群の受光面で焦点を結ぶ。
さらに、受光素子群は複数の素子からなる多素子型であるので、受光素子群に集光された光の強度は複数の素子によって検出される。そのため、焦点位置を中心とする複数の素子にまたがった強度分布が得られ、そのピーク位置を焦点位置として検出することができる。この際、1つの平面上に複数の素子を配置し、この素子群に3つの光を互いに干渉しない位置関係で照射すれば、1つの受光素子群によって、同時に3つの光の波長が独立して検出される。なお、受光素子群としては、複数の素子が一列に並んでいる素子列(ラインイメージセンサとも呼ばれる。)を採用できるが、CCD等いわゆるエリアセンサでも構わない。
並行レンズ群および検出レンズ群を使うことで、分光素子と受光素子群をそれぞれ1つの共通部品とすることができ、3以上の光ごとに分光素子と受光素子群を個別に設ける必要が無くなる。そのため、個別に設けた場合のアライメント調整の手間が省け、光学特性の個体差や個々のアライメントによって生じる検出誤差などの影響を排除することができる。このように、本発明によれば、3以上の光の各波長を簡単な光学素子の構成によって同時に、しかも、高い精度で検出することができる。
発明者らは、光の強度分布からピーク位置を検出することにより波長を特定するのであれば、最低1列の素子列さえあれば光の波長を検出することができることに着目し、この考えを3以上の光の波長検出の場合に応用した。すなわち、受光面に複数の素子列を配置して、各光が少なくともいずれかの素子列によって検出されるようにした。この構成によれば、例えばCCDのように受光面全体に隙間無く素子が配置されているものと比較して、必要な素子の数を大幅に削減することができ、無駄な素子による信号処理時間を省くことができる。その結果、信号処理スピードが高まり、測定の高速化を実現することができる。
この構成では、各素子列が、対応する検出レンズからの光の取り得る焦点位置の範囲をカバーして、各素子列に対応する光の波長を特定する。すなわち、1つの光の波長はいずれか1つの素子列によって検出される。この結果、受光面のなかで素子の無い部分に光が焦点を結んでしまうようなことを確実に避けることができる。
次に、本発明に係る接触プローブは、
先端が被測定物に接触するとともに接触に応じて姿勢が変化するように保持されたスタイラスと、前記スタイラスの姿勢を光学的に検出する光学検出手段とを備え、姿勢情報から被測定物の接触位置の座標を取得する接触プローブにおいて、
前記スタイラスには、前記光学検出手段の照射対象になる被照射部が設けられ、この被照射部には3以上の反射面が形成され、
前記光学検出手段は、3以上のファイバ、光源、集光レンズ群、および、前述の波長検出器を有して構成される。
各ファイバは、前記各反射面への照射光を伝搬する。
光源は、前記各ファイバに所定の波長幅のスペクトルを示す照射光を供給する。
集光レンズ群は、前記ファイバおよび対応する前記反射面の間の光軸上にそれぞれ設けられて前記各ファイバからの照射光をそれぞれ集光する。
波長検出器は、波長幅に応じた照射光の焦点位置の範囲内にある前記各反射面からの各反射光を前記各ファイバ経由で受光して、各反射光の波長を検出する。
そして、前記波長検出器は、前記3以上の反射面と集光レンズ群との各間隔の変化によって生じる各反射光の波長変化に基づいて、前記スタイラスの姿勢情報を算出する。
図1に示す接触プローブ10は、三次元測定機用の倣いプローブである。同図(A)のように、接触プローブ10は、被測定物Wとの接触によって姿勢が自在に変化する可動体20と、可動体20の姿勢を光学的に検出する光学検出手段30とを備え、その姿勢情報から被測定物Wの接触位置の座標を取得する。本実施形態では倣いプローブに関する。従って、可動体20が被測定物Wと接触した状態を保って、プローブ10を表面に沿って移動させると、可動体20の姿勢が連続的に検出されて、被測定物Wの表面性状(粗さ上方や凹凸情報等)を測定することができる。なお、本発明の接触プローブ10をタッチトリガープローブとして用いることもできる。
可動体20は、スタイラス22と、スタイラス22の上端に設けられた被照射部24とからなる。スタイラス22は、その下端の接触部26が被測定物Wに接触するとともに、その接触状態に応じて姿勢が変化する。被照射部24はスタイラス22と一体に形成されており、光学検出手段30の照射対象になる。スタイラス20の保持機構については詳しく説明しないが、例えば、特許文献1に記載のような切込みを有する支持プレートによって、被照射部24をプローブ本体の筐体60に保持させてもよい。スタイラス22の接触部26が被測定物Wに接触すると、支持プレートの弾性変形によってスタイラス22の姿勢が自在に変化する。
光学検出手段30は、光源32、ファイバ伝搬部(3以上のファイバ)34、集光レンズ群36、および、波長検出器40を有して構成される。
光源32は、ファイバ伝搬部34に所定の波長幅のスペクトルを示す光、例えば白色光を照射光として供給する。
次に、本発明で特徴的な波長検出器40について図1に基づいて説明する。
波長検出器40は、照射光の焦点位置の範囲内に位置する各反射面28からの反射光をファイバ経由で受光して、各反射光の波長を検出する。すなわち、反射面28と後段のレンズアレイ38との位置関係に応じて反射面28で焦点を結ぶ波長が決まり、集光レンズ群36で集光される反射光は、その波長の光になる。そして、波長検出器40は、後段のレンズアレイ38とこれに対応する反射面28との間隔の変化によって生じる反射光の波長変化を検出し、この波長変化に基づいて、スタイラス22の姿勢情報を算出する。
図1(C)は、並行レンズ群42および回折格子44を反射光の入射方向から見た図である。便宜上、両者を重ねて表記している。同図のように並行レンズ群42は、矩形の枠材に3つのレンズ50を直線上に配置したレンズアレイである。反射光を出射するファイバの各出口34Fが並行レンズ群42の各レンズ50を向くように配置されている。本実施形態では、ファイバの光軸とレンズ50の光軸が一致している。同図のS1〜S3は、3つの反射光の光軸を示す。この並行レンズ群42により、3つの反射光が互いに並行な光になる。
以上の構成の接触プローブ10を用いて、スタイラス22の姿勢を検出する原理について、図2〜図4を用いて説明する。ここでは、接触プローブ10を倣いプローブとして用いて、可動体の3方向の姿勢変化(Z軸方向(鉛直方向)の移動、X軸周りの回転、Y軸周りの回転)を検出する。
なお、可動体20の鉛直方向の移動では、受光素子群48の素子列上のピーク位置の変位は、Δp1=Δp2=Δp3となる。
まず、便宜的に可動体20が、図4(A)のようにY軸周りに角度θYだけ回転した場合を説明する。反射面28内の照射位置p1、p2、p3のうち、p1は下方に移動して、p2とp3は上方に移動する。照射位置p1については、反射面28で焦点を結ぶ波長は中立状態での設定波長よりも長くなる。その結果、長い波長の光が大きい回折角で受光素子群48を照射するので、同図(D)のように、素子列上のp1に対応する反射光のピーク位置は、上方へ移動する。一方、照射位置p2とp3の2つについては、それぞれの反射面28で焦点を結ぶ波長は、中立状態での設定波長よりも短くなる。その結果、短い波長の光が小さい回折角で受光素子群48を照射するので、同図(D)のように、p2とp3に対応する各反射光のピーク位置はそれぞれ下方へ移動する。
特に、反射光を伝搬する各ファイバからの出射光を、一つの回折格子44(またはプリズム)を介して、一つの受光素子群48で検出しているので、光学素子の個体差や個々のアライメントによって生じる姿勢検出誤差を軽減することができる。
そして、このような波長検出器40を接触プローブ10の内界センサとして用いれば、光源32や受光素子群48などの熱源が、プローブ本体の筐体60内に配置する必要がなくなり、かつ、スタイラス22の姿勢を高い精度で検出することができる。
受光素子群248としては、CMOSタイプのエリアイメージセンサを用いれば、構成が簡易となるが、より高速な検出を実現したい場合は、同図(D)のように基板の表面に4つの素子列を配置したものを用いるとよい。素子列とは、複数の素子52が一列に並んでいるもので、例えば、ラインセンサなどがある。
各素子列は、波長に応じた回折格子242の出射方向の変化に対して、その変化範囲をカバーする方向に並んでおり、対応する光の波長を特定する。素子列のアライメントを簡易化するために、予め一つの基板上に複数の素子列が並列配置されたものを適用してもよい。
また、受光素子群348についても、複数の素子列を互いに直交させて配置したものを用いてもよい。例えば、同図(D)のように、4つの素子列が正方形の周に沿って配置されたものを利用できる。
高速検出に関しては、数十キロHz程度のサンプリングが可能であり、コンパクト化に関しては、数ミリメートル径の接触プローブを実現することができる。その一方、集光レンズに対する反射面の移動範囲(作動距離)を大きく保つことが可能なため、プローブの内界センサとして用いた場合、スペースを広くとれるため、機構設計の自由度が高くなる利点を持つ。機構設計面での優位性としては、他の非接触内界センサと同様、検出部と可動体が分離されているため、スタイラスチェンジや修理等のメンテナンスを考慮した機構設計が容易である。
また、前述の接触プローブに偏光を利用して、図1におけるファイバ伝搬部34を1つのファイバ経路を構成するファイバ伝搬部としてもよい。このような接触プローブは、光源、1経路のファイバ、反射面側の偏光分岐手段、集光レンズ群、検出器側の偏光分岐手段、および、波長検出器を有する光学検出手段を備える。可動体や、集光レンズ部、波長検出器については、図1と同様の構成になる。
光源は、所定の波長幅のスペクトルを示す照射光を1経路のファイバに供給する。
反射面側の偏光分岐手段は、前記1経路のファイバ出口に配置され、ファイバにより伝搬された照射光を受光して、これを3つの異なる状態の偏光にするとともに、偏光状態ごとに分岐して、後段の集光レンズ群の各レンズに向けて出射する。
反射面側の偏光分岐手段には、例えば、偏光素子と、スプリッタなどの分岐素子とから構成したものを採用できる。一例として、まず、白色光を偏光フィルターに通して、所定の偏光面の直線偏光を取り出し、この直線偏光を3つに分岐する。分岐した1つの直線偏光を1/2位相板に通して、円偏光を得る。また、分岐した他の1つの直線偏光を1/4位相板に通して、もとの直線偏光と直交する偏光面を有する直線偏光を得る。このようにして得た3つの異なる状態の偏光を、後段の集光レンズ群の対応するレンズに入射させてもよい。
各反射面からの反射光は、前記の偏光分岐手段で合成され、1経路のファイバを経由して検出器に向けて伝搬される。
検出器側の偏光分岐手段は、該ファイバからの反射光を偏光状態ごとに3つの反射光に分岐する。
波長検出器は、分岐された各反射光の波長を検出する。
そして、波長検出器は、3つの反射面と集光レンズ群との各間隔の変化によって生じる各反射光の波長変化に基づいて、スタイラスの姿勢情報を算出する。
20 可動体
22 スタイラス
24 被照射部
28 反射面
30 光学検出手段
32 光源
34 ファイバ伝搬部
36 集光レンズ群
40 波長検出器
42 並行レンズ群
44 回折格子(分光素子)
46 検出レンズ群
48 受光素子群
60 筐体
Claims (7)
- 所定の波長域のスペクトルを示す3以上の照射光を被照射部の3以上の反射面に当てた際の、それぞれの反射光から取り出された部分波長の光を受光して、これらの光の波長をそれぞれ検出する波長検出器であって、
前記3以上の反射光から取り出された各光を3以上のレンズによって互いに並行な光にする並行レンズ群と、
前記並行レンズ群からの各光の照射を受けてその波長に応じた方向にそれぞれ出射する分光素子と、
前記分光素子からの出射方向に応じた各出射光を3以上のレンズによってそれぞれ集光する検出レンズ群と、
前記検出レンズ群で集光された3以上の光の焦点位置をそれぞれ検出する受光素子群と、を有し、
前記受光素子群は、前記分光素子からの出射方向に応じた3以上の光の焦点位置の各範囲をカバーする複数の素子からなり、前記複数の素子が一平面上に配置され、検出する焦点位置に基づいて各光の波長を算出することを特徴とする波長検出器。 - 請求項1記載の波長検出器において、
前記受光素子群は、複数の素子が一列に並んでいる素子列を複数含み、これらの複数の素子列を一平面上に配置して構成されたものであることを特徴とする波長検出器。 - 請求項2記載の接触プローブにおいて、
前記各素子列は、前記分光素子からの出射光の波長に応じた方向の変化に対して、その変化範囲をカバーする方向に並んでおり、対応する光の波長を特定することを特徴とする波長検出器。 - 請求項1から3のいずれかに記載の波長検出器において、
前記分光素子は回折格子であることを特徴とする波長検出器。 - 先端が被測定物に接触するとともに接触に応じて姿勢が変化するように保持されたスタイラスと、前記スタイラスの姿勢を光学的に検出する光学検出手段とを備え、姿勢情報から被測定物の接触位置の座標を取得する接触プローブにおいて、
前記スタイラスには、前記光学検出手段の照射対象になる被照射部が設けられ、この被照射部には3以上の反射面が形成され、
前記光学検出手段は、
前記各反射面への照射光を伝搬する3以上のファイバと、
前記各ファイバに所定の波長幅のスペクトルを示す照射光を供給する光源と、
前記ファイバおよび対応する前記反射面の間の光軸上にそれぞれ設けられて前記各ファイバからの照射光をそれぞれ集光する集光レンズ群と、
波長幅に応じた照射光の焦点位置の範囲内にある前記各反射面からの各反射光を前記各ファイバ経由で受光して、各反射光の波長を検出する請求項1から4のいずれかに記載の波長検出器と、を有し、
前記波長検出器は、前記3以上の反射面と集光レンズ群との各間隔の変化によって生じる各反射光の波長変化に基づいて、前記スタイラスの姿勢情報を算出することを特徴とする接触プローブ。 - 請求項5記載の接触プローブにおいて、
前記被照射部に形成された3以上の反射面は、プローブ軸をその軸とする円錐面上あるいは逆円錐面上に配置されていることを特徴とする接触プローブ。 - 請求項5記載の接触プローブにおいて、
前記被照射部に形成された3以上の反射面は、プローブ軸に直角な平面上に配置されていることを特徴とする接触プローブ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012000730A JP5909365B2 (ja) | 2012-01-05 | 2012-01-05 | 接触プローブ |
EP13150004.3A EP2613120B1 (en) | 2012-01-05 | 2013-01-02 | Contact probe using a wavelength detector |
US13/733,356 US8665435B2 (en) | 2012-01-05 | 2013-01-03 | Wavelength detector and contact probe using it |
CN201310001292.6A CN103196568B (zh) | 2012-01-05 | 2013-01-05 | 波长检测器及使用波长检测器的接触探头 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012000730A JP5909365B2 (ja) | 2012-01-05 | 2012-01-05 | 接触プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013140094A true JP2013140094A (ja) | 2013-07-18 |
JP5909365B2 JP5909365B2 (ja) | 2016-04-26 |
Family
ID=47721966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012000730A Expired - Fee Related JP5909365B2 (ja) | 2012-01-05 | 2012-01-05 | 接触プローブ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8665435B2 (ja) |
EP (1) | EP2613120B1 (ja) |
JP (1) | JP5909365B2 (ja) |
CN (1) | CN103196568B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020153705A (ja) * | 2019-03-18 | 2020-09-24 | 住友重機械工業株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009049272A2 (en) | 2007-10-10 | 2009-04-16 | Gerard Dirk Smits | Image projector with reflected light tracking |
WO2012054231A2 (en) | 2010-10-04 | 2012-04-26 | Gerard Dirk Smits | System and method for 3-d projection and enhancements for interactivity |
US8971568B1 (en) * | 2012-10-08 | 2015-03-03 | Gerard Dirk Smits | Method, apparatus, and manufacture for document writing and annotation with virtual ink |
US9810913B2 (en) | 2014-03-28 | 2017-11-07 | Gerard Dirk Smits | Smart head-mounted projection system |
US9377533B2 (en) | 2014-08-11 | 2016-06-28 | Gerard Dirk Smits | Three-dimensional triangulation and time-of-flight based tracking systems and methods |
US10043282B2 (en) | 2015-04-13 | 2018-08-07 | Gerard Dirk Smits | Machine vision for ego-motion, segmenting, and classifying objects |
WO2017106875A1 (en) | 2015-12-18 | 2017-06-22 | Gerard Dirk Smits | Real time position sensing of objects |
US9813673B2 (en) | 2016-01-20 | 2017-11-07 | Gerard Dirk Smits | Holographic video capture and telepresence system |
DE202016006669U1 (de) * | 2016-10-26 | 2017-08-29 | Tesa Sa | Optischer Sensor mit variierbaren Messkanälen |
EP3532863A4 (en) | 2016-10-31 | 2020-06-03 | Gerard Dirk Smits | FAST SCAN LIDAR WITH DYNAMIC VOXEL PROBE |
CN110226184B (zh) | 2016-12-27 | 2023-07-14 | 杰拉德·迪尔克·施密茨 | 用于机器感知的系统和方法 |
WO2018209096A2 (en) | 2017-05-10 | 2018-11-15 | Gerard Dirk Smits | Scan mirror systems and methods |
CN107390392A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-11-24 | 昆山国显光电有限公司 | 阵列基板检测设备和阵列基板检测方法 |
US10591605B2 (en) | 2017-10-19 | 2020-03-17 | Gerard Dirk Smits | Methods and systems for navigating a vehicle including a novel fiducial marker system |
WO2019148214A1 (en) | 2018-01-29 | 2019-08-01 | Gerard Dirk Smits | Hyper-resolved, high bandwidth scanned lidar systems |
CN108286937B (zh) * | 2018-01-30 | 2020-03-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 接触式扫描测头、坐标测量装置、系统及方法 |
IT201900006536A1 (it) * | 2019-05-06 | 2020-11-06 | Marposs Spa | Sonda per il controllo della posizione o di dimensioni lineari di una parte meccanica |
US11372320B2 (en) | 2020-02-27 | 2022-06-28 | Gerard Dirk Smits | High resolution scanning of remote objects with fast sweeping laser beams and signal recovery by twitchy pixel array |
CN116519150B (zh) * | 2023-07-03 | 2024-04-12 | 深圳市壹倍科技有限公司 | 波长量测系统及方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005037160A1 (de) * | 2005-08-06 | 2007-02-15 | SIOS Meßtechnik GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur taktilen Antastung |
JP2007218734A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Mitsutoyo Corp | 変位センサ、形状測定装置 |
JP2011017552A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Oputouea Kk | 多点変位検出装置 |
FR2950441A1 (fr) * | 2009-09-23 | 2011-03-25 | Sabban Youssef Cohen | Capteur optique dote de champ lateral pour la numerisation 3d |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1563249A1 (en) * | 2002-10-29 | 2005-08-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A coordinate measuring device and a method for measuring the position of an object |
JP4476140B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2010-06-09 | 富士通株式会社 | 波長選択スイッチ |
JP5318544B2 (ja) * | 2008-12-01 | 2013-10-16 | 株式会社ディスコ | レーザ加工装置 |
JP5558735B2 (ja) * | 2009-04-13 | 2014-07-23 | キヤノン株式会社 | 光断層撮像装置及びその制御方法 |
-
2012
- 2012-01-05 JP JP2012000730A patent/JP5909365B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-02 EP EP13150004.3A patent/EP2613120B1/en not_active Not-in-force
- 2013-01-03 US US13/733,356 patent/US8665435B2/en active Active
- 2013-01-05 CN CN201310001292.6A patent/CN103196568B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005037160A1 (de) * | 2005-08-06 | 2007-02-15 | SIOS Meßtechnik GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur taktilen Antastung |
JP2007218734A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Mitsutoyo Corp | 変位センサ、形状測定装置 |
JP2011017552A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Oputouea Kk | 多点変位検出装置 |
FR2950441A1 (fr) * | 2009-09-23 | 2011-03-25 | Sabban Youssef Cohen | Capteur optique dote de champ lateral pour la numerisation 3d |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
独国特許発明第102005037160 (DE,B4), JPN7016000673, ISSN: 0003280505 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020153705A (ja) * | 2019-03-18 | 2020-09-24 | 住友重機械工業株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP7212559B2 (ja) | 2019-03-18 | 2023-01-25 | 住友重機械工業株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2613120B1 (en) | 2014-10-15 |
JP5909365B2 (ja) | 2016-04-26 |
US8665435B2 (en) | 2014-03-04 |
US20130176561A1 (en) | 2013-07-11 |
CN103196568A (zh) | 2013-07-10 |
EP2613120A1 (en) | 2013-07-10 |
CN103196568B (zh) | 2017-05-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5909365B2 (ja) | 接触プローブ | |
US7681439B2 (en) | Measuring apparatus | |
KR101804610B1 (ko) | 차분 간섭계 모듈을 구비한 리소그래피 시스템 | |
CN101238348B (zh) | 表面的测量装置和方法 | |
US20120327221A1 (en) | Method and arrangement for tactile-optical determination of the geometry of a measurement object | |
CN100535767C (zh) | 一种调焦调平测量方法和装置 | |
JP4885942B2 (ja) | 光学的三角測量を利用した光学測定装置 | |
US8233153B2 (en) | Position detection system for the contactless interferometric detection of a location of a target object and scanning system equipped with the same | |
JPH03223609A (ja) | タッチプローブ | |
WO2009105188A1 (en) | Apparatus and method for measuring surface topography of an object | |
CN103256890A (zh) | 接触式探针 | |
JP6320267B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
JP5976390B2 (ja) | 位置測定装置 | |
JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP2013050448A (ja) | 干渉計方式により間隔測定するための機構 | |
TW201337215A (zh) | 焦點位置改變裝置及使用其之共焦光學裝置 | |
EP2244055A1 (en) | Tracking type laser interferometer | |
JP2006317200A (ja) | 表面形状測定装置 | |
KR101751414B1 (ko) | 초정밀 측정 기능을 갖는 3차원 측정장치 | |
JP2007069283A (ja) | 加工装置および加工装置を用いた製造方法 | |
JP2010223775A (ja) | 干渉計 | |
EP2538169B1 (en) | Grazing incidence interferometer | |
KR101486272B1 (ko) | 투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 측정 방법 | |
JP5135183B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2010014447A (ja) | 光学式測定システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5909365 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |