JP2013139788A - タービンエンジン用シールの研削性の変更 - Google Patents

Abstract

【課題】回転ラビリンスシール構造の改良型の設計を提供すること。
【解決手段】一態様では、本主題は、基板材料を含むシールを開示する。基板材料は、第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを有し、第１の研削性は、第２の研削性とは異なる。
【選択図】図１

Description

本主題は、概して、タービンに関し、より詳細には、タービンエンジン用シールに関する。

回転ラビリンスシールには様々な用途があり、こうした用途の一つは、ガスタービンエンジン内の様々な圧力にあるプレナム間のシーリングを行うことである。こうしたシールは、概して、主要な２つの要素、すなわち、回転シールと、固定シールまたはシュラウドとを含む。回転シールは、エンジンの軸方向の長さに平行な断面では、多くの場合に複数列の薄型の歯様の突起を有する。それらの突起は、比較的厚いベースから固定シールまたはシュラウドに向かって径方向に延在する。固定シールまたはシュラウドは、通常、薄型のハニカム状リボンの構成から形成されている。それらの主要な要素は、通常、エンジンの軸方向の長さを中心に円周方向に沿って配置されており、回転構成要素と固定構成要素の組み立てが可能になるようにそれらの間に小さいラジアル隙間を有するように位置決めされる。ラビリンスシール構成の目的は、主要なガス通路の外部へのガス通路の漏出を最小限に抑えること、ならびに温度および圧力が異なる圧縮機の様々な段を分けることである。

多くの場合に、エンジン効率は、主要なガス通路内のガスの流れと構成要素との間の相互作用を最大にするようにガスの流れを制御することによって、回転構成要素の周りのガスの漏出を最小限に抑えることに左右される。タービンエンジンの効率は、回転部材の動翼に衝突するガスの割合に正比例する。回転シールと固定シールとの間の精密な公差により高効率が実現される。これらの精密な公差を得るような製造プロセスは極めてコストが高く時間を浪費する。

ガスタービンエンジンが動作すると、動作温度が上昇して、回転ラビリンスシールにあるような対向する静止シールと回転シールとが、径方向に互いに向かって膨張する。回転ラビリンスシールは、径方向に膨張し、シュラウドを擦って、回転シールの薄型の突起とシュラウドとが互いに摩擦接触する。擦れる間に高い熱圧縮が生じ、その結果、擦れた後に強い引っ張りストレスが残る。こうした摩擦接触により、シールの歯の温度が２，０００°Ｆを超える温度まで上昇し、その結果、一方または両方のシール部材に損傷を与える恐れがある。例えば、回転先端部に割れ目が入り、折れて、シールの効率およびエンジンの動作が大幅に低下することがある。

シュラウドの薄型のハニカム状リボンの構造物は、シールの歯がその構造物の重量を減らしながら擦れる表面積を減らすために用いられ、必要な強度を提供しながらも回転シールへの熱伝達を最小限に抑えるのを助ける。さらに、回転ラビリンスシールの歯の先端部は、支持ベースまたはシェル構造から遮熱するために薄くなるように構築されている。しかし、（ハニカム中であっても）深く擦れることでエンジンの始動中およびエンジンの動作中に生じる過剰な熱により、回転するナイフエッジ状のシールに損傷を与える恐れがあり、そのため、耐久性およびエンジン効率に悪影響を及ぼし、ガスの流れ用の漏出のための通路が設けられてしまう。さらに、材料の変形が起きる恐れがあり、これもシールの特徴を低下させる。ハニカムセルが低密度であっても、切り込むと、やはり回転するシールの歯が損傷を受ける恐れがあり、それにより、部品の使用停止が早まる。

米国特許第７５００８２４号公報

シール構成の回転構造を改良することに多くの努力が払われてきたが、耐用年数を延ばしエンジンの動作効率を上昇させるために、固定構造に対する改良を含め、回転ラビリンスシール構造の改良型の設計が常に必要とされている。

本発明の態様および利点は、以下の説明に部分的に記載されているか、あるいは、その説明から明らかにすることができるか、または本発明の実践を通して学ぶことができる。

一態様では、本主題は、基板材料を含むシールを開示する。基板材料は、第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを有し、第１の研削性は、第２の研削性とは異なる。

別の態様では、本主題は、タービンエンジン用シールを開示する。そのシールは基板材料の一部分を含む。基板材料のその部分は、第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを有し、第１の研削性は第２の研削性とは異なる。

さらに別の態様では、本主題は、シールを作製する方法を開示している。その方法は、基板材料からシールを形成するステップを含む。そのシールは、第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを有し、第１の研削性は第２の研削性とは異なる。

本発明のこれらのおよび他の特性、態様、および利点は、以下の説明および添付の請求項を参照するとより良く理解されるであろう。添付の図面は、この明細書に組み込まれその一部を構成しており、本発明の実施形態を例示し、その説明と一緒になって本発明の原理を解釈する働きをする。

当業者を対象にした、本発明の最良のモードを含む、本発明の完全かつ実施可能な開示を、添付の図を参照する明細書に示す。

タービン圧縮機のロータおよびステータの図を示す。 ハニカム状シュラウドの部分図を示す。 ラビリンスシールの歯がハニカム状シュラウドに隣接しているところを示す、圧縮機の断面図を示す。 ラビリンスシールの歯がハニカム状シュラウドに隣接しているところを示す、階段状のラビリンスシールの構成の斜視図を示す。 ハニカム構造を示す。 ハニカム構造および切削面を示す。

次に、本発明の実施形態を詳細に参照する。それらの実施形態のうちの１つまたは複数の例を図面に例示する。各例は、本発明の説明として提示されており、本発明を限定するものではない。実際に、本発明の範囲または精神から逸脱することなく本発明に様々な変更および改変を実施できることが当業者には明らかになるであろう。例えば、ある実施形態の一部として例示または説明する特性を別の実施形態で使用して、さらに他の実施形態を生み出すことができる。したがって、本発明は、添付の請求項およびそれらの等価物の範囲内に包含されるこうした変更形態および改変形態をカバーするものである。

概して、本主題は、タービンエンジン用シール、およびそれを作製する方法を開示する。そのタービンエンジン用シールは基板材料を含み、その基板材料は、例えば、リボンの形態とすることができる。基板材料は、強化した部分および／または脆弱な部分を有することができ、そのため、望まれる位置では研削を可能にし、研削が望まれない他の領域では磨耗を最小限に抑えることが可能になる。こうした構成により、シールゾーンにおける漏出の可能性が低減される。さらに概略的に言うと、基板材料が第１の強度を有する第１の部分と、第２の強度を有する第２の部分とを有するとみなすことができる。ここで第１の強度は第２の強度よりも高い。例えば、ある部分は単に「基準」の材料強度を有し、別の部分はその「基準」よりも丈夫にすることも脆弱にすることもできる。

本開示は、一様に研削可能な表面に関する問題を克服する。すなわち、表面全体が容易に研削できる場合は、一部分が非常に速く磨耗するリスクがあり、かつ／または全体構造が脆弱なせいでその部分が損傷するリスクがある。一方で、表面全体が容易に研削できない場合は、特に磨耗速度および／または摩擦速度が遅いときに、所望の磨耗特徴を実現するのが難しくなる恐れがある。本開示により、所与の部分の各領域ごとに所望のレベルの研削性を可能にすることによって、２つのパラメータ間で選択する必要がなくなる。

次に図を参照すると、図１に概略的に、圧縮機のロータ４およびステータ６を有する典型的なエンジンの軸流圧縮機２の部分図が示されている。図では同様の部品は同じ番号を有する。図１の圧縮機ロータは一連の圧縮機動翼２０を含み、それらの動翼２０は圧縮機ディスク２２に組み付けられており、圧縮機ディスクは共通のシャフト２４に組み付けられている。本発明の回転ラビリンスシールは、図１には示していないが、圧縮機ディスク２２間の圧縮機ロータ上に２６の位置に配置されている。ステータ６は、固定されており、一連の静翼３０を含む。それらの静翼３０は、回転圧縮機動翼２０が動き、空気を軸方向に圧縮するときに、圧縮機を通る空気の流れを軸方向に方向付けする。圧縮機動翼２０は、圧縮機静翼３０の間で回転して、圧力および温度が異なる明確な段が形成される。薄型のハニカム状リボンから作製されたシュラウドが、それらの静翼３０と関連しているが、静翼から径方向内側に位置決めされており、圧縮機ロータ４の回転ラビリンスシールに向き合っている。この開示の方法は、特に、ロータ４上でディスク２２間に位置決めされている回転ラビリンスシールと、薄型のハニカム状リボンを含むステータ６に沿った固定式シールまたはシュラウドから形成されたラビリンスシールに適合されているが、所望の場合はこの方法を用いて他の構造を用意することができる。

図２には、概して円筒形の固定式シールまたはシュラウド４０の一部が示されており、その固定式シールまたはシュラウド４０は、ステータ６内に位置決めされており、ハニカム構造４２を含む。そのハニカム構造４２は、概して円筒形であり、典型的には（図２に示していない）裏当てリングに結合されている。ハニカム構造を形成する一方法は、ニッケル、またはニッケルベースの超合金など、薄型で延性のある材料シートを波形成形し、積み重ね、接合することによるものである。延性のある材料シートと相性が良いろう付け合金が、ハニカム構造と裏当てリングとの間の取り付け点に配置される。冷却時には、それらのシートは、仮付け溶接などの接合プロセスによって予め互いに取り付けられており、ろう付けによって取り付け点４４において裏当てリングに接続されている。

図３は、圧縮機２の断面図であり、圧縮機静翼３０に組み付けられたハニカム状シュラウド４０を示している。シュラウド４０に隣接した位置では、回転ラビリンスシール２８が圧縮機ディスク２２の間の圧縮機２の回転部分上に位置決めされている。回転ラビリンスシール２８はそれぞれ、少なくとも１つの歯５０を有し、その歯５０は、径方向外側にシュラウド４０に向かって突出している。圧縮機動翼２０は、圧縮機ディスク２２の外周２３に組みつけられ静翼３０間のガスの流路内に位置決めされているところが示されている。図３から明らかなように、エンジンの動作中に圧縮機の回転部分が径方向に膨張すると、回転ラビリンスシール２８の歯５０がシュラウドのハニカムを圧迫して、シュラウドから材料が除去される。図４は、回転ラビリンスシール２８の歯が、階段状のラビリンスシールの裏当てストリップ６０に接合されたハニカム状シュラウド４０を圧迫しているところを示す斜視図である。明確にするために他のエンジン構造は省いている。歯５０の回転方向は、動翼の歯を通って静翼から引いた線に垂直、すなわち、動翼の歯の突出に垂直であるか、または図の面に向う事実上矢印の方向である。理解できるように、シュラウド４０からの材料が、溶解によって除去されるのではなく壊れ易い小さい粒子の形態で除去されることが望ましい。溶解の場合は、除去するのにより多くのエネルギーを必要とし、そのエネルギーによって歯５０が加熱される。

前述の適用例はガスタービンエンジンの圧縮機部分で使用されるラビリンスシールについて言及しているが、ラビリンスシールの構成に関する同様の機械設計が、タービン部の様々な段を互いから分離および隔離するためにガスタービンエンジンのタービンまたは高温部分で使用されることが理解されよう。高温部で使用され材料は異なるものであり、ニッケルベースの超合金はエンジンのタービン部の高温かつ過酷な環境を耐え抜くように適合されているので、チタンベースの合金ではなくニッケルベースの超合金が用いられる。

本開示は、研削性の異なる明確な領域が存在する、ハニカム状のシールなど、優先的に研削可能なシールを提供する。本明細書で説明する優先的に研削可能なハニカム状のシールにより、ハニカムの磨耗特徴をより良好に制御することが可能になる。例えば、優先的な磨耗形状を実現することができるか、またはある部分にわたるより多くの磨耗を所望の位置に促進することができる。同時に、特定の部分の位置では磨耗を制限するために局所的な磨耗抵抗性を促進することができる。

例えば、図５を参照すると、ハニカム構造１０２を有する金属部分１００が例示されている。そのハニカム構造は、局所的に強化した２つの領域１０４、１０６と、それらの間に位置決めされた局所的に脆弱な領域１０８とを含む。この点で、物理的機構または化学的機構を含む、優先的な研削を行う任意の適切な機構を、本開示に関連して利用することができる。優先的な研削を行う機構は、対象の部分に含まれる選択された位置で研削を促進するポジティブ機構および／またはネガティブ機構を選択的に使用することを含むことができる。研削を促進するポジティブ機構は、表面グルービング、選択エッチング、イオン注入および／または拡散、アルミナイド化などを含むことができ、これらにより、選択した領域を脆弱にし、したがって、その選択した範囲を研削することが簡単になる。

例えば、本開示の方法は、ハニカム、例えば、リボン材料を形成する、延性のある材料をアルミニウム、窒素、水素、またはホウ素などの軽元素に高温で曝露して、それらの軽元素がハニカムの表面に拡散できるようにし、より簡単に機械加工し研削できる脆性相を形成することによってハニカムの強度の特徴を変更することで実行することができる。チタンアルミナイド（ＴｉＡｌ）およびニッケルアルミナイド（ＮｉＡｌ）などのアルミナイドコーティングが、延性脆性遷移温度（ＤＢＴＴ）未満の温度範囲では脆性の特徴を有することができ、表面がボロナイジング処理されて脆化することで高強度のニッケルベース金属シートの延性を低減させることが分かっている。ホウ素は軽元素であり、シール領域またはシュラウド領域の温度が１８００°Ｆに到達することがあるタービンエンジンの高温部内で迅速に拡散することができるが、到達する最高温度が概して約１３００°Ｆ（約７００℃）未満の範囲にあるタービンの圧縮機などエンジンの低温部または非流路範囲で利用することができる。これらの動作温度では、アルミニウムまたはさらにはホウ素などの軽元素のさらなる拡散が最小限に抑えられ、拡散コーティングが基板ベース材料中に成長し続けることがない。

したがって、薄型の表面層の下に延性のあるベース材料を維持しながら、拡散コーティングを薄型の基板中に成長させて、薄型の壊れ易い表面層を設けることが可能である。燃焼領域およびタービン部など、高温の用途では、ハニカム用のろう付け合金の固相線温度は約１９００°Ｆ超とすることができる。高温の用途では、その部分または構成要素の組み付けに用いられるろう付け合金の最低固相線温度よりも低い温度で、典型的には、約２５〜５０°Ｆだけ低い温度で、ハニカムにコーティングを施すことができる。一例として、低圧タービンの静翼は、固相線温度が約２１００°Ｆのろう付け合金を使用する。本発明に従って、ハニカムを約１９２５〜１９７５°Ｆの範囲にある温度で約２〜６時間コーティングした。

典型的にはハニカム材料を形成した後で、気相堆積法、パック法、ＣＯＤＡＬテープと呼ばれる活性アルミニウム含有テープ、またはスラリによって、コーティングを施すことができる。そのときに、そのコーティングを、ハニカムを形成するベース材料中に拡散する。所望の場合は、ハニカムを裏当て板に取り付ける領域をマスクして、ろう付けを容易にするために軽量の元素への曝露からそれらの領域を保護することができる。基板ベース材料シートを軽量の元素に曝露して、上昇する温度で拡散コーティングの形成を促進することによってコーティングを施した後で、マスク用材料を取り除き、そのため、従来のようにして裏板へのハニカムのろう付けを実現することができる。ハニカムを裏当て構造にろう付けした後でコーティングを施すことも可能である。ハニカム状のシールを拡散可能な元素に上昇する温度で曝露することによって、ハニカム状のシールの有効な環境への抵抗性を維持しながら、拡散可能な元素が簡単に基板材料中に有効な深さまで拡散して、延性のある基板の上で有効な深さまで延びる壊れ易いコーティングが形成される。

前述のように、コーティングは、いくつかの方法のうちのいずれかによって形成することができる。アルミナイドコーティングを形成する方法の一つが気相アルミナイド化（ＶＰＡ）であり、パック法またはオーバーパック法によって実現することができる。パック法では、基板はアルミニウムを含む粉末ならびに不活性の粉末内に配置される。しかし、他の軽量の粉末をアルミニウムの代わりに使用して、異なるタイプの壊れ易いコーティングを実現することができる。一形態では、加熱する前にハニカムセル内に粉末をパックすることができる。所望の場合はろう付けする範囲をマスクして、アルミニウムなど、軽量の元素へのその範囲の曝露を最小限に抑えてもよい。別の形態では、前述のようにハニカム構造が形成される前に適切なマスクをした状態で、基板シートを粉末中にパックしてもよい。軽量の元素への基板の曝露を強化するために、粉末には活性物質も含まれる。パックされた基板を予め選択した時間、所定の上昇する温度まで加熱して、軽量の元素が所定の距離だけ基板中に拡散できるようになって、所定の距離に対応する厚さを有するコーティングが形成される。基板中への元素の拡散の深さは、曝露温度および温度時間によって決まる。

拡散コーティングを基板中に成長させる別のＶＰＡ法はオーバーパック法によるものである。基板中に成長することによる、オーバーパック法における拡散コーティングの形成の仕組みは、パック法の仕組みと同様である。オーバーパック法の主な違いは、基板を粉末に物理的に直接接触させるのではなく、基板を粉末の上に吊り下げることである。ガス状の軽量の元素は、加熱するとガス相を形成し、そのガス相は吊り下げられた基板を覆うように流れる。その軽量の元素は、基板表面を覆うように流れ、それに堆積し、次いで、基板表面中に拡散する。

再度図５を参照すると、研削の促進に対するネガティブ機構は、実際には、所与の範囲を補強することになる。強化コーティング、イオン注入、熱処理、および／または焼なまし、焼き締めなどを含む、任意の適切な補強機構を利用することができる。こうした機構により、研削性が低下し、所与の位置の磨耗抵抗性を上昇させることができる。

さらに、ある領域を優先的に研削可能にしながら、例えば、隣接する範囲をより強くより研削抵抗性を高くすることが可能である。この点において、シールのその他の部分が、本明細書で説明したポジティブ処理、ネガティブ処理、またはその両方を受けないように、シールの少なくとも１つの部分をマスクすることができる。例えば、１つまたは複数の選択した内壁が処理を受けないようにハニカム中に延在できるマスク手段を利用することができる。

所与のレベルの研削性を有する明確なゾーン／領域が設けられると、隣接する構成要素との低温時のクリアランスをより狭くすることが可能になる。このように研削の制御は、動翼先端部のシーリング環境では特に有効なものとすることができ、所望の場合に研削を可能にするが、その他の場合はすぐ隣の領域で磨耗を最小限に抑え、それにより、シールゾーンにおける漏出の可能性が低下する。さらに、本明細書で説明した研削可能性が様々なシールは、ハニカムタイプのシール以外の他のシールシステムにも応用することができる。

本明細書で説明した方法の他の利点は、研削可能な範囲に歯が切り込むときに、比較的強い範囲が支持体として働くことである。一例として、図５では、領域１０４および１０６、つまり強化した領域は、領域１０８の輪郭が明確に切り込まれるように、支持体として働くことができる。このように切り口の輪郭を改善すると、最終的にはシーリング構造の改善につながる。

図６を参照すると、ハニカム構造１０２は、局所的に強化した２つの領域１０４、１０６と、それらの間に位置決めされている局所的に脆弱な領域１０８を含み、その領域１０８には切削面１１０が隣接して配置されている。シールの切削が切削面１１０によって開始されるときに、局所的に脆弱な領域１０８は容易に壊れ、引き裂きおよび／または細断が最小限に抑えられるので、シールの切削の後にきれいなシーリングエッジ１１２が存在する。切削面１１０も擦れる速度が遅いことで最小限の損傷しか受けない。それらの領域の強度に差があることで、切削がきれいになり、シーリングが効率的になる。

シュラウドを形成するハニカム状リボンの基板の厚さは、概して、約０．００１インチから約０．００５インチ、典型的には約０．００３インチである。ハニカムセルの幅は、典型的には、約１／１６インチ（０．０６３インチ）、１／３２インチ（０．０３２インチ）、または１／８インチ（０．１２５インチ）である。ハニカムセルの高さは、約１／４インチ（０．２５インチ）から約１／２インチ（０．５インチ）の間にある。

擦られる深さは０．０９０インチ程度とすることができるが、擦り取られる深さは、典型的には、３６０度の移動の場合に約０．０１５インチから約０．０２０インチであり、深さ約０．０６０インチは難しいと考えられる。

シールの少なくとも１つの脆弱な部分は、リボンの厚さの少なくとも約１０パーセントの深さを有することができる。いくつかの実施形態では、シールの脆弱な部分は、リボンの厚さの少なくとも約２５パーセントの深さを有することができる。さらに他の実施形態では、リボンの厚さのシールの脆弱な部分は、少なくとも約５０パーセントの深さを有することができる。

この書面による説明は、いくつかの例を用いて、最良のモードを含む本発明を開示し、さらに、任意のデバイスまたはシステムを作製および使用し、採用される任意の方法を実行することを含めて、当業者が本発明を実践できるようにしている。本発明の特許可能な範囲は、請求項によって定義されており、当業者が思いつく他の例を含むことができる。こうした他の例は、請求項の文字通りの言葉と相違ない構造上の要素を含む場合、または請求項の文字通りの言葉とは実質のない相違しかない等価の構造上の要素を含む場合は、特許請求の範囲内に包含されるものである。

２ 軸流圧縮機
４ ロータ
６ ステータ
２０ 動翼
２２ ディスク
２３ 外周
２４ シャフト
２８ 回転ラビリンスシール
３０ 静翼
４０ 固定式シールまたはシュラウド
４２ ハニカム構造
４４ 取り付け点
５０ 歯
６０ 裏当てストリップ
１０２ ハニカム構造
１００ 金属部分
１０４ 局所的に強化した領域
１０６ 局所的に強化した領域
１１０ 切削面
１１２ シーリングエッジ

Claims (18)

1. 第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを備える基板材料であって、前記第１の研削性が前記第２の研削性とは異なる、基板材料を備えるシール。
2. 前記基板材料がハニカム状のシールを備える、請求項１記載のシール。
3. 前記第１の部分が、前記第２の部分よりも低い研削性を有し、強化コーティングを含む、請求項１記載のシール。
4. 前記第１の部分が前記第２の部分よりも低い研削性を有する、請求項１記載のシール。
5. 前記第２の部分が前記第１の部分に隣接して配置される、請求項４記載のシール。
6. 前記第２の部分が、前記第１の部分よりも高い研削性を有し、前記基板の厚さの少なくとも約１０パーセントの深さを備える、請求項１記載のシール。
7. 前記第２の部分が、前記第１の部分よりも高い研削性を有し、前記基板の厚さの少なくとも約２５パーセントの深さを備える、請求項１記載のシール。
8. 前記第２の部分が、前記第１の部分よりも高い研削性を有し、前記基板の厚さの少なくとも約５０パーセントの深さを備える、請求項１記載のシール。
9. 基板材料の一部分を備え、基板材料の前記部分が、第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを備え、前記第１の研削性が前記第２の研削性とは異なる、タービンエンジン用シール。
10. 前記シールがハニカム状のシールを備える、請求項９記載のタービンエンジン用シール。
11. 前記第１の部分が前記第２の部分よりも低い研削性を有する、請求項９記載のタービンエンジン用シール。
12. 前記第２の部分が前記第１の部分に隣接して配置される、請求項１１記載のタービンエンジン用シール。
13. 前記第２の部分が、前記第１の部分よりも高い研削性を有し、前記基板の厚さの少なくとも約１０パーセントの深さを備える、請求項９記載のタービンエンジン用シール。
14. 前記第２の部分が、前記第１の部分よりも高い研削性を有し、前記基板の厚さの少なくとも約５０パーセントの深さを備える、請求項９記載のタービンエンジン用シール。
15. シールを作製する方法であって、
    基板材料からシールを形成するステップであって、前記シールが、第１の研削性を有する第１の部分と、第２の研削性を有する第２の部分とを備え、前記第１の研削性が前記第２の研削性とは異なる、ステップを含む方法。
16. 強化コーティング、イオン注入、熱処理、またはそれらの組み合わせを行うことによって、前記第１の部分が前記第２の部分よりも低い研削性を有する、請求項１５記載の方法。
17. 表面グルービング、選択エッチング、またはそれらの組み合わせによって、前記第２の部分が前記第１の部分よりも高い研削性を有する、請求項１５記載の方法。
18. 異なるレベルの研削性を有するように、少なくとも１つの部分を別様に処理するのを容易にするために、前記第１の部分または第２の部分をマスクするステップをさらに含む、請求項１５記載の方法。

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