JP2013134815A - 沿面放電型プラズマ生成器ならびにそれを用いた成膜方法 - Google Patents
沿面放電型プラズマ生成器ならびにそれを用いた成膜方法 Download PDFInfo
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Abstract
簡単な構造で広い範囲(例えば300mmウエハー全体)に均一で高密度の流束で活性粒子を供給し、ウエハー上に均一で強固な酸化膜や窒化膜を成膜できる放電プラズマ生成器、ならびに、それを用いた成膜方法を提供することにある。
【解決手段】
沿面放電プラズマ生成器は、真空容器内に置かれた板状誘電体に2組の電極を形成のうえ、それらを覆って誘電体(保護誘電体)を設けた沿面放電素子において、これらの電極間に高周波高電圧を印加することで、この保護誘電体表面に沿面放電プラズマを発生させて、そこから空間に進展する活性粒子源を生成のうえ、対向して電子デバイス用基材を設置し、これらの空間に供給されたガスで沿面放電プラズマを生成し、電子デバイス用基材の表面に活性粒子を供給することでシリコン膜、酸化膜や窒化膜などを成膜する。
【選択図】図4
Description
2 誘導電極ターミナル
3 高電圧配線
4 高周波高電圧電源
5 アース配線
6 アース
7 誘導電極接続線
8 板状誘電体
9 誘導電極
10 放電電極接続線
11 放電電極ターミナル
12 セラミックシート(誘導電極側)
13 セラミックシート(放電電極側)
14 放電電極
15 板状誘電体内表面
16 保護誘電体
21 放電電極−誘導電極構造の丸形沿面放電素子
22 外周部誘導電極ターミナル
23 外周部誘導電極接続線
24 外周部誘導電極
25 外周部高電圧配線
26 外周部駆動用高周波高電圧電源
27 外周部アース配線
28 外周部放電部
29 内側放電部
31 スリット電極構造の丸形沿面放電素子
32 高電圧側接続線
33 高電圧電極接続線
34 低電圧電極接続線
35 低電圧側接続線
36 高電圧電極
37 低電圧電極
41 真空
42 沿面放電素子
43 ホルダー
44 冷却器
45 高電圧接続ターミナル
46 高電圧配線
47 低電圧配線
48 アース接続ターミナル
49 真空容器
50 ガス源
51 ガス供給菅
52 沿面放電
53 活性粒子が豊富に存在する空間
54 基板
55 サセプタ
56 サセプタ支持体
57 真空ポンプ系
58 ガス供給菅(2)
59 ガス源(2)
Claims (7)
- 真空容器内に置かれた板状誘電体に2組の電極を形成のうえ、それらを覆って誘電体(保護誘電体)を設けた沿面放電素子において、これらの電極間に高周波高電圧を印加することで、この保護誘電体表面に沿面放電プラズマを発生させて、そこから空間に進展する活性粒子源を生成することを特徴とする沿面放電プラズマ生成器。
- 板状誘電体に形成された2組の電極のいづれか一方が2個以上の領域に分割されており、その分割された領域が絶縁された上で、個別の高周波高電圧が印加されることを特徴とする請求項1に記載の沿面放電プラズマ生成器。
- 板状誘電体の内部、又は、外表面に平面上の誘導電極を形成し、誘電体層を隔ててスリット状の放電電極を形成したうえで、この放電電極を覆って誘電体(保護誘電体)を設けたことを特徴とする請求項1から2に記載の沿面放電プラズマ生成器。
- 放電電極が接地されていることを特徴とする請求項3に記載の沿面放電プラズマ生成器。
- 誘電体の表面にスリット状の2組の電極を形成のうえ、それらを覆って誘電体(保護誘電体)を設けたことを特徴とする請求項1から2に記載の沿面放電プラズマ生成器。
- 誘電体、2組の電極ならびに保護誘電体を一体的に焼結することで2組の電極間の絶縁を確保することを特徴とする請求項1から5に記載の沿面放電プラズマ生成器。
- 請求項1に記載の沿面放電プラズマ生成器に対向して電子デバイス用基材を設置し、これらの空間に供給されたガスで沿面放電プラズマを生成し、電子デバイス用基材の表面に活性粒子を供給することでシリコン膜、酸化膜や窒化膜などを成膜することを特徴とする沿面放電プラズマ生成器を用いた成膜方法。
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