JP2013122445A5

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Info

Publication number: JP2013122445A5
Application number: JP2012232344A
Authority: JP
Filing date: 2012-10-02
Publication date: 2014-07-17
Anticipated expiration: 2032-10-02

Claims

パターン化サンプルの光学検査で使用する方法であって、
検査下のサンプルによって定義される検査面に対するスペクトル面である共役面における照明チャネル及び収集チャネルにそれぞれ配置するための照明マスク及び収集マスクを選択するステップを備え、
前記選択するステップは、
所定の照明スポットによる照明に対する検査下の前記サンプルからの既知の回折応答に従って、前記照明マスク及び前記収集マスクに対する特徴の第１及び第２の空間パターンを選択し、前記第１及び第２の空間パターンが、照明スポットの寸法、前記照明チャネルの開口数及び光収集領域の寸法をそれぞれ定義している光透過領域及び光遮断領域によって形成されるようにするステップと、
前記検査面に対する前記照明チャネルの所定の角度方向と、前記検査面に対する前記収集チャネルの所定の角度方向とを提供し、前記照明マスクを介した光経路によって作成される第１の構造光の光成分が、前記収集マスクを介した光経路によって作成される第２の構造光の光成分間の間隔と所定の位置合わせ状態になり、前記第２の構造光の前記光成分によって定義される前記収集領域と前記照明スポットの寸法との間の望ましい関係を決定するステップと、
前記開口数を有すると共に検査面に対する前記所定の角度方向を有する照明チャネルに沿って照明マスクを介して伝搬する光でサンプルを照明し、これにより前記サンプル上に照明スポットを生じて前記サンプルからの回折応答を引き起こすステップと、
前記検査面に対する所定の角度方向の収集チャネルに沿って前記収集マスクを介して前記サンプルから戻ってくる光を収集し、検出面に対する収集光の伝搬を可能にするステップとを備えた方法。
前記第１の空間パターンを介した光経路によって生じる前記第１の構造光の光成分と、前記第２の空間パターンを介した光経路によって生じる前記第２の構造光の光成分との間の前記所定の位置合わせは、検査下の前記サンプルからの光の正反射を遮るように選定され、前記検出面に対するその伝搬を妨げる請求項１に記載の方法。
前記検査面に対する照明チャネル及び収集チャネルの角度方向は、照明チャネル及び収集チャネルの共通の結像光学系を介して光を透過することを含む通常の入射モードを定義する、請求項１に記載の方法。
前記検査面に対する照明チャネル及び収集チャネルの角度方向は、傾斜入射検査モードしたがって異なる請求項１に記載の方法。
前記照明マスクの光透過領域及び光遮断領域によって形成される特徴の前記第１の空間パターンは、少なくとも１つの楕円状の透過領域を定義するように選択される請求項１に記載の方法。
前記照明マスクの光透過領域及び光遮断領域によって形成される特徴の前記第１の空間パターンは、前記楕円状の透過領域の一次元アレイ又は二次元アレイを定義するように選択される請求項１に記載の方法。
前記照明マスクにおける隣接する透過領域の中心間の距離は、検査下の前記サンプル上のパターンのピッチの所定の関数として選定される請求項６に記載の方法。
前記選択するステップは、少なくとも照明の波長を含む所定の照明パラメータの照明に対して検査下の前記サンプルの前記回折応答を示す既知のデータを利用することを含む請求項１に記載の方法。
パターン化サンプルの光学検査で使用する方法であって、
少なくとも照明の波長を含む所定の照明パラメータの照明に対する検査下のサンプルの回折応答を示すデータを提供すると共に、前記回折応答に関連する回折ローブを遮断しようとする光学検査システムの収集チャネルにおいて用いられることになる収集マスクの特徴の空間パターンを示すデータを提供するステップと、
前記光学検査システムの照明チャネルにおいて用いられることになる照明マスクに対する特徴の空間パターンを選択するために前記収集マスクを示すデータと検査下の前記サンプルの回折応答を示すデータとを利用し、前記選択は、前記照明マスクにおける光透過領域の幾何形状及び配置の選択を含み、前記照明マスクを介した光経路によって生じる第１の構造光の光成分間の所望の照明スポットサイズ及び所望の位置合わせと、前記収集マスクのパターンを介した光経路によって生じる第２の構造光の光成分間の間隔とを提供し、前記収集マスクのパターンによって定義される収集領域と、前記照明マスクのパターンを介した光経路によって定義される照明スポットの寸法との間の所望の関係を提供するステップと、
前記照明チャネル及び収集チャネルのそれぞれにおいて、検査面に対する共役スペクトル面における照明マスク及び収集マスクを調節すると共に、前記照明チャネルに沿って前記照明マスクを介して伝搬する光で前記サンプルを照明し、前記収集チャネルに沿って前記収集マスクを介して前記サンプルから戻ってくる光を収集し、検出面に対する収集光の伝搬を可能にするステップとを備えた方法。