JP2013119198A

JP2013119198A - マスクホルダ

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Publication number: JP2013119198A
Application number: JP2011267970A
Authority: JP
Inventors: Koji Okawa; 浩二大川; Yusuke Sueyasu; 祐介末安
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2011-12-07
Filing date: 2011-12-07
Publication date: 2013-06-17
Anticipated expiration: 2031-12-07
Also published as: US8833253B2; DE112012005138T5; WO2013084388A1; CN103328215A; US20140053743A1; CN103328215B; JP5799207B2; KR20140105696A

Abstract

【課題】マスクの設置作業を容易に行うことができるマスクホルダを提供すること目的とする。
【解決手段】前方から水平に挿入されたマスクの左右両辺を支持する左右辺支持部３１に対して前後方向への移動操作が可能な操作つまみ４２、左右辺支持部３１の側方を前後方向に延びて設けられ、前端部が操作つまみ４２に連結されたロッド部材４５、ロッド部材４５の後端に連結され、操作つまみ４２の左右辺支持部３１に対する前後方向への移動操作によりロッド部材４５を介して前後方向に移動されるとともに、操作つまみ４２による左右辺支持部３１に対するロッド部材４５の固定操作により左右辺支持部３１に対して固定されて左右辺支持部３１に左右両辺が支持されたマスク１５の後縁に当接される後縁ストッパ４７及び左右辺支持部３１に左右両辺が支持されたマスク１５の前縁と当接される前縁ストッパ５３を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、マスク上でスキージを摺動させて基板に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機において基板と接触されるマスクを保持するマスクホルダに関するものである。

スクリーン印刷機は、基板保持部に保持した基板上の電極に半田等のペーストを印刷する装置であり、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が上下に一致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せ、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるようになっている。

このようなスクリーン印刷機において、マスクは基板保持部の上方に設けられたマスクホルダによって水平姿勢に保持される。マスクホルダは、オペレータから見たマスクの左右両辺を支持する左右辺支持部のほか、左右辺支持部の後部に設けられて左右辺支持部によって左右両辺が支持されたマスクの後縁が当接される後縁ストッパと、左右辺支持部の前部に設けられてマスクの前縁に当接される前縁ストッパを有して成る（例えば、特許文献１）。

マスクはスクリーン印刷の対象となる基板の種類等に応じて変更する必要があることから、マスクホルダの左右辺支持部はマスクの左右両辺を支持する一対のレール状部材の間隔をマスクの左右方向寸法に合わせて変化させることができるようになっており、前縁ストッパの前後方向位置もマスクの寸法に合わせて変えることができるようになっている。また、マスクホルダによっては後縁ストッパの前後方向位置も変えることができるようになっているものがある。

特開２０１１−１８９６７０号公報

しかしながら、従来のマスクホルダでは、後縁ストッパ及び前縁ストッパはそれぞれ左右辺支持部に螺子止めする構成となっていたため、後縁ストッパの位置を変えるときには、オペレータはスクリーン印刷機の背面側に移動して左右辺支持部に対する後縁ストッパの取り外しと取り付けを行う必要があり、通常の作業位置を離れなければならないうえ、部品（後縁ストッパそのものやその取り付け螺子等）を落下させたり紛失したりするおそれもあることから、マスクの設置作業を容易に行うことができないという問題点があった。

そこで本発明は、マスクの設置作業を容易に行うことができるマスクホルダを提供すること目的とする。

請求項１に記載のマスクホルダは、スクリーン印刷機において基板と接触されるマスクを保持するマスクホルダであって、前方から水平に挿入されたマスクの左右両辺を支持する左右辺支持部と、前記左右辺支持部に対して前後方向への移動操作が可能な操作部材と、前記左右辺支持部の側方を前後方向に延びて設けられ、前端部が操作部材に連結されたロッド部材と、前記ロッド部材の後端に連結され、前記操作部材の前記左右辺支持部に対する前後方向への移動操作により前記ロッド部材を介して前後方向に移動されるとともに、前記操作部材による前記左右辺支持部に対する前記ロッド部材の固定操作により前記左右辺支持部に対して固定されて前記左右辺支持部に左右両辺が支持されたマスクの後縁に当接される後縁ストッパと、前記左右辺支持部に左右両辺が支持されたマスクの前縁と当接される前縁ストッパとを備えた。

請求項２に記載のマスクホルダは、請求項１に記載のマスクホルダであって、前記前縁ストッパは、前記左右辺支持部に前後方向に延びて設けられた軸部材に対してスライド自在であり、前記左右辺支持部に対するマスクの挿脱時には前記軸部材に対して揺動してマスクと干渉しない位置に退避し得るようになっている。

本発明では、左右辺支持部に対する前後方向への移動操作が可能な操作部材によって操作されるロッド部材の後端に後縁ストッパが連結されており、後縁ストッパの前後方向への移動と左右辺支持部に対する固定とをマスクホルダの側方（更にはマスクホルダの前方）から行うことができるので、オペレータは後縁ストッパの位置を変えるために通常の作業位置を離れてスクリーン印刷機の背面側に移動する必要がなく、部品（後縁ストッパそのものやその取り付け螺子等）を紛失するおそれもないので、マスクの設置作業を容易に行うことができる。

また前縁ストッパは、左右辺支持部に前後方向に延びて設けられた軸部材に対してスライド自在であり、左右辺支持部に対するマスクの挿脱時には軸部材に対して揺動してマスクと干渉しない位置に退避し得るようになっているので、前縁ストッパをマスクの前縁に当接させる作業を前縁ストッパの軸部材に対するスライド操作と軸部材回りに揺動させる操作とによって行うことができる。このため部品（前縁ストッパそのものやその取り付け螺子等）を紛失するおそれがなく、この点からもマスクの設置作業を容易に行うことができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダの斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダの部分拡大斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダの部分拡大斜視図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダの部分拡大正面図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダにマスクを設置する手順を示す図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダにマスクを設置する手順を示す図本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すフローチャート（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示す図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示す図（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示す図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行する装置であり、基台１０上に設けられた基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２及び基板搬出コンベア１３、基板保持ユニット１２の上方に設けられたマスクホルダ１４、マスクホルダ１４によって水平姿勢に保持されたマスク１５、マスク１５の上方に設けられたスキージヘッド１６、マスク１５の下方に設けられたカメラユニット１７並びに基台１０内に設けられて各部の作動制御を行う制御装置１８を備えている。

基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入し（図１中に示す矢印Ａ１）、基板保持ユニット１２に受け渡す。基板搬出コンベア１３は基板保持ユニット１２から受け取った基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１中に示す矢印Ａ２）。すなわち、基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２、基板搬出コンベア１３の順で搬送され、この基板２の移動方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とする。また、このＸ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。

基板保持ユニット１２は、ＸＹＺロボットから成るユニット移動機構１２ＡによってＸＹ平面内での移動（回転も含む）及びＺ軸方向への移動が自在なユニットベース２１、ユニットベース２１に取り付けられて基板２のＸ軸方向への搬送及び所定の作業位置（図１に示す位置）への位置決めを行う一対のコンベア２２、ユニットベース２１に設けられた下受け部昇降シリンダ２３、下受け部昇降シリンダ２３によって昇降され、コンベア２２によって作業位置に位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持する下受け部２４及びＹ軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＹ軸方向から挟んで（クランプして）保持する一対のクランプ部材２５を備えている。

図３において、マスク１５は基板２上の電極３の配置に対応して設けられた多数のパターン孔１５ｈを有した矩形の金属板から成るマスク本体１５ａ、マスク本体１５ａの周囲に設けられた樹脂（例えばポリエステル）製のメッシュ状の膜部材１５ｂ及び膜部材１５ｂの外周部を支持する矩形枠状のマスク枠１５ｗから成る。

図３及び図４において、マスクホルダ１４は、Ｙ軸方向に延びてマスク１５のＸ軸方向に対向する左右両辺を下方から支持する断面Ｌ字状の左右一対のレール状部材３０から成る左右辺支持部３１と、Ｘ軸方向に延びて左右のレール状部材３０をそれぞれＸ軸方向へ移動自在に支持する前後一対のガイド部材３２を備える。前後のガイド部材３２はＹ軸方向に延びてＸ軸方向に対向して設けられた左右一対のビーム部材３３によって基台１０に対して固定されている。

図３及び図４において、左右のビーム部材３３にはそれぞれレール状部材駆動シリンダ３４が設けられている。各レール状部材駆動シリンダ３４のＸ軸方向に延びたピストンロッドはレール状部材３０に連結されており、２つのレール状部材駆動シリンダ３４のピストンロッドが同期して進退すると左右のレール状部材３０が前後のガイド部材３２に沿って（すなわちＸ軸方向に）互いに反対方向に移動する。

図４に示すように、制御装置１８にはオペレータＯＰによって操作される間隔調整操作部３５が接続されており、制御装置１８は間隔調整操作部３５の操作量に応じて左右のレール状部材駆動シリンダ３４の作動量を制御する。このためオペレータＯＰは間隔調整操作部３５の操作量を調整することで左右のレール状部材３０のＸ軸方向の間隔調整を行うことができる。

図４及び図５（ａ）に示すように、マスクホルダ１４の左右辺支持部３１を構成する各レール状部材３０の垂直部３０ａの外側面の前方位置には、操作用テーブル４１が前後方向に延びて設けられている。操作用テーブル４１には上下（厚さ方向）に貫通して前後方向に延びた長穴状の移動溝４１ａが設けられており、操作用テーブル４１の上方には操作つまみ４２が位置し、操作用テーブル４１の下方には上下方向に延びた連結棒４３が位置している。

図５（ａ）において、操作つまみ４２は下方に延びた雄螺子部４２ａを有しており、その雄螺子部４２ａを連結棒４３の上端の雌螺子部４３ａに上方から螺入させている。操作つまみ４２の雄螺子部４２ａの外径は移動溝４１ａの溝幅より小さいが操作つまみ４２の外径及び連結棒４３の外径は移動溝４１ａの溝幅よりも大きくなっており、操作つまみ４２を上下軸回りに捻って雄螺子部４２ａを連結棒４３の雌螺子部４３ａに進入させていくことで、操作用テーブル４１を操作つまみ４２と連結棒４３とによって挟持して連結棒４３を操作用テーブル４１に固定させることができる。

図５（ａ）において、連結棒４３の下端には連結ブロック４４を介してロッド部材４５の前端部が取り付けられている。ロッド部材４５はレール状部材３０の外側方を前後方向に延びており、レール状部材３０の外側面に設けられた複数のロッド部材支持具４６に支持されて前後方向（ロッド部材４５の軸方向）に移動自在となっている。

図４及び図５（ｂ）に示すように、レール状部材３０の垂直部３０ａの後端部には前後方向に延びたスリット３０ｓが設けられている。ロッド部材４５の後端部にはスリット３０ｓをＸ軸方向に貫通して延びた突出片４５ａが設けられており、この突出片４５ａの端部にはブロック状の後縁ストッパ４７が取り付けられている（図４も参照）。このためオペレータＯＰは操作つまみ４２を移動溝４１ａに沿って前後に移動させることにより、連結棒４３、連結ブロック４４及びロッド部材４５を介して後縁ストッパ４７を前後方向に移動させることができるとともに、操作つまみ４２を上下軸回りに捻って連結棒４３を操作用テーブル４１に固定する固定操作（操作つまみ４２による左右辺支持部３１に対するロッド部材４５の固定操作）を行うことで、後縁ストッパ４７をレール状部材３０に対してＹ軸方向の任意の位置に固定することができる。

図６（ａ），（ｂ）に示すように、各レール状部材３０の垂直部３０ａの内側面の前方位置には、垂直部３０ａの内側面から水平に突出して延びた前後一対の突出部５１が設けられており、これら一対の突出部５１には前後方向に延びた軸部材５２の前後端が支持されている。

軸部材５２には、軸部材５２が前後方向に貫通して延びる垂直部５３ａ及び垂直部５３ａの下端からマスクホルダ１４の内方（Ｘ軸方向に対向する他方のレール状部材３０に向く側）に張り出して延びた水平部５３ｂを有して全体としてＬ字状に形成された前縁ストッパ５３が取り付けられている。この前縁ストッパ５３は、軸部材５２を回転軸としてＹ軸回りに揺動自在であるとともに、軸部材５２に沿ってＹ軸方向にスライド自在である。

図６（ａ），（ｂ）において、前縁ストッパ５３の垂直部５３ａには揺動ピン５４を中心にＹ軸回りに揺動自在なロック部材５５が取り付けられており、軸部材５２に沿った飛び飛びの位置には、軸部材５２の表面を周回する複数の係止溝５２ａが設けられている。ロック部材５５は、その上端の係止部５５ａを軸部材５２上の複数の係止溝５２ａのひとつに選択的に係止させて軸部材５２に対する前縁ストッパ５３のＹ軸方向へのスライド移動を規制するロック位置（図６（ａ））と、係止部５５ａを係止溝５２ａから離脱させて軸部材５２に対する前縁ストッパ５３のＹ軸方向へのスライド移動を許容する非ロック位置（図６（ｂ））との間で揺動自在である。ロック部材５５と前縁ストッパ５３の水平部５３ｂとの間には引っ張りばね５６が掛け渡されており、ロック部材５５は引っ張りばね５６の付勢力（引っ張り力）によって常時ロック位置側に付勢されているが、オペレータＯＰはロック部材５５に設けられたレバー片５５ｂを下方に押圧することで（図６（ｂ）中に示す矢印Ｂ）、引っ張りばね５６の付勢力に抗してロック部材５５を揺動ピン５４回りに揺動させて、係止部５５ａを係止溝５２ａから離脱させた非ロック位置に位置させることができる。

前縁ストッパ５３は、水平部５３ｂが軸部材５２より上方に位置し、左右辺支持部３１に対するマスク１５の挿脱時にマスク１５と干渉しない退避位置（図７（ａ））と、水平部５３ｂが軸部材５２よりも下方に位置し、左右辺支持部３１に対するマスク１５の挿脱時にマスク１５と干渉する（したがって、左右辺支持部３１によって左右辺支持持されたマスク１５の前端部に当接し得る）当接可能位置（図７（ｂ））との間で揺動部材５２回りに揺動自在である。

このような構成のマスクホルダ１４にマスク１５を保持させるときには、オペレータＯＰは先ず、間隔調整操作部３５の操作を行って左右辺支持部３１（左右のレール状部材３０）の間隔がマスク１５の左右方向寸法に合致したものになるように調整し（図８（ａ）中に示す矢印Ｃ）、左右の前縁ストッパ５３をそれぞれ軸部材５２回りに揺動させて退避位置に位置させる（図８（ａ）中に示す矢印Ｄ１）。そして、左右の操作つまみ４２を前後方向に移動させて（図８（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、左右の後縁ストッパ４７を最後方の位置（突出片４５ａの後端がスリット３０ｓの後端に当接する位置）に位置させたうえで、マスク１５の左右両縁の下面が左右のレール状部材３０の水平部３０ｂによって下方から支持されるようにマスクホルダ１４の前方からマスク１５を挿入する（図８（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）。

これによりマスク１５の後縁が左右の後縁ストッパ４７に当接したら、左右の前縁ストッパ５３の軸部材５２に対するロックを解除したうえで左右の前縁ストッパ５３をそれぞれ軸部材５２に沿って前後方向にスライドさせ（図９（ａ）中に示す矢印Ｇ）、マスク１５の前後方向寸法に適した位置に位置させてロック部材５５によって前縁ストッパ５３を軸部材５２に対してロックしたうえで、左右の前縁ストッパ５３をそれぞれ軸部材５２回りに揺動させて当接可能位置に位置させる（図９（ａ）中に示す矢印Ｄ２）。そして、左右の操作つまみ４２を同時に前方へ引き寄せることによって（図９（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）、マスク１５全体を前方へ移動させ（図９（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）、マスク１５の前縁を左右の前縁ストッパ５３に後方から当接させたうえで、左右の操作つまみ４２を捻って左右のロッド部材４５の固定操作を行う。これによりマスク１５がマスクホルダ１４によって保持された状態となり、マスクホルダ１４へのマスク１５の設置が完了する。

図１及び図２において、スキージヘッド１６は、マスクホルダ１４に保持されたマスク１５の上方領域をＹ軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材６１、ベース部材６１に取り付けられてピストンロッド６２ａをベース部材６１の下方に突出させた２つのスキージ昇降シリンダ６２、各スキージ昇降シリンダ６２のピストンロッド６２ａの下端に取り付けられてＸ軸方向に延びたスキージ保持具６３及び各スキージ保持具６３に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る２つのスキージ６４を備えている。

図１及び図２において、カメラユニット１７は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１７ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１７ｂを備えて成る。カメラユニット１７は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構１７Ｍによってマスク１５の下方領域を水平面内方向に移動される。

基板保持ユニット１２のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対のクランプ部材２５によるクランプ動作は、制御装置１８が下受け部昇降シリンダ２３を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構１２Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、基板２を保持した基板保持ユニット１２の水平面内方向及び上下方向の移動動作は、制御装置１８が前述のユニット移動機構１２Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア１１による基板２の搬入動作及び基板搬出コンベア１３による基板２の搬出動作も制御装置１８によってなされる。

図２において、スキージヘッド１６（ベース部材６１）のＹ軸方向への往復移動動作は制御装置１８が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構１６Ｍの作動制御を行うことによってなされ、各スキージ６４のベース部材６１に対する昇降動作は、制御装置１８がそのスキージ６４に対応するスキージ昇降シリンダ６２の作動制御を行ってスキージ保持具６３を上下させることによってなされる。

図２において、カメラユニット１７の水平面内での移動動作は、制御装置１８がカメラユニット移動機構１７Ｍの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１７ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１７ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置１８によってなされ、下方撮像カメラ１７ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１７ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置１８に送信されて制御装置１８の画像認識部１８ａにおいて画像認識処理される。

このような構成のスクリーン印刷機１がスクリーン印刷作業を行う場合には、制御装置１８は先ず、上流工程側の他の装置から基板２が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア１１と基板保持ユニット１２のコンベア２２を作動させ、スクリーン印刷機１内に基板２を搬入したうえで（図１０に示すステップＳＴ１。図１１（ａ））、基板保持機構１２Ｂの作動制御を行って基板２を保持する（図１０に示すステップＳＴ２。図１１（ｂ））。基板２の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２をコンベア２２から浮いた状態に持ち上げる一方（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｈ１）、一対のクランプ部材２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込む（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｊ１）ことによって行う。

制御装置１８は基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１７Ｍの作動制御を行い、下方撮像カメラ１７ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍ（図１）の直上に位置させて下方撮像カメラ１７ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ１７ｂをマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図１及び図３）の直下に位置させて上方撮像カメラ１７ｂにマスク側マーク１５ｍの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク２ｍの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク１５ｍの画像データからマスク１５の位置を把握し、基板保持ユニット１２を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍとが上下に対向するようにして、マスク１５に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図１０に示すステップＳＴ３）。

制御装置１８は、マスク１５に対する基板２の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構１２Ａの作動制御を行って基板保持ユニット１２を基台１０に対して上昇させ（図１２（ａ）中に示す矢印Ｋ１）、基板２を保持した一対のクランプ部材２５がマスク１５の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材２５及び基板２それぞれの上面をマスク１５の下面に接触させる（図１０に示すステップＳＴ４。図１２（ａ））。これにより基板２上の電極３とマスク１５のパターン孔１５ｈとが合致した状態となる。

制御装置１８は基板２をマスク１５に接触させたら、制御装置１８に繋がるディスプレイ装置ＤＰ（図２）に、オペレータＯＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示する（図１０に示すステップＳＴ５）。この表示に対してオペレータＯＰは、現時点でマスク１５上に残っているペーストＰｔを目視し、そのペーストＰｔの量に基づいてペーストＰｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ（図示せず）により、マスク１５上にペーストＰｔの供給を行う。そしてオペレータＯＰは、ペーストＰｔの供給が終わり、或いはペーストＰｔの供給が不要と判断したときには、制御装置１８に繋がる動作再開ボタンＢＴ（図２）の操作を行う。

制御装置１８は、ディスプレイ装置ＤＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタンＢＴの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い（図１０に示すステップＳＴ６）、動作再開ボタンＢＴからの信号出力に基づいて、オペレータＯＰによって動作再開ボタンＢＴの操作がなされたことを検知したときには、スキージ６４によるスキージングを行ってマスク１５上のペーストＰｔを基板２に転写させる（図１０に示すステップＳＴ７）。

このスキージングは、具体的には、スキージヘッド１６から２つのスキージ６４のうちの一方を下降させ、マスク１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部材６１をＹ軸方向に移動させることによって行う（図１２（ｂ）中に示す矢印Ｍ）。これによりマスク１５上でスキージ６４が摺動し、マスク１５上のペーストＰｔはスキージ６４によって掻き寄せられてマスク１５のパターン孔１５ｈ内に押し込まれ、基板２の電極３上に転写される。なお、制御装置１８は、スキージヘッド１６を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ６４をマスク１５上に当接させ、スキージヘッド１６を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ６４をマスク１５上に当接させるようにする。

制御装置１８は、スキージングを行って基板２にペーストＰｔを転写させたら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を下降させ（図１３（ａ）中に示す矢印Ｋ２）、マスク１５から基板２及び一対のクランプ部材２５を離間させて版離れを行う（図１０に示すステップＳＴ８。図１３（ａ））。これにより基板２の電極３上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。

制御装置１８は版離れが終わったら、基板保持ユニット１２による基板２の保持を解除する（図１０に示すステップＳＴ９。図１３（ｂ））。この基板２の保持の解除は、具体的には、制御装置１８が基板保持機構１２Ｂを作動させて一対のクランプ部材２５を開かせたうえで（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｊ２）、下受け部２４を下降させ（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｈ２）、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろすことによって行う。

制御装置１８は基板２の保持を解除したら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえでコンベア２２及び基板搬出コンベア１３を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１０に示すステップＳＴ１０）。

制御装置１８は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図１０に示すステップＳＴ１１）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、上記の手順によって基板２に対するスクリーン印刷を行うが、基板２の種類等が変わってマスク１５の寸法が変わる場合には、前縁ストッパ５３を軸部材５２に対してスライドさせてマスク１５の前縁から離間させるとともに、軸部材５２に対して揺動させて退避位置に位置させた状態でマスク１５をマスクホルダ１４の前方に引き出して抜き取った後、前述の要領で新たなマスク１５をマスクホルダ１４に設置する。

以上説明したように、本実施の形態におけるマスクホルダ１４は、前方から水平に挿入されたマスク１５の左右両辺を支持する左右辺支持部３１、左右辺支持部３１に対して前後方向への移動操作が可能な操作つまみ４２（操作部材）、左右辺支持部３１の側方を前後方向に延びて設けられ、前端部が操作つまみ４２に連結されたロッド部材４５、ロッド部材４５の後端に連結され、操作つまみ４２の左右辺支持部３１に対する前後方向への移動操作によりロッド部材４５を介して前後方向に移動されるとともに、操作つまみ４２による左右辺支持部３１に対するロッド部材４５の固定操作により左右辺支持部３１に対して固定されて左右辺支持部３１に左右両辺が支持されたマスク１５の後縁に当接される後縁ストッパ４７及び左右辺支持部３１に左右両辺が支持されたマスク１５の前縁と当接される前縁ストッパ５３を備えたものとなっている。

本実施の形態におけるマスクホルダ１４では、左右辺支持部３１に対する前後方向への移動操作が可能な操作つまみ４２によって操作されるロッド部材４５の後端に後縁ストッパ４７が連結されており、後縁ストッパ４７の前後方向への移動と左右辺支持部３１に対する固定とをマスクホルダ１４の側方（更にはマスクホルダ１４の前方）から行うことができる。このため、オペレータＯＰは後縁ストッパ４７の位置を変えるために通常の作業位置（スクリーン印刷機１の前方位置）を離れてスクリーン印刷機１の背面側に移動する必要がなく、部品（後縁ストッパ４７そのものやその取り付け螺子等）を紛失するおそれもないので、マスク１５の設置作業を容易に行うことができる。

また、本実施の形態におけるマスクホルダ１４では、前縁ストッパ５３は、左右辺支持部３１に前後方向に延びて設けられた軸部材５２に対してスライド自在であり、左右辺支持部３１に対するマスク１５の挿脱時には軸部材５２に対して揺動してマスク１５と干渉しない位置に退避し得るようになっているので、前縁ストッパ５３をマスク１５の前縁に当接させる作業を前縁ストッパ５３の軸部材５２に対するスライド操作と軸部材５２回りに揺動させる操作とによって行うことができる。このため部品（前縁ストッパ５３そのものやその取り付け螺子等）を紛失するおそれがなく、この点からもマスク１５の設置作業を容易に行うことができる。

ここで、上述の例において示した後縁ストッパ４７を左右辺支持部３１に固定する構成及び前縁ストッパ５３を左右辺支持部３１に固定する構成は一例に過ぎず、他の構成によってもよい。例えば、上述の例では、前縁ストッパ５３は、ロック部材５５と係止溝５２ａとの組み合わせによってＹ軸方向の飛び飛びの位置に固定する構成と成っていたが、このような構成を採用せずに、上述した後縁ストッパ４７のように、レール状部材３０に対してＹ軸方向の任意の位置に固定することができる構成としてもよい。この場合、最初に後縁ストッパ４７の前後方向の位置決めを行い、これにマスク１５の後縁を当接させた後、当接可能位置に位置させた前縁ストッパ５３をスライドさせてマスク１５の前縁に前縁ストッパ５３を当接させ、そのうえで前縁ストッパ５３を左右辺支持部３１に対して固定することでマスクホルダ１４にマスク１５を設置することができる。

マスクの設置作業を容易に行うことができるマスクホルダを提供する。

１スクリーン印刷機
２基板
１４マスクホルダ
１５マスク
３１左右辺支持部
４２操作つまみ（操作部材）
４５ロッド部材
４７後縁ストッパ
５２軸部材
５３前縁ストッパ

Claims

スクリーン印刷機において基板と接触されるマスクを保持するマスクホルダであって、
前方から水平に挿入されたマスクの左右両辺を支持する左右辺支持部と、
前記左右辺支持部に対して前後方向への移動操作が可能な操作部材と、
前記左右辺支持部の側方を前後方向に延びて設けられ、前端部が操作部材に連結されたロッド部材と、
前記ロッド部材の後端に連結され、前記操作部材の前記左右辺支持部に対する前後方向への移動操作により前記ロッド部材を介して前後方向に移動されるとともに、前記操作部材による前記左右辺支持部に対する前記ロッド部材の固定操作により前記左右辺支持部に対して固定されて前記左右辺支持部に左右両辺が支持されたマスクの後縁に当接される後縁ストッパと、
前記左右辺支持部に左右両辺が支持されたマスクの前縁と当接される前縁ストッパとを備えたことを特徴とするマスクホルダ。
前記前縁ストッパは、前記左右辺支持部に前後方向に延びて設けられた軸部材に対してスライド自在であり、前記左右辺支持部に対するマスクの挿脱時には前記軸部材に対して揺動してマスクと干渉しない位置に退避し得るようになっていることを特徴とする請求項１に記載のマスクホルダ。