JP2013031951A - スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スクリーン印刷用のマスク１３の下方で基板保持ユニット１５によって基板２を保持したら、昇降自在な吸着パッド３２を上昇させ、基板２よりも上方の位置で吸着パッド３２によりマスク１３を吸着した後、吸着パッド３２を下降させることでマスク１３を下方に引き寄せて基板２に接触させる。
【選択図】図７

Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。

従来、基板の電極に半田等のペーストを印刷する装置としてスクリーン印刷機が知られている。このスクリーン印刷機は、スクリーン印刷用のマスクと、マスクの下方で基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板と接触したマスク上で摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えている。このようなスクリーン印刷機が備えるマスクは、開口部を有する金属板部と、金属板部の周囲に設けられた樹脂（例えばポリエステル）製のシート状部とから成っており、シート状部の外周部は矩形のマスク枠の下面に接着剤によって固定されている。マスクは、マスク枠が基板保持部の上方に設けられた一対のレール状の部材から成るマスクホルダに載せられて所定に位置に位置決めされる。

このようにスクリーン印刷機では、基板と接触したマスク上をスキージが摺動するが、このスキージの摺動時に基板とマスクとの間の位置ずれ（すなわち基板の電極とマスクの開口部との間の位置ずれ）を起きるのを防止する目的等から、マスクを基板保持部の側方に設けられた吸着手段によって吸着することによって、基板とマスクとを相互に固定するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。

特開平５−９２５４４号公報

しかしながら、吸着手段によってマスクを吸着して基板とマスクとを相互に固定するようにした上記従来のスクリーン印刷機において、マスクのシート状部をマスク枠に接着する接着剤の一部がマスクの下面側に回り込んで接着剤の層（接着剤層）を形成している場合には、この接着剤層の厚さの分だけマスクがマスクホルダから浮き上がった状態となり、マスクの製造過程における品質のばらつき等により、接着剤層の厚さが比較的大きくなっている場合には、吸着手段によってマスクを吸着しようとしてもうまく吸着することができず、基板とマスクとの間の相互固定状態が不十分となって印刷状態が不良となってしまうケースがあるという問題点があった。

そこで本発明は、基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、スクリーン印刷用のマスクと、マスクの下方で基板を保持する基板保持部と、昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させるマスク引き寄せ手段と、マスク引き寄せ手段により基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えた。

請求項２に記載のスクリーン印刷方法は、スクリーン印刷用のマスクの下方で基板を保持する工程と、昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させる工程と、基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスク上に供給したペーストを基板に転写させる工程とを含む。

本発明では、昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させるようになっており、マスクをマスク枠に接着する接着剤がマスク枠の下面に回り込んで形成された接着剤層の厚さがマスクの製造過程における品質のばらつき等により比較的大きくなっている場合であってもマスクを確実に吸着してマスクを基板側に引き寄せることができるので、基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの（ａ）平面図（ｂ）一部断面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すメインルーチンのフローチャート （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行するものであり、基台１１、基台１１の上方に設けられた一対のマスクホルダ１２、マスクホルダ１２によって水平姿勢に保持されたスクリーン印刷用のマスク１３、基台１１上に設けられた基板保持ユニット移動機構１４、マスク１３の下方において、基板保持ユニット移動機構１４によって移動される基板保持ユニット１５、基板保持ユニット１５に設けられたマスク引き寄せ部１６、マスク１３の上方に設けられたスキージヘッド１７、基板保持ユニット１５とマスク１３の間の領域に設けられたカメラユニット１８、ディスプレイ装置１９及びこれら各部の作動制御を行う制御装置２０を備えている。

図１及び図３（ａ）において、マスクホルダ１２は基台１１の上方を水平かつ平行に延びて設けられた一対のレール状の部材から成り、マスク１３は、基板２上の各電極３に対応した多数の開口部１３ｈを有した矩形薄板の金属板から成る金属板部１３ａと、金属板部１３ａの四辺を支持するとともに金属板部１３ａの外方に広がって延びた樹脂（例えばポリエステル）製のシート状部１３ｂから成る。シート状部１３ｂの外周（四辺）は平面視において矩形状のマスク枠１３Ｗによって支持されており、マスク枠１３Ｗの四辺のうち対向する二辺がマスクホルダ１２によって支持されている。ここで、図３（ａ）の矢視Ｖ−Ｖから見た一部断面図である図３（ｂ）に示すように、マスク１３のシート状部１３ｂはマスク枠１３Ｗの下面に接着剤ＢＤによって接着されている。

図１において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１３の金属板部１３ａにはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク１３ｍが設けられている（図３（ａ）も参照）。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１３ｍを上下に一致させた状態でマスク１３に基板２を接触させると、基板２の電極３とマスク１３の開口部１３ｈとが合致した状態となる。

基板保持ユニット移動機構１４はＸＹＺロボットから成り、基板保持ユニット１５は、図１及び図２に示すように、基板保持ユニット移動機構１４によって水平面内（ＸＹ面内）の方向への移動（回転も含む）及び上下方向（Ｚ軸方向）の移動がなされるユニットベース２１、ユニットベース２１に取り付けられて水平面内の一の方向（Ｘ軸方向）に基板２を搬送する一対のコンベア２２、ユニットベース２１に設けられた下受け部昇降シリンダ２３、下受け部昇降シリンダ２３によって昇降される下受け部２４及び基板２の搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する水平面内方向（Ｙ軸方向）に開閉自在に設けられた一対のクランプ部材２５から成る。

一対のコンベア２２は水平面内の一の方向（Ｘ軸方向）への基板２の搬送と所定の作業位置（図１に示す位置）への位置決めを行う。下受け部２４は下受け部昇降シリンダ２３によって昇降されて作業位置に位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持し、一対のクランプ部材２５は下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＹ軸方向から挟んで（クランプして）保持する。

図１及び図２において、マスク引き寄せ部１６はクランプ部材２５のＹ軸方向外方に設けられた２つ吸着パッド昇降シリンダ３１と、各吸着パッド昇降シリンダ３１によって昇降される２つの吸着部としての吸着パッド３２から成る。各吸着パッド３２内には吸着パッド３２の上面に開口した真空管路３２ａが設けられており、この真空管路３２ａはこの真空管路内に真空圧を供給する吸着機構３２Ｍに繋がっている。このため、吸着パッド３２の上面にマスク１３（金属板部１３ａ）が接触した状態で吸着機構３２Ｍから真空管路内に真空圧が供給されると、吸着パッド３２にマスクが吸着される。

このマスク引き寄せ部１６は、基板２がマスク１３の下方に位置した状態において、２つの吸着パッド昇降シリンダ３１によって２つの吸着パッド３２を上昇させ、基板２を保持した一対のクランプ部材２５よりも上方の位置で吸着パッド３２によってマスク１３を吸着した後、吸着パッド３２を下降させることで、マスク１３を下方に引き寄せてマスク１３を基板２に接触させる。

図１及び図２において、スキージヘッド１７はプレート状の移動ベース４１、移動ベース４１に取り付けられた２つのスキージ昇降シリンダ４２及び２つのスキージ昇降シリンダ４２の作動によって移動ベース４１の下方を上下移動する２つのスキージユニット４３を備えて成る。スキージヘッド１７（移動ベース４１）は図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構４４によってマスク１３に対して水平方向（Ｙ軸方向）に往復移動される。

図１及び図２において、各スキージユニット４３はスキージ昇降シリンダ４２のピストンロッド４２ａに取り付けられてＸ軸方向に延びるスキージホルダ４３ａとスキージホルダ４３ａに取り付けられた薄板部材から成るスキージ４３ｂから成る。各スキージユニット４３はスキージ昇降シリンダ４２のピストンロッド４２ａが下方への突没動作によって移動ベース４１の下方を昇降するが、マスク１３と移動ベース４１の上下方向の相対位置は変化しないので、各スキージユニット４３を移動ベース４１に対して下降させることで、スキージ４３ｂをマスク１３に上方から当接させることができる。

スクリーン印刷機１の操作を行うオペレータ（図示せず）は通常、２つのスキージ４３ｂが対向する方向（Ｙ軸方向）の一方側に位置しており、以下の説明では、オペレータが位置する側をスクリーン印刷機１の前方、その反対側をスクリーン印刷機１の後方とする。

図１及び図２において、カメラユニット１８は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１８ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１８ｂを備えて成る。カメラユニット１８は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラ移動機構１８Ｍ（図２）によって基板保持ユニット１５とマスク１３との間の領域を水平面内方向に移動される。

基板保持ユニット１５のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対のクランプ部材２５によるクランプ動作は、制御装置２０が前述の下受け部昇降シリンダ２３を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構１５Ｍ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、基板２を保持した基板保持ユニット１５の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置２０が前述の基板保持ユニット移動機構１４の作動制御を行うことによってなされる。

マスク引き寄せ部１６の２つの吸着パッド３２の昇降動作は、２つの吸着パッド昇降シリンダ３１の同期作動によって同時に昇降され、２つの吸着パッド３２によるマスク１３の吸着動作は、制御装置２０が前述の吸着機構３２Ｍの作動制御を行うことによってなされる。

スキージヘッド１７（移動ベース４１）のＹ軸方向への往復移動動作は制御装置２０が前述のスキージヘッド移動機構４４の作動制御を行うことによってなされ、各スキージユニット４３の（したがってスキージ４３ｂの）移動ベース４１に対する昇降動作は、制御装置２０が２つのスキージ昇降シリンダ４２の作動制御を行うことによってなされる。

カメラユニット１８の水平面内での移動動作は、制御装置２０が前述のカメラ移動機構１８Ｍの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１８ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１８ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置２０によってなされ、下方撮像カメラ１８ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１８ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置２０に送信されて制御装置２０の画像認識部２０ａ（図２）において画像認識処理される。

次に、図４のフローチャート及び図５〜図８の説明図を加えてスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業（スクリーン印刷方法）の実行手順について説明する。スクリーン印刷機１の制御装置２０は、スクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置等（図示せず）から基板２が送られてきたことを検知したら、基板保持ユニット１５のコンベア２２を作動させて、スクリーン印刷機１内に基板２を搬入し（図４に示すステップＳＴ１）、基板保持機構１５Ｍの作動制御を行って基板２を保持する（図５（ａ）。図４に示すステップＳＴ２）。

ここで、基板２の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２をコンベア２２から浮いた状態に持ち上げるとともに（図５（ａ）中に示す矢印Ａ）、一対のクランプ部材２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込む（図５（ａ）中に示す矢印Ｂ）ことによって行う。

このように本実施の形態において、基板保持ユニット１５は、マスク１３の下方で基板２を保持する基板保持部となっており、上記のステップＳＴ２は、マスク１３の下方で基板２を保持する工程となっている。

制御装置２０は、基板２を保持したら、カメラ移動機構１８Ｍの作動制御を行い、下方撮像カメラ１８ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍの直上に位置させたうえで下方撮像カメラ１８ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせてその画像データから基板２の位置を把握するとともに、上方撮像カメラ１８ｂをマスク１３に設けられたマスク側マーク１３ｍの直下に位置させたうえで上方撮像カメラ１８ｂにマスク側マーク１３ｍの撮像を行わせてその画像データからマスク１３の位置を把握する。そして、基板保持ユニット１５を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１３ｍとが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図４に示すステップＳＴ３）。

制御装置２０は、マスク１３に対する基板２の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構１４の作動制御を行って基板保持ユニット１５を基台１１に対して上昇させ（図５（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２の上面（及び一対のクランプ部材２５の上面）をマスク１３の金属板部１３ａの下面に下方から近づける。これにより基板２の上面とマスク１３の下面（金属板部１３ａの下面）とが近接した状態となる（図５（ｂ）。図４に示すステップＳＴ４）。

制御装置２０は、ステップＳＴ４で基板２の上面をマスク１３の下面に下方から近づけたら、吸着パッド昇降シリンダ３１の作動制御を行って一対の吸着パッド３２を上昇させ（図６（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、基板２を保持した一対のクランプ部材２５よりも上方の位置で、各吸着パッド３２の上面をマスク１３の金属板部１３ａの下面に接触させたうえで、吸着機構３２Ｍの作動制御を行って各吸着パッド３２内の真空管路内に真空圧を供給し、一対の吸着パッド３２にマスク１３の金属板部１３ａを吸着させる（図６（ａ）。図４に示すステップＳＴ５）。なお、このときマスク１３の吸着のために吸着パッド３２を上昇させる距離のデータは、制御装置２０が備える記憶部２０ｂ（図２）に予め記憶されている。

制御装置２０は、上記のようにして一対の吸着パッド３２にマスク１３を吸着させたら、吸着パッド昇降シリンダ３１の作動制御を行って一対の吸着パッド３２を下降させ（図６（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、マスク１３の金属板部１３ａを下方に引き寄せて基板２にマスク１３を接触させる（図６（ｂ）。図４に示すステップＳＴ６）。これにより基板２上の電極３とマスク１３の開口部１３ｈとが合致し、基板２とマスク１３は相互に固定された状態となる。

このように本実施の形態において、一対のマスク引き寄せ部１６は、昇降自在な吸着パッド３２を上昇させ、基板２よりも上方の位置で吸着パッド３２によりマスク１３を吸着した後、吸着パッド３２を下降させることでマスク１３を下方に引き寄せて基板２に接触させるマスク引き寄せ手段となっている。また、上記のステップＳＴ５及びステップＳＴ６は、昇降自在な吸着パッド３２を上昇させ、基板２よりも上方の位置で吸着パッド３２によりマスク１３を吸着した後、吸着パッド３２を下降させることでマスク１３を下方に引き寄せて基板２に接触させる工程となっている。

制御装置２０は、基板２をマスク１３に接触させたら、ディスプレイ装置１９に、オペレータにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示する（図４に示すステップＳＴ７）。これに対してオペレータは、現在、マスク１３上に残っているペーストＰｔを目視し、そのペーストＰｔの量に基づいてペーストＰｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ５０（図７（ａ））により、マスク１３上にペーストＰｔの供給を行う。そして、ペーストＰｔの供給が終わったら、制御装置２０に繋がる動作再開ボタン６０（図２）の操作を行う。オペレータは、ペーストＰｔの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン６０の操作を行う。

制御装置２０は、ステップＳＴ７において、ディスプレイ装置１９にペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタン６０の操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い（図４に示すステップＳＴ８）、動作再開ボタン６０からの信号出力に基づいて、オペレータによって動作再開ボタン６０の操作がなされたことを検知したときには、スキージヘッド１７を一対のクランプ部材２５の一方の上方に位置させたうえで、２つのスキージ４３ｂのうちの一方を下降させて（図７（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、そのスキージ４３ｂの下端をクランプ部材２５と接触しているマスク１３の上面に当接させる（図４に示すステップＳＴ９）。

なお、このとき下降させる（マスク１３に当接させる）スキージ４３ｂは、スキージヘッド１７を前側のクランプ部材２５の上方に位置させたときには前側のスキージ４３ｂであり、スキージヘッド１７を後側のクランプ部材２５の上方に位置させたときには後側のスキージ４３ｂである。

制御装置２０は、スキージ昇降シリンダ４２の作動によってクランプ部材２５と接触しているマスク１３の上面にスキージ４３ｂを当接させたら、スキージ４３ｂをマスク１３の上面に当接させた状態でスキージヘッド１７を（すなわちスキージ４３ｂを）マスク１３に対して水平方向（Ｙ軸方向）に移動させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ｆ）、マスク１３上でスキージ４３ｂを摺動させることによって、マスク１３上に供給したペーストＰｔをマスク１３の開口部１３ｈ内に押し込み、電極３にペーストＰｔを転写させる（図４に示すステップＳＴ１０）。

このようにスキージ４３ｂは、マスク引き寄せ部１６により基板２に接触されたマスク１３上を摺動し、マスク１３上に供給されたペーストＰｔを基板２に転写させるものとなっている。また、ステップＳＴ１０は、基板２に接触させたマスク１３上でスキージ４３ｂを摺動させ、マスク１３上に供給したペーストＰｔを基板２に転写させる工程となっている。

このステップＳＴ１０では、制御装置２０は、スキージ４３ｂを、一方のクランプ部材２５と接触しているマスク１３上の領域から基板２と接触しているマスク１３上の領域を通って他方のクランプ部材２５と接触しているマスク１３上の領域まで移動させる。なお、図７（ｂ）は、前側のスキージ４３ｂを、前側のクランプ部材２５と接触したマスク１３上の領域から後側のクランプ部材２５と接触したマスク１３上の領域まで移動させる例を示しているが、後側のスキージ４３ｂを、後側のクランプ部材２５と接触したマスク１３上の領域から前側のクランプ部材２５と接触したマスク１３上の領域まで移動させる場合には、スキージヘッド１７は図７（ｂ）中に示す矢印Ｆとは反対の方向に移動させる。

制御装置２０は、スキージ４３ｂが一方のクランプ部材２５と接触したマスク１３上の領域から他方のクランプ部材２５と接触したマスク１３上の領域に達してペーストＰｔの転写が終了したことを検知したら、スキージヘッド１７の移動を停止させたうえで、マスク１３に当接させていたスキージ４３ｂを移動ベース４１に対して上昇させて（図８（ａ）中に示す矢印Ｅ２）、スキージ４３ｂをマスク１３から離間させる（図４に示すステップＳＴ１１）。

制御装置２０は、スキージ４３ｂをマスク１３から離間させたら吸着パッド昇降シリンダ３１を作動させて一対の吸着パッド３２をステップＳＴ５でマスク１３を吸着した位置まで上昇させたうえで（図８（ａ）中に示す矢印Ｄ３）、一対の吸着パッド３２によるマスク１３の吸着を解除することにより、基板２をマスク１３から版離れさせる（図８（ａ）。図４に示すステップＳＴ１２）。

制御装置２０は、版離れが終了したら吸着パッド昇降シリンダ３１を作動させて一対の吸着パッド３２を下降させつつ（図８（ｂ）中に示す矢印Ｄ４）、基板保持ユニット移動機構１４を作動させて基板保持ユニット１５を下降させる（図８（ｂ）中に示す矢印Ｃ２。そして、制御装置２０は、基板保持機構１５Ｍを作動させて一対のクランプ部材２５を開かせたうえで下受け部２４を下降させて、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろす。これにより基板保持ユニット１５による基板２の保持が解除される（図２参照。図４に示すステップＳＴ１３）。

制御装置２０は、基板２の保持を解除したら、基板保持ユニット移動機構１４を作動させて基板保持ユニット１５を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえで、コンベア２２を作動させて基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図４に示すステップＳＴ１４）。

制御装置２０は、基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図４に示すステップＳＴ１５）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷方法では、昇降自在な吸着パッド３２（吸着部）を上昇させ、基板２よりも上方の位置で吸着パッド３２によりマスク１３を吸着した後、吸着パッド３２を下降させることでマスク１３を下方に引き寄せてマスク１３を基板２に接触させるようになっており、図３（ｂ）に示すように、マスク１３（シート状部１３ｂ）をマスク枠１３Ｗに接着する接着剤ＢＤがマスク枠１３Ｗの下面に回り込んで形成された接着剤層の厚さＴがマスク１３の製造過程における品質のばらつき等により比較的大きくなっている場合であってもマスク１３を確実に吸着してマスク１３を基板２側に引き寄せることができるので、基板２とマスク１３との間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができる。

基板とマスクとの間の相互固定状態を十分に確保して印刷状態が不良となることを防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。

１ スクリーン印刷機
２ 基板
１３ マスク
１５ 基板保持ユニット（基板保持部）
１６ マスク引き寄せ部（マスク引き寄せ手段）
３２ 吸着パッド（吸着部）
４３ｂ スキージ
Ｐｔ ペースト

Claims (2)

1. スクリーン印刷用のマスクと、
   マスクの下方で基板を保持する基板保持部と、
   昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させるマスク引き寄せ手段と、
   マスク引き寄せ手段により基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
2. スクリーン印刷用のマスクの下方で基板を保持する工程と、
   昇降自在な吸着部を上昇させ、基板よりも上方の位置で吸着部によりマスクを吸着した後、吸着部を下降させることでマスクを下方に引き寄せて基板に接触させる工程と、
   基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスク上に供給したペーストを基板に転写させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。

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