JP2013112453A - ワーク設置装置およびワーク設置方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークが撓んだままで他のワークに設置されてしまうことを回避する。
【解決手段】下部テーブル１５と上部テーブル１７と、粘着剤を具備するワーク保持体２５を複数備えたワーク保持装置１９と、下部テーブル１７に設置されている設置済みの第１のワークＷ１に、ワーク保持体２５で保持する第２のワークＷ２を設置するときに、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２との距離を所定の僅かな距離にし、各ワーク保持体２５から第２のワークＷ２を落下させるワーク設置装置である。
【選択図】図２

Description

本発明は、ワーク設置装置およびワーク設置方法に係り、特に、ワーク保持体によるワークの保持を一旦開放して、ワークを他のワークに設置するものに関する。

従来、複数の真空吸着パッドで保持されているワークを、そのまま他のワークに設置する方式のワーク設置装置が知られている。上記従来の技術に関連する文献としてたとえば特許文献１、特許文献２を掲げることができる。

特開２００８−７４０１５号公報 特開２００１−３１０８３４号公報

しかし、従来のように、複数の真空吸着パッドで保持されているワークをそのまま他のワークに設置する方式では、ワークが撓んだまま、他のワークに設置されてしまうという問題がある。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ワークが撓んだままで他のワークに設置されてしまうことを回避することができるワーク設置装置、ワーク設置方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、第１のワークが載置され設置される下部テーブルと、上下方向で前記下部テーブルに対して相対的に移動位置決め自在である上部テーブルと、筒状の本体部を具備するワーク保持体を複数備え、これらのワーク保持体の本体部の一方の開口部が前記下部テーブルの上面と対向し、前記各ワーク保持体が、上下方向で前記下部テーブルに対して相対的に移動位置決め自在であり、前記各ワーク保持体で第２のワークを保持するように構成されているワーク保持装置と、前記上部テーブルが前記下部テーブルから離れており、前記各ワーク保持体が前記下部テーブルと前記上部テーブルとの間に位置しており、前記下部テーブルに前記第１のワークが設置されており、前記ワーク保持体で前記第２のワークを保持している状態で、前記ワーク保持体を下方向に移動して、前記下部テーブルに設置されている設置済みの第１のワークと前記ワーク保持体で保持している保持済みの第２のワークとの距離を所定の僅かな距離にし、前記上部テーブルを下方向に移動して前記各ワーク保持体から前記第２のワークを落下させ前記第２のワークの未硬化膜状体を前記設置済みの第１のワークに接触させて前記第２のワークを前記設置済みの第１のワークに設置し、前記上部テーブルをさらに下方に移動して前記下部テーブルと前記上部テーブルとで前記各ワークを挟んで押圧し、この押圧を所定時間行うように、前記下部テーブルと前記上部テーブルと前記ワーク保持装置とを制御する制御装置とを有するワーク設置装置である。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のワーク設置装置において、前記第１のワークと前記第２のワークとを加熱するヒータを有し、前記制御装置は、少なくとも前記各テーブルで前記各ワークを押圧しているときに、前記ヒータで前記各ワークを加熱する制御をする装置であるワーク設置装置である。

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のワーク設置装置において、前記設置済みの第１のワークに、前記ワーク保持体で保持する第２のワークを設置するときに、前記第１のワークと前記第２のワークとを真空雰囲気内に位置させる真空雰囲気生成装置を有し、前記ワーク保持装置の各本体部の一方の開口部には粘着剤が設けられており、前記粘着剤が前記下部テーブルの上面と対向しており、前記制御装置は、前記設置済みの第１のワークと前記保持済みの第２のワークとの距離を所定の僅かな距離にした後に、前記真空雰囲気生成装置で真空雰囲気を生成し、この真空雰囲気を生成した後に、前記上部テーブルを下方向に移動して前記各ワーク保持体から前記第２のワークを落下させて前記押圧を所定時間行い、この押圧を所定時間行った後、前記真空雰囲気生成装置による真空雰囲気を無くすように、前記下部テーブルと前記上部テーブルと前記ワーク保持装置と前記真空雰囲気生成装置とを制御する装置であるワーク設置装置である。

請求項４に記載の発明は、下部テーブルに第１のワークを設置する第１のワーク設置工程と、板状の基材の厚さ方向の一方の面に未硬化膜状体が設けられた第２のワークにおける前記基材の他方の面に、粘着剤と真空吸着とを併用してもしくは真空吸着のみによってもしくは粘着剤のみを用いて前記第２のワークを保持するワーク保持体を係合させて、前記第２のワークが前記第１のテーブルに設置されている設置済み第１のワークの上方に位置し前記未硬化膜状体が前記設置済みの第１のワークの上面と対向するように、前記第２のワークを保持する第２のワーク保持工程と、前記第１のワーク設置工程で設置した設置済みの第１のワークと前記第２のワーク保持工程で保持した保持済みの第２のワークとの距離が所定の僅かな距離になるまで、前記保持済みの第２のワークを下降する第２のワーク下降工程と、前記第２のワーク下降工程で前記第２のワークを下降した後、前記第２のワークの上方で前記第２のワークから離れている上部テーブルを下降し、前記第２のワークを前記ワーク保持体から落下させ、前記第２のワークを前記設置済みの第１のワークに設置する第２のワーク落下設置工程と、前記第２のワーク落下設置工程で前記設置済みの第１のワークに前記第２のワークを設置した後、前記上部テーブルをさらに下降し前記各テーブルで前記各ワークを挟んで押圧するワーク押圧工程とを有するワーク設置方法である。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のワーク設置方法において、前記ワーク押圧工程は、少なくとも前記各テーブルで前記各ワークを押圧しているときに、前記各ワークを加熱して前記未硬化膜状体の粘度を上げる工程であるワーク設置方法である。

請求項６に記載の発明は、請求項４または請求項５に記載のワーク設置方法において、第２のワーク保持工程は、前記粘着剤と前記真空吸着とを併用してもしくは前記粘着剤のみを用いて前記第２のワークを保持するワーク保持体を、前記第２のワークに係合させて前記第２のワークを保持する工程であり、前記第２のワーク下降工程で前記第２のワークを下降した後、前記第２のワーク落下設置工程で前記第２のワークを落下させる前に、前記設置済みの第１のワークと前記保持済みの第２のワークとを、真空雰囲気内に位置させる真空雰囲気生成工程を有し、前記第２のワーク落下設置工程は、前記真空雰囲気生成工程で生成した真空状態を維持したまま、前記第２のワークを前記ワーク保持体から落下させる工程であるワーク設置方法である。

本発明によれば、ワークが撓んだままで他のワークに設置されてしまうことを回避することができるという効果を奏する。

ワーク設置システムの概略構成を示すブロック図である。 ワーク設置装置の概略構成を示す図である。 第１のワークと第２のワークとで製造される製品の概略構成を示す図であり、（ａ）は製品の平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＩＩＩＢ矢視図である。 図３で示す製品の製造方法の概要を示す図である。 ワーク保持体の概略構成を示す図であり、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＶＢ矢視図である。 ワーク保持体の変形例を示す図であり、（ａ）は図５の（ａ）に対応した図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＶＩＢ部の変形例を示しており、（ｃ）は図５の（ａ）に対応した図である。 ワーク設置装置の動作を示すフローチャートである。 ワーク設置装置の動作を示すフローチャートである。 ワーク設置装置の動作を示す図である。 ワーク設置装置の動作を示す図である。 ワーク設置装置の動作を示す図である。 ワーク設置装置の動作を示す図である。 ワーク設置装置の動作を示す図である。 ワーク設置装置の動作を示す図である。

図１に示すワーク設置システム１は、第１のワークＷ１に第２のワークＷ２を設置して製品Ｗ（図３、図４参照）を製造するものであり、前ストッカ３と塗布装置５とワーク設置装置７と硬化剥離装置９と後ストッカ１１と制御装置１３とを備えて構成されている。

ここで、図３、図４を参照しつつ、製品Ｗや第１のワークＷ１や第２のワークＷ２等について詳しく説明する。

第１のワークＷ１として、たとえばプリズムシートを掲げることができる。プリズムシートは、液晶表示装置のバックライト等に使用されるものであり、ＰＥＴ樹脂等の透明な合成樹脂で平板状に形成された基材Ｗ３の厚さ方向の一方の面（図４（ａ）では上側の面）に、微細な細長い山形状の凸部（微細な凸部）Ｗ４を多数並べて配置してある。

プリズムシートの厚さ方向の他方の面（山形状の凸部Ｗ４が設けられていない側の面；図４（ａ）では下側の面）は、平面になっている。凸部Ｗ４が設けられていることで、プリズムシートの厚さ方向の一方の面は、微細なライン＆スペース状の凹凸が形成されていることになる。なお、山形状の凸部Ｗ４の大きさは極めて小さいので、プリズムシートは全体としてほぼ平板状になっている。

また、第１のワークＷ１として、プリズムシート以外のもの（たとえば、平板状の基材の厚さ方向の一方の面に微細なドット＆スペース状の微細な凹凸が形成されたもの）を掲げることができる。

第２のワークＷ２は、基材（たとえば平板状の透明なガラス板）Ｗ５と、このガラス板Ｗ５の厚さ方向の一方の面に膜状になって設置されている膜状体（たとえば、未硬化の紫外線硬化樹脂）Ｗ６を備えて構成されている。

製品（たとえば、被覆膜付プリズムシート）Ｗは、第１のワークＷ１に膜状体Ｗ６を設置して生成されている。詳しく説明すると、第１のワークＷ１の凸部Ｗ４と第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６とを対向させておいて、第１のワークＷ１の第２のワークＷ２を近づけて未硬化膜状体Ｗ６を凸部Ｗ４に接触させ、各基材Ｗ３，Ｗ５で凸部Ｗ４と未硬化膜状体Ｗ６とを挟み込んだ状態にし、凸部Ｗ４に未硬化膜状体Ｗ６が隙間無く入り込むようにする。そして、未硬化膜状体Ｗ６を硬化して、基材Ｗ５を硬化した膜状体Ｗ６から離すことで、製品Ｗが生成されている。

製品Ｗは、たとえば、矩形（１つの辺の長さが１０００ｍｍ程度の矩形）な平板状に形成されており、基材Ｗ３と凸部Ｗ４と硬化した膜状体Ｗ６とが一体化して積層されている。製品Ｗを携帯電話等の液晶表示部におけるバックライトに使用する場合には、製品Ｗは、適宜の大きさに切断される。

前ストッカ３は、第１のワークＷ１を収納するものである。塗布装置５は基材Ｗ５に未硬化の膜状体Ｗ６を設置する装置である。ワーク設置装置７は、前ストッカ３から供給された第１のワークＷ１に、塗布装置５から供給された第２のワークＷ２を設置する装置である。硬化剥離装置９は、ワーク設置装置７から供給された各ワークＷ１，Ｗ２の未硬化膜状体Ｗ６にたとえば紫外線を照射することで未硬化膜状体Ｗ６を硬化し、この硬化後に基材Ｗ５を硬化した膜状体Ｗ６から剥離し製品Ｗを得る装置である。後ストッカ１１は、硬化剥離装置９で生成された製品Ｗを収納するものである。

制御装置１３は、図示しないメモリに格納されている動作プログラムにしたがって、制御部（ＣＰＵ等）の制御の下、ワーク設置システム１を動作させるものである。

硬化剥離装置９で剥離した基材（ガラス板）Ｗ５は、たとえば、塗布装置５に供給されて再使用されるようになっている。また、図１に矢印で示すワークＷ１，Ｗ２や製品Ｗの流れは、制御装置１３の制御の下、搬送ロボット（図示せず）によりなされるようになっている。

次に、ワーク設置装置７について詳しく説明する。

以下、説明の便宜にために、水平な一方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交する水平な他の一方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交する上下方向をＺ軸方向とする。

ワーク設置装置７は、図２等で示すように、第１のテーブル（たとえば、下部テーブル）１５と、第２のテーブル（たとえば、上部テーブル）１７と、ワーク保持装置（ガラス保持装置）１９と、真空雰囲気生成装置（真空室形成装置）２１とを備えて構成されている。

下部テーブル１５は、上面が平面になっており、この上面に平板状の第１のワークＷ１が設置されようになっている。すなわち、下部テーブル１５は、第１のワークＷ１の厚さ方向の一方の平面（下面；凸部Ｗ４が設けられていない面）を、下部テーブル１５の上面に密着させて、たとえば図示しない真空ポンプを用いて真空吸着することで、第１のワークＷ１を保持するようになっている。

上部テーブル１７は、下部テーブル１５の上方で下部テーブル１５から離れて設けられている。また、上部テーブル１７は、下面が平面になっており、この下面が下部テーブル１５の上面と平行になって対向している。そして、上部テーブル１７は、この下面が下部テーブル１５の上面と平行になって対向している状態を維持したまま、下部テーブル１５に接近もしくは下部テーブル１５から離反する方向（Ｚ軸方向）で、下部テーブル１５に対して相対的に移動位置決め自在になっている。

さらに、上部テーブル１７には、Ｚ方向に貫通した貫通孔２３が複数設けられている。各貫通孔２３は、すでに理解されるように、上部テーブル１７の下面と直交する方向で上部テーブル１７を貫通している。また、各貫通孔２３は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向で所定の間隔をあけ、行列をなして設けられている。

ワーク保持装置１９は、第２のワークＷ２を保持するワーク保持体（ガラス保持体）２５を複数備えて構成されている。また、各ワーク保持体２５の本体部２７の一方の開口部が下部テーブル１５の上面とほぼ平行になって対向している。そして、ワーク保持装置１９では、本体部２７の一方の開口部が下部テーブル１５の上面とほぼ平行になって対向している状態を保ったまま、上部テーブル１７とは別箇に、下部テーブル１５に接近しもしくは下部テーブル１５から離反する方向（Ｚ軸方向）で、各ワーク保持体２５が下部テーブル１５（上部テーブル１７）に対して相対的に移動位置決め自在になっている。

さらに説明すると、ワーク保持装置１９は、たとえば、ワーク保持体用テーブル２９を備えている。ワーク保持体用テーブル２９は、上部テーブル１７を間にして下部テーブル１５とは反対側（上部テーブル１７の上側）で、上部テーブル１７から離れて設けられている。これにより、下部テーブル１５と上部テーブル１７とワーク保持体用テーブル２９とが下から上に向かってこの順でならんでいる。

ワーク保持装置１９の連結体３１は、ワーク保持体用テーブル２９に一体的に設けられており、上部テーブル１７に向かって（下方に向かって）延出している。ワーク保持体２５は、連結体３１の先端（下端）で連結体３１に一体的に設けられている。

ワーク保持体用テーブル２９は、Ｚ軸方向で移動位置決め自在になっている。これにより、ワーク保持体用テーブル２９と各連結体３１と各ワーク保持体２５とが下部テーブル１５（上部テーブル１７）に対してＺ軸方向で移動位置決め自在になっている。

また、上部テーブル１７とワーク保持体用テーブル２９とが比較的離れている場合には、ワーク保持体２５と連結体３１の先端側の部位とが、もしくは、ワーク保持体２５のみが、上部テーブル１７の貫通孔２３内に入り込んで貫通孔２３内に存在している（図１１等参照）。

一方、上部テーブル１７とワーク保持体用テーブル２９とがお互いに近づいた場合には、図９や図１０で示すように、連結体３１の中間部のみが上部テーブル１７の貫通孔２３内に存在し、ワーク保持体２５は、上部テーブル１７の貫通孔２３の外で下部テーブル１５と上部テーブル１７との間に存在している。そして、各ワーク保持体２５で第２のワークＷ２を保持するようになっている。

ワーク保持装置１９で第２のワークＷ２を保持している状態では、第２のワークＷ２は下部テーブル１５と上部テーブル１７との間に存在しており、第２のワークＷ２の膜状体Ｗ６が設けられている面が、下部テーブル１５に設置されている第１のワークＷ１側（下側）に位置して第１のワークＷ１の上面とほぼ平行になって対向している（図１０（ａ）等参照）。

真空雰囲気生成装置２１は、下部テーブル１５に設置されている設置済みの第１のワークＷ１に、ワーク保持体２５で保持している保持済みの第２のワークＷ２を設置するときに、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを真空雰囲気内に位置させる装置である。

これにより、第１ワークＷ１の微細な細長い山形状の凸部Ｗ４に第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６が接触するとき、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２との間に空気が入り込んで気泡が生成されることが防止される。

また、ワーク設置装置７には、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを加熱するヒータ（図示せず）が設けられている。このヒータで加熱することで、未硬化膜状体Ｗ６の粘度が高まるようになっている。

ワーク設置装置７は、制御装置１３の制御の下、初期状態から次の動作をするようになっている。ここで、上記初期状態とは、上部テーブル１７が下部テーブル１５から離れており、ワーク保持体２５が下部テーブル１５と上部テーブル１７との間に位置しており、下部テーブル１５に第１のワークＷ１が設置されており、ワーク保持体２５で第２のワークＷ２を保持している状態である。

上記初期状態において、真空雰囲気生成装置２１で真空雰囲気を生成し、この真空雰囲気を生成してある状態で、ワーク保持体２５を下部テーブル１５に近づく方向（下方）に移動して設置済みの第１のワークＷ１に保持済みの第２のワークＷ２を設置するようになっている。

続いて、設置済みの第１のワークＷ１に保持済みの第２のワークＷ２を接触させ、さらに真空雰囲気を上記接触したときから継続したまま、上部テーブル１７を下部テーブル１５側に移動して（下方に移動して）下部テーブル１５と上部テーブル１７とで各ワークＷ１，Ｗ２を挟んで押圧するようになっている。

上記押圧をしているときに、上記ヒータで各ワークＷ１，Ｗ２を加熱して、未硬化膜状体Ｗ６の粘度を上げ、ワーク保持体２５を下部テーブル１５から離れる方向に移動して（上方に移動して）ワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離すようになっている。

続いて、上記押圧を所定時間行った後に、真空雰囲気生成装置２１による真空雰囲気を無くし（各ワークＷ１，Ｗ２をたとえば大気圧にさらし）、上部テーブル１７を下部テーブル１５から離れる方向（上方）に移動して、上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離し、下部テーブル１５が真空吸着を止めて、第２のワークＷ２が設置された第１のワークＷ１を開放するようになっている。

ところで、ワーク設置装置７の動作を、次のように変更してもよい。

上記初期状態において、ワーク保持体２５を下方向に移動して、設置済みの第１のワークＷ１とワーク保持体２５で保持している第２のワークＷ２との距離を所定の僅かな距離（設置済みの第１のワークＷ１とワーク保持体２５で保持している第２のワークＷ２とがくっつくかくっつかないかのギリギリ離れている状態の距離）にする。

続いて、真空雰囲気生成装置２１で真空雰囲気を生成し、この真空雰囲気を生成してある状態で、各ワーク保持体２５が第２のワークＷ２を開放して第２のワークＷ２を自由落下させて第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６を設置済みの第１のワークＷ１に接触させ第２のワークＷ２を設置済みの第１のワークＷ１に設置する（載置する）。なお、ワーク保持体２５での第２のワークＷ２の開放は、上部テーブル１７を下降して上部テーブル」１７で保持済みの第２のワークＷ２を下方に押すことでなされるようになっている。

続いて、第２のワークＷ２の第１のワークＷ１への設置時から真空雰囲気を継続したまま、上部テーブル１７をさらに下方に移動して下部テーブル１５と上部テーブル１７とで各ワークＷ１，Ｗ２を所定時間挟んで押圧するようになっている。

この押圧をしているときに、ヒータで各ワークＷ１，Ｗ２を加熱して、未硬化膜状体Ｗ６の粘度を上げ、ワーク保持体２５を第２のワークＷ２から更に離すようになっている。

上記押圧を所定時間行った後に、真空雰囲気生成装置２１による真空雰囲気を無くし、上部テーブル１７を上方に移動して上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離し、第２のワークＷ２が設置された第１のワークＷ１を下部テーブル１５が開放するようになっている。

なお、真空雰囲気の生成を何時にするかは、適宜変更することができる。たとえば、上記初期状態において真空雰囲気を生成し、この後、ワーク保持体２５を下方向に移動して、設置済みの第１のワークＷ１とワーク保持体２５で保持している第２のワークＷ２との距離を所定の僅かな距離にしてもよい。

また、ワーク設置装置７の動作を、さらに、次のように変更してもよい。

上記初期状態において、設置済みの第１のワークＷ１と保持済みの第２のワークＷ２との位置ずれをテーブル位置決め装置４５で補正する。このテーブル位置決め装置４５による補正の詳細については後述する。

この補正後に、真空雰囲気生成装置２１で真空雰囲気を生成し、この真空雰囲気を生成してある状態で、ワーク保持体２５を下部テーブル１５に近づく方向（下方向）に移動して、保持済みの第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６を設置済みの第１のワークＷ１に接触させて、保持済みの第２のワークＷ２を設置済みの第１のワークＷ１に設置するようになっている。

続いて、さらに真空雰囲気を上記接触時から継続したまま、上部テーブル１７を下部テーブル側（下側）に移動して下部テーブル１５と上部テーブル１７とで各ワークＷ１，Ｗ２を所定時間挟んで押圧するようになっている。

この押圧をしているときに、ヒータで各ワークＷ１，Ｗ２を加熱して、未硬化膜状体Ｗ６の粘度を上げるようになっている。

上記押圧を所定時間行った後に、上部テーブル１７を下部テーブル１５から離れる方向（上方向）に移動して上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離し、テーブル位置決め装置４５で下部テーブル１５に設置されている各ワークＷ１，Ｗ２を僅かに振動させつつ（ＸＹＣステージテーブル１５をＸＹＣステージベッド３７に対して小刻みに往復運動等させて、各ワークＷ１，Ｗ２を僅かに振動させつつ）、ワーク保持体２５を下部テーブル１５から離れる方向（上方向）に移動し、ワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離すようになっている。なお、下部テーブル１５で各ワークＷ１，Ｗ２を僅かに振動させることに代えてもしくは加えて、ワーク保持体２５に図示しないバイブレータ等によって僅かな振動を与えてもよい。この場合の振動の方向は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に少なくともいずれかであればよい。

さらに、上記振動を加えることに代えてもしくは加えて、ワーク保持体２５内に圧縮空気を供給するようにしてもよい。

ワーク設置装置７について、図２等を参照しつつさらに詳しく説明する。

ワーク設置装置７はフレーム３３を備えている。フレーム３３の下部には、ＸＹＣステージ３５が設けられている。ＸＹＣステージ３５は、ＸＹＣステージベッド３７とＸＹＣステージテーブル（下部テーブル）１５とを備えて構成されている。

ＸＹＣステージベッド３７はフレーム３３に一体的に設けられている。下部テーブル１５は、ＸＹＣステージベッド３７の上部でＸＹＣステージベッド３７に支持されている。すなわち、下部テーブル１５は、図示しないリニアガイドベアリングやベアリングによってＸＹＣステージベッド３７に支持されており、図示しないサーボモータやリニアモータ等のアクチュエータによって、制御装置１３の制御の下、Ｘ軸方向およびＹ軸方向で移動位置決め自在になっているとともに、Ｃ軸まわりで回動位置決め自在になっている。Ｃ軸は、ＸＹＣステージベッド３７の中心を通ってＺ軸方向に延伸している軸である。

なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向およびＣ軸まわりに加えて、Ａ軸まわりとＢ軸まわりとで、下部テーブル（ＸＹＣステージテーブル）１５がＸＹＣステージベッド３７に対して回動位置決め自在になっていてもよい。ここで、Ａ軸は、ＸＹＣステージ３５の中心を通ってＸ軸方向に延びている軸であり、Ｂ軸は、ＸＹＣステージ３５の中心を通ってＹ軸方向に延びている軸である。

また、図示しないロボット等によって下部テーブル１５の所定の位置まで搬送されてきた第１のワークＷ１は、図示しない真空ポンプを用いて真空吸着され、下部テーブル１５の所定の位置で下部テーブル１５に一体的に設置されるようになっている。下部テーブル１５の上面には、図示しない突起（突き当て）が設けられており、この突き当てに第１のワークＷ１を当接させることで、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＣ軸まわりで正確な位置決めをして、第１のワークＷ１を下部テーブル１５に設置することができるようになっている。

下部テーブル１５の上方に位置している上部テーブル１７は、フレーム３３に支持されている。すなわち、上部テーブル１７は、図示しないリニアガイドベアリングによってフレーム３３に支持されており、図示しないサーボモータやリニアモータ等のアクチュエータによって、制御装置１３の制御の下、Ｚ軸方向で移動位置決め自在になっている。

ワーク保持装置１９は、上述したように、ワーク保持体用テーブル２９と連結体３１とワーク保持体２５とを備えて構成されており、ワーク保持体用テーブル２９が上部テーブル１７に上方で上部テーブル１７から離れてフレーム３３に支持されている。すなわち、ワーク保持体用テーブル２９は、図示しないリニアガイドベアリングによってフレーム３３に支持されており、図示しないサーボモータやリニアモータ等のアクチュエータによって、制御装置１３の制御の下、Ｚ軸方向で移動位置決め自在になっている。

これにより、上部テーブル１７やワーク保持装置１９が、Ｘ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向とＣ軸まわりとで、下部テーブル１５に対して相対的に移動位置決めされるようになっている。

なお、上記説明では、ワーク保持体用テーブル２９（ワーク保持装置１９）がフレーム３３に支持されているが、ワーク保持体用テーブル２９が図示しないリニアガイドベアリンフを介して上部テーブル１７に支持されている構成であってもよい。そして、ワーク保持体用テーブル２９が上部テーブル１７に対してＺ軸方向で移動位置決めされるようになっていてもよい。

真空雰囲気生成装置２１は、たとえば、下部外殻体３９と上部外殻体４１と図示しない真空ポンプとを備えて構成されている。下部外殻体３９はフレーム３３の下側でフレーム３３に一体的に設けられている。上部外殻体４１はフレーム３３の上側で図示しないリニアガイドベアリングを介してフレーム３３に支持されており、図示しない空気圧シリンダ等のアクチュエータによりＺ軸方向で移動するようになっている。

上部外殻体４１がストロークの下端に位置している場合には、下部外殻体３９と上部外殻体４１とがお互いに接触して下部外殻体３９と上部外殻体４１とで閉空間が形成されるようになっている（下部外殻体３９と上部外殻体４１との内側に真空成形室が形成されるようになっている）。また、上記閉空間内に、下部テーブル１５と上部テーブル１７とワーク保持装置１９とが位置するようになっている。

そして、上記閉空間内を真空にすることで、設置済みの第１のワークＷ１や保持済みの第２のワークＷ２（設置済みの第１のワークＷ１に設置された第２のワークＷ２）を、真空雰囲気内に存在させることができるようになっている。

一方、上部外殻体４１がストロークの上端に位置している場合には、上部外殻体４１が下部外殻体３９から離れ、真空成形室に開口部が形成されるようになっている。そして、この開口部を通して、各ワークＷ１，Ｗ２が前ストッカ３や塗布装置５から下部テーブル１５やワーク保持装置１９に供給され、また、第２のワークＷ２が設置されることで一体化した各ワークＷ１，Ｗ２が、ワーク設置装置７から硬化剥離装置９へ供給されるようになっている。

ワーク設置装置７に設けられている上記ヒータは、上部テーブル１７、下部テーブル１５の少なくともいずれかに設けられており、ワークＷ１，Ｗ２を加熱するようになっている。

また、ワーク設置装置７には、カメラ４３が設けられている。カメラ４３は、保持済みの第２のワークＷ２（基材Ｗ５）に設けられているアイマーク（図示せず）を撮影することができるようになっている。そして、保持済みの第２のワークＷ２の位置ずれ量（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＣ軸まわりでの、設置済みの第１のワークＷ１に対する保持済みの第２のワークの位置ずれ量）を検出することができるようになっている。

この測定した位置ずれ量を、テーブル位置決め装置４５で補正することができるようになっている。すなわち、下部テーブル（ＸＹＣステージテーブル）１５をＸＹＣステージベッド３７に対して移動し回動することで、位置ずれ量を補正して無くすことができるようになっている。これにより、設置済みの第１のワークＷ１に対する保持済みの第２のワークの位置ずれを修正することができるようになっている。

なお、カメラ４３によって、設置済みの第１のワークＷ１（基材Ｗ３）に設けられているアイマーク（図示せず）を撮影し、設置済みの第１のワークＷ１の位置ずれ量（下部テーブル１５に対する位置ずれ量）を検出するようにしてもよい。

そして、上記検出した保持済みの第２のワークＷ２の位置ずれ量と、上記検出した設置みの第１のワークＷ１の位置ずれ量とを用いて、設置済みの第１のワークＷ１に対する保持済みの第２のワークの位置ずれを修正するようにしてもよい。

ここで、ワーク保持体２５について詳しく説明する。

ワーク保持体２５は、第２のワーク（保持対象物）Ｗ２の平面状の所定の部位（基材Ｗ５の厚さ方向の一方の面の所定の部位）に係合して第２のワークＷ２を保持するものである。

ワーク保持体２５は、図５で示すように、筒状の本体部（ワーク保持体本体部）２７と、この本体部２７の一方の開口部に設けられた粘着剤４９とを備えて構成されている。

粘着剤４９は、ワーク保持体本体部２７の環状の開口部（ワーク保持体本体部２７の軸方向の一方の端部に位置している開口部）の全周を膜状になって覆っている。

そして、第２のワークＷ２を保持する場合には、粘着剤４９が第２のワークＷ２の平面に接触し、ワーク保持体本体部２７の一方の開口部が第２のワークＷ２側を向いて第２のワークと対向するようになっている。

さらに説明すると、ワーク保持体２５は、粘着剤４９が第２のワークＷ２の平面（膜状体Ｗ６が設けられていない側の基材Ｗ５面）に接し、ワーク保持体本体部２７内を真空状態もしくは大気圧よりも低い空気圧にすることで、第２のワークＷ２を保持するようになっている。

また、ワーク保持体本体部２７内の真空状態が解除された場合（ワーク保持体本体部２７内が大気圧になった場合や、第２のワークＷ２を保持している状態でワーク保持体２５と第２のワークＷ２とが真空の雰囲気内に位置した場合）でも、粘着剤４９の粘着力のみで第２のワークＷ２の重量を支持し第２のワークＷ２を保持することができるようになっている。

粘着剤４９として、たとえば、べとつきがほとんどなく、一旦保持したワークＷ２を開放した後に、ワークＷ２への転写がほとんどされず、しかも繰り返し使用しても粘着性能の低下が少ないもの（シリコン系の粘着剤）が採用されている。

また、ワーク保持体２５では、筒状の本体部（ワーク保持体本体部）２７の少なくとも一部の筒状の部位（環状の部位）が弾性体（筒状の弾性体）５１で構成されている。

さらに詳しく説明すると、ワーク保持体本体部２７は、筒状の弾性体（たとえば、ゴム製のジャバラ状バキュームパッド）５１と、剛性の高い（金属や硬質の合成樹脂等のほぼ剛体とみなせる材料で構成された）ワーク側ワーク保持体構成体（ワーク側構成体）５３と、剛性の高い（金属や硬質の合成樹脂等のほぼ剛体とみなせる材料で構成された）連結体側ワーク保持体構成体（連結体側構成体）５５とを備えて構成されている。

ワーク側構成体５３は、この軸の延伸方向の一端部に平面が設けられており、この平面の中央に貫通孔５７が設けられている。貫通孔５７は、前記平面に直交する方向（ワーク側構成体５３の軸の延伸方向）に貫通している。これにより、ワーク側構成体５３が環状（円環状；筒状）に形成されている。

ワーク側構成体５３は、この軸（貫通孔５７の中心軸）が筒状の弾性体５１の軸（弾性体５１内側の貫通孔の中心軸）と一致し、ワーク側構成体５３の軸の延伸方向の他端部側の部位が筒状の弾性体５１の軸の延伸方向の一端部側部位に係合して、筒状の弾性体５１に一体的に設けられている。

連結体側構成体５５も、中央に貫通孔５９が設けられた環状（円環状；筒状）に形成されている。連結体側構成体５５も、この軸（貫通孔５９の中心軸）が筒状の弾性体５１の軸（筒状体内側の貫通孔の中心軸）と一致し、連結体側構成体５５の軸の延伸方向の一端部側の部位が筒状の弾性体５１の軸の延伸方向の他端部側部位に係合し、ワーク側構成体５３から離れて、筒状の弾性体５１に一体的に設けられている。

粘着剤４９は、ワーク側構成体５３の平面（筒状の弾性体５１とは反対側の平面）に環状で膜状になって設けられている。

連結体側構成体５５の軸の延伸方向の他端部側（筒状の弾性体５１とは反対側の部位；図５（ａ）では上側）には、オスネジ６１が形成されている。貫通孔５９はオスネジ６１のところにも形成されている。

そして、円筒状の連結体３１がワーク保持体２５に螺合し、連結体側構成体５５が連結体３１に一体的に設置されている。連結体３１に設置されたワーク保持体２５（筒状の弾性体５１、ワーク側構成体５３、連結体側構成体５５）の軸は、Ｚ軸方向に延伸している。

また、ワーク保持体用テーブル２９と各連結体３１の内部空間とを介して、真空ポンプ（図示せず）で真空引きがなされることで、ワーク保持体２５（筒状の弾性体５１、ワーク側構成体５３、連結体側構成体５５）内の空間が真空状態になって、ワーク保持体２５による第２のワークＷ２の真空吸着がなされるようになっている。

なお、ワーク保持体２５（筒状の弾性体５１、ワーク側構成体５３、連結体側構成体５５）内の空間に空気圧を供給することができるように構成してもよい。そして、ワーク保持体２５内（筒状の本体部２７内）に空気圧を供給することで、ワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離すようにしてもよい。

ところで、粘着剤４９は、図５では、ワーク側構成体５３のリング状の開口部で、この開口部の外周側のみにリング状になって設けられているが、ワーク側構成体５３のリング状の開口部の全面に粘着剤４９が設けられていてもよいし、開口部の内周側にのみ粘着剤４９がリング状になって設けられていてもよい。さらに、粘着剤４９が多重の環状になって開口部に設けられていてもよい。

また、ワーク保持体２５の構成を図６で示すように適宜変更してもよい。

図６（ａ）で示すものでは、ワーク側構成体を削除し、筒状の弾性体５１の開口部に粘着剤４９を直接設けてある。すなわち、図６（ａ）で示すものでは、筒状の本体部２７は、筒状の弾性体５１と剛性の高い連結体側構成体５５とで構成されている。そして、連結体側構成体５５は、中央に貫通孔５９が設けられた環状に形成されており、軸が筒状の弾性体５１の軸と一致し、一端部側の部位が筒状の弾性体５１の他端部側の部位に係合して筒状の弾性体５１に設けられている。また、粘着剤４９は、筒状の弾性体５１の一端部に、環状で膜状になって設けられている。

図６（ｂ）で示すものでは、筒状の弾性体５１の開口部が平面でなくて、円錐台の側面状になっている。図６（ｃ）で示すものでは、ワーク側構成体と筒状の弾性体とを削除し、連結体側構成体５５の開口部に粘着剤４９を直接設けてある。さらに図示していないが、筒状の弾性体５１と粘着剤４９のみで、ワーク保持体２５を構成してもよい。

次に、ワーク設置装置７の動作を、図７〜図１４を参照しつつ説明する。

まず初期状態として、上部テーブル１７が上昇して下部テーブル１５から離れており、ワーク保持装置１９が上昇してワーク保持体２５が下部テーブル１５と上部テーブル１７との間に位置しており、下部テーブル１５に第１のワークＷ１が設置されておらず、ワーク保持装置１９が第２のワークＷ２を保持しておらず、真空雰囲気生成装置２１による真空雰囲気の生成がされておらず、ヒータがオンしており、ＸＹＣステージテーブル（下部テーブル）１５が、ＸＹＣステージベッド３７に対して所定のデフォルト位置に位置しているものとする（Ｓ１）。

上記初期状態において、制御装置１３の制御の下、図示しないロボットで下部テーブル１５に第１のワークＷ１を搬入して設置し（第１のワーク設置工程）、図示しないロボットのロボット側ワーク保持装置６３で、第２のワークＷ２をワーク保持体２５のところまで搬入する（Ｓ３；図９（ａ）（ｂ）参照）。

続いて、ワーク保持装置１９（各ワーク保持体２５）を下降して、真空吸着と粘着剤４９とで第２のワークＷ２を保持する（Ｓ５；図１０（ａ）参照；第２のワーク保持工程）。すなわち、未硬化膜状体設置工程で、板状の基材Ｗ５の厚さ方向の一方の面に未硬化膜状体Ｗ６が設けられた第２のワークＷ２における基材Ｗ５の他方の面に、真空吸着と粘着剤４９とを併用して第２のワークＷ２を保持するワーク保持体２５を係合させて、第２のワークＷ２を保持する。そして、第２のワークＷ２を搬送したロボット（ロボット側ワーク保持装置６３）を、ワーク設置装置７から退去させる（Ｓ７）。

ここで、未硬化膜状体設置工程は、板状の基材Ｗ５の厚さ方向の一方の面に、未硬化膜状体Ｗ６を設置する工程であり、図１に示す塗布装置５で、未硬化膜状体設置工程が実行されるようになっている。

ところで、上記初期状態を、さらに、下部テーブル１５に第１のワークＷ１が設置されておりワーク保持体２５で第２のワークＷ２をさらに保持している状態としてもよい。また、ロボットによる第２のワークＷ２の搬送は、前述したように、ロボットのアームの先端に設置されているロボット側ワーク保持装置６３で、第２のワークを真空吸着して保持してなされるようになっている（図２、図９（ｂ）参照）。

続いて、前記第１のワーク設置工程で第１のワークＷ１の設置がなされ、前記第２のワーク保持工程で第２のワークＷ２の保持がなされ、ロボット（ロボット側ワーク保持装置６３）が退去した後、下部テーブル１５に設置されている設置済みの第１のワークＷ１とワーク保持体２５で保持している保持済みの第２のワークＷ２とを、真空雰囲気内に位置させる（Ｓ９；図１０（ａ）参照；真空雰囲気生成工程）。

続いて、設置済みの第１のワークＷ１に対する保持済みの第２のワークＷ２の位置ずれ量を、カメラ４３を用いて測定し、この測定結果が許容範囲内であるか否かを判断する（Ｓ１）。

上記測定結果が許容範囲内を超えている場合には、ＸＹＣステージテーブル１５を適宜移動位置決めして、設置済みの第１のワークＷ１に対する保持済みの第２のワークＷ２の位置を補正し（Ｓ１３）、この補正後にステップＳ１５に進む。上記測定結果が許容範囲内を超えていない場合には、上記補正をすることなく、ステップＳ１５に進む。

ステップＳ１５では、ワーク保持装置１９で第２のワークＷ２を開放して第２のワークＷ２を落下させるか否かを判断する。この判断は、制御装置１３に設けられているタッチパネル（図示せず）等の入力部を介して、予め制御装置１３に入力されている情報によってなされるものとする。

ステップＳ１５で、ワーク保持装置１９での第２のワークＷ２の開放をしないと判断した場合には、前記真空雰囲気生成工程で生成した真空状態を維持したまま、ワーク保持体２５を設置済みの第１のワークＷ１に近づけて、保持済みの第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６を設置済みの第１のワークＷ１に接触させて保持済みの第２のワークＷ２を設置済みの第１のワークＷ１に設置する（Ｓ１７；図１０（ｂ）参照；第２のワーク設置工程）。

続いて、前記真空雰囲気生成工程で生成した真空状態を維持したまま、上部テーブル１７に設けられている貫通孔２３（凹部でもよい）内にワーク保持体２５が入り込むようにして、上部テーブル（ワーク保持体２５や保持済みの第２のワークＷ２よりも上方に位置している上部テーブル）１７を第２のワークＷ２に近づけて、下部テーブル１５と上部テーブル１７とで、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを挟んで所定の時間押圧し、ヒータで各ワークＷ１，Ｗ２を加熱して未硬化膜状体Ｗ６の粘度を上げる（Ｓ１９；図１１（ａ）参照；ワーク押圧工程）。

続いて、ワーク保持装置１９での第２のワークＷ２の開放において、ＸＹＣステージテーブル１５の駆動（振動）をするか否かを判断する（Ｓ２１）。この判断は、制御装置１３に設けられているタッチパネル（図示せず）等の入力部を介して、予め制御装置１３に入力されている情報によってなされるものとする。

ステップＳ２１で、ＸＹＣステージテーブル１５の駆動をしないと判断した場合には、前記ワーク押圧工程で各ワークＷ１，Ｗ２を押圧している状態で、ワーク保持体２５が上部テーブル１７に設けられている貫通孔２３（凹部でもよい）内に更に入り込むようにして、ワーク保持体２５を上昇させ第２のワークＷ２から離す（Ｓ２３；図１１（ｂ）；ワーク保持体離反工程）。

続いて、前記ワーク保持体離反工程でワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離し、前記ワーク押圧工程で所定の時間各ワークＷ１，Ｗ２を押圧した後（Ｓ２５）、上部テーブル１７を上方に移動して上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離す（上部テーブル離反工程）。この上部テーブル離反工程で、上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離した後、前記真空雰囲気生成工程で生成した真空雰囲気を無くす（Ｓ２７；図１２（ａ）参照；真空雰囲気開放工程）。

なお、前記上部テーブル離反工程によって、ワーク保持体２５が上部テーブル１７の貫通孔２３内に位置している場合がある。すなわち、前記上部テーブル離反工程で上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離し始めてから、上部テーブル１７と第２のワークＷ２との距離が所定の値になるまでは、ワーク保持体２５が上部テーブル１７の貫通孔２３内に位置しているが、上部テーブル１７と第２のワークＷ２との距離が所定の値を超えると、ワーク保持体２５が上部テーブル１７の貫通孔２３の外に出て、各ワークＷ１，Ｗ２と上部テーブル１７との間に位置するようになる。

続いて、下部テーブル１５での第１のワークＷ１の真空吸着を止めて、図示しないロボットのロボット側ワーク保持装置６３でお互いが一体化している各ワークＷ１，Ｗ２を下部テーブル１５から搬出し、下部テーブル１５が上述したデフォルト位置に戻る（Ｓ２９；図１２（ｂ）参照）。

そして、下部テーブル１５から搬出された各ワークＷ１，Ｗ２に、図１に示す硬化剥離装置９で紫外線が照射されて、未硬化膜状体Ｗ６が硬化するようになっている。すなわち、前記上部テーブル離反工程で、上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離し、上記真空雰囲気開放工程で真空雰囲気を無くし、各ワークＷ１，Ｗ２が下部テーブル１５から搬出されて硬化剥離装置９に供給された後、第２のワークＷ２が第１のワークＷ１に設置されている状態で、未硬化膜状体Ｗ６を硬化する（未硬化膜状体硬化工程）。

また、硬化剥離装置９では、硬化した膜状体Ｗ６から、基材Ｗ５の剥離がなされ、図３で示す製品Ｗが生成されるようになっている。

ところで、ステップＳ１５で、ワーク保持装置１９での第２のワークＷ２の開放をすると判断した場合には、設置済みの第１のワークＷ１と保持済みの第２のワークＷ２との距離が所定の僅かな距離になるまで、ワーク保持体２５を下降することで保持済みの第２のワークＷ２を下降する（Ｓ３１；図１３（ａ）参照；第２のワーク下降工程）。

続いて、前記真空雰囲気生成工程で生成した真空状態を維持したまま、上部テーブル１７を下降し、ワーク保持体２５から代２のワークＷ２を自由落下させ、第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６を設置済みの第１のワークＷ１に接触させて、第２のワークＷ２を設置済みの第１のワークＷ１に設置する（Ｓ３３；図１３（ｂ）；第２のワーク落下設置工程）。なお、ワーク保持体２５での第２のワークＷ２の開放による第２のワークＷ２の落下は、上部テーブル１７を下降して上部テーブル１７で第２のワークＷ２を下方に押すことでなされるようになっている。

続いて、前記第２のワーク落下設置工程で設置済みの第１のワークＷ１に第２のワークＷ２を設置した後、上部テーブル１７をさらに下降し、下部テーブル１５と上部テーブル１７とで、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを挟んで所定の時間押圧し、ヒータで各ワークＷ１，Ｗ２を加熱して、未硬化膜状体Ｗ６の粘度を上げる（Ｓ３５；図１４（ａ）参照；ワーク押圧工程）。この後、ステップＳ２１に進む。

なお、ステップＳ１５で、ワーク保持装置１９での第２のワークＷ２の開放をすると判断した場合には、真空雰囲気の生成を後側にすらしてもよい。すなわち、前記第２のワーク下降工程（Ｓ３３）で前記第２のワークを下降位置決めした後、下部テーブル１５に設置されている設置済みの第１のワークＷ１とワーク保持体２５で保持している保持済みの第２のワークＷ２とを真空雰囲気内に位置させるるようにしてもよい。

また、各ワークＷ１，Ｗ２を加熱して未硬化膜状体Ｗ６の粘度を上げることは、少なくも、前記ワーク押圧工程で各ワークＷ１、Ｗ２押圧しているときにすればよい。

また、ステップＳ２１で、ＸＹＣステージテーブル１５の駆動をすると判断した場合には、各テーブル１５，１７による各ワークＷ１，Ｗ２の押圧が所定の時間なされた後（Ｓ３７）、上部テーブル１７を上昇して上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離す（Ｓ３９；図１４（ｂ）参照；上部テーブル離反工程）。

続いて、前記上部テーブル離反工程で上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離した後、下部テーブル１５に設置されている第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを、ＸＹＣステージテーブル１５を駆動して僅かに振動させつつ、ワーク保持体２５を上方向に移動してワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離す（Ｓ４１；ワーク保持体離反工程）。

なお、下部テーブル１５に設置されている第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを、ＸＹＣステージテーブル１５を駆動して僅かに振動させることに代えてもしくは加えて、ワーク保持体２５内に圧縮空気を供給して、ワーク保持体２５を上方向に移動しワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離すようにしてもよい。

また、上記振動の方向は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｃ軸まわり、Ａ軸まわり、Ｂ軸まわりの少なくもいずれかであればよい。また、上記振動をすることなく、ワーク保持体２５内に圧縮空気を供給しワーク保持体２５を上方向に移動して、ワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離すようにしてもよい。

続いて、上記上部テーブル離反工程で、上部テーブル１７を第２のワークＷ２から離した後（上記ワーク保持体離反工程でワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離した後であってもよい。）、上記真空雰囲気生成工程で生成した真空雰囲気を無くし（Ｓ４３）、ステップＳ２９に進む。

ワーク保持体２５によれば、真空吸着に加えて粘着剤によりワークＷ２を保持するので、真空中でもワークＷ２を保持することができる。また、保持して高速搬送する動作が必要である大気中ではより強い力でワークＷ２を保持することができ、搬送中におけるワークＷ２のロボットハンドからの落下を防止することができる。

また、大気中で真空吸着を使用することによって、粘着剤４９がワークＷ２に強く貼り付くので、粘着剤４９の粘着力が、粘着剤４９が設けられているワーク保持体２５を単にワークＷ２に押し付けた場合（真空吸着をすることなく押し付けだけを行った場合）よりも高まり、真空中でもワークＷ２を確実に保持することができる。

また、ワークＷ２を保持している状態でワーク保持体本体部２７内に空気圧を供給することで、粘着剤４９がワークＷ２から離れるので、粘着剤４９でワークＷ２にくっついているワーク保持体２５をワークＷ２から容易に離すことができる。

また、ワーク保持体２５によれば、ワーク保持体本体部２７の一部の筒状の部位５１が弾性体で構成されているので、ワークＷ２の上面とワーク保持体２５の下面（粘着剤４９が設けられている環状の平面）との平行度が悪くなっていても、ワーク保持体２５でワークＷ２を保持するときに、筒状の弾性体５１が弾性変形してワーク保持体２５の下面がワークＷ２の上面に倣い（ワーク保持体２５の下面がワークＷ２の上面と平行になり）、ワークＷ２を確実保持することができる。

さらに、ワーク保持体２５によれば、複数のワーク保持体２５でワークＷ２を保持する場合であっても、ワークＷ２を確実に保持することができる。たとえば、各ワーク保持体２５の下面の高さ（位置）に若干のばらつきがあっても、各ワーク保持体２５でワークＷ２を保持するときに、各筒状弾性体５１が主にＺ軸方向で適宜弾性変形し、各ワーク保持体２５の総てがワークＷ２の接触し、ワークＷ２を確実に保持することができる。

また、ワーク保持体２５によれば、粘着剤４９が、ワーク側構成体５３の平面に環状で膜状になって設けられているので、粘着剤４９が劣化したときに、ワーク側構成体５３ごと交換すればよく、ワーク保持体２５のメンテナンスが容易になる。

さらに、ワーク保持体２５によれば、連結体側構成体５５の端部にオスネジ６１が設けられており、このオスネジ６１が連結体３１に螺合しているので、粘着剤４９や筒状の弾性体５１が劣化したとき、ワーク保持体２５をまるごと交換すればよく、ワーク保持体２５のメンテナンスが容易になる。

また、ワーク設置装置７によれば、ワーク保持体２５が粘着剤４９で第２のワークＷ２を保持するので、真空雰囲気を生成してから、第１のワークＷ１にワーク保持体２５している第２のワークＷ２を設置することができ、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２との間に空気が入り込むことを確実に防止することができる。

また、ワーク設置装置７において、ワーク保持体２５が第２のワークＷ２を開放して第２のワークＷ２を自由落下させて第１のワークＷ１に設置するようにすれば、ワーク保持体２５が第２のワークＷ２を開放したときに第２のワークＷ２の内部応力が開放されて、たとえば第２のワークＷ２の撓みが無くなり、この内部応力が開放された状態で第２のワークＷ２が第１のワークＷ１に設置されることになる。したがって、第２のワークＷ２の撓んだ状態で第１のワークＷ１に設置されてしまうことを防止することができる。

また、ワーク保持体２５が第２のワークＷ２を開放して第２のワークＷ２を自由落下させて第１のワークＷ１に設置することで、ワーク保持体２５によるプレス跡が、第２のワークＷ２に残ることが無くなる。さらに、ワーク保持体２５が第２のワークＷ２を開放して第２のワークＷ２を自由落下させて第１のワークＷ１に設置することで、ヒータによるワークＷ１，Ｗ２の熱膨張があっても、ワークＷ１，Ｗ２に発生する内部応力を極力小さくすることができる。

さらに、ワーク設置装置７において、テーブル位置決め装置４５で下部テーブル１５に設置されている各ワークＷ１，Ｗ２を僅かに振動させつつ、ワーク保持体２５を第２のワークＷ２から離すようにすれば、粘着剤４９で第２のワークＷ２保持しているワーク保持体２５を第２のワークＷ２から容易に離すことができる。

なお、テーブル位置決め装置４５で下部テーブル１５に設置されている各ワークＷ１，Ｗ２を僅かに振動させつつ、ワーク保持体２５を用いて第２のワークＷ２から離す方法を、真空吸着、粘着剤の少なくともいずれかによってワークＷ２を保持しているワーク保持体２５を、ワークＷ２、ワーク保持体２５の少なくといずれかに振動を与えて、ワークＷ２から離すワーク保持体離反方法として把握してもよい。

また、ワーク設置装置７において、真空雰囲気生成装置２１を削除するか、もしくは、真空雰囲気生成装置２１による真空雰囲気の生成を行わないようにしてもよい。この場合、ワーク保持体２５の粘着剤４９を削除してもよい。

真空雰囲気生成装置２１を削除等し粘着剤４９を削除した場合、制御装置１３は次の制御をするようになっているものとする。

上部テーブル１７が下部テーブル１５から離れており、各ワーク保持体２５が下部テーブル１５と上部テーブル１７との間に位置しており、下部テーブル１５に第１のワークＷ１が設置されており、ワーク保持体２５で第２のワークＷ２を保持している状態で、ワーク保持体２５を下方向に移動して、下部テーブル１５に設置されている設置済みの第１のワークＷ１とワーク保持体２５で保持している保持済みの第２のワークＷ２との距離を所定の僅かな距離にする。

なお、この場合におけるワーク保持体２５での第２のワークＷ２の保持は真空吸着のみでなされているものとする。

続いて、上部テーブル１７を下方向に移動して各ワーク保持体２５から第２のワークＷ２を落下させ第２のワークＷ２の未硬化膜状体Ｗ６を設置済みの第１のワークＷ１に接触させて第２のワークＷ２を設置済みの第１のワークＷ１に設置する。

続いて、上部テーブル１７をさらに下方に移動して下部テーブル１５と上部テーブル１７とで各ワークＷ１，Ｗ２を挟んで押圧し、この押圧を所定時間行う。

さらに、粘着剤４９を削除することなく、真空雰囲気生成装置２１の削除等をした場合、ワーク保持体２５による第２のワークＷ２の保持は、真空吸着と粘着剤４９とを併用するか、もしくは、粘着剤４９のみを用いてなされる。

７ ワーク設置装置
１３ 制御装置
１５ 第１のテーブル（下部テーブル）
１７ 第２のテーブル（上部テーブル）
１９ ワーク保持装置
２１ 真空雰囲気生成装置
２５ ワーク保持体
２７ 筒状の本体部（ワーク保持体本体部）
４５ テーブル位置決め装置
４９ 粘着剤
５１ 筒状の部位（筒状の弾性体）
５３ ワーク側構成体
５５ 連結体側構成体
５７、５９ 貫通孔
Ｗ１ 第１のワーク
Ｗ２ 第２のワーク

Claims (6)

1. 第１のワークが載置され設置される下部テーブルと、
   上下方向で前記下部テーブルに対して相対的に移動位置決め自在である上部テーブルと、
   筒状の本体部を具備するワーク保持体を複数備え、これらのワーク保持体の本体部の一方の開口部が前記下部テーブルの上面と対向し、前記各ワーク保持体が、上下方向で前記下部テーブルに対して相対的に移動位置決め自在であり、前記各ワーク保持体で第２のワークを保持するように構成されているワーク保持装置と、
   前記上部テーブルが前記下部テーブルから離れており、前記各ワーク保持体が前記下部テーブルと前記上部テーブルとの間に位置しており、前記下部テーブルに前記第１のワークが設置されており、前記ワーク保持体で前記第２のワークを保持している状態で、前記ワーク保持体を下方向に移動して、前記下部テーブルに設置されている設置済みの第１のワークと前記ワーク保持体で保持している保持済みの第２のワークとの距離を所定の僅かな距離にし、前記上部テーブルを下方向に移動して前記各ワーク保持体から前記第２のワークを落下させ前記第２のワークの未硬化膜状体を前記設置済みの第１のワークに接触させて前記第２のワークを前記設置済みの第１のワークに設置し、前記上部テーブルをさらに下方に移動して前記下部テーブルと前記上部テーブルとで前記各ワークを挟んで押圧し、この押圧を所定時間行うように、前記下部テーブルと前記上部テーブルと前記ワーク保持装置とを制御する制御装置と、
   を有することを特徴とするワーク設置装置。
2. 請求項１に記載のワーク設置装置において、
   前記第１のワークと前記第２のワークとを加熱するヒータを有し、
   前記制御装置は、少なくとも前記各テーブルで前記各ワークを押圧しているときに、前記ヒータで前記各ワークを加熱する制御をする装置であることを特徴とするワーク設置装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のワーク設置装置において、
   前記設置済みの第１のワークに、前記ワーク保持体で保持する第２のワークを設置するときに、前記第１のワークと前記第２のワークとを真空雰囲気内に位置させる真空雰囲気生成装置を有し、
   前記ワーク保持装置の各本体部の一方の開口部には粘着剤が設けられており、前記粘着剤が前記下部テーブルの上面と対向しており、
   前記制御装置は、前記設置済みの第１のワークと前記保持済みの第２のワークとの距離を所定の僅かな距離にした後に、前記真空雰囲気生成装置で真空雰囲気を生成し、この真空雰囲気を生成した後に、前記上部テーブルを下方向に移動して前記各ワーク保持体から前記第２のワークを落下させて前記押圧を所定時間行い、この押圧を所定時間行った後、前記真空雰囲気生成装置による真空雰囲気を無くすように、前記下部テーブルと前記上部テーブルと前記ワーク保持装置と前記真空雰囲気生成装置とを制御する装置であることを特徴とするワーク設置装置。
4. 下部テーブルに第１のワークを設置する第１のワーク設置工程と、
   板状の基材の厚さ方向の一方の面に未硬化膜状体が設けられた第２のワークにおける前記基材の他方の面に、粘着剤と真空吸着とを併用してもしくは真空吸着のみによってもしくは粘着剤のみを用いて前記第２のワークを保持するワーク保持体を係合させて、前記第２のワークが前記第１のテーブルに設置されている設置済み第１のワークの上方に位置し前記未硬化膜状体が前記設置済みの第１のワークの上面と対向するように、前記第２のワークを保持する第２のワーク保持工程と、
   前記第１のワーク設置工程で設置した設置済みの第１のワークと前記第２のワーク保持工程で保持した保持済みの第２のワークとの距離が所定の僅かな距離になるまで、前記保持済みの第２のワークを下降する第２のワーク下降工程と、
   前記第２のワーク下降工程で前記第２のワークを下降した後、前記第２のワークの上方で前記第２のワークから離れている上部テーブルを下降し、前記第２のワークを前記ワーク保持体から落下させ、前記第２のワークを前記設置済みの第１のワークに設置する第２のワーク落下設置工程と、
   前記第２のワーク落下設置工程で前記設置済みの第１のワークに前記第２のワークを設置した後、前記上部テーブルをさらに下降し前記各テーブルで前記各ワークを挟んで押圧するワーク押圧工程と、
   を有することを特徴とするワーク設置方法。
5. 請求項４に記載のワーク設置方法において、
   前記ワーク押圧工程は、少なくとも前記各テーブルで前記各ワークを押圧しているときに、前記各ワークを加熱して前記未硬化膜状体の粘度を上げる工程であることを特徴とするワーク設置方法。
6. 請求項４または請求項５に記載のワーク設置方法において、
   第２のワーク保持工程は、前記粘着剤と前記真空吸着とを併用してもしくは前記粘着剤のみを用いて前記第２のワークを保持するワーク保持体を、前記第２のワークに係合させて前記第２のワークを保持する工程であり、
   前記第２のワーク下降工程で前記第２のワークを下降した後、前記第２のワーク落下設置工程で前記第２のワークを落下させる前に、前記設置済みの第１のワークと前記保持済みの第２のワークとを、真空雰囲気内に位置させる真空雰囲気生成工程を有し、
   前記第２のワーク落下設置工程は、前記真空雰囲気生成工程で生成した真空状態を維持したまま、前記第２のワークを前記ワーク保持体から落下させる工程であることを特徴とするワーク設置方法。

Images