JP2013111681A - バイト工具を備えた加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル52を被加工物搬入・搬出領域と加工領域に移動するチャックテーブル機構5と、被加工物を旋削するバイト工具33を備えた加工装置であって、クリーンルーム被加工物搬入・搬出領域と第1のカセット載置領域および第2のカセット載置領域との間に配設され下部に被加工物の移動を許容する隙間611を備えた隔壁61と、チャックテーブル52を備えたチャックテーブル機構5および被加工物を旋削するためのバイト工具33を備えた旋削手段を覆う天壁62と、隔壁61とともに天壁62の外周下側を覆う側壁63、64とによって空気流通室6を形成し、天壁62に空気導入開口621を設けるとともに、加工領域の近傍に吸引口651を設けた空気流出手段65が配設されている。
【選択図】図1
Description
近年、電気機器の軽量化、小型化を可能にするために、半導体チップの電極に50〜100μmの突起状のバンプを形成し、このバンプを実装基板に形成された電極に直接接合するようにしたフリップチップと称する半導体チップが開発され実用に供されている。また、インターポーザーといわれる基板に複数の半導体チップを併設したり、積層したりして小型化を図る技術も開発され実用化されている。
加工装置をクリーンルーム内に設置しても、加工装置の各可動部等から塵埃が飛散してウエーハを汚染したり、クリーンルームを汚染するという問題がある。
被加工物搬入・搬出領域と第1のカセット載置領域および第2のカセット載置領域との間に配設され下部に被加工物の移動を許容する隙間を備えた隔壁と、該隔壁の上方に配設され該チャックテーブル機構および該旋削手段を覆う天壁と、該隔壁とともに該天壁の外周下側を覆う側壁とによって空気流通室を形成し、該天壁に空気導入開口を設けるとともに、該加工領域の近傍に吸引口を設けた吸引手段が配設されている、
ことを特徴とするバイト工具を備えた加工装置が提供される。
図示の実施形態におけるバイト工具を備えた加工装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に旋削手段としての旋削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
バイト工具装着部材324には、回転軸芯から偏芯した外周部の一部に上下方向に貫通するバイト取り付け穴324aが設けられているとともに、このバイト取り付け穴324aと対応する外周面からバイト取り付け穴324aに達する雌ネジ穴324bが設けられている。このように構成されたバイト工具装着部材324のバイト取り付け穴324aにバイト工具33を挿入し、雌ネジ穴324bに締め付けボルト330を螺合して締め付けることにより、バイト工具33はバイト工具装着部材324に着脱可能に装着される。なお、バイト工具33は、図示の実施形態においては超鋼合金等の工具鋼によって棒状に形成されたバイト本体331と、該バイト本体331の先端部に設けられたダイヤモンド等で形成された切れ刃332とによって構成したものが用いられている。このように構成されバイト工具装着部材324に装着されているバイト工具33は、上記回転スピンドル322が回転することにより、後述するチャックテーブルの被加工物を保持する保持面と平行な水平面内で回転せしめられる。
第1のカセット11に収容された加工前の被加工物としての半導体ウエーハ10は被加工物搬送手段15のハンド151に保持されて搬送され、被加工物仮置き手段13に載置される。このとき、被加工物搬送手段15のハンド151に保持された半導体ウエーハ10は、空気流通室6を形成する隔壁61の下部に設けられた隙間611を通して搬送される。被加工物仮置き手段13に載置された半導体ウエーハ10は、ここで中心合わせが行われた後に被加工物搬入手段16の旋回動作によって被加工物搬入・搬出領域24に位置付けられているチャックテーブル機構5のチャックテーブル52上に載置される。チャックテーブル52上に載置された半導体ウエーハ10は、図示しない吸引手段によってチャックテーブル52上に吸引保持される。
3:旋削ユニット
31:移動基台
32:スピンドルユニット
321:スピンドルハウジング
322:回転スピンドル
323:サーボモータ
324:バイト工具装着部材
33:バイト工具
331:バイト本体
332:切れ刃
4:切り込み送り機構
5:チャックテーブル機構
51:支持基台
52:チャックテーブル
54:カバー部材
56:チャックテーブル移動機構
6:空気流通室
61:隔壁
611:隙間
62:天壁
621:空気導入開口
63、64:側壁
65:空気流出手段
651:吸引口
652:吸引ダクト
653:吸引手段
11:第1のカセット
12:第2のカセット
13:被加工物仮置き手段
14:洗浄手段
15:被加工物搬送手段
16:被加工物搬入手段
17:被加工物搬出手段
10:半導体ウエーハ
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと該チャックテーブルを被加工物を搬入搬出する被加工物搬入・搬出領域と被加工物を加工する加工領域に移動するチャックテーブル移動手段とを備えたチャックテーブル機構と、加工領域に位置付けられた該チャックテーブルに保持された被加工物を旋削するためのバイト工具を備えた旋削手段と、加工前の被加工物が収容された第1のカセットを載置する第1のカセット載置領域および加工後の被加工物を収容する第2のカセットを載置する第2のカセット載置領域と、被加工物搬入・搬出領域と第1のカセット載置領域との間に配設され第1のカセット載置領域に載置された第1のカセットから搬出された加工前の被加工物を仮置きする被加工物仮置き手段と、被加工物搬入・搬出領域と第2のカセット載置領域との間に配設され加工後の被加工物を洗浄する洗浄手段と、被加工物仮置き手段に仮置きされた加工前の被加工物を被加工物搬入・搬出領域に位置付けられた該チャックテーブルに搬入する被加工物搬入手段と、被加工物搬入・搬出領域に位置付けられた該チャックテーブル上に載置されている加工後の被加工物を搬出し洗浄手段に搬送する被加工物搬出手段と、第1のカセット載置領域に載置された第1のカセット内に収納されている加工前の被加工物を被加工物仮置き手段に搬出するとともに洗浄手段で洗浄された加工後の被加工物を第2のカセット載置領域に載置された第2のカセットに搬送する被加工物搬送手段と、を具備するバイト工具を備えた加工装置において、
被加工物搬入・搬出領域と第1のカセット載置領域および第2のカセット載置領域との間に配設され下部に被加工物の移動を許容する隙間を備えた隔壁と、該隔壁の上方に配設され該チャックテーブル機構および該旋削手段を覆う天壁と、該隔壁とともに該天壁の外周下側を覆う側壁とによって空気流通室を形成し、該天壁に空気導入開口を設けるとともに、該加工領域の近傍に吸引口を設けた吸引手段が配設されている、
ことを特徴とするバイト工具を備えた加工装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011258871A JP5922381B2 (ja) | 2011-11-28 | 2011-11-28 | バイト工具を備えた加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011258871A JP5922381B2 (ja) | 2011-11-28 | 2011-11-28 | バイト工具を備えた加工装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2013111681A true JP2013111681A (ja) | 2013-06-10 |
JP5922381B2 JP5922381B2 (ja) | 2016-05-24 |
Family
ID=48707783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011258871A Active JP5922381B2 (ja) | 2011-11-28 | 2011-11-28 | バイト工具を備えた加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5922381B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016046397A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH08153697A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Toshiba Mach Co Ltd | ポリッシング装置 |
JP2003324082A (ja) * | 1994-12-06 | 2003-11-14 | Ebara Corp | ポリッシング装置 |
JP2004001118A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | 粉塵処理装置および粉塵処理装置を装備した加工機 |
JP2006245493A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウエーハの電極加工方法 |
-
2011
- 2011-11-28 JP JP2011258871A patent/JP5922381B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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JP5922381B2 (ja) | 2016-05-24 |
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