JP2013098277A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る基板ホルダーは、一端部が基板支持面に導通する接地部材と、接地部材の他端部に接続され、接地部材を接地電位に切替え可能な切替え部と、接地部材の一端部側を基板支持面に当接する方向に付勢する付勢手段と、接地部材の他端部が内側に配置されるとともに、付勢手段の付勢方向に伸縮する弾性隔壁部と、を備えることを特徴とする。本発明に係る基板ホルダーは、基板支持面に支持される基板を吸着するための電圧が印加される静電吸着板及び基板支持面に支持される基板と導通する導体配線を少なくとも備えるホルダー本体部と、ホルダー本体部を支持するホルダー支持部と、導体配線を接地状態に切替えることができる除電部と、を有する基板ホルダーであって、除電部は、一端部が導体配線と当接する接地部材と、接地部材の他端部に接続され、接地部材を介して導体配線を接地状態とフローティング状態とに切替える切替え部と、接地部材を導体配線に当接する方向に付勢する付勢手段と、接地部材の他端部が内側に配置されるとともに、ホルダー側と接地部材側とを気密に接続し、付勢手段の付勢方向に伸縮する弾性隔壁部と、を備えることを特徴とする。

Claims (8)

1. 一端部が基板支持面に導通する接地部材と、
   前記接地部材の他端部に接続され、前記接地部材を接地電位に切替え可能な切替え部と、
   前記接地部材の一端部側を前記基板支持面に当接する方向に付勢する付勢手段と、
   前記接地部材の他端部が内側に配置されるとともに、前記付勢手段の付勢方向に伸縮する弾性隔壁部と、を備えることを特徴とする基板ホルダー。
2. 基板支持面に支持される基板を吸着するための電圧が印加される静電吸着板及び前記基板支持面に支持される基板と導通する導体配線を少なくとも備えるホルダー本体部と、
   前記ホルダー本体部を支持するホルダー支持部と、
   前記導体配線を接地状態に切替えることができる除電部と、を有する基板ホルダーであって、
   前記除電部は、
   一端部が前記導体配線と当接する接地部材と、
   前記接地部材の他端部に接続され、前記接地部材を介して前記導体配線を接地状態とフローティング状態とに切替える切替え部と、
   前記接地部材を前記導体配線に当接する方向に付勢する付勢手段と、
   前記接地部材の他端部が内側に配置されるとともに、前記ホルダー側と前記接地部材側とを気密に接続し、前記付勢手段の付勢方向に伸縮する弾性隔壁部と、を備えることを特徴とする基板ホルダー。
3. 前記接地部材は、前記ホルダー支持部を貫通して配設されるとともに前記他端部側にフランジ部を有し、
   前記弾性隔壁部は、一端部が前記フランジ部に気密に接続され、他端部が封止部材を介して前記ホルダー支持部と気密に接続されることを特徴とする請求項２に記載の基板ホルダー。
4. 前記封止部材は、前記ホルダー支持部と前記弾性隔壁部とに前記付勢手段の付勢方向で狭持されることを特徴とする請求項３に記載の基板ホルダー。
5. 前記接地部材の一端部には、前記基板支持面側から前記導体配線と当接するキャップが設けられていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の基板ホルダー。
6. 前記弾性隔壁部はベローズであり、
   前記ベローズは前記付勢手段を兼ねていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板ホルダー。
7. 前記付勢手段は、少なくとも圧縮コイルばねを有し、
   前記圧縮コイルばねの内側に前記弾性隔壁部が配置されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板ホルダー。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の基板ホルダーと真空容器とを少なくとも備える真空処理装置であって、
   前記ホルダー本体部は前記真空容器内に配置されるとともに、前記ホルダー支持部は前記真空容器の真空隔壁を貫通して配置されており、
   前記弾性隔壁部の内側は前記真空容器の内部と連通していることを特徴とする真空処理装置。