JP2013094929A - バッキング材 - Google Patents

Abstract

【課題】 連続通気型ポリウレタンシートに熱硬化性ポリウレタン発泡体を塗付して加熱発泡させることにより、これらを、接着剤を用いて貼着するという煩わしい工程を経ることなく、軽くて扱い易い低密度、低硬度のポリウレタンフォームからなるバッキング材を迅速、安価に提供可能にする。
【解決手段】 長孔が２．０μｍ以下の微細な開孔を有し、厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、密度が８４０ｋｇ／ｍ^３以上１２１０ｋｇ／ｍ^３以下の連続通気型発泡ポリウレタンシートであって、その一面側に熱硬化性ポリウレタン発泡体が熱溶着されて一体に形成されており、研磨対象物を保持するための定盤には前記熱硬化性ポリウレタン発泡体の他面側を固着させ、連続通気型発泡ポリウレタンシートの他面側を研摩対象物に当接させることを特徴とする
【選択図】 図１

Description

本発明は、ハードディスク基板、半導体基板または半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用のガラス基板などの各種基板、ＬＣＤなどの表面を研磨する際に、定盤と研磨対象物との間に介在されて、前記研磨対象物（被研磨物）を保持するバッキング材に関する。

コンピュータの記憶手段として用いられるハードディスク基板、シリコーン棒から切り出したシリコンウエハ、液晶ディスプレイ用のガラス基板などの研磨対象物（以下、被研磨物とも称す。）を製造する場合には、高い精度での平坦性が求められる。このため、これらの基板の表面は研磨粒子を用いて研磨加工される。通常、これらの研磨対象物の研磨加工には片面研磨機が使用されている。従って、この研磨加工では研磨対象物を保持する必要があるが、研磨対象物と定盤等を直接接触させると研磨対象物に傷が発生してしまう。この様な傷の発生を回避するために、従来から研磨対象物の保持に適する多孔質型のポリウレタン発泡体からなるバッキング材が広く用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。

また、前記ポリウレタン発泡体は、研磨対象物との吸着面（接触面）に緻密で、しかも内部より密度の高い発泡表面層（スキン層）を持つことが好ましく、従って、このポリウレタン発泡体は、水混和性の有機溶媒に溶解させた樹脂溶液をシート状の成膜基板に塗布した後、水系凝固液中で凝固再生させる、いわゆる湿式成膜法で製造されている（例えば、特許文献１参照）。

一方、ポリエステルポリオール類、ポリイソシアネート類、発泡剤、触媒および撥水付与剤を含むポリウレタン発泡体の原料を反応させ、発泡および硬化させるに際して、発泡時における温度を低く設定することにより、表面に密度の高い前記スキン層を形成するバッキング材が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

更に、研磨対象物とバッキング材との間に空気の咬み込みを防止すると共に、バッキング材内部への水と研磨粒子のスラリーの浸入しない保持パッド（バッキング材）として、基材の上に弾性体を積層し、次いでこの弾性体の表面を研磨により平滑加工し、その平滑化された面に粘着性の樹脂をコーティングし、その樹脂が完全に硬化する前に凹凸を有するフィルムを圧着し、樹脂の硬化後フィルムを剥離することにより製造するバッキング材が提案されている（例えば、特許文献３参照）。

特開２００６−０６２０５９ 特開２００６−３３４７４５ 特開２００２−３５５７５５

しかしながら、前記従来の（例えば、特許文献１に記載のような）湿式成膜法は湿式であるため発泡層の密度が高いものしかできず、また厚み精度も悪いために研磨を行う必要があった。さらに塗布された樹脂が水混和性有機溶媒の３０％液で現場発泡方式によって製造されたためか圧縮した場合の復元回復性が悪く、いわゆる「へたり」が生じ、その結果、長期使用ができないという不都合があった。また、生産性が悪く、コストが高くなるという課題もあった。これらの課題に加えて、湿式成膜法は生産時にＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドなどの溶剤を大量に使用するため、環境汚染の面からも大きな課題を負うことになる。また、湿式成膜法で製造されたウレタンは、高発泡フォームにした場合、フォーム硬さ、厚みを自在に可変することが難しい。

また、前記従来の低温での（例えば、特許文献２に記載のような）スキン形成技術にあっては、表面皮膜がポーラスとなるため研磨砥粒が皮膜の気孔内に入り込んでしまう。このため、皮膜の密度を上げるために整泡剤を用いない組成でパッド体（バッキング材）を製造しているが、弾性体としてのウレタン発泡体の密度が６００〜８００ｋｇ／ｍ^３と極めて高い製品となってしまい、重量大でしかも原料費が高くなるという課題があった。

さらに、前記従来の（例えば、特許文献３に記載のような）被着体（研磨対象物）とバッキング材との間に空気の咬み込みを防いで平らなバッキング面を得ようとするバッキング材では、前記の粘着性樹脂表面の凹凸形状により、被研磨物（研磨対象物）と、保持パッド（バッキング材）間に噛み込まれたエアーはある程度分散される。しかし、上記弾性体の研磨加工面がスキン層の様に平滑かつ均一で無い為、樹脂コーティングが平滑にならない。更に、凹凸形状の圧着が場所によりバラツキがある為、出来た保持パッド（バッキング材）の平滑性・均一性は劣る。その結果、大型化が進む液晶テレビ用のガラス基板など、面積の大きな被研磨物では、被研磨物と保持パッド（バッキング材）の間に咬み込まれたエアー量が大きくなるとエアーの貯留が発生する。また、被研磨物と保持パッド（バッキング材）の間の水量が一定で無い為、一定の保持力が発現できないという課題があった。

本発明者は、このような課題を解決せんと鋭意研究の結果、発泡ポリウレタンシートと熱硬化性ポリウレタン発泡体との一体成形によってウレタンフォームを接着材なしで簡単、確実に一体化でき、研磨対象物に当接する側の発泡ポリウレタンシートと定盤に固着される側の熱硬化性ポリウレタン発泡体とをそれぞれに適正な特性とすることができると共に、高圧力、高回転の研磨に耐えるのに十分な被研磨物の保持力を得ることを見出し、前記課題を解決し、次の課題にも応えるバッキング材を提供するものである。

（１）生産時のＮ，Ｎジメチルホルムアミドなどの溶剤使用量を抑制することで、環境面での改善が図れる。
（２）被研磨物の保持力を高めて、より高圧力・高回転の研磨に対応できる保持力を有する。
（３）被研磨物のセット時にエアーを貯留し難くして、大面積のガラスや基板のバッキング材装着時に咬んだエアーの貯留を少なくすることができる。
（４）低密度で低硬度とすることで軽くて扱い易くし、低硬度のバッキング材の要求に対応できる。
（５）復元性に優れ、長期使用でも「へたり」が少ないので、コストを低減できる。
（６）２倍の耐久性（耐磨耗性）を持ち、コストの低減に寄与できる。
（７）表面開孔径が２．０μｍ以下のバッキング材を用いて、酸化セリウム等の微細な研磨材の浸入を防ぐことができる。

前述した目的を達成するために、本発明の請求項１に係るバッキング材は、長孔が２．０μｍ以下の微細な開孔を有し、厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、密度が８４０ｋｇ／ｍ^３以上１２１０ｋｇ／ｍ^３以下の連続通気型発泡ポリウレタンシートであって、その一面側に熱硬化性ポリウレタン発泡体が一体に形成されており、研磨対象物を保持するための定盤には前記熱硬化性ポリウレタン発泡体の他面側を固着させ、連続通気型発泡ポリウレタンシートの他面側を研摩対象物に当接させることを特徴とする。

この構成により、連続通気型発泡ポリウレタンシートと熱硬化性ポリウレタン発泡体との一体成形によってバッキング材（ウレタンフォーム）を接着材なしで簡単、確実に一体化でき、しかも高圧力、高回転の研磨に耐えるのに十分な被研磨物の保持力を得ることができる。
また、連続通気型発泡ポリウレタンシートと熱硬化性ポリウレタン発泡体との一体化によってバッキング材全体として、高い性能を有するものとすることができる。例えば、熱硬化性ポリウレタン発泡体は、厚みが大きく密度が小さく好適な圧縮応力や長期使用での「へたり」が少なく、低吸水性のものとすることができ、連続通気型ポリウレタンシートは、研磨対象物を吸着する表皮材として開孔径が小さく厚みが薄くて密度が大きく、大面積のガラスや基板などの研磨対象物の装着時に、エアーが貯留することがなく、研磨対象物との吸着性が良好なものとすることができ、これによりバッキング材として優れたものとすることができる。

また、本発明の請求項２に係るバッキング材は、前記連続通気型発泡ポリウレタンシートが、ポリウレタン樹脂、２−ブタノン、トルエン、Ｎ，Ｎジメチルホルムアミドおよび水、界面活性剤を必須成分とする混合液を工程紙に塗付し、加温することにより得られることを特徴とする。

この構成により、前記ポリウレタンを含む所定量の混合液を工程紙上にスムースに塗工でき、これにより連続通気型発泡ポリウレタンシートの表面に緻密な発泡表面層（スキン層）が形成され、その表面にミクロな平坦性を付与でき、結果として研磨対象物に対する良好な接触性および保持を可能にする。

また、本発明の請求項３に係るバッキング材は、前記連続通気型発泡ポリウレタンシートに配合されるトルエン量は１２重量％から２２重量％、Ｎ，Ｎジメチルホルムアミド量は１．０重量％から１．８重量％、水量は１重量％から１４重量％、界面活性剤の添加量は０．１重量％から１０重量％であることを特徴とする。

トルエンは、希釈溶剤であり、配合量が１２重量％未満では、発泡にムラが生じ外観不良を起こし、２２重量％を超えると攪拌中に原料が分離してしまうので、トルエンの配合量は１２重量％から２２重量％の範囲がよい。
Ｎ，Ｎジメチルホルムアミドは、ポリウレタン原料を溶解させ、開孔径を制御できる。１．０重量％未満では発泡ムラを生じ、開孔径が大きくなり、スラリーが滲入（浸入）し、１．８重量％を超えると発泡ポリウレタンシートが非発泡となりエアー残留性が生じ、研磨対象物の保持力も悪くなるので好ましくない。従って、その配合量は、１．０重量％から１．８重量％の範囲が好ましい。
水は発泡剤であり、配合量が１重量％未満では、発泡ポリウレタンシートが非発泡となり、エアー残留性が生じ、研磨対象物の保持力も悪くなり、１４重量％を超えると開孔径が大きくなり、スラリーが滲入（浸入）するようになるので好ましくない。従って、水の配合量は、１重量％から１４重量％の範囲が好ましい。
界面活性剤の配合量が０．１重量％未満では、発泡ポリウレタンシートが非発泡となり、エアー残留性が生じ、研磨対象物の保持力も悪くなるので好ましくなく、１０重量％を超えると攪拌中に原料が分離する。従って、その配合量は、０．１重量％から１０重量％の範囲がよい。界面活性剤としては、フッ素界面活性剤が好ましく、パーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物やポリジメチルシロキサンアルキレンオキシド共重合体を挙げることができる。

さらに、本発明の請求項４に係るバッキング材は、前記熱硬化性ポリウレタン発泡体の定盤への固着面に粘着材が塗工されているか、または粘着テープが貼り合わされていることを特徴とする。

この構成により、定盤に容易に取り付けすることができると共に、高圧力、高回転の研磨時にも被加工物を吸着しているバッキング材を容易に外れないように定盤に対し安定的に保持させることができる。

本発明のバッキング材によれば、次のような効果を奏する。
（１）連続通気型ポリウレタンシートと熱硬化性ポリウレタン発泡体との一体成形によってバッキング材（ウレタンフォーム）を接着材なしで簡単、確実に一体化でき、しかも高圧力、高回転の研磨に耐えるのに十分な被研磨物の保持力を得ることができる。
また、連続通気型ポリウレタンシートと熱硬化性ポリウレタン発泡体との一体成形による一体化によってバッキング材全体として、高い性能を有するものとすることができる。例えば、熱硬化性ポリウレタン発泡体は、厚みが大きく密度が小さく好適な圧縮応力や長期使用での「へたり」が少なく、低吸水性のものとすることができ、連続通気型発泡ポリウレタンシートは、研磨対象物を吸着する表皮材として開孔径が小さく厚みが薄くて密度が大きく、大面積のガラス板や基板などの研磨対象物の装着時に、エアーが貯留することがなく、研磨対象物との吸着性が良好なものとすることができ、これによりバッキング材として優れたものとすることができる。
（２）生産時のＮ，Ｎジメチルホルムアミドなどの溶剤使用量を抑制することで、環境面での改善が図れる。
（３）被研磨物の保持力を高めて、より高圧力・高回転の研磨に対応できる保持力を有する。
（４）被研磨物のセット時にエアーを貯留し難くして、大面積のガラス板や基板のバッキング材装着時に咬んだエアーの貯留を少なくすることができる。
（５）低密度で低硬度とすることで軽くて扱い易くし、低硬度のバッキング材の要求に対応できる。
（６）復元性に優れ、長期使用でも「へたり」が少ないので、コストを低減できる。
（７）２倍の耐久性（耐磨耗性）を持ち、コストの低減に寄与できる。
（８）表面開孔径が２．０μｍ以下のバッキング材を用いて、酸化セリウム等の微細な研磨材の滲入（浸入）を防ぐことができる。

以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための最良の形態を添付の図面を参照して詳細に説明する。

本発明の実施の形態に係るバッキング材を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係るバッキング材の製造工程を工程順（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示す断面説明図である。 図２に示す製造工程で得られたバッキング材の使用例を示す断面説明図である。

以下、本発明の一実施の形態にかかるバッキング材を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るバッキング材を示す断面図である。このバッキング材は、基材１上に連続通気型発泡ポリウレタンシート（以下、単に発泡ポリウレタンシートと略称する）２が設けられ、この発泡ポリウレタンシート２上に熱硬化性ポリウレタン発泡体３が一体に形成され、この上に基材付き粘着層５が粘着材６を介し設けられている。基材付き粘着層５は、通常、粘着テープが使用される。本例の基材付き粘着層５は、粘着材６、ＰＥＴフィルム７、粘着材８と、セパレータ（剥離紙）９とを順に貼り合わせたものからなる。このバッキング材は、概略次のような工程で作られる。基材１上に連続通気型発泡ポリウレタンシート２を設け、この発泡ポリウレタンシート２上に熱硬化性ポリウレタン原料３ａを塗布し、さらにこの熱硬化性ポリウレタン原料３ａの上に基材４を被せて、基材１、４間に挟まれた発泡ウレタンシート２および熱硬化性ポリウレタン原料３ａを加熱して熱硬化性ポリウレタン原料３ａを発泡させ、熱硬化性ポリウレタン発泡体３として発泡ポリウレタンシート２と一体成形した弾性体とする。なお、これとは逆に、基材４に熱硬化性ポリウレタン原料３ａを塗付し、これに基材１に設けた発泡ポリウレタンシート２を被せることによっても、前記同様の弾性体を得ることができる。

また、この弾性体から基材を剥離して、露出した熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を研磨して平滑化し、その平滑面に基材付き粘着層５を貼り合せて所定形状にカットして、所期のバッキング材を得る。

前記基材１は、この上にポリウレタン樹脂溶液を主成分とする配合液を塗布し、加熱発泡させて発泡ポリウレタンシート２を形成する基材であり、研磨使用時には発泡ポリウレタンシート２から剥離して定盤に貼り付けるので、剥離可能なものが好ましい。基材１としては、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと称す）フィルム、あるいは紙にポリプロプレンフィルムをラミネートした複合フィルムを挙げることができる。

発泡ポリウレタンシート２は、研磨対象物を吸着する表皮材として開孔径が小さく、厚みが薄くて（５〜１００μｍ以下）密度が大きく（８４０〜１２１０ｋｇ／ｍ^３以下）、大面積のガラス板や基板などの研磨対象物の装着時に、エアーが貯留することがなく、研磨対象物との吸着性が良好なものが好ましい。従って、発泡ポリウレタンシート２は、長径が２．０μｍ以下の微細な開孔を有する連続通気構造とし、厚みが５〜１００μｍ以下とする。長径が２．０μｍ以下の微細な開孔は、密度を８４０〜１２１０ｋｇ／ｍ^３とすることで形成できる。長径が２．０μｍ以下の微細な開孔とすることで、研磨対象物の吸着性が良好となり、発泡ポリウレタンシート２に研磨対象物を吸着させる際に、連続通気構造（密度８４０〜１２１０ｋｇ／ｍ^３）を通して空気を外部に逃すことができ、空気の咬み込みを防止できる。

また、発泡ポリウレタンシート２としては、熱可塑性ポリウレタン樹脂又は熱硬化性ポリウレタン樹脂を用いることができる。また、この発泡ポリウレタンシート２はポリウレタン樹脂、２−ブタノン、トルエン、Ｎ，Ｎジメチルホルムアミドおよび水、界面活性剤を必須成分とする混合液を基材（工程紙）１に塗布し、加温することにより得ることができる。

トルエンは、配合量が１２重量％未満では発泡ムラが生じ、外観不良を起こし、２２重量％を超えると攪拌中に原料が分離してしまうので、その配合量は１２重量％から２２重量％の範囲がよい。
水は、配合量が１重量％未満では、発泡ポリウレタンシートが非発泡となり、エアー残量性が生じ、研磨対象物の保持力も悪くなり、１４重量％を超えると開孔径が大きくなり、スラリーが滲入（浸入）するようになるので好ましくない。従って、水の配合量は、１重量％から１４重量％の範囲が好ましい。

ポリウレタン樹脂溶液のクリスボンＳ５０１中のＮ，Ｎジメチルホルムアミド量が１．０重量％未満では発泡ムラを生じ、開孔径が大きくなり、スラリーが滲入（浸入）するので好ましくなく、１．８重量％を超えると発泡ポリウレタンシートが非発泡となりエアー残留性が生じ、研磨対象物の保持力も悪くなるので好ましくない。従って、その配合量は、１．０重量％から１．８重量％の範囲が好ましい。
界面活性剤は、配合量が０．１重量％未満では、発泡ポリウレタンシートが非発泡となり、エアー残留性が生じ、研磨対象物の保持力も悪くなるので好ましくなく、１０重量％を超えると攪拌中に原料が分離するので好ましくない。従って、その配合量は、０．１重量％から１０重量％の範囲が好ましい。

熱硬化性ポリウレタン発泡体３は、厚みが大きく密度が小さく、好適な圧縮応力や長期使用での「へたり」が少なく、低吸水性のものが好ましい。また、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の定盤１０への固着面に粘着材を塗工したり、あるいは粘着テープを張り合わせたりすることで、バッキング材の定盤への取り付けを容易かつ確実なものとすることができる。

次に、本発明の実施の形態に係るバッキング材の製造工程について説明する。図２は、本発明の実施の形態に係るバッキング材の製造工程を工程順（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示す断面図である。
まず、工程１として、図２（ａ）に示すように、基材１としてのＰＥＴフィルムあるいは紙にポリプレンフィルムをラミネートした複合フィルムの上に、発砲ポリウレタン混合液（熱可塑性ポリウレタン樹脂または熱硬化性ポリウレタン樹脂）を、スキージ等を用いて塗工し、加温させて発泡ポリウレタンシート２とする。この発泡ポリウレタンシート２の厚みは５μｍ以上１００μｍ以下（好ましくは６０μｍ以下）とし、密度を８４０〜１１５０ｋｇ／ｍ^３とする。

次に、工程２として、図２（ｂ）に示すように発泡ポリウレタンシート２上に熱硬化性ポリウレタン原料３ａを塗布し、その熱硬化性ポリウレタン原料３ａの上に基材４を被せて加熱して（８０℃×２ｍｉｎ、１２０℃×４ｍｉｎ）、発泡させることで、発泡ポリウレタンシート２上に熱硬化性ポリウレタン発泡体３が熱溶着されて一体成形された図２（ｃ）に示すようなウレタンフォームが形成される。

次に工程３として、ウレタンフォームを構成する前記基材４を図３（ｄ）に示すように取り除き、露出した熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を研磨して平滑化する。なお、使用条件によっては、この熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面の研磨は不要である。

次の工程４として、平滑に研磨した熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面に基材付き粘着層５を設ける（貼り付ける）。具体的には、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面に粘着材６と、ＰＥＴフィルム７と、粘着材８と、セパレータ９とからなる基材付き粘着層５を図２（ｅ）に示すように貼り合せる。

このようにして形成されたバッキング材は、使用に際しては図３に示すように、切断面に防水処理１１を行う。なお、使用条件によってはこの防水処理は不要である。そして使用時には、図３に示すように前記基材１を発泡ポリウレタンシート２から剥すとともに、セパレータ９を粘着材８から剥して、この粘着材８側を片面研磨機の定盤１０の支持面に貼り付ける。このとき発泡ポリウレタンシート２が最上面に位置し、この最上面に半導体基板やガラス板などの被研磨物を傷付けることなく安定かつ安全に吸着して、高圧力、高回転での研磨加工を可能にする。

本実施形態では、発泡ポリウレタンシートと、これとは別工程で得た熱硬化性フォーム体とを接着層で貼り合わせるというような複雑な工程を経ずに、発泡ポリウレタンシート２と熱硬化性ポリウレタン発泡体３との一体成形によってウレタンフォームを接着材なしで一体化でき、高圧力、高回転の研磨に耐えるのに十分な研磨物の保持力を得ることができる。

次に実施例および比較例を挙げて説明する。なお、各実施例および比較例で、前記図１乃至図３に示す実施の形態と同一符号は、同様な構成要素を示す。なお、各実施例および各比較例の％は、重量％である。また、各実施例および各比較例において、ポリウレタン樹脂溶液としてのクリスボンＳ−５０１の配合量の数値の次に（）内で示した数値は、ポリウレタン樹脂溶液としてのクリスボンＳ−５０１中のＮ，Ｎジメチルホルムアミド量の数値である。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４６．９％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．８％（１．６８％）、希釈溶剤としてトルエンを２２．１％、２−ブタノン１１．１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．３％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２３μｍで密度１２０４ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大１μｍと微細セルであった。
次にポリウレタン原料のポリオールとしてポリオキシプロピレングリセリルエーテル（三洋化成工業株式会社製サンニックスＧＰ−３０００）１００部とポリイソシアネートとしてカルボジイミド変性４，４−ジフェニルメタンジイソシアネート（日本ポリウレタン株式会社製コロネートＣ−９８、ＮＣＯ２９．５％）を４４部、３０℃で温調した。更に触媒としてジブチルチンジラウレート（日東化成株式会社製ネオスタンＵ−１００）を０．４部、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（三共エアプロダクツ株式会社製Ｄａｂｃｏ３３ＬＶ）０．０３部、発泡剤として水を０．１部添加、顔料２部、界面活性剤としてシリコーン（東レ・ダウコーニング株式会社製ＳＨ１９２）を１部添加し、よく攪拌した後に離型処理したＰＥＴフィルム基材４上に塗布し、ＰＥＴフィルム基材１付き発泡ポリウレタンシート２をポリウレタン原料と発泡ポリウレタンシートが接するように被せ、５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎｎ加温し、厚み１ｍｍ密度；３００ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。更にＰＥＴフィルム基材４を取除き、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４０．２％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１４．４％（１．４１％）、希釈溶剤としてトルエンを１９％、２−ブタノン１０．９％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．５％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１３．８％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み３０μｍで密度８５０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大２μｍと微細セルであった。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３２０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。

ポリウレタン樹脂溶液（大日精化工業株式会社製ハイムレンＡＴＸ−１０）４４．１％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１５．８％（１．５８％）、希釈溶剤としてトルエンを２０．８％、２−ブタノン１１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水６．５％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２５μｍで密度９４０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大１．５μｍと微細セルであった。
次にポリウレタン原料として、ポリオールとしてダイマー酸ポリエステルジオール（分子量１２３６、水酸基価１０４．４、ＤＩＣ株式会社製ＵＡ２８１２）１００部とポリイソシアネートとして４，４−ジフェニルメタンジイソシアネートとＰＰＧとのプレポリマー（イソシアネート含有量１３．１ｗｔ％、日本ポリウレタン株式会社製ＤＣ６９７４）をＮＣＯ／ＯＨ比率＝１．０５で混ぜ、３５℃で温調した。更に触媒として１，８−ジアザ・ビシクロ［５，４，０］ウンデセン・７有機酸塩（三洋化成工業株式会社製ＳＡ１０２）を０．４部、発泡剤として水を０．７部添加し、よく攪拌した後に離型処理したＰＥＴフィルム基材４上に塗布し、ＰＥＴフィルム基材１付き発泡ポリウレタンシート２をポリウレタン原料と発泡ポリウレタンシートが接するように被せ、８０℃×２ｍｉｎ、１２０℃×４ｍｉｎｎ加温し、厚み１ｍｍ密度；１９８ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。更にＰＥＴフィルム基材４を取除き、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４４．１％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１５．８％（１．５８％）、希釈溶剤としてトルエンを１２．５％、２−ブタノン１９．４％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水６．５％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２３μｍで密度９７０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大１．５μｍと微細セルであった。
次に、ポリオール成分のポリテトレメチレングリコール（分子量２０００、水酸基価５７、三菱化学株式会社製ＰＴＭＧ２０００）１００部及びトリメチロールプロパントリメタクリレート（三井化学株式会社製ＩＲ９４）５部とポリイソシアネートとして４，４−ジフェニルメタンジイソシアネートとＰＰＧとのプレポリマー（イソシアネート含有量１３．１ｗｔ％、日本ポリウレタン株式会社製ＤＣ６９７４）をＮＣＯ／ＯＨ比率＝１．０５で混ぜ、３５℃で温調した。更に触媒として１，８−ジアザ−ビシクロ［５，４，０］ウンデセン・７有機酸塩（三洋化成工業株式会社製ＳＡ１０２）０．４部、発泡剤として水を０．５部添加し、よく攪拌した後にポリウレタン原料を塗布し、ＰＥＴフィルム基材１付発泡ポリウレタンシート２をポリウレタン原料と発泡ポリウレタンシートが接するように被せ、８０℃×２ｍｉｎ、１２０℃×４ｍｉｎｎ加温し、厚み１ｍｍ密度；３９９ｋｇ／ｍ^３の弾性体を得た。更に４を取除き、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４６．９％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．８％（１．６８％）、希釈溶剤としてトルエンを２２．５％、２−ブタノン１０．７％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．３％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２２μｍで密度１１９５ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大１μｍと微細セルであった。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３３０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４０．４％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１４．５％（１．４５％）、希釈溶剤としてトルエンを１９．４％、２−ブタノン１０．６％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．１％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１３．８％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２４μｍで密度９３０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大２μｍと微細セルであった。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；２９８ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４６％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．５％（１．６５％）、希釈溶剤としてトルエンを２１．７％、２−ブタノン１０．９％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））２．５％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．３％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２３μｍで密度１２００ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大１μｍと微細セルであった。
以降は実施例４と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３８０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４６．４％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１７．７％（１．７７％）、希釈溶剤としてトルエンを２１．９％、２−ブタノン１１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．３％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み１９μｍで密度１２００ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大０．５μｍと微細セルであった。
次にポリウレタン原料として、ポリオールとしてダイマー酸ポリエステルジオール（分子量１２３６、水酸基価１０４．４、ＤＩＣ株式会社製ＵＡ２８１２）１００部とポリイソシアネートとして４，４−ジフェニルメタンジイソシアネートとＰＰＧとのプレポリマー（イソシアネート含有量１３．１ｗｔ％、日本ポリウレタン株式会社製ＤＣ６９７４）をＮＣＯ／ＯＨ比率＝１．０５で混ぜ、３５℃で温調した。更に触媒として１，８−ジアザ・ビシクロ［５，４，０］ウンデセン・７有機酸塩（三洋化成工業株式会社製ＳＡ１０２）を０．４部、発泡剤として水を０．７部添加し、よく攪拌した後に離型処理したＰＥＴフィルム基材４上に塗布し、ＰＥＴフィルム基材１付き発泡ポリウレタンシート２をポリウレタン原料と発泡ポリウレタンシートが接するように被せ、８０℃×２ｍｉｎ、１２０℃×４ｍｉｎｎ加温し、厚み１ｍｍ密度；２０５ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。更にＰＥＴフィルム基材４を取除き、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４１．７％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１１．３％（１．１３％）、希釈溶剤としてトルエンを１９．７％、２−ブタノン１１．４％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１４．３％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み３０μｍで密度８４０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大２μｍと微細セルであった。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；２９０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４５．２％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．２％（１．６２％）、希釈溶剤としてトルエンを２１．３％、２−ブタノン１１．１％配合し、界面活性剤（シリコーン（信越化学株式会社製ＮＰ−２１０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水４．４％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み１８μｍで密度１２０９ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。開孔径が最大０．２μｍと微細セルであった。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３１０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４０．２％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１４．４％（１．４４％）、希釈溶剤としてトルエンを８．５％、２−ブタノン２１．４％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．５％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１３．８％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２１μｍで密度９００ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。最大開孔径は２μｍであった。しかし、少し発泡ムラが生じた。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；２８８ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。
次に比較例を挙げて説明する。

比較例１

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）３９．４％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１４．１％（１．４１％）、希釈溶剤としてトルエンを１８．６％、２−ブタノン１０．８％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．５％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１５．４％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み３２μｍで密度８００ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。最大開孔径が２．５μｍとなった。
次にポリウレタン原料として、ポリオールとしてダイマー酸ポリエステルジオール（分子量１２３６、水酸基価１０４．４、ＤＩＣ株式会社製ＵＡ２８１２）１００部とポリイソシアネートとして４，４−ジフェニルメタンジイソシアネートとＰＰＧとのプレポリマー（イソシアネート含有量１３．１ｗｔ％、日本ポリウレタン株式会社製ＤＣ６９７４）をＮＣＯ／ＯＨ比率＝１．０５で混ぜ、３５℃で温調した。更に触媒として１，８−ジアザ・ビシクロ［５，４，０］ウンデセン・７有機酸塩（三洋化成工業株式会社製ＳＡ１０２）を０．４部、発泡剤として水を０．７部添加し、よく攪拌した後に離型処理したＰＥＴフィルム基材４上に塗布し、ＰＥＴフィルム基材１付き発泡ポリウレタンシート２をポリウレタン原料と発泡ポリウレタンシートが接するように被せ、８０℃×２ｍｉｎ、１２０℃×４ｍｉｎｎ加温し、厚み１ｍｍ密度；２２０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。更にＰＥＴフィルム基材４を取除き、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。
最大開孔径が２．５μｍあったために、スラリーが浸入した。

比較例２

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４６．３％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．６％（１．６６％）、希釈溶剤としてトルエンを２３％、２−ブタノン１０．１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．３％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水２．３％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。しかし、攪拌最中に原料が分離してしまった。

比較例３

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４０．４％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１４．５％（１．４５％）、希釈溶剤としてトルエンを１９．０％、２−ブタノン１１％配合し、界面活性剤を０％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１３．９％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２０μｍで密度１２５０ｋｇ／ｍ^３の非発泡のポリウレタンシート２を得た。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３１０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。非発泡ポリウレタンシートのため、保持力が低下し、エアー残留性もＮＧとなった。

比較例４

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）５４．７％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）０％、希釈溶剤としてトルエンを１８．９％、２−ブタノン１１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．５％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１．１％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２４μｍで密度８９０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。しかし、発泡にムラが生じた。最大開孔径が２．５μｍであった。
以降は実施例１と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度８９０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。スラリー残留性がＮＧとなった。

比較例５

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）３５％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１９．７％（１．９７％）、希釈溶剤としてトルエンを１８．９％、２−ブタノン１１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．５％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１３．８％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み２１μｍで密度１２８０ｋｇ／ｍ^３の非発泡ポリウレタンシート２を得た。
次にポリウレタン原料として、ポリオールとしてダイマー酸ポリエステルジオール（分子量１２３６、水酸基価１０４．４、ＤＩＣ株式会社製ＵＡ２８１２）１００部とポリイソシアネートとして４，４−ジフェニルメタンジイソシアネートとＰＰＧとのプレポリマー（イソシアネート含有量１３．１ｗｔ％、日本ポリウレタン株式会社製ＤＣ６９７４）をＮＣＯ／ＯＨ比率＝１．０５で混ぜ、３５℃で温調した。更に触媒として１，８−ジアザ・ビシクロ［５，４，０］ウンデセン・７有機酸塩（三洋化成工業株式会社製ＳＡ１０２）を０．４部、発泡剤として水を０．７部添加し、よく攪拌した後に離型処理したＰＥＴフィルム基材４上に塗布し、ＰＥＴフィルム基材１付き発泡ポリウレタンシート２をポリウレタン原料と発泡ポリウレタンシートが接するように被せ、８０℃×２ｍｉｎ、１２０℃×４ｍｉｎｎ加温し、厚み１ｍｍ密度；２０４ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。更にＰＥＴフィルム基材４を取除き、熱硬化性ポリウレタン発泡体３の表面を平滑研磨し、厚み公差±０．０２ｍｍに調整した後に基材付粘着層５を貼り付けた。
非発泡ポリウレタンシートのため、保持力は低下した。

比較例６

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４７．５％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１７％（１．７％）、希釈溶剤としてトルエンを２２．４％、２−ブタノン１１．１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．３％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水は添加せず攪拌した。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に２００μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み１５μｍで密度１２５０ｋｇ／ｍ^３の非発泡ポリウレタンシート２を得た。
以降は実施例４と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３６５ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。非発泡ポリウレタンシートであったため、保持力が低下し、エアー残留性もＮＧとなった。

比較例７

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４０．４％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１４．５％（１．４５％）、希釈溶剤としてトルエンを１９．１％、２−ブタノン９．９％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））１１％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水４％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．４％添加する。しかし、攪拌最中に原料が分離してしまった。

比較例８

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４５．２％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．２％（１．６２％）、希釈溶剤としてトルエンを２１．３％、２−ブタノン１１．１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１０．６％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に１０μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み５μｍで密度１１８０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。
以降は実施例４と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３８０ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。発泡ポリウレタンシートが薄いため、耐磨耗性が弱い結果となった。

比較例９

ポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製ゾルテックスＰＸ５５０）４５．２％とポリウレタン樹脂溶液（ＤＩＣ株式会社製クリスボンＳ−５０１）１６．２％（１．６２％）、希釈溶剤としてトルエンを２１．３％、２−ブタノン１１．１％配合し、界面活性剤（パーフルオロアルキレンエチレンオキシド共重合体（ＡＧＣセイミケミカル株式会社製Ｓ４２０））０．６％、顔料（大日精化工業株式会社製セイカセブンＸ２７１０ブラック）０．２％をそれぞれ加え、１０００ｒｐｍで攪拌し、均一にする。その後、攪拌機の攪拌速度を１５００ｒｐｍに上げ、発泡剤として水１０．６％を５回に分け、攪拌しながら加える。更に、架橋剤としてゾルテックスＣＬ−１５及び触媒としてクリスボンアクセルＴ−８１Ｅを各０．５％添加する。良く攪拌しながら２５℃に調整した。ＰＥＴフィルム基材１に５７０μｍ間隙のスキージを用いて塗工し５０℃×１．５ｍｉｎ、９０℃×１．５ｍｉｎ間乾燥させ、厚み１２０μｍで密度１１４０ｋｇ／ｍ^３の発泡ポリウレタンシート２を得た。
以降は実施例４と同様に作製し、厚み１．５ｍｍ密度；３９４ｋｇ／ｍ^３の熱硬化性ポリウレタン発泡体３を得た。その後、粘着テープ付複合ウレタンシートを作製した。発泡ポリウレタンシートが厚いため、溶剤のとっ沸跡がピンホール（開孔径７０μｍ）となり、スラリー残留性がＮＧとなった。また、乾燥時間を要し、乾燥不十分の箇所もあった。

前記各実施例および各比較例の物理特性（物性）は、表１〜表４に示す通りである。
なお、この物理特性の測定方法は、次の通りである。
保持力：試験治具に５０×５０ｍｍ角のサンプル片を貼付け、８ｇ／ｃｍ^２の荷重がかかるように調整する。５０μｌの水をガラス上に滴下し、その上にサンプル片を馴染ませ、静値させる。ガラス板と水平方向にサンプル片を引張り、サンプル片がずれる時の引張力のピーク値を測定した。単位；Ｎ（ニュートン） 引張速度；１００ｍｍ／ｍｉｎ。試験機；ＵＴ４−５ＫＮ
エアー残留性：１００×１００ｍｍ角のガラス板を１００μｌの霧状の水で濡らした保持パッド材上に５°の傾きをつけた状態から静かに置く。ガラス板上に４００ｇのおもりを１分置いた後、おもりを外し、エアーの有無を確認する。○；エアー残留無し、 ×；エアー残留有り。
スラリー残留性：１００×１００ｍｍ角のガラス板上に０．１ｍｌの研磨用スラリー液を滴下し、その上に５０×５０ｍｍ角のサンプル片を静置させる。８０ｇ／ｃｍ^２の荷重を繰返し１０回かけた後、流水でスラリーを洗い流す。保持パッド材表面にスラリー（研磨砥粒）を目視にて確認できなければ○、スラリーを目視にて確認できた場合を×とした。
乾燥時間：５０×５０ｍｍ角のガラス板を一定量の霧状の水で濡らした保持パッド材上に静置する。５０％圧縮率でガラス板を１０回／分で１分間上下した後、８０℃のオーブン中に１分間入れ、乾燥しているか否かを確認する。
復元性：７０℃オーブンにて促進した、２５％圧縮永久歪。
開孔径；電子顕微鏡にて３５００倍に拡大し、最大開孔径を測定した値である。電子顕微鏡としては電界放出形走査電子顕微鏡Ｓ−４３００（日立製作所製）を使用した。
耐磨耗性；ＪＩＳ Ｋ５６００・５・９＜塗膜・機械的性質（第９節；耐磨耗性（磨耗輪法）） 準拠
磨耗輪；Ｈ・１８、荷重２５０ｇを用い、４００回試験サンプル後の重量減少率（％）を測定した値である。耐磨耗試験機はティーバー式（東洋精機製）を使用した。
ポリウレタン発泡体：エステルとは、各種ポリエステルポリオール原料を使用し、所定の条件で発泡させたポリウレタン発泡体をいい、エーテルとはポリエーテルポリオール原料を使用し、所定の条件で発泡させたポリウレタン発泡体をいう。

上記物理特性の測定結果によれば、以下に示すことが理解できる。
（１）発泡剤としての水の配合量は、実施例１の１重量％および実施例２の１３．８重量％では、物理特性が良好であるが、比較例１の１５．４重量％では最大開孔径が２．５μｍと大きくなり、スラリーが滲入（浸入）して好ましくなく、比較例６の１重量％未満ではポリウレタンシートが非発泡となり、保持力が低下し、エアー残留性もあるため不具合である。従って、発泡剤としての水の配合量は、１重量％〜１４重量％の範囲が好ましい。
（２）希釈溶剤としてのトルエンの配合量は、実施例４の１２．５重量％、実施例５の２２．５重量％では、物理特性が良好であるが、比較例２の２３重量％では、攪拌中に原料が分離してしまい、また、実施例１１の８．５重量％では、発泡ムラが生じ好ましくない。従って、希釈剤としてのトルエンの配合量は、１２重量％から２２重量％の範囲が好ましい。しかし、実施例１１では、希釈溶剤としてのトルエンの配合量は、８．５重量％と本発明の下限値未満であり、比較例とすべきであるが、発泡ムラが生じても使用できる物理特性の範囲であったので実施例として記載した。

（３）界面活性剤の配合量は、実施例６の０．１重量％および実施例７の２．５重量％では、物理特性は良好であるが、比較例３の０重量％ではポリウレタンシートが非発泡となり、保持力が低下し、エアー残留性も生じ好ましくなく、比較例７の１１重量％では、攪拌中に原料が分離してしまった。従って、界面活性剤の配合量は、０．１重量％〜１０重量％の範囲が好ましい。
（４）Ｎ，Ｎジメチルホルムアミドの配合量は、実施例８の１．７７重量％、および実施例９の１．１３重量％では、物理特性は良好であるが、比較例４の０重量％では発泡ムラが生じ、最大開孔径も２．５μｍで、スラリーが滲入（浸入）して好ましくなく、比較例５の１．９７重量％は、ポリウレタンシートが非発泡となり、保持力が低下して好ましくない。従って、Ｎ，Ｎジメチルホルムアミドの配合量は、１．０重量％〜１．８重量％の範囲が好ましい。

（５）実施例３で示すように主材原料であるポリウレタン樹脂溶液は、実施例１および２に示すＤＩＣ株式会社製ゾルデックスＰＸ５５０以外の類似原料である大日本精化工業株式会社製ハイムレンＡＴＸ−１０でも実施可能である。
（６）実施例１０で示すように界面活性剤は、実施例１〜９に示す以外のシリコーン系でも実施可能である。

１ 基材
２ 発泡ポリウレタンシート
３ 熱硬化性ポリウレタン発泡体
４ 基材
５ 基材付き粘着層
６ 粘着材
７ ＰＥＴフィルム
８ 粘着材
９ セパレータ（剥離紙）

Claims (4)

1. 長孔が２．０μｍ以下の微細な開孔を有し、厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、密度が８４０ｋｇ／ｍ^３以上１２１０ｋｇ／ｍ^３以下の連続通気型発泡ポリウレタンシートであって、その一面側に熱硬化性ポリウレタン発泡体が一体に形成されており、研磨対象物を保持するための定盤には前記熱硬化性ポリウレタン発泡体の他面側を固着させ、連続通気型発泡ポリウレタンシートの他面側を研摩対象物に当接させることを特徴とするバッキング材。
2. 前記連続通気型発泡ポリウレタンシートが、ポリウレタン樹脂、２−ブタノン、トルエン、Ｎ，Ｎジメチルホルムアミドおよび水、界面活性剤を必須成分とする混合液を工程紙に塗付し、加温することにより得られることを特徴とする請求項１記載のバッキング材。
3. 前記連続通気型発泡ポリウレタンシートに配合される、トルエン量は１２重量％から２２重量％、Ｎ，Ｎジメチルホルムアミド量は１．０重量％から１．８重量％、水量は１重量％から１４重量％、界面活性剤の添加量は０．１重量％から１０重量％であることを特徴とする請求項２記載のバッキング材。
4. 前記熱硬化性ポリウレタン発泡体の定盤への固着面に粘着材が塗工されているか、または粘着テープが貼り合わされていることを特徴とする請求項１記載のバッキング材。

Images