JP2013091119A - Blade cover device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、切削ブレードに切削水を供給するノズルを備えたブレードカバー装置に関する。 The present invention relates to a blade cover device including a nozzle that supplies cutting water to a cutting blade.
ICやLSI等のデバイスが複数表面に形成された半導体ウエーハや、樹脂基板、各種セラミックス基板、ガラス基板等の被加工物は切削装置によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電気機器に広く利用されている。 Workpieces such as semiconductor wafers on which multiple devices such as IC and LSI are formed on the surface, resin substrates, various ceramic substrates, and glass substrates are divided into individual chips by a cutting machine, and the divided chips are used in various electrical devices. Widely used.
半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削装置では、切削ブレードを高速回転させて被加工物を切削加工する。その際に、切削ブレードと被加工物との間に生じる摩擦熱が切削ブレードの磨耗や破損を増大させ、被加工物の加工面上のチッピングの発生や異常切削の原因となる。 In a cutting apparatus that cuts a workpiece such as a semiconductor wafer, the workpiece is cut by rotating a cutting blade at a high speed. At that time, frictional heat generated between the cutting blade and the workpiece increases wear and breakage of the cutting blade, causing chipping on the processing surface of the workpiece and abnormal cutting.
そこで、切削ブレードや加工点に切削水を供給し、切削ブレード及び加工点を冷却する方法が採用されている。切削水の供給方法としては、シャワーノズル(切削水ノズル)を用いて切削方向前方からブレード外周縁に切削水を供給する方法、切削ブレードを挟むように配設された一対の側面ノズルを用いて切削水を供給する方法、更にブレード外周面全体に切削水を供給する方法等が採用されている。 Therefore, a method of supplying cutting water to the cutting blade and the processing point and cooling the cutting blade and the processing point is employed. As the cutting water supply method, a shower nozzle (cutting water nozzle) is used to supply cutting water from the front in the cutting direction to the outer peripheral edge of the blade, and a pair of side nozzles disposed so as to sandwich the cutting blade. A method of supplying cutting water, a method of supplying cutting water to the entire outer peripheral surface of the blade, and the like are employed.
このうち、シャワーノズルは鉛直方向(Z方向)、切削ブレードの厚み方向(Y方向)及び回転方向に調整可能であり、その微妙な調整によってはチッピングのサイズ及び量が異なることがあり、繊細な調整が必要であるため、その調整には様々な機構が提案されている(例えば、特開2006−187849号公報参照)。 Of these, the shower nozzle can be adjusted in the vertical direction (Z direction), the thickness direction of the cutting blade (Y direction), and the rotational direction. Depending on the subtle adjustment, the size and amount of chipping may differ, Since adjustment is necessary, various mechanisms have been proposed for the adjustment (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-187849).
ノズルの位置調整機構は様々提案されているが、従来は調整したノズルの位置を表示する機構がないため、最適なノズルのセッティングが決まった後も、同様のノズルの位置を再現するためには、ノズルを写真で撮ったり、何らかの基準物からのノズル位置を測定したりしていたため、非常に再現が難しいという問題があった。また、実験を行う際にも、ノズルの位置を細かく規定できないため、微妙な位置による違いを検証しにくいという問題もあった。 Various nozzle position adjustment mechanisms have been proposed, but conventionally there is no mechanism to display the adjusted nozzle position, so to reproduce the same nozzle position even after the optimal nozzle setting has been determined. Since the nozzle was photographed or the position of the nozzle from some reference object was measured, there was a problem that it was very difficult to reproduce. Also, when performing the experiment, there is a problem that it is difficult to verify a difference due to a delicate position because the position of the nozzle cannot be finely defined.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ノズルの位置を規定及び確認し易く、再現性も確保可能なブレードカバー装置を提供することである。 The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a blade cover device that can easily define and confirm the position of the nozzle and can ensure reproducibility.
本発明によると、スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって、該スピンドルに固定されたベース部と、該切削ブレードの外周端面と対向配置され該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する該ベース部に装着されたノズル機構とを具備し、該ノズル機構は、該ベース部に取り付けられた該ノズルを備えたノズルアセンブリと、該ベース部に対して該ノズルのスピンドルの軸方向への位置を可変とする位置調整手段と、該スピンドルの軸方向における該ノズルの位置を示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段と、を含むことを特徴とするブレードカバー装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a blade cover device for covering a cutting blade attached to the tip of a spindle, wherein the base portion fixed to the spindle and the outer peripheral end face of the cutting blade are arranged to face the cutting fluid. A nozzle mechanism mounted on the base portion having a nozzle for supply, the nozzle mechanism comprising a nozzle assembly having the nozzle attached to the base portion, and a spindle of the nozzle relative to the base portion. A blade cover device comprising: position adjusting means for changing the position of the nozzle in the axial direction; and position display means comprising a scale indicating the position of the nozzle in the axial direction of the spindle and a display mark. Provided.
好ましくは、前記ノズルアセンブリは、側部に開口した切削液供給孔と該切削液供給孔を間に挟んで配設された一対のO−リングを備え、スピンドルの軸方向に伸長するように該ベース部に取り付けられた切削液供給管と、該切削液供給管に摺動可能に外嵌され、該切削液供給管に対する軸方向への摺動が該一対のO−リングで所定以下に規制されるとともに前端部外周面に雄ねじが形成された摺動管と、該切削液供給孔に連通するように該摺動管の側部に一体的に形成された切削液を噴出する前記ノズルと、該切削液供給管に回転可能且つ軸方向に移動不能に取り付けられ、該切削液供給管の前端部が貫通し該摺動管に形成された該雄ねじに螺合する調整ナットとを含み、前記目盛は該調整ナットの前端面に形成され、前記表示マークは該調整ナットを貫通した該切削液供給管の前端面に形成されている。 Preferably, the nozzle assembly includes a cutting fluid supply hole opened in a side portion and a pair of O-rings disposed so as to sandwich the cutting fluid supply hole therebetween, and the nozzle assembly extends in the axial direction of the spindle. A cutting fluid supply pipe attached to the base portion and a slidably fitted externally to the cutting fluid supply pipe, and the axial sliding with respect to the cutting fluid supply pipe is regulated to a predetermined value or less by the pair of O-rings. A sliding tube having a male thread formed on the outer peripheral surface of the front end, and the nozzle that ejects cutting fluid integrally formed on a side portion of the sliding tube so as to communicate with the cutting fluid supply hole; An adjustment nut that is rotatably attached to the cutting fluid supply pipe and is not movable in the axial direction, and that passes through a front end portion of the cutting fluid supply pipe and is screwed into the male screw formed in the sliding pipe, The scale is formed on the front end surface of the adjustment nut, and the display mark is It is formed on the front end surface of the cutting fluid supply pipe penetrating the integer nut.
本発明のブレードカバー装置によると、ノズルのスピンドルの軸方向(Y方向)における位置が調整可能であり、且つ位置の調整が表示マークと目盛とによって細かくなされるため、ノズルの位置の規定及び確認をし易く、再現性も確保できるという効果を奏する。 According to the blade cover device of the present invention, the position of the nozzle in the axial direction (Y direction) of the spindle can be adjusted, and the position is finely adjusted by the display mark and the scale. It is easy to carry out, and there is an effect that reproducibility can be secured.
拡大鏡を用いると、比較的小さな目盛と表示マークを拡大視認することができる。 When a magnifying glass is used, a relatively small scale and a display mark can be enlarged and visually confirmed.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は半導体ウエーハ等の被加工物をダイシングして個々のチップに分割することのできる切削装置2の外観を示している。本発明のブレードカバー装置は、切削装置2の切削ブレードをカバーするために使用される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an appearance of a
切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるCRT等の表示モニタ6が設けられている。
On the front side of the
切削対象であるウエーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周縁部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウエーハWはダイシングテープTを介してフレームFに支持された状態となり、図1に示したウエーハカセット8中にウエーハが複数枚(例えば25枚)収容される。ウエーハカセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。
The wafer W to be cut is attached to a dicing tape T that is an adhesive tape, and the outer peripheral edge of the dicing tape T is attached to an annular frame F. As a result, the wafer W is supported by the frame F via the dicing tape T, and a plurality of wafers (for example, 25 sheets) are accommodated in the
ウエーハカセット8の後方には、ウエーハカセット8から切削前のウエーハWを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット8に搬入する搬出入ユニット10が配設されている。
Behind the
ウエーハカセット8と搬出入ユニット10との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウエーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構14が配設されている。
Between the
仮置き領域12の近傍には、ウエーハWと一体となったフレームFを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット16が配設されており、仮置き領域12に搬出されたウエーハWは、搬送ユニット16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引されるとともに、複数のクランプ19によりフレームFが固定されることでチャックテーブル18上に保持固定される。
In the vicinity of the
チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウエーハWの切削すべきストリートを検出するアライメントユニット20が配設されている。
The chuck table 18 is configured to be rotatable and reciprocally movable in the X-axis direction, and an
アライメントユニット20は、ウエーハWの表面を撮像する撮像ユニット22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像ユニット22によって取得された画像は、表示モニタ6に表示される。
The
アライメントユニット20の左側には、チャックテーブル18に保持されたウエーハWに対して切削加工を施す切削ユニット24が配設されている。切削ユニット24はアライメントユニット20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。
On the left side of the
切削ユニット24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像ユニット22のX軸方向の延長線上に位置している。
The
図2を参照すると、スピンドルと、スピンドルに装着されるブレードマウントとの関係を示す分解斜視図が示されている。スピンドルユニット30のスピンドルハウジング32中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル26が回転可能に収容されている。スピンドル26はテーパ部26a及び先端小径部26bを有しており、先端小径部26bには雄ねじ34が形成されている。
Referring to FIG. 2, an exploded perspective view showing the relationship between the spindle and the blade mount attached to the spindle is shown. A
36はボス部(凸部)38と、ボス部38と一体的に形成された固定フランジ40とから構成されるブレードマウントであり、ボス部38には雄ねじ42が形成されている。さらに、ブレードマウント36は装着穴43を有している。
A
ブレードマウント36は、装着穴43をスピンドル26の先端小径部26b及びテーパ部26aに挿入して、ナット44を雄ねじ34に螺合して締め付けることにより、図3に示すようにスピンドル26の先端部に取り付けられる。
In the
図3はブレードマウント36が固定されたスピンドル26と、切削ブレード28との装着関係を示す分解斜視図である。切削ブレード28はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ48を有する円形基台46の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃50が電着されて構成されている。
FIG. 3 is an exploded perspective view showing a mounting relationship between the
切削ブレード28の装着穴52をブレードマウント36のボス部38に挿入し、固定ナット54をボス部38の雄ねじ42に螺合して締め付けることにより、図4に示すように切削ブレード28がスピンドル26に取り付けられる。
By inserting the mounting
図5を参照すると、スピンドル26に装着された切削ブレード28の概略上半分をブレードカバー装置56で包囲した状態の側面図が示されている。図6は図5の平面図である。ブレードカバー装置56は、スピンドルハウジング56に固定され、切削ブレード28の概略上半分を包囲するベース部58を備えている。
Referring to FIG. 5, a side view of a state in which the upper half of the
ベース部58には、切削ブレード28の外周縁に切削液を供給するノズルを備えたノズル機構60が位置調整手段64により、ベース部58に対して鉛直方向(Z軸方向)に位置調整可能に取り付けられている。
In the
ノズル機構60は本体部62を有しており、位置調整手段64は、ブレードカバー装置56のベース部58に形成された一対のねじ穴66(図6参照)と、該ねじ穴66に螺合する一対のねじ68と、本体部62に形成されねじ68が挿入される長穴70とから構成される。ねじ穴66はスピンドル26の軸方向と平行に伸長しており、長穴70は鉛直方向に伸長している。
The
ノズル機構60の本体部62は、目盛板92がねじ98により着脱可能に取り付けられている。目盛板92には、鉛直方向の高さを示す目盛94と、ノズルアセンブリ72の回転の度合いを示す目盛96とが形成されている。
A
ブレードカバー装置56の本体部58には、目盛94と協働してノズル機構60の高さ位置を示す表示マーク100がねじ102により取り付けられている。目盛94と表示マーク100とでZ軸方向位置表示手段を構成する。
A
ねじ68を緩めてノズル機構60の本体部60の取付位置を調整することにより、ノズル機構60は図7(A)に示す最上位位置と、図7(B)に示す最下位位置との間で位置調整可能である。
By adjusting the attachment position of the
オペレータは、表示マーク100が指し示す目盛94を読むことにより、ノズル機構60の高さ位置を知ることができる。よって、ノズル機構60に備わったノズル112の高さ位置を規定及び確認し易く、再現性も確保することができる。
The operator can know the height position of the
ノズル機構60の本体部62には、本体部62から突出した突出部62a,62bが一体的に形成されている。調整ボルト82が突出部62bに形成された垂直方向の貫通穴中に挿入され、調整ボルト82の先端部が図6に示すように、突出部62aに形成されたねじ穴80に螺合している。
Projecting
調整ボルト82には突出部62aと突出部62bとの間で回転ナット84が螺合しており、回転ナット84を回転することにより調整ボルト82が上下方向に移動される。図10に示すように、調整ボルト82の下端部にはブロック86が固定されており、ブロック86にはL形状ブラケット78の一端部が回転可能に係合している。図6に示すように、L形状ブラケット78にはスピンドル26の軸方向に伸長するシャフト88が固定されている。
A rotating
L形状ブラケット78はねじ76によりノズル機構60の本体部62に固定されている。L形状ブラケット78の他端部(下端部)には、図8に示すノズルアセンブリ72の切削液供給管108が固定されている。
The L-shaped
よって、L形状ブラケット78の一端部が調整ボルト82の回転により上下方向に移動すると、L形状ブラケット78の他端部に固定されたノズルアセンブリ72はねじ76を中心に回動する。
Therefore, when one end portion of the L-shaped
目盛板92には円弧状の長穴93が形成されており、この長穴93中にシャフト88の端部88aが挿入されている。シャフト88の端部88aには表示マーク90が形成されており、目盛板92の円弧状長穴93部分にはねじ76を中心とした放射状の目盛96が形成されている。表示マーク90と目盛96とで回転方向位置表示手段95を構成する。
An arc-shaped
図8を参照すると、ノズルアセンブリ72の縦断面図が示されている。上述したように切削液供給管108はL形状ブラケット78の他端部に固定されている。切削液供給管108には、切削液を供給するノズル112が一体的に形成された摺動管110が外嵌されている。
Referring to FIG. 8, a longitudinal sectional view of the
切削液供給管108は図5に示した切削液供給口104に接続されており、切削液供給口104はホース106を介して図示しない切削液供給源に接続されている。ノズル112は切削液供給孔114を介して切削液供給管108の内部に連通している。切削液供給孔114は一対のO−リング116により液密にシールされている。
The cutting
切削液供給管108の端部外周には雄ねじ118が形成されている。この雄ねじ118には調整ナット120の雌ねじ122が螺合している。図5に示すように、切削液供給管108の端部108aには表示マーク126が形成されている。
A
そして、調整ナット120の端面には、切削液供給管108の軸心を中心とした放射状の目盛124が形成されている。目盛124と表示マーク126とでY軸方向位置表示手段125を構成する。
A
調整ナット120を回転することにより、摺動管110が図8で矢印Yに示したY軸方向に移動され、摺動管110と一体的に形成されたノズル112の位置が切削ブレード28の厚み方向に調整され、ノズル112から噴出される切削液を切削ブレード28の外周端部に向けることができる。
By rotating the adjusting
回転ナット120を回転して、ノズル112をY軸方向に調整すると、回転ナット120の端部に形成された目盛124が回転するため、表示マーク126に合致した目盛124の位置を読み取ることにより、ノズル112のY軸方向の位置を知ることが出来る。
When the
ノズル112の位置の表示が表示マーク126と目盛124とによって細かくなされているため、ノズル112の位置を規定し易く、ノズル位置の再現性も確保することができる。位置調整後、ねじ128を締結することによりノズル112の位置を固定する。
Since the position of the
ノズル112の切削ブレード28の外周端面からの位置の調整は、回転ナット84を回転することにより実施する。即ち、ねじ76を緩めて、回転ナット84を一方向に回転すると、調整ボルト82は図9(A)及び図10(A)に示す上方位置に移動され、L形状ブラケット78がねじ76を中心にして反時計回り方向に回転する。その結果、ノズル112は切削ブレード28の外周端面から離反する。
Adjustment of the position of the
反対に、回転ナット84を反対方向に回転して、図9(B)及び図10(B)に示すように、調整ボルト82を下方に移動すると、L形状ブラケット78はねじ76を中心にして時計回り方向に回転する。その結果、ノズル112は切削ブレード28の外周端面に接近する。ノズル112の位置を最適位置に調整後、ねじ76を締め付けてノズル112の位置を固定する。
On the other hand, when the
図9(A)に示すように、調整ボルト82が上方に移動されてノズル112が切削ブレード28の外周端面から離反した位置では、シャフト88の端部88aが目盛板92に形成した長穴93中を上方に移動し、図9(B)に示すように、回転ナット84を回転して調整ボルト82を下方に移動してノズル112を切削ブレード28の外周端面に接近させると、シャフト88の端部88aが長穴93中を下方に移動するため、目盛96により表示マーク90の位置を読み取ることにより、オペレータはノズル112の回動位置を把握することができる。
As shown in FIG. 9A, at the position where the
この実施形態によれば、ノズル112の回転方向における位置が調整ボルト82の回転によって容易に調整可能であり、且つ位置の表示が表示マーク90と目盛96とによって細かくなされるため、ノズル112の回転方向の位置を規定し易く、再現性も確保できる。
According to this embodiment, the position of the
本実施形態によると、ノズル機構60の本体部62に形成したスピンドル26の軸方向(Y軸方向)に伸長する雌ねじに螺合するねじ76と、ねじ76によって本体部62に固定され、下端部にノズルアセンブリ72が装着されたL形状ブラケット78とによりノズルアセンブリ72の支持部74を構成する。
According to the present embodiment, the
また、本体部62から突出した突出部62aに形成された雌ねじ80と、雌ねじ80に螺合して下方に伸長した調整ボルト82と、調整ボルト82に固定されたブロック86と、ブロック86に回転可能に係合したL形状ブラケット78と、L形状ブラケット78に固定されて軸方向に伸長するシャフト88により位置調整部85を構成する。
Further, a
図11を参照すると、目盛を読み取るための拡大鏡130の一例が示されている。拡大鏡130はフレネルレンズ等から構成され、クリップ132及び伸縮コード134を介して切削装置2の図示しない外装カバー等に形成されたブラケット136に装着されている。
Referring to FIG. 11, an example of a
例えば、拡大鏡130を調整ナット120の前方に位置付けて、目盛124と表示マーク126とを拡大することにより、表示マーク126が指し示す目盛126を容易に読み取ることができる。
For example, the
上述した実施形態では、ノズル機構の本体部をベース部に移動可能に取り付け、更にノズルを備えたノズルアセンブリを本体部に回動可能に取り付けているが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、ノズル機構を構成するノズルアセンブリの切削液供給管をベース部の下端に固定し、この切削液供給管に対してノズルを有する摺動管を摺動可能に外嵌した実施形態も含むものである。 In the embodiment described above, the main body portion of the nozzle mechanism is movably attached to the base portion, and the nozzle assembly including the nozzle is rotatably attached to the main body portion. However, the present invention is limited to this configuration. Instead, the embodiment also includes an embodiment in which the cutting fluid supply pipe of the nozzle assembly constituting the nozzle mechanism is fixed to the lower end of the base portion, and a sliding pipe having a nozzle is slidably fitted to the cutting fluid supply pipe. It is a waste.
26 スピンドル
28 切削ブレード
56 ブレードカバー装置
58 ベース部
60 ノズル機構
62 本体部
64 Z軸方向位置調整手段
72 ノズルアセンブリ
74 支持部
82 調整ボルト
84 回転ナット
88 シャフト
78 L形状ブラケット
94,96,124 目盛
90,100,126 表示マーク
95 回転方向位置表示手段
108 切削液供給管
110 摺動管
112 ノズル
120 調整ナット
125 Y軸方向位置表示手段
26
Claims (3)
該スピンドルに固定されたベース部と、
該切削ブレードの外周端面と対向配置され該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する該ベース部に装着されたノズル機構とを具備し、
該ノズル機構は、
該ベース部に取り付けられた該ノズルを備えたノズルアセンブリと、
該ベース部に対して該ノズルのスピンドルの軸方向への位置を可変とする位置調整手段と、
該スピンドルの軸方向における該ノズルの位置を示す目盛と表示マークとからなる位置表示手段と、
を含むことを特徴とするブレードカバー装置。 A blade cover device that covers a cutting blade attached to the tip of a spindle,
A base portion fixed to the spindle;
A nozzle mechanism mounted on the base portion having a nozzle that is disposed to face the outer peripheral end surface of the cutting blade and supplies a cutting fluid to the cutting blade;
The nozzle mechanism is
A nozzle assembly comprising the nozzle attached to the base portion;
Position adjusting means for changing a position of the nozzle in the axial direction of the spindle with respect to the base portion;
A position display means comprising a scale indicating the position of the nozzle in the axial direction of the spindle and a display mark;
A blade cover device comprising:
側部に開口した切削液供給孔と該切削液供給孔を間に挟んで配設された一対のO−リングを備え、スピンドルの軸方向に伸長するように該ベース部に取り付けられた切削液供給管と、
該切削液供給管に摺動可能に外嵌され、該切削液供給管に対する軸方向への摺動が該一対のO−リングで所定以下に規制されるとともに前端部外周面に雄ねじが形成された摺動管と、
該切削液供給孔に連通するように該摺動管の側部に一体的に形成された切削液を噴出する前記ノズルと、
該切削液供給管に回転可能且つ軸方向に移動不能に取り付けられ、該切削液供給管の前端部が貫通し該摺動管に形成された該雄ねじに螺合する調整ナットとを含み、
前記目盛は該調整ナットの前端面に形成され、前記表示マークは該調整ナットを貫通した該切削液供給管の前端面に形成されていることを特徴とする請求項1記載のブレードカバー装置。 The nozzle assembly includes
A cutting fluid supply hole provided in the side portion and a pair of O-rings disposed so as to sandwich the cutting fluid supply hole therebetween, and the cutting fluid attached to the base portion so as to extend in the axial direction of the spindle A supply pipe;
The cutting fluid supply pipe is slidably fitted, the axial sliding with respect to the cutting fluid supply pipe is regulated to a predetermined value or less by the pair of O-rings, and a male screw is formed on the outer peripheral surface of the front end portion. A sliding tube
The nozzle for ejecting cutting fluid integrally formed on a side portion of the sliding tube so as to communicate with the cutting fluid supply hole;
An adjustment nut that is rotatably attached to the cutting fluid supply pipe and is not movable in the axial direction, and that passes through a front end portion of the cutting fluid supply pipe and is screwed into the male screw formed in the sliding pipe;
2. The blade cover device according to claim 1, wherein the scale is formed on a front end surface of the adjustment nut, and the display mark is formed on a front end surface of the cutting fluid supply pipe passing through the adjustment nut.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011233182A JP5766090B2 (en) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | Blade cover device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011233182A JP5766090B2 (en) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | Blade cover device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013091119A true JP2013091119A (en) | 2013-05-16 |
JP5766090B2 JP5766090B2 (en) | 2015-08-19 |
Family
ID=48614663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011233182A Active JP5766090B2 (en) | 2011-10-24 | 2011-10-24 | Blade cover device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5766090B2 (en) |
Cited By (1)
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