JP2018094682A - Cutting process and cutting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、切削ブレードで被加工物を切削する切削方法及び切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting method and a cutting apparatus for cutting a workpiece with a cutting blade.
半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板、セラミックスやガラス等の板状物を複数のチップに分割するのに、高速回転する切削ブレードを用いる切削装置がよく使用されている。切削装置の切削ユニットは、モータにより回転駆動されるスピンドルと、スピンドルの先端部に取り付けられたマウントフランジと、このマウントフランジに装着された薄い切り刃を有する切削ブレードと、切削ブレードをマウントフランジに固定する固定ナットとを含んでいる。 2. Description of the Related Art A cutting apparatus using a cutting blade that rotates at high speed is often used to divide a semiconductor wafer, a resin package substrate, a plate-like object such as ceramics or glass into a plurality of chips. The cutting unit of the cutting apparatus includes a spindle that is rotationally driven by a motor, a mounting flange that is attached to the tip of the spindle, a cutting blade that has a thin cutting blade attached to the mounting flange, and the cutting blade that is mounted on the mounting flange. Includes a fixing nut to fix.
切削ブレードは、固定ナットによってマウントフランジのフランジ部の環状端面（支持面）に押圧された状態で固定されるため、環状端面が平坦面でないと切削ブレードは斜めに固定されたり、がたついたりしてしまうため、正常な切削ができなくなる。 Since the cutting blade is fixed in a state where it is pressed against the annular end surface (support surface) of the flange portion of the mount flange by a fixing nut, if the annular end surface is not a flat surface, the cutting blade is fixed obliquely or rattling. Therefore, normal cutting cannot be performed.
また、切削ブレードは固定ナットの締め付けにより円形基台がフランジ部の環状端面に圧接されるため、円形基台の金属粉がフランジ部の環状端面に付着して円形基台のマウントフランジのフランジ部に対する密着性が経時的に悪化する。 Moreover, since the circular base is pressed against the annular end surface of the flange portion by tightening the fixing nut, the metal powder of the circular base adheres to the annular end surface of the flange portion and the flange portion of the mounting flange of the circular base is fixed. Adhesion to the surface deteriorates over time.
切削ブレードには、円形ハブを有する基台の外周に切り刃が固着されたハブブレードと、ブレード全体が切り刃（砥石）からなるワッシャー形状のワッシャーブレードとがあることがよく知られている。 It is well known that cutting blades include a hub blade in which a cutting blade is fixed to the outer periphery of a base having a circular hub and a washer-shaped washer blade in which the entire blade is a cutting blade (grinding stone).
ハブブレードでは基台がアルミニウム合金から形成されており、ハブブレードで被加工物の切削を継続すると、アルミニウムを含む異物がマウントフランジの環状端面に付着することがある。 In the hub blade, the base is made of an aluminum alloy, and when the workpiece is continuously cut by the hub blade, foreign matter including aluminum may adhere to the annular end surface of the mount flange.
異物の付着により環状端面が平坦でなくなると、スピンドル回転時に切削ブレードがばたつき精密な加工ができないという問題がある。そこで、従来は、適宜マウントフランジの端面修正を実施している。環状端面の平坦度の確認は、マウントフランジの環状端面にダイヤルゲージを当接させて確認していた。 If the annular end face is not flat due to the adhesion of foreign matter, there is a problem that the cutting blade flutters when the spindle rotates and precise processing cannot be performed. Therefore, conventionally, the end face of the mount flange is appropriately corrected. The flatness of the annular end face was confirmed by bringing a dial gauge into contact with the annular end face of the mount flange.
然し、ダイヤルゲージの接触針がマウントフランジの環状端面に当接するようにセットし、環状端面の平坦度を測定するのは手間が掛かるという問題があった。 However, there is a problem that it takes time and effort to set the contact needle of the dial gauge so as to contact the annular end surface of the mount flange and measure the flatness of the annular end surface.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、より容易に環状端面の平坦度を確認できると共に切削ブレードをばたつかせることなく被加工物を切削できる切削方法及び切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to make it possible to more easily check the flatness of the annular end face and to cut the workpiece without flapping the cutting blade. It is to provide a method and a cutting device.
請求項１記載の発明によると、スピンドルの先端にマウントフランジを介して装着され、中心に嵌合穴が形成されると共に少なくとも外周部に切り刃を有する切削ブレードで被加工物を切削する切削方法であって、該マウントフランジは、該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該嵌合穴が嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向に突出して形成されると共に前面に環状端面を有し、該環状端面の内周で該ボス部との間に環状凹部を画成するフランジ部と、一端が該環状凹部に開口し他端が吸引源に連通する吸引路と、を有し、該スピンドルの先端に固定された該マウントフランジの該ボス部に該切削ブレードの該嵌合穴を嵌合させると共に該環状端面に該切削ブレードを当接させた状態で該切削ブレードを該スピンドルに装着する切削ブレード装着ステップと、該切削ブレード装着ステップを実施した後、該環状凹部を吸引源に接続してエアを吸引する吸引ステップと、該吸引ステップ実施中に、該環状凹部からのエアのリークの有無を検出するリーク検出ステップと、該リーク検出ステップでエアのリークが検出されない場合に、該スピンドルを回転させるスピンドル回転ステップと、該スピンドル回転ステップを実施した後、被加工物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を備えたことを特徴とする切削方法が提供される。 According to the first aspect of the present invention, there is provided a cutting method in which a workpiece is cut with a cutting blade that is mounted on the tip of a spindle via a mount flange, has a fitting hole at the center, and has a cutting blade at least on the outer periphery. The mounting flange is fixed to the front end of the spindle, and is formed with a boss part into which the fitting hole of the cutting blade is fitted, and a boss part protruding in the radial direction from the rear end of the boss part. A flange portion defining an annular recess between the inner end of the annular end surface and the boss portion, and a suction path having one end opened in the annular recess and the other end communicating with a suction source The cutting hole is fitted in the boss portion of the mount flange fixed to the tip of the spindle, and the cutting blade is brought into contact with the annular end surface. Blade on the spindle A cutting blade mounting step to be worn, a suction step for sucking air by connecting the annular recess to a suction source after performing the cutting blade mounting step, and air from the annular recess during the suction step. A leak detection step for detecting the presence or absence of a leak, a spindle rotation step for rotating the spindle when no air leak is detected in the leak detection step, and a workpiece after the spindle rotation step is performed. And a cutting step for cutting with a blade.
請求項２記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたマウントフランジと、該マウントフランジを介して該スピンドルの先端に装着され、中心に嵌合穴が形成されると共に少なくとも外周部に切り刃を有する切削ブレードとを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対移動させる移動手段と、少なくとも該スピンドルと該移動手段とを制御する制御手段と、を備えた切削装置であって、該マウントフランジは、該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該嵌合穴と嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向に突出して形成されると共に前面に環状端面を有し該環状端面の内周と該ボス部との間に環状凹部を画成するフランジ部と、一端が該環状凹部に開口し他端が吸引源に連通する吸引路と、を含み、該切削手段は、該環状端面と該切削ブレードからのエアのリーク有無を検出するリーク検出手段を備え、該制御手段は、該リーク検出手段でエアのリークが検出されない場合にのみ該スピンドルを稼働するスピンドル稼働制御部と、該リーク検出手段でエアのリークが検出された場合には該スピンドルの稼働を停止させるスピンドル停止部と、を含むことを特徴とする切削装置が提供される。 According to the second aspect of the present invention, the chuck table for holding the workpiece, the spindle, the mount flange fixed to the tip of the spindle, and mounted on the tip of the spindle via the mount flange, A cutting means having a cutting hole having a cutting edge formed at least on the outer peripheral portion with a fitting hole, and a cutting means for cutting a workpiece held on the chuck table; and the chuck table and the cutting means A cutting device comprising: a moving means for moving; and a control means for controlling at least the spindle and the moving means, wherein the mount flange is fixed to the tip of the spindle and the fitting of the cutting blade A boss part that fits into the hole, a boss part that projects radially from the rear end of the boss part, and has an annular end face on the front surface; And a suction passage having one end opened to the annular recess and the other end communicating with a suction source, and the cutting means includes the annular end surface and the cutting blade. Leak detection means for detecting the presence or absence of air leak, and the control means includes a spindle operation control unit that operates the spindle only when no air leak is detected by the leak detection means, and There is provided a cutting device including a spindle stop portion that stops the operation of the spindle when a leak is detected.
本発明では、マウントフランジは環状凹部を有し、この環状凹部においてエアのリークがあった場合、即ち環状端面が平坦でない場合にはスピンドルを回転させず、エアのリークがない場合、即ち環状端面が平坦である場合にのみスピンドルを回転させて被加工物を切削する。 In the present invention, the mount flange has an annular recess, and if there is an air leak in the annular recess, that is, if the annular end face is not flat, the spindle is not rotated, and if there is no air leak, that is, the annular end face. The workpiece is cut by rotating the spindle only when is flat.
従って、環状端面の平坦度を確認するのにダイヤルゲージをセットする必要がないため、より容易に環状端面の平坦度を確認できる。マウントフランジの環状端面が平坦である場合にのみ、スピンドルを回転させて被加工物を切削するため、切削ブレードをばたつかせることなく被加工物を切削できる。 Therefore, since it is not necessary to set a dial gauge to confirm the flatness of the annular end face, the flatness of the annular end face can be confirmed more easily. Only when the annular end surface of the mount flange is flat, the workpiece is cut by rotating the spindle, so that the workpiece can be cut without flapping the cutting blade.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明のリーク検出手段を具備した切削装置の斜視図が示されている。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示モニター６が設けられている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, there is shown a perspective view of a cutting apparatus provided with a leak detection means of the present invention. On the front side of the cutting apparatus 2, an operation panel 4 is provided for an operator to input instructions to the apparatus such as machining conditions. In the upper part of the apparatus, a display monitor 6 such as a CRT on which a guide screen for an operator and an image captured by an imaging unit described later are displayed is provided.
被加工物の一種である半導体ウェーハ（以下、単にウェーハと略称することがある）１１は、図５に示すように、表面に複数の分割予定ライン１３が格子状に形成されていると共に、複数の分割予定ライン１３によって区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１５が形成されている。 As shown in FIG. 5, a semiconductor wafer 11 (which may be simply referred to as a wafer hereinafter) 11, which is a kind of workpiece, has a plurality of division lines 13 formed in a lattice shape on the surface. A device 15 such as an IC or an LSI is formed in each region partitioned by the predetermined division line 13.
ウェーハ１１はその裏面が外周部が環状フレームＦに装着されたダイシングテープＴに貼着され、ウェーハユニット１７の形態でウェーハカセット８中に複数枚収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。 A plurality of wafers 11 are accommodated in a wafer cassette 8 in the form of a wafer unit 17, with the back surface of the wafer 11 attached to a dicing tape T whose outer peripheral portion is mounted on an annular frame F. The wafer cassette 8 is placed on a cassette elevator 9 that can move up and down.
カセットエレベータ９上に載置されたウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハユニット１７を搬出すると共に、切削後のウェーハユニット１７をウェーハカセット８に搬入する搬出入ユニット１０が配設されている。 Behind the wafer cassette 8 placed on the cassette elevator 9 is a loading / unloading unit 10 for unloading the wafer unit 17 before cutting from the wafer cassette 8 and loading the wafer unit 17 after cutting into the wafer cassette 8. It is arranged.
ウェーハカセット８と搬出入ユニット１０との間には、搬出入対象のウェーハユニット１７が一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハカセット１７の中心を位置合わせする一対のセンタリングバーからなる位置合わせ機構１４が配設されている。 Between the wafer cassette 8 and the carry-in / out unit 10, a temporary placement region 12, which is a region on which the wafer unit 17 to be carried in / out, is temporarily placed, is provided. An alignment mechanism 14 comprising a pair of centering bars for aligning the center of the cassette 17 is provided.
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハユニット１７を吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット１６が配設されており、仮置き領域１２に配設されて位置合わせされたウェーハユニット１７は、搬送ユニット１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、チャックテーブル１８に吸引保持される。 In the vicinity of the temporary placement region 12, a transfer unit 16 having a swivel arm that sucks and transfers the wafer unit 17 is disposed, and the wafer unit 17 that is disposed and aligned in the temporary placement region 12 includes: It is sucked by the transport unit 16 and transported onto the chuck table 18 and sucked and held on the chuck table 18.
チャックテーブル１８は、回転可能且つ図示しない加工送り機構によりＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハ１１の切削すべき領域を検出するアライメントユニット２０が配設されている。 The chuck table 18 is configured to be rotatable and reciprocally movable in the X-axis direction by a machining feed mechanism (not shown). A region to be cut of the wafer 11 is located above the movement path of the chuck table 18 in the X-axis direction. An alignment unit 20 for detection is provided.
アライメントユニット２０は、ウェーハ１１の表面を撮像する顕微鏡及びカメラを含む撮像ユニット２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって切削すべき領域を検出することができる。撮像ユニット２２によって取得された画像は、表示モニター６に表示される。 The alignment unit 20 includes an imaging unit 22 including a microscope and a camera that images the surface of the wafer 11, and can detect a region to be cut by image processing such as pattern matching based on an image acquired by imaging. . The image acquired by the imaging unit 22 is displayed on the display monitor 6.
アライメントユニット２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハに対して切削加工を施す切削ユニット２４が配設されている。切削ユニット２４はアライメントユニット２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。 On the left side of the alignment unit 20, a cutting unit 24 for cutting the wafer held on the chuck table 18 is disposed. The cutting unit 24 is configured integrally with the alignment unit 20, and both move together in the Y-axis direction and the Z-axis direction.
切削ユニット２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に外周に切り刃を有する切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像ユニット２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。切削ユニット２４のＹ軸方向の移動は、図示しない割り出し送り機構により達成される。 The cutting unit 24 is configured by mounting a cutting blade 28 having a cutting edge on the outer periphery at the tip of a rotatable spindle 26 and is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The cutting blade 28 is located on the extended line of the imaging unit 22 in the X-axis direction. The movement of the cutting unit 24 in the Y-axis direction is achieved by an index feed mechanism (not shown).
２７は切削加工の終了したウェーハ１１を洗浄するスピンナ洗浄ユニットであり、切削加工の終了したウェーハユニット１７は搬送ユニット２５によりスピンナ洗浄ユニット２７まで搬送され、スピンナ洗浄ユニット２７でスピン洗浄及びスピン乾燥される。 Reference numeral 27 denotes a spinner cleaning unit that cleans the wafer 11 that has been subjected to the cutting process. The wafer unit 17 that has been subjected to the cutting process is transported to the spinner cleaning unit 27 by the transport unit 25, and is subjected to spin cleaning and spin drying by the spinner cleaning unit 27. The
図２を参照すると、ハブブレード２８をスピンドル２６の先端に装着する装着構造の分解斜視図が示されている。切削ユニット２４のスピンドルハウジング３０中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル２６が回転可能に収容されている。図５に示すように、スピンドル２６はテーパー部２６ａ及び先端小径部２６ｂを有しており、先端小径部２６ｂには雄ねじが形成されている。 Referring to FIG. 2, an exploded perspective view of a mounting structure for mounting the hub blade 28 to the tip of the spindle 26 is shown. A spindle 26 that is rotationally driven by a servo motor (not shown) is rotatably accommodated in the spindle housing 30 of the cutting unit 24. As shown in FIG. 5, the spindle 26 has a tapered portion 26a and a tip small diameter portion 26b, and a male screw is formed on the tip small diameter portion 26b.
スピンドル２６のテーパー部２６ａにはマウントフランジ３２が装着されている。マウントフランジ３２は、切削ブレード２８の嵌合穴に嵌合するボス部３４と、ボス部３４の後端から径方向に突出して形成されると共に前面に環状端面３６ａを有するフランジ部３６とから構成される。 A mount flange 32 is attached to the tapered portion 26 a of the spindle 26. The mount flange 32 includes a boss portion 34 that fits into a fitting hole of the cutting blade 28, and a flange portion 36 that is formed to project radially from the rear end of the boss portion 34 and has an annular end surface 36 a on the front surface. Is done.
ボス部３４には雄ねじ３８が形成されている。マウントフランジ３２は、スピンドル２６のテーパー部２６ａに嵌合した後、ナット４０を先端小径部２６ｂの雄ねじに螺合して締め付けることにより、スピンドル２６のテーパー部２６ａに固定される。 A male screw 38 is formed on the boss portion 34. The mount flange 32 is fixed to the tapered portion 26a of the spindle 26 by fitting the nut 40 to the male screw of the small diameter end portion 26b and then tightening the nut 40 after being fitted to the tapered portion 26a of the spindle 26.
切削ブレード２８はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ４４を有する円形基台４２の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切り刃４６が電着されて構成されている。円形基台４２はアルミニウム合金から形成されている。 The cutting blade 28 is called a hub blade, and is configured by electrodepositing a cutting blade 46 in which diamond abrasive grains are dispersed in a nickel base material on the outer periphery of a circular base 42 having a circular hub 44. The circular base 42 is made of an aluminum alloy.
切削ブレード２８の嵌合穴４８をマウントフランジ３２のボス部３４に挿入し、固定ナット５０をボス部３４の雄ねじ３８に螺合して締め付けることにより、切削ブレード２８の円形基台４２がマウントフランジ３２のボス部３６の環状端面３６ａに圧接して、切削ブレード２８がスピンドル２６に装着される。 By inserting the fitting hole 48 of the cutting blade 28 into the boss portion 34 of the mount flange 32 and screwing and fastening the fixing nut 50 to the male screw 38 of the boss portion 34, the circular base 42 of the cutting blade 28 is mounted on the mount flange. The cutting blade 28 is mounted on the spindle 26 in pressure contact with the annular end surface 36 a of the 32 boss portions 36.
切削ブレード２８が、スピンドル２６のテーパー部２６ａに装着された状態の断面図が図４に示されている。マウントフランジ３２がスピンドル２６のテーパー部２６ａに固定されると、環状端面３６ａの内周とボス部３４との間に環状凹部５８が画成され、この環状凹部５８は、マウントフランジ３２に形成された連通路６２及び環状連通路６２を介して、スピンドル２６に形成された吸引路６４に連通されている。 FIG. 4 shows a cross-sectional view of the cutting blade 28 attached to the tapered portion 26a of the spindle 26. As shown in FIG. When the mount flange 32 is fixed to the tapered portion 26 a of the spindle 26, an annular recess 58 is defined between the inner periphery of the annular end surface 36 a and the boss portion 34, and the annular recess 58 is formed in the mount flange 32. The suction passage 64 is formed in the spindle 26 through the communication passage 62 and the annular communication passage 62.
吸引路６４の前端（一端）は、スピンドル２６の先端小径部２６ｂに形成されたプラグ穴に挿入されたプラグ６６により閉鎖されており、吸引路６４の他端は流量計６８及び電磁切替弁７０を介して吸引源７２に選択的に接続されている。 The front end (one end) of the suction path 64 is closed by a plug 66 inserted into a plug hole formed in the tip small diameter portion 26 b of the spindle 26, and the other end of the suction path 64 is a flow meter 68 and an electromagnetic switching valve 70. Is selectively connected to the suction source 72.
図３を参照すると、切削ブレードの一種であるワッシャーブレード５２をスピンドル２６に装着する装着構造の分解斜視図が示されている。マウントフランジ３２の装着構造は図２に示したハブブレード２８の装着構造と同様なので省略する。 Referring to FIG. 3, an exploded perspective view of a mounting structure for mounting a washer blade 52, which is a kind of cutting blade, to the spindle 26 is shown. The mounting structure of the mount flange 32 is the same as the mounting structure of the hub blade 28 shown in FIG.
ワッシャーブレード５２をマウントフランジ３２のボス部３４に装着した後、前フランジ（着脱フランジ）５４をボス部に挿入して、固定ナット５０をボス部３４の雄ねじ３４に螺合して締め付けることにより、ワッシャーブレード５２はマウントフランジ３２のフランジ部３６と前フランジ５４とに挟持されてスピンドル２６に装着される。 After the washer blade 52 is mounted on the boss portion 34 of the mount flange 32, the front flange (detachable flange) 54 is inserted into the boss portion, and the fixing nut 50 is screwed onto the male screw 34 of the boss portion 34 and tightened. The washer blade 52 is sandwiched between the flange portion 36 of the mount flange 32 and the front flange 54 and attached to the spindle 26.
次に、主に図４を参照して、本発明実施形態の切削方法について説明する。被加工物の切削を開始する前に、スピンドル２６の回転を停止した状態で電磁切替弁７０を図４に示す連通位置に切り換えて吸引源７２でエアを吸引する。吸引路６４の先端はプラグ６６で閉鎖され、マウントフランジ３２はスピンドル２６のテーパー部２６ａに嵌合されているため、これらの箇所からのエア漏れは皆無である。 Next, with reference mainly to FIG. 4, the cutting method of this embodiment is demonstrated. Before starting the cutting of the workpiece, the electromagnetic switching valve 70 is switched to the communication position shown in FIG. 4 while the rotation of the spindle 26 is stopped, and the suction source 72 sucks air. Since the tip of the suction path 64 is closed by a plug 66 and the mount flange 32 is fitted to the tapered portion 26a of the spindle 26, there is no air leakage from these places.
マウントフランジ３２のフランジ部３６の環状端面３６ａが十分な平坦度を有している場合には、切削ブレード２８の円形基台４２が環状端面３６ａに圧接するため、環状凹部５８は十分な気密性を保たれている。よって、リーク検出手段である流量計６８を流れるエアは発生しないため、流量計６８の読みは０となる（リーク検出ステップ）。 When the annular end surface 36a of the flange portion 36 of the mount flange 32 has sufficient flatness, the circular base 42 of the cutting blade 28 presses against the annular end surface 36a, so that the annular recess 58 has sufficient airtightness. Is kept. Therefore, since air flowing through the flow meter 68 as the leak detection means is not generated, the reading of the flow meter 68 becomes 0 (leak detection step).
従って、リーク検出ステップでリークが確認されない場合には、スピンドル２６を回転させ（スピンドル回転ステップ）、スピンドル回転ステップを実施した後、ウェーハ１１を切削ブレード２８で切削する（切削ステップ）。 Therefore, if no leak is confirmed in the leak detection step, the spindle 26 is rotated (spindle rotation step), the spindle rotation step is performed, and then the wafer 11 is cut with the cutting blade 28 (cutting step).
一方、流量計６８で許容値以上のエアの流れを検出した場合には、マウントフランジ３２の環状凹部５８からエアのリークがあると検出する。環状凹部５８からのエアのリークがあると検出すると、異物が環状端面３６ａに固着しており環状端面３６ａの平坦度が十分出ていないと判定する。 On the other hand, when the air flow exceeding the allowable value is detected by the flow meter 68, it is detected that there is an air leak from the annular recess 58 of the mount flange 32. When it is detected that there is an air leak from the annular recess 58, it is determined that the foreign matter is fixed to the annular end surface 36a and the flatness of the annular end surface 36a is not sufficiently obtained.
この場合には、切削ブレード２８及びマウントフランジ３２をスピンドル２６のテーパー部２６ａから取り外して、マウントフランジ３２のフランジ部３６の環状端面３６ａの平坦度を出す従来公知の端面修正を適宜実施する。 In this case, the conventionally known end face correction for removing the cutting blade 28 and the mount flange 32 from the taper part 26a of the spindle 26 to obtain the flatness of the annular end face 36a of the flange part 36 of the mount flange 32 is appropriately performed.
図１には特に図示していないが、切削装置２は装置の各機構部を制御するコントローラ（切削手段）を具備しており、切削手段は、リーク検出手段（流量計）６８でエアのリークが検出されない場合にのみスピンドル２６を稼働させるスピンドル稼働制御部と、リーク検出手段でエアのリークが検出された場合にスピンドル２６の稼働を停止させるスピンドル停止部とを備えている。 Although not particularly shown in FIG. 1, the cutting apparatus 2 includes a controller (cutting means) that controls each mechanism of the apparatus, and the cutting means is an air leak by a leak detection means (flow meter) 68. A spindle operation control unit that operates the spindle 26 only when no leakage is detected, and a spindle stop unit that stops the operation of the spindle 26 when an air leak is detected by the leak detection means.
次に、図５を参照して、リーク検出手段でエアのリークが検出されない場合に、スピンドル２６を回転させた後ウェーハ１１を切削ブレード２８で切削する切削ステップについて概略説明する。 Next, with reference to FIG. 5, a cutting step of cutting the wafer 11 with the cutting blade 28 after rotating the spindle 26 when the leak detection unit does not detect air leak will be described briefly.
切削ステップを実施する前に、チャックテーブル１８でウェーハユニット１７を吸引保持した後、アライメントユニット２０の撮像ユニット２２でウェーハ１１の表面を撮像し、画像処理によりウェーハ１１の第１の方向に伸びる分割予定ライン１３と切削ブレード２８を矢印Ｘ１で示す加工送り方向に整列させるアライメントを実施する。第１の方向に伸長する分割予定ライン１３に直交する第２の方向に伸長する分割予定ライン１３についても同様なアライメントを実施する。 Before performing the cutting step, the wafer unit 17 is sucked and held by the chuck table 18, and then the surface of the wafer 11 is imaged by the imaging unit 22 of the alignment unit 20, and the wafer 11 is divided in the first direction by image processing. Alignment is performed in which the planned line 13 and the cutting blade 28 are aligned in the processing feed direction indicated by the arrow X1. Similar alignment is performed for the planned division line 13 extending in the second direction orthogonal to the planned division line 13 extending in the first direction.
アライメント実施後、矢印Ａ方向に高速回転する切削ブレード２８を第１の方向に伸長する所定の分割予定ライン１３にダイシングテープＴまで切り込ませ、チャックテーブル１８を矢印Ｘ１方向に加工送りすることにより、ウェーハ１１を完全切断する分割溝２１を形成する。 After alignment, the cutting blade 28 that rotates at a high speed in the direction of the arrow A is cut into the predetermined dividing line 13 extending in the first direction up to the dicing tape T, and the chuck table 18 is processed and fed in the direction of the arrow X1. Then, the division grooves 21 for completely cutting the wafer 11 are formed.
切削ユニット２４を図１で示すＸ軸方向に直交するＹ軸方向に分割予定ライン１３のピッチずつ割り出し送りしながら、第１の方向に伸長する全ての分割予定ライン１３に沿って同様な切削溝２１を形成する。 The same cutting groove along all the division lines 13 extending in the first direction while indexing and feeding the cutting unit 24 by the pitch of the division lines 13 in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction shown in FIG. 21 is formed.
次いで、チャックテーブル１８を９０°回転してから、第１の方向に直交する第２の方向に伸長する全ての分割予定ライン１３に沿って同様な切削溝２１を形成してウェーハ１１を個々のデバイスチップに分割する。 Next, after the chuck table 18 is rotated by 90 °, similar cutting grooves 21 are formed along all the division lines 13 extending in the second direction orthogonal to the first direction, and the wafers 11 are individually separated. Divide into device chips.
上述した実施形態では、マウントフランジ３２に形成した環状凹部５８はスピンドル２６に形成した吸引路６４に連通されている。更に、吸引路６４の後端は流量計６８、電磁切替弁７０を介して吸引源７２に選択的に接続されている。 In the embodiment described above, the annular recess 58 formed in the mount flange 32 is communicated with the suction path 64 formed in the spindle 26. Further, the rear end of the suction path 64 is selectively connected to a suction source 72 via a flow meter 68 and an electromagnetic switching valve 70.
リーク検出ステップで、流量計６８でエアのリークを検出した場合、このエアのリークはマウントフランジ３２の環状端面３６ａが十分平坦ではなく環状端面３６ａと切削ブレード２８の接触点でエアのリークが発生しているものと判断する。 In the leak detection step, when air leak is detected by the flow meter 68, the air leak is not sufficiently flat on the annular end surface 36a of the mount flange 32, and air leaks at the contact point between the annular end surface 36a and the cutting blade 28. Judge that you are doing.
従って、流量計６８の読みでエアのリークを検出した場合には、環状端面３６ａが十分平坦ではないと判断し、スピンドル２６は回転させずに、マウントフランジ３２をスピンドル２６から取り外して環状端面３６ａを端面修正する。 Therefore, when air leak is detected by reading the flow meter 68, it is determined that the annular end surface 36a is not sufficiently flat, the spindle 26 is not rotated, the mount flange 32 is removed from the spindle 26, and the annular end surface 36a is removed. Correct the end face.
流量計６８の読みが実質上０でエアのリークを検出しない場合には、環状端面３６ａが十分平坦で切削ブレード２８に十分圧接しているものと判断し、スピンドル２６を回転させてウェーハ１１を切削する。 When the reading of the flow meter 68 is substantially zero and no air leak is detected, it is determined that the annular end surface 36a is sufficiently flat and sufficiently in pressure contact with the cutting blade 28, and the spindle 26 is rotated to remove the wafer 11 To cut.
上述した実施形態の切削方法及び切削装置では、マウントフランジ３２にハブブレード２８を装着する例について説明したが、ハブブレード２８に替わって全体が切り刃（砥石）からなるワッシャーブレードをマウントフランジ３２に装着するようにしてもよい。 In the cutting method and the cutting apparatus according to the above-described embodiment, the example in which the hub blade 28 is attached to the mount flange 32 has been described. However, a washer blade that is entirely composed of a cutting blade (grinding stone) is used as the mount flange 32 instead of the hub blade 28. You may make it wear.
この場合には、ワッシャーブレードの前側を着脱フランジで押さえ、固定ナット５０をマウントフランジ３２のボス部３４の雄ねじ３８に螺合して締め付けることにより、ワッシャーブレードはマウントフランジ３２と着脱フランジとで挟持されて固定される。 In this case, the washer blade is clamped between the mount flange 32 and the detachable flange by holding the front side of the washer blade with the detachable flange and screwing the fixing nut 50 into the male screw 38 of the boss portion 34 of the mount flange 32. To be fixed.
２ 切削装置
１８ チャックテーブル
２４ 切削ユニット
２６ スピンドル
２８ 切削ブレード
３２ マウントフランジ
３４ ボス部
３６ フランジ部
３６ａ 環状端面
４２ 円形基台
４６ 切り刃
５２ ワッシャーブレード
５８ 環状凹部
６０ 連通路
６２ 環状連通路
６４ 吸引路
６８ 流量計
７２ 吸引源
2 Cutting device 18 Chuck table 24 Cutting unit 26 Spindle 28 Cutting blade 32 Mount flange 34 Boss part 36 Flange part 36a Annular end face 42 Circular base 46 Cutting blade 52 Washer blade 58 Annular recess 60 Communication path 62 Annular communication path 64 Suction path 68 Flow meter 72 Suction source
Claims (4)
該マウントフランジは、該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該嵌合穴が嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向に突出して形成されると共に前面に環状端面を有し、該環状端面の内周で該ボス部との間に環状凹部を画成するフランジ部と、一端が該環状凹部に開口し他端が吸引源に連通する吸引路と、を有し、
該スピンドルの先端に固定された該マウントフランジの該ボス部に該切削ブレードの該嵌合穴を嵌合させると共に該環状端面に該切削ブレードを当接させた状態で該切削ブレードを該スピンドルに装着する切削ブレード装着ステップと、
該切削ブレード装着ステップを実施した後、該環状凹部を吸引源に接続してエアを吸引する吸引ステップと、
該吸引ステップ実施中に、該環状凹部からのエアのリークの有無を検出するリーク検出ステップと、
該リーク検出ステップでエアのリークが検出されない場合に、該スピンドルを回転させるスピンドル回転ステップと、
該スピンドル回転ステップを実施した後、被加工物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、
を備えたことを特徴とする切削方法。 A cutting method in which a workpiece is cut with a cutting blade that is mounted on the tip of a spindle via a mount flange, a fitting hole is formed in the center, and at least an outer peripheral portion has a cutting blade,
The mounting flange is fixed to the tip of the spindle, and is formed with a boss portion into which the fitting hole of the cutting blade fits, and a radial end surface protruding from the rear end of the boss portion, and an annular end surface on the front surface. A flange portion defining an annular recess between the inner end of the annular end surface and the boss portion, and a suction path having one end opened in the annular recess and the other end communicating with a suction source. ,
The cutting blade is fitted to the spindle in a state where the fitting hole of the cutting blade is fitted to the boss portion of the mount flange fixed to the tip of the spindle and the cutting blade is brought into contact with the annular end surface. A cutting blade mounting step to be mounted;
A suction step for sucking air by connecting the annular recess to a suction source after performing the cutting blade mounting step;
A leak detecting step for detecting the presence or absence of air leak from the annular recess during the suction step;
A spindle rotation step for rotating the spindle when no air leak is detected in the leak detection step;
A cutting step of cutting the workpiece with the cutting blade after performing the spindle rotation step;
A cutting method comprising:
該マウントフランジは、該スピンドルの先端に固定され、該切削ブレードの該嵌合穴と嵌合するボス部と、該ボス部の後端から径方向に突出して形成されると共に前面に環状端面を有し該環状端面の内周と該ボス部との間に環状凹部を画成するフランジ部と、一端が該環状凹部に開口し他端が吸引源に連通する吸引路と、を含み、
該切削手段は、該環状端面と該切削ブレードからのエアのリーク有無を検出するリーク検出手段を備え、
該制御手段は、該リーク検出手段でエアのリークが検出されない場合にのみ該スピンドルを稼働するスピンドル稼働制御部と、
該リーク検出手段でエアのリークが検出された場合には該スピンドルの稼働を停止させるスピンドル停止部と、を含むことを特徴とする切削装置。 A chuck table for holding a workpiece, a spindle, a mount flange fixed to the tip of the spindle, and mounted on the tip of the spindle through the mount flange, and a fitting hole is formed at the center and at least A cutting blade having a cutting blade on the outer periphery, cutting means for cutting a workpiece held on the chuck table, moving means for moving the chuck table and the cutting means relative to each other, and at least the spindle And a control means for controlling the moving means,
The mount flange is fixed to the tip of the spindle, is formed with a boss part that fits into the fitting hole of the cutting blade, and projects radially from the rear end of the boss part, and has an annular end face on the front surface. A flange portion defining an annular recess between the inner periphery of the annular end surface and the boss portion, and a suction path having one end opened in the annular recess and the other end communicating with a suction source,
The cutting means includes a leak detection means for detecting the presence or absence of air leakage from the annular end face and the cutting blade,
The control means includes a spindle operation control unit that operates the spindle only when no air leak is detected by the leak detection means;
A cutting device comprising: a spindle stop portion that stops the operation of the spindle when air leak is detected by the leak detection means.
該切削手段は、該マウントフランジと共に該切削ブレードを挟持する固定ナットを更に含む請求項２記載の切削装置。 The cutting blade has a base and a cutting blade disposed on the outer periphery of the base,
The cutting apparatus according to claim 2, wherein the cutting means further includes a fixing nut that holds the cutting blade together with the mount flange.
該切削手段は、該マウントフランジと共に該切削ブレードを挟持する前フランジと、該前フランジを固定する固定ナットとを更に含む請求項２記載の切削装置。 The cutting blade is composed of a cutting blade having a fitting hole formed in the center,
The cutting apparatus according to claim 2, wherein the cutting means further includes a front flange that holds the cutting blade together with the mount flange, and a fixing nut that fixes the front flange.
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