JP2013088809A - 顕微鏡撮像光線路の球面収差を識別し補正する方法及び装置 - Google Patents
顕微鏡撮像光線路の球面収差を識別し補正する方法及び装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】対物レンズ(10)と、撮像光線路に配置された試料(9)を担持又は覆うカバースリップ(2)と、を備える顕微鏡(1)による試料(9)の顕微鏡撮像の状況で、顕微鏡撮像光線路(7)の球面誤差を識別する方法であって、測定ビーム(130)は、対物レンズ(10)を通って試料(9)上に、偏心して対物レンズ(10)の光軸(8)外に案内され、試料(9)とカバースリップの界面(116)で反射された測定ビーム(132)は、対物レンズ(10)を通して検出器(128)に案内され、検出器(128)は、反射測定ビーム(132)の強度プロファイルを取得し、球面誤差の存在は、前記強度プロファイルから定性的及び/又は定量的に特定される。
【選択図】図2
Description
2 カバースリップ
3 補正レンズ要素
4 3の制御適用ユニット
5 統制装置
6 評価ユニット
7 撮像光路
8 光軸
9 試料
10 対物レンズ
11 偏向要素
12 チューブレンズ
13 偏向要素
14 像面
15 レンズ
16、16’ 対物面
19 オートフォーカス光源
20 ビームスプリッタ、ダイクロイック
24 オートフォーカス制御適用ユニット
25 オートフォーカス統制装置
26 結合評価ユニット
27 モータ
28 オートフォーカス検出器
30 オートフォーカス測定ビーム
32、32’ 反射オートフォーカス測定ビーム
50 統制装置
51 52の制御適用ユニット
52 変形可能ミラー、適応光学系
53 中継光学系
54 中間像
55 偏向要素
116 界面
120 ビームスプリッタ(ダイクロイック)
128 検出器
129 測定光源
130 測定ビーム
132 反射測定ビーム
α 角度
Z 方向
C 反射点
D 反射点
A 偏向点
B、B’ 偏向点
Claims (17)
- 対物レンズ(10)と、顕微鏡撮像光線路に配置された試料(9)を担持又は覆うカバースリップ(2)と、を備える顕微鏡(1)を用いて前記試料(9)の顕微鏡撮像の状況で、顕微鏡撮像光線路(7)の球面誤差を識別する方法であって、
前記対物レンズ(10)を通って前記試料(9)上に、偏心して前記対物レンズ(10)の光軸(8)外に測定ビーム(130)が案内され、前記試料(9)と前記カバースリップの界面(116)で反射された測定ビーム(132)が、前記対物レンズ(10)を通して検出器(128)に案内され、前記検出器(128)は、前記反射された測定ビーム(132)の強度プロファイルを取得し、
前記強度プロファイルから球面誤差の存在が定性的及び/又は定量的に特定される、方法。 - 前記強度プロファイルは信号の形状に関して評価される、請求項1に記載の方法。
- 前記強度プロファイルの評価は、前記強度プロファイルの半値全幅、及び/又は前記強度プロファイルのエッジ傾斜度、及び/又は前記強度プロファイルの最大が特定されることを含む、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記カバースリップ(2)の光学特性の変化、特に、カバースリップの厚さ変化及び/又は前記カバースリップの構造変化若しくは材料変化による球面誤差、及び/又は浸漬媒質の温度変化のような浸漬媒質の光学特性の変化による球面誤差が識別される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記測定ビーム(130)は、前記顕微鏡(1)に協働する三角測量オートフォーカスユニットのオートフォーカス測定ビーム(30)としても付加的に使用される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記対物レンズ(10)のフォーカスを設定し及び/又は保持するために三角測量オートフォーカスユニットが使用される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法であって、前記三角測量オートフォーカスユニットのオートフォーカス測定ビーム(30)が、球面誤差を識別する測定ビーム(130)として付加的に使用される、方法。
- 球面誤差が識別された場合、前記対物レンズ(10)に存在する補正レンズ要素(3)が、前記光軸に沿って変位して、前記球面誤差を補償する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 球面誤差が識別された場合、対物レンズ瞳との共役面に配置された適応光学系(52)に制御が適用されて、前記球面誤差を補償する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 対物レンズ(10)と、顕微鏡撮像光線路に配置された試料(9)を担持又は覆うカバースリップ(2)と、を備える顕微鏡(1)を用いて前記試料(9)の顕微鏡撮像の状況で、顕微鏡撮像光線路(7)の球面誤差を識別する装置において、
前記対物レンズ(10)を通って前記試料(9)に、偏心して前記対物レンズ(10)の光軸外に測定ビーム(130)が入射するように、前記測定ビーム(130)を前記顕微鏡(1)の顕微鏡撮像光線路(7)に結合するインカップリング装置(13、120)と、
前記対物レンズ(10)を通って前記顕微鏡(1)の顕微鏡撮像光路から出た後、前記カバースリップ(2)と前記試料(9)との界面(116)で反射した測定ビーム(132)を結合するアウトカップリング装置(120、15)と、
アウトカップリングされた測定ビーム(132)が撮像され、前記測定ビーム(132)の強度プロファイルを取得する検出器(128)と、
前記強度プロファイルから球面誤差を定性的及び/又は定量的に特定する評価ユニット(6)と、
を特徴とする、装置。 - 前記インカップリング装置及び前記アウトカップリング装置は、ビームスプリッタ(120)を含む、請求項9に記載の装置。
- 前記強度プロファイルのパラメータ、特に前記強度プロファイルの半値全幅、及び/又は前記強度プロファイルのエッジ傾斜度、及び/又は信号レベルが、前記評価ユニット(6)を用いて特定可能である、請求項9又は10に記載の装置。
- 球面誤差を補償するために、前記対物レンズ(10)に補正レンズ要素(3)が存在して、前記補正レンズ要素(3)を調整するために制御適用ユニット(4)が存在する、請求項9〜11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記強度プロファイルのパラメータを表す前記評価ユニット(6)の出力信号が到達可能な統制装置(5)であって、前記出力信号が、統制信号として前記対物レンズ(10)の前記補正レンズ要素(3)の前記制御適用ユニット(4)に適用され、それにより、識別される球面誤差が補償されるまで、前記補正レンズ要素(3)の調整を実行する、統制装置(5)を特徴とする、請求項11又は12に記載の装置。
- 球面誤差を補償するために、前記対物レンズ瞳との共役面に適応光学系が配置されて、前記適応光学系(52)に制御を適用するために、制御適用ユニットが存在する、請求項9〜11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記強度プロファイルのパラメータを表す前記評価ユニット(26)の出力信号を受信する統制装置(50)であって、前記出力信号が、統制信号として前記適応光学系(52)の前記制御適用ユニット(51)に適用され、それにより、識別される球面誤差が補償されるまで、前記適応光学系(52)に対する制御適用を実行する、統制装置(50)を特徴とする、請求項14に記載の装置。
- 前記検出器(128)の検出器面での前記強度プロファイルの前記空間位置及びその変化が、前記評価ユニット(6、26)で特定可能である、請求項9〜15のいずれか一項に記載の装置。
- 前記強度プロファイルの位置が変化した場合、評価ユニット(6、26)で、既存のデフォーカス状況のオートフォーカスパラメータが生成可能であり、前記オートフォーカスパラメータから、既存のデフォーカス状況が解消されるまでフォーカス位置を変更可能な調整信号を導出可能である、請求項16に記載の装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015031813A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-02-16 | 株式会社ニコン | 補償光学素子の設定方法及び顕微鏡 |
JP2015031812A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-02-16 | 株式会社ニコン | 補償光学素子の設定方法及び顕微鏡 |
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013112601A1 (de) | 2013-11-15 | 2015-05-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskopische Abbildungseinrichtung |
CN104570385B (zh) * | 2014-12-30 | 2017-07-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 具有二级稳像功能的机上自适应光学系统 |
US9772540B2 (en) * | 2015-07-09 | 2017-09-26 | Bio-Tek Instruments, Inc. | Autofocus for imaging system |
DE102016212019A1 (de) | 2016-07-01 | 2018-01-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Neigungsmessung und -korrektur des Deckglases im Strahlengang eines Mikroskops |
DE102017105928A1 (de) * | 2017-03-20 | 2018-09-20 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop und Verfahren zum Abbilden eines Objektes |
DE102017217389A1 (de) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Optische Linse zur Verwendung in einer Medienzuführungsvorrichtung sowie Objektiv, Medienzuführungsvorrichtung und Mikroskop |
CN107621356B (zh) * | 2017-10-31 | 2024-05-03 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 一种显微镜焦点偏移测量设备 |
DE102018105442A1 (de) * | 2018-03-09 | 2019-09-12 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Kameramodul für ein Mikroskop und Verfahren zu dessen Betrieb |
DE102018126009B4 (de) * | 2018-10-19 | 2022-05-19 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren und Mikroskop zur Bestimmung der Dicke eines Deck- oder Tragglases |
DE102019102959B3 (de) * | 2019-02-06 | 2020-06-10 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Bilderzeugung mittels eines Mikroskops und entsprechendes Mikroskop |
US11194146B2 (en) * | 2019-02-06 | 2021-12-07 | Molecular Devices, Llc | Imaging system and method using a projected reference to guide adjustment of a correction optic |
CN109765213B (zh) * | 2019-03-27 | 2024-03-29 | 苏州威邦震电光电技术有限公司 | 相干反斯托克斯拉曼散射显微镜成像装置 |
DE102019109832B3 (de) | 2019-04-12 | 2020-04-23 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Lichtblattmikroskop und Verfahren zum Erfassen einer Messgröße |
EP3816611B1 (en) | 2019-10-29 | 2023-01-25 | Leica Microsystems CMS GmbH | Microscope and method for determining an aberration in a microscope |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005031507A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Olympus Corp | 顕微鏡システム、顕微鏡の制御方法、及びプログラム |
JP2008276070A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 拡大撮像装置 |
JP2009522604A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 自動顕微鏡の自動焦点調節法及びシステム |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3219503C2 (de) | 1982-05-25 | 1985-08-08 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte |
US4606634A (en) * | 1984-07-27 | 1986-08-19 | Owens-Illinois, Inc. | System for detecting selective refractive defects in transparent articles |
JPH0769162B2 (ja) | 1990-04-23 | 1995-07-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 光学的検査システムのための自動焦点合わせ装置 |
JPH06165757A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Nikon Corp | 検影型他覚眼屈折力測定装置 |
US5350374A (en) * | 1993-03-18 | 1994-09-27 | Smith Robert F | Topography feedback control system for photoablation |
DE4323721C2 (de) | 1993-07-15 | 1996-03-21 | Leica Mikroskopie & Syst | Mikroskopobjektiv mit einer Korrekturfassung |
AU2205395A (en) * | 1994-04-08 | 1995-10-30 | Summit Technology, Inc. | Profiling the intensity distribution of optical beams |
IL111229A (en) | 1994-10-10 | 1998-06-15 | Nova Measuring Instr Ltd | Autofocusing microscope |
US5838419A (en) * | 1996-02-22 | 1998-11-17 | Holland; Stephen | Method and apparatus for treating refractive eye abnormalities |
DE10049296B4 (de) * | 2000-08-03 | 2013-06-20 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Optische Anordnung und Verfahren zur Ablenkung eines Lichtstrahls |
EP1231460B1 (en) * | 2001-02-09 | 2005-06-08 | Hoya Corporation | Lens meter for measuring properties of a spectacle lens or a contact lens |
JP4370554B2 (ja) | 2002-06-14 | 2009-11-25 | 株式会社ニコン | オートフォーカス装置およびオートフォーカス付き顕微鏡 |
CN1312464C (zh) * | 2004-04-29 | 2007-04-25 | 上海微电子装备有限公司 | 成像光学系统像差的现场测量方法 |
DE102006027836B4 (de) | 2006-06-16 | 2020-02-20 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop mit Autofokuseinrichtung |
CN100501574C (zh) * | 2006-10-23 | 2009-06-17 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 一种在线球差测量方法 |
DE102007002863B3 (de) | 2007-01-15 | 2008-08-07 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung zur Einstellung oder Justierung optischer Komponenten |
JP4974717B2 (ja) | 2007-03-12 | 2012-07-11 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡の補正環付対物レンズの補正環駆動装置 |
DE102008018951A1 (de) | 2008-04-15 | 2009-10-22 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Mikroskop mit Haltefokuseinheit |
-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005031507A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Olympus Corp | 顕微鏡システム、顕微鏡の制御方法、及びプログラム |
JP2009522604A (ja) * | 2005-12-30 | 2009-06-11 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 自動顕微鏡の自動焦点調節法及びシステム |
JP2008276070A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 拡大撮像装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015031813A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-02-16 | 株式会社ニコン | 補償光学素子の設定方法及び顕微鏡 |
JP2015031812A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-02-16 | 株式会社ニコン | 補償光学素子の設定方法及び顕微鏡 |
US11002978B2 (en) | 2014-07-28 | 2021-05-11 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope having a beam splitter assembly |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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