JP2013088556A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 一方の主面側にある被観察物の実像を他方の主面側の空間に結像させるリフレクタアレイ光学装置であって、
   同一平面上に並置された複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を有し、
   前記複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の各々は、基盤と、各々が前記基盤の主面に垂直で且つ互いに直交する少なくとも２つの直交側面を有し且つ前記直交側面の内角の向きが揃うように同一ピッチでマトリクス状に整列されて前記基盤に一体的に形成された複数の２面コーナーリフレクタと、からなり、
   前記複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の隣り合うもの同士は、前記複数の２面コーナーリフレクタの前記直交側面の内角の向きが揃うように配置され且つ前記直交側面同士が平行に揃うように配置され、
   前記複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子は、前記複数の２面コーナーリフレクタのすべての前記直交側面の交線が前記基盤の法線に平行となるように、前記基盤の端面同士にて貼り合わされていることを特徴とするリフレクタアレイ光学装置。
2. 前記複数枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の各々は透明材料からなり、前記複数の２面コーナーリフレクタの各々は、前記基盤から突出する角柱形状を有する突出部であることを特徴とする請求項１に記載のリフレクタアレイ光学装置。
3. 前記角柱形状は、前記直交側面の交線に対向する側に前記基盤の法線から傾斜する側面を有し、前記基盤と一体となる底面と前記底面の面積より小なる面積の上面を有する角錐台形状であることを特徴とする請求項２に記載のリフレクタアレイ光学装置。
4. 前記基盤の法線から傾斜する側面の傾斜角度が５度以上２５度以下であることを特徴とする請求項３に記載のリフレクタアレイ光学装置。
5. 前記複数の２面コーナーリフレクタの各々は、前記直交側面として内壁の一部が鏡面とされた前記基盤を貫通する角柱形状の穴であることを特徴とする請求項１に記載のリフレクタアレイ光学装置。
6. 一方の主面側にある被観察物の実像を他方の主面側の空間に結像させるリフレクタアレイ光学装置の作製方法であって、
   基盤と、各々が前記基盤の主面に垂直で且つ互いに直交する少なくとも２つの直交側面を有し且つ前記直交側面の内角の向きが揃うように前記基盤に一体的に形成された複数の２面コーナーリフレクタと、からなる２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を少なくとも２枚形成する工程と、
   前記２枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の各々の接着すべき前記基盤の端面に隣接する前記基盤の主面部分の前記複数の２面コーナーリフレクタをマスキング材で被覆する工程と、
   前記接着すべき前記基盤の端面同士の間に光学接着剤を供給して、前記光学接着剤の一部分を前記基盤の端面同士の間から前記マスキング材の表面に押し出しながら前記２枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を貼り合わせる工程と、
   前記光学接着剤の一部分とともに前記マスキング材を前記基盤の主面の前記複数の２面コーナーリフレクタから除去する工程と、を含み、
   前記貼り合わせる工程は、前記基盤の端面同士の間に光学接着剤を供給する前に前記２枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子の前記接着すべき前記基盤の端面同士を接触させ、前記接着した前記基盤の端面間を掛け渡す位置関係で粘着テープを前記基盤の主面部分に貼付して繋げる工程を含み、
   前記２枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を貼り合わせる前に前記粘着テープで繋げられた部分を支点として、隣り合う前記基盤の該端面同士を開いた状態となし、該端面同士の間に前記光学接着剤を供給した後、前記基盤の該端面同士を閉じて貼り合わせることを特徴とする作製方法。
7. 前記貼り合わせる工程は、
   透明平板の同一平面上に光学接着剤を供給して、前記光学接着剤が供給された前記透明平板上に前記２枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子をそれらの前記接着すべき前記基盤の端面同士が向かい合うように配置して、前記接着すべき前記基盤の端面同士の間に前記光学接着剤を供給して、前記基盤の該端面同士を互いに向けて突き合わせて、前記透明平板と前記２枚の２面コーナーリフレクタアレイ光学素子を貼り合わせることを特徴とする請求項６に記載の作製方法。