JP2013083385A - ループ型ヒートパイプ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウィックと、そのウィックを収納する金属ケースとの間の熱抵抗が小さいループ型ヒートパイプ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】まず、多孔質体により形成されたウィック４１を金属ケース２２内に収納する。次に、ウィック４１の一方の面側にウィック４１の平均気孔径よりも小さいサイズの微粒子４８ｂを懸濁させた懸濁液４６を供給して該懸濁液４６をウィック４１内に浸透させ、金属ケース４２を加熱してウィック４１の他方の面側で懸濁液４６中の液体成分を蒸発させて、微粒子４８ｂをウィック４１の他方の面と金属ケース２２との接触部の隙間に堆積させる。これにより、ウィック４１と金属ケース４２との接触面積が増大し、ウィック４１と金属ケース４２との間の熱抵抗が低減される。
【選択図】図７

Description

本発明は、ループ型ヒートパイプ及びその製造方法に関する。

ループ型ヒートパイプ(Loop heat pipe)は作動流体の相変化を利用して熱を輸送する装置であり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）又はその他の電子部品の冷却に使用されている。

ループ型ヒートパイプは、蒸発器と、凝縮器と、それらの蒸発器と凝縮器との間を連絡して環状の流路を形成する蒸気管及び液管とを有し、内部には作動流体として水又はアルコール等が封入されている。また、蒸発器内には、多孔質体により形成されたウィックと呼ばれる部材が配置されている。

特開２００９−２７６０２２号公報 特開平１１−２９４９８０号公報

ウィックと、そのウィックを収納する金属ケースとの間の熱抵抗が小さいループ型ヒートパイプ及びその製造方法を提供することを目的とする。

開示の技術の一観点によれば、多孔質体により形成されたウィックを金属ケース内に収納し、前記ウィックの一方の面側及び他方の面側にそれぞれ個別に空間を設ける工程と、前記ウィックの前記一方の面側の空間に前記ウィックの平均気孔径よりも小さいサイズの微粒子を懸濁させた懸濁液を供給し該懸濁液を前記ウィック内に浸透させ、前記金属ケースを加熱して前記ウィックの前記他方の面側で前記懸濁液中の液体成分を蒸発させて、前記微粒子を前記ウィックの前記他方の面と前記金属ケースとの接触部の隙間に堆積させる工程と、前記金属ケースに、前記ウィックの前記一方の面側の空間に連絡する液管と、前記ウィックの前記他方の面側の空間に連絡する蒸気管と、前記液管と前記蒸気管との間を連絡する凝縮器とを取り付けて環状の流路を形成し、該流路内に作動流体を封入する工程とを有するループ型ヒートパイプの製造方法が提供される。

開示の技術の他の一観点によれば、蒸発器と、凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器との間に接続されて環状の流路を形成する蒸気管及び液管とを有し作動流体が封入されたループ型ヒートパイプにおいて、前記蒸発器は、多孔質体により形成されたウィックと、前記ウィックを収納する金属ケースとを有し、前記ウィックと前記金属ケースとの接触部の隙間に、前記ウィックの平均気孔径よりも小さなサイズの微粒子が堆積しているループ型ヒートパイプが提供される。

上記一観点に係るループ型ヒートパイプの製造方法によれば、ウィックと金属ケースとの接続部の隙間に微粒子を堆積させているので、ウィックと金属ケースとの接触面積が増大し、ウィックと金属ケースとの間の熱抵抗が小さいループ型ヒートパイプを得ることができる。

図１は、ループ型ヒートパイプの一例を表した平面図である。 図２（ａ），（ｂ）は、同じくそのループ型ヒートパイプの蒸発器の断面図である。 図３（ａ），（ｂ）は、図１のループ型ヒートパイプの問題点を示す模式図である。 図４は、第１の実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法を説明する図（その１）である。 図５は、第１の実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法を説明する図（その２）である。 図６は、第１の実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法を説明する図（その３）である。 図７は、第１の実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法を説明する図（その４）である。 図８は、第１の実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法を説明する図（その５）である。 図９は、第１の実施形態の変形例を示す模式図である。 図１０は、第２の実施形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器の断面図である。

以下、実施形態について説明する前に、実施形態の理解を容易にするための予備的事項について説明する。

図１はループ型ヒートパイプの一例を表した平面図、図２（ａ），（ｂ）は同じくそのループ型ヒートパイプの蒸発器の断面図である。なお、図２（ａ）は図１のＩ−Ｉ線による断面を表し、図２（ｂ）は図２（ａ）のII−II線の位置における断面を表している。

図１のように、ループ型ヒートパイプ１０は、蒸発器１１と、凝縮器１２と、蒸発器１１と凝縮器１２との間を連絡して環状の流路を形成する蒸気管１３及び液管１４とを有する。凝縮器１２には多数の放熱用フィン１５が取り付けられており、それらのフィン１５間には送風ファン１６から冷風が供給される。また、ループ型ヒートパイプ１０の内部には作動流体として、水又はアルコール等が封入されている。

図２（ａ），（ｂ）のように、蒸発器１１は、ウィック２１と、ウィック２１を収納する金属ケース２２と、電子部品に接続して金属ケース２２に熱を伝達する伝熱ブロック２３とを有する。金属ケース２２の一方の側には蒸気管１３が接続され、他方の側には液管１４が接続される。なお、ここでは金属ケース２２と伝熱ブロック２３とを異なる部品としているが、両者が一体化して作製されていてもよい。

ウィック２１と液管１４との間には液相の作動流体が一時的に貯留される空間が設けられており、ウィック２１と蒸気管１３との間にはウィック２１の外周部で発生した気相の作動流体（蒸気）を蒸気管１３に導く空間が設けられている。金属ケース２２及び伝熱ブロック２３は、銅等のように熱伝導性が優れた金属により形成されている。

ウィック２１は例えば微細な金属粒を焼結させて形成された多孔質体であり、一端側が閉塞された円筒状の形状を有する。このウィック２１は、開放端側を液管１４に向け、閉塞端側を蒸気管１３に向けて配置される。また、ウィック２１の外周面には、ウィック２１の中心軸と平行な方向に延びて蒸気管１３に連絡する複数のグルーブ（蒸気排出溝）２１ａが設けられている。

このように構成されたループ型ヒートパイプ１０において、ウィック２１の中心部の空洞には、液管１４から液相の作動流体が流入する。この液相の作動流体は、ウィック２１内に浸透し、毛細管現象によって中心側から外周部に移動する。そして、ウィック２１の外周部に移動した作動流体は、電子部品から伝熱ブロック２３及び金属ケース２２を介して伝達される熱により蒸発して、気相に変化する。

作動流体が液相から気相に変化するときには、周囲から蒸発熱に相当する熱を吸収する。これにより金属ケース２２が冷却され、更に伝熱ブロック２３を介して伝熱ブロック２３に熱的に接続された電子部品が冷却される。

また、作動流体は、液相から気相に変化すると体積が増大する。このとき、ウィック２１内は液相の作動流体で満たされているため、気相となった作動流体はウィック２１内を通ることができず、蒸気管１３を通って凝縮器１２に向かう。

凝縮器１２に到達した作動流体は、送風ファン１６により冷却されて液相に戻る。そして、液相に戻った作動流体は、蒸発器１１から移動してくる気相の作動流体により凝縮器１２から押し出され、液管１４を通って蒸発器１１に移動する。

このようにして、ループ型ヒートパイプ１０内の作動流体は、気相と液相とに変化しながら、蒸発器１１、蒸発管１３、凝縮器１２、液管１４の順に移動する。そして、作動流体の移動にともなって蒸発器１１から凝縮器１２に熱が連続的に輸送され、蒸発器１１に熱的に接続された電子部品（発熱体）が冷却される。

ところで、電子部品を効率よく冷却するためには蒸発器１１内で作動流体を効率よく蒸発させることが重要である。そのためには、ウィック２１と金属ケース２２との間の熱伝達効率がよいこと、言い換えればウィック２１と金属ケース２２とが密に接触していることが重要となる。

一般的に、ウィック２１は、金属、セラミック又は樹脂等の粒子を焼結させて形成される。しかし、図３（ａ）に模式的に表したように、ウィック２１の表面の粒子が欠落して、ウィック２１と金属ケース２２との接触部に隙間（図３（ａ）中に網掛けした部分）が発生することがある。また、ウィック２１又は金属ケース２３の表面には、加工時に生じたうねりが存在することがある。これにより、図３（ｂ）に模式的に表したようにウィック２１と金属ケース２２との間にうねりによる隙間が発生することもある。

これらの隙間により、伝熱ブロック２２とウィック２３との間の熱抵抗が大きくなり、ループ型ヒートパイプ１０の熱輸送能力が低下する。

以下の実施形態では、ウィックと、そのウィックを収納する金属ケースとの間の熱抵抗が小さいループ型ヒートパイプの製造方法について説明する。

（第１の実施形態）
図４〜図８は、第１の実施形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法を説明する図である。

まず、図４のように、ウィック４１、金属ケース４２及び伝熱ブロック４３を個別に形成し、これらのウィック４１、金属ケース４２及び伝熱ブロック４３により、図５に示す蒸発器３１を作製する。

ウィック４１は、銅、ニッケル又はステンレス等の金属の粒子を焼結させて形成してもよいし、アルミナ等のセラミックの粒子や、ポリプロピレン又はＰＴＦＥ（polytetrafluoroethylene）等の樹脂の粒子を焼結させて形成してもよい。ウィック４１の平均気孔径は例えば１μｍ〜２０μｍとし、空隙率は例えば３０％〜５０％とする。また、ウィック４１の形状は一端側が閉塞された円筒状とし、その外周面にはウィック４１の中心軸方向に延びるグルーブ４１ａ（蒸気排出溝）を複数設ける。

本実施形態において、ウィック４１の内径は１０ｍｍ、外径は１５ｍｍ、長さは３５ｍｍであり、中心部の空洞の深さは３０ｍｍであるとする。また、ウィック４１の外周面には５本のグルーブ４１ａが設けられており、それらのグルーブ４１ａの幅は１．５ｍｍ、深さは１．５ｍｍ、長さは２２ｍｍであるとする。

金属ケース４２は銅のように熱伝導性が良好な金属により形成する。金属ケース４２は、内径がウィック４１の外径と同一の円筒状に形成された筒部４２ａと、筒部４２ａの両端に接合される蓋部４２ｂ，４２ｃとを有する。そして、筒部４２ａ内にウィック４１を挿入した後、両端に蓋部４２ｂ，４２ｃを接合する。

なお、蓋部４２ｂ，４２ｃには、それぞれ液管又は蒸気管と連絡する孔を設けておく。また、ウィック４１と蓋部４２ｂとの間には液相の作動流体を一時的に貯留する空間を設け、ウィック４１と蓋部４２ｃとの間にはウィック４１の外周部で発生した気相の作動流体を蒸気管に導く空間を設けておく。

本実施形態において、金属ケース４２の外径は１７ｍｍ、内径は１５ｍｍ、長さは６０ｍｍであるとする。

伝熱ブロック４３も、金属ケース４２と同様に熱伝導性が良好な金属により形成する。伝熱ブロック４３の中央部には孔を設け、この孔内に金属ケース４２を挿入する。本実施形態では、伝熱ブロック４３は一辺が３０ｍｍの直方体形状であるとする。伝熱ブロック４３の一つの面が、電子部品と熱的に接続される接続面となる。

このようにして蒸発器３１（図５参照）を作製した後、ウィック４１と金属ケース４２との間の隙間に微粒子を堆積させる微粒子堆積工程を実施する。以下に、微粒子堆積工程について説明する。

まず、図６のように、蒸発器３１の周囲に加熱ブロック４４を取り付ける。加熱ブロック４４は複数の電熱ヒータ４５を有し、これらの電熱ヒータ４５に給電することにより伝熱ブロック４３を所定温度に加熱することができる。

一方、Ａｇ（銀）又はＣｕ（銅）等の金属の微粒子を水又はアルコール等の液体中に懸濁させた懸濁液４６を用意する。金属の微粒子に替えて、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等のセラミック等の微粒子を用いてもよく、その他の熱伝導性が良好な材料により形成された微粒子を用いてもよい。

微粒子のサイズ（球形の場合は直径、その他の場合は外接円の直径）はウィック４１の平均気孔径よりも小さければよく、ウィック４１の平均気孔径の約１／１０又はそれ以下とすることが好ましい。例えばウィック４１の平均気孔径が１μｍの場合、微粒子のサイズは１００ｎｍ程度とすればよい。懸濁液４６中の微粒子の含有量が多すぎると微粒子によりウィック４１の気孔が閉塞されることが考えられるため、懸濁液４６中の微粒子の含有量は１０重量％以下とすることが好ましい。

次に、電熱ヒータ４５に通電して伝熱ブロック４３を所定温度に加熱する。加熱温度は、例えば懸濁液溶媒の沸点の温度とする。懸濁液に水を使用し、大気圧環境下で加熱する場合、伝熱ブロック４３の加熱温度は１００℃程度にすればよい。

また、伝熱ブロック４３の加熱開始とほぼ同時に、懸濁液４６を、図６のようにポンプ４７を使用して液管接続側から蒸発器内３１に注入する。

図７は、蒸発器３１内に注入された懸濁液に含まれる微粒子がウィック４１と金属ケース４２との接触部の隙間に堆積していく過程を表した模式図である。なお、図７中、符号４８ａはウィック４１を形成する焼結粒子を示し、符号４８ｂは懸濁液中に含まれる微粒子を示している。

図７（ａ）は懸濁液４６を注入する前のウィック４１と金属ケース４２との接触部を示している。蒸発器３１内に懸濁液４６を注入すると、図７（ｂ）のように懸濁液４６は毛細管力によりウィック４１内に進入し、それにともなって懸濁液４６中の微粒子４８ｂもウィック４１の内部に進入する。

一方、金属ケース４２は加熱ブロック４４内に配置された電熱ヒータ４５により所定温度に加熱されているので、ウィック４１と金属ケース４２との接触部で懸濁液４６中の液体成分が蒸発する。蒸発により生じた蒸気は、グルーブ４１ａ又はウィック４１の外周部の乾燥した部分を通って蒸気管接続側の孔（蓋部４２ｃの孔）から外部に放出され、ウィック４１と金属ケース４２との間の隙間に微粒子４８ｂが残る。

そして、ウィック４１の外周部での液体成分の蒸発にともない、ウィック４１の外周部に乾燥した部分が生じると、毛細管力によりウィック４１の内側から乾燥した部分に懸濁液４６が浸透する。このようにして、懸濁液４６の供給と懸濁液４６中の液体成分の蒸発とが繰り返されることにより、図７（ｃ）のように、ウィック４１と金属ケース４２との間の隙間に微粒子４８ｂが堆積していく。

ウィック４１と金属ケース４２との隙間に微粒子４８ｂを十分に堆積させたら、電熱ヒータ４５への給電及び蒸発器３１への懸濁液４６の供給を停止し、加熱ブロック４４を取り外す。そして、水又はアルコールを蒸発器３１内に注入して蒸発器３１内を洗浄し、ウィック４１内に残存する懸濁液４６を除去する。図７（ｄ）は、洗浄後のウィック４１の状態を示している。

次いで、図８のように、蒸発器３１に、蒸気管３３、凝縮器３２及び液管３４となる銅パイプをろう付けして環状の流路を形成し、その流路内に作動流体として水又はアルコール等を封入する。また、凝縮器３２となる部分に放熱用フィン３５を取り付ける。このようにして、本実施形態に係るループ型ヒートパイプ３０が完成する。

上述したように、本実施形態では、ウィック４１の内側に懸濁液４６を供給しつつ、ウィック４１の外周部で懸濁液４６中の液体成分を蒸発させる。これにより、ウィック４１と金属ケース４２との接触部の隙間に微粒子４８ｂが堆積し、ウィック４１と金属ケース４２との間の接触面積が増加する。その結果、ウィック４１と金属ケース４２との間の熱抵抗が小さく、熱輸送効率が高いループ型ヒートパイプ３０が得られる。

また、ループ型ヒートパイプ３０を実際に使用する際に、作動流体はウィック４１の中心側から外周側に向かう方向に移動し、逆方向には移動しないため、ウィック４１と金属ケース４２との間に堆積した微粒子がウィック４１の内側に移動することが回避される。このため、上述した効果は長期間にわたって持続する。

なお、本実施形態では蒸発器３１の周囲に加熱ブロック４４を配置して蒸発器３１を加熱しているが、蒸発器３１の加熱方法はこれに限定されるものではなく、他の方法で蒸発器３１を加熱してもよい。また、本実施形態ではポンプ４７により蒸発器３１内に懸濁液４６を注入しているが、他の方法で蒸発器３１内に懸濁液４６を注入してもよい。

更に、懸濁液４６は毛細管現象によりウィック４１内に浸透するため、蒸発器３１内に注入された懸濁液４６に圧力を印加する必要はない。しかし、懸濁液４６のウィック４１内への浸透を促進するために、蒸発器３１内に注入された懸濁液４６に例えば１ｋＰａ〜１０ｋＰａ程度の圧力を印加してもよい。

更にまた、本実施形態ではウィック４１の外周面にグルーブ４１ａを形成しているが、ウィック４１の外周面にグルーブ４１ａを形成する替わりに金属ケース４２の内面にグルーブを形成してもよい。

（変形例）
上述した実施形態において、蒸発器３１の加熱を続けると、ウィック４１自体の温度が上昇し、ウィック４１の内部で懸濁液４６の液体成分が蒸発することがある。ウィック４１の内部で懸濁液４６の液体成分が蒸発すると、ウィック４１の内部の空隙に微粒子４８ｂが堆積して、ウィック４１の外周部への微粒子４８ｂの移動が阻害されてしまう。

そこで、ウィック４１の外周部以外の部分での懸濁液４６の蒸発を抑制するために、蒸発器３１に供給する懸濁液４６の温度を低くすることが好ましい。例えば、図９のように、懸濁液４６を入れた容器４９内に熱交換器５２を設け、冷却器５１と熱交換器５２との間に冷却水を循環させて、蒸発器３１に供給する懸濁液４６を室温以下に冷却する。これにより、ウィック４１の内部での微粒子４８ｂの堆積を抑制することができる。

（第２の実施形態）
図１０は、第２の実施形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器６１の断面図である。なお、第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は蒸発器の構造が異なることにあり、その他の構造は基本的に第１の実施形態と同様であるので、ここでは重複する部分の説明を省略する。

図１０のように、本実施形態のループ型ヒートパイプの蒸発器６１は、直方体形状の金属ケース６２と、金属ケース６２内に配置された平板状のウィック６５とを有する。また、金属ケース６２は、その下面側に電子部品が熱的に接続される下部材６２ａと、下部材６２ａの上に接合される上部材６２ｂとを有する。下部材６２ａには、ウィック６５の下面側で発生した作動流体の蒸気を蒸気管３３に導く複数のグルーブ（蒸気排出溝）６４が設けられている。また、上部材６２ｂには、液管３４からウィック６５の上面側に供給される液相の作動流体を一時的に貯留するための空間が設けられている。

このような平板状のウィック６５を有するループ型ヒートパイプにおいて、金属ケース６２内にウィック６５を収納した後、液管接続側から懸濁液を注入しつつ、下部材６２ａの下面側をヒータ等により加熱する。これにより、下部材６２ａとウィック６５との接触部で懸濁液中の液体成分が蒸発し、下部材６２ａとウィック６５との接触部の隙間に微粒子が堆積して、下部材６２ａとウィック６５との間の熱抵抗が低減される。

その後、第１の実施形態と同様に、蒸気管６１に、蒸気管、凝縮器及び液管となる銅パイプを接続し、作動流体として水又はアルコール等を封入する。また、凝縮器となる部分にフィンを取り付ける。このようにして、本実施形態に係るループ型ヒートパイプが完成する。

本実施形態においても、ウィック６５と金属ケース６２との接触部の隙間に懸濁液を供給して微粒子を堆積させるので、ウィック６５と金属ケース６２との間の熱抵抗が小さく、熱輸送効率が高いループ型ヒートパイプが得られる。また、本実施形態では、平板状のウィック５１を使用しているので、蒸発器６１の厚みを薄くすることができる。このため、電子機器の薄型化が可能であるという利点もある。

なお、第２の実施形態では下部材６２ａにグルーブ６３を形成しているが、下部材６２ａにグルーブ６３を形成する替わりにウィック６５の下面側にグルーブを形成してもよい。

以上の諸実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。

（付記１）多孔質体により形成されたウィックを金属ケース内に収納し、前記ウィックの一方の面側及び他方の面側にそれぞれ個別に空間を設ける工程と、
前記ウィックの前記一方の面側の空間に前記ウィックの平均気孔径よりも小さいサイズの微粒子を懸濁させた懸濁液を供給し該懸濁液を前記ウィック内に浸透させ、前記金属ケースを加熱して前記ウィックの前記他方の面側で前記懸濁液中の液体成分を蒸発させて、前記微粒子を前記ウィックの前記他方の面と前記金属ケースとの接触部の隙間に堆積させる工程と、
前記金属ケースに、前記ウィックの前記一方の面側の空間に連絡する液管と、前記ウィックの前記他方の面側の空間に連絡する蒸気管と、前記液管と前記蒸気管との間を連絡する凝縮器とを取り付けて環状の流路を形成し、該流路内に作動流体を封入する工程と
を有することを特徴とするループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記２）前記微粒子のサイズが、前記ウィックの平均気孔径の１／１０以下であることを特徴とする付記１に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記３）前記微粒子が、金属又はセラミックにより形成されていることを特徴とする付記１又は２に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記４）前記懸濁液中の前記微粒子の含有量が１０重量％以下であることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記５）前記ウィックが、一端側が閉塞された円筒状の形状を有し、前記一方の面が前記ウィックの内周面であり、前記他方の面が前記ウィックの外周面であることを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記６）前記ウィックが板状の形状を有することを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記７）前記ウィックの前記一方の面側の空間に供給する懸濁液を、室温以下に冷却することを特徴とする付記１乃至６のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記８）前記ウィックの前記一方の面側の空間に供給する懸濁液に、１Ｐａ以上、１０ｋＰａ以下の圧力を印加することを特徴とする付記１乃至７のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。

（付記９）蒸発器と、凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器との間に接続されて環状の流路を形成する蒸気管及び液管とを有し作動流体が封入されたループ型ヒートパイプにおいて、
前記蒸発器は、多孔質体により形成されたウィックと、前記ウィックを収納する金属ケースとを有し、前記ウィックと前記金属ケースとの接触部の隙間に、前記ウィックの平均気孔径よりも小さなサイズの微粒子が堆積していることを特徴とするループ型ヒートパイプ。

（付記１０）前記微粒子のサイズが、前記ウィックの平均気孔径の１／１０以下であることを特徴とする付記９に記載のループ型ヒートパイプ。

１０…ヒートパイプ、１１，３１，６１…蒸発器、１２，３２…凝縮器、１３，３３…蒸気管、１４，３４…液管、１５，３５…放熱用フィン、１６…送風ファン、２１，４１，６５…ウィック、２１ａ，４１ａ，６４…グルーブ（蒸気排出溝）、２２，４２，６２…金属ケース、２３，４３…伝熱ブロック、４２ａ…筒部、４２ｂ，４２ｃ…蓋部、４４…加熱ブロック、４５…電熱ヒータ、４６…懸濁液、４７…ポンプ、４８ａ…焼結粒子、４８ｂ…微粒子、４９…容器、５１…冷却器、５２…熱交換器、６２ａ…下部材、６２ｂ…上部材。

Claims (5)

1. 多孔質体により形成されたウィックを金属ケース内に収納し、前記ウィックの一方の面側及び他方の面側にそれぞれ個別に空間を設ける工程と、
   前記ウィックの前記一方の面側の空間に前記ウィックの平均気孔径よりも小さいサイズの微粒子を懸濁させた懸濁液を供給し該懸濁液を前記ウィック内に浸透させ、前記金属ケースを加熱して前記ウィックの前記他方の面側で前記懸濁液中の液体成分を蒸発させて、前記微粒子を前記ウィックの前記他方の面と前記金属ケースとの接触部の隙間に堆積させる工程と、
   前記金属ケースに、前記ウィックの前記一方の面側の空間に連絡する液管と、前記ウィックの前記他方の面側の空間に連絡する蒸気管と、前記液管と前記蒸気管との間を連絡する凝縮器とを取り付けて環状の流路を形成し、該流路内に作動流体を封入する工程と
   を有することを特徴とするループ型ヒートパイプの製造方法。
2. 前記微粒子のサイズが、前記ウィックの平均気孔径の１／１０以下であることを特徴とする請求項１に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
3. 前記懸濁液中の前記微粒子の含有量が１０重量％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
4. 前記ウィックの前記一方の面側の空間に供給する懸濁液を、室温以下に冷却することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
5. 蒸発器と、凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器との間に接続されて環状の流路を形成する蒸気管及び液管とを有し作動流体が封入されたループ型ヒートパイプにおいて、
   前記蒸発器は、多孔質体により形成されたウィックと、前記ウィックを収納する金属ケースとを有し、前記ウィックと前記金属ケースとの接触部の隙間に、前記ウィックの平均気孔径よりも小さなサイズの微粒子が堆積していることを特徴とするループ型ヒートパイプ。

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