JP2013072836A - Physical quantity detector, physical quantity detecting device and electronic apparatus - Google Patents

Physical quantity detector, physical quantity detecting device and electronic apparatus Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a physical quantity detector capable of reducing damage of a movable portion and a physical quantity detecting element.SOLUTION: An acceleration detector 1 comprises: a base portion 10; a tabular movable portion 12 connected to the base portion 10 via a joint portion 11; an acceleration detecting element 13 laid over the base portion 10 and the movable portion 12 across the joint portion 11; and a supporting portion 14 having a part extending along the movable portion 12 from the base portion 10, as viewed in a plan view. A mass portion 15 is disposed on both main surfaces 10a and 10b of the movable portion 12. The movable portion 12 is displaceable about the joint portion 11 as a fulcrum in a first direction, Z-axis direction, in response to force applied in the first direction intersecting with the main surface 10a. The mass portion 15 is disposed so as to partially overlap with the supporting portion 14, as viewed in the plan view. In a region where the mass portion 15 and the supporting portion 14 overlap with each other, a space C is provided between the mass portion 15 and the supporting portion 14. A thin-walled portion 14c having a thickness in the Z-axis direction thinner than that of an adjacent portion is formed on the supporting portion 14.

Description

本発明は、物理量検出器、この物理量検出器を備えた物理量検出デバイス及び電子機器に関する。   The present invention relates to a physical quantity detector, a physical quantity detection device including the physical quantity detector, and an electronic apparatus.

物理量検出器として、特許文献１には、主面に対し垂直に加速度（物理量）が加わり変位する可動部と、可動部を括れ部を介して支持する固定部を備えたベースと、加速度の方向に垂直な力であって、この力の検出方向を検出軸とし、検出軸に沿って並ぶ一対の基部に接続された感圧部を有する感圧素子と、を備えた加速度検出器が開示されている。
この加速度検出器は、感圧素子の一対の基部が、ベースの可動部と固定部とに固定され、括れ部が、可動部と固定部との間に検出軸の方向と交差する方向に延びて形成されている。そして、ベースには、一端の固定端が固定部に接続され他端の自由端が可動部側に延出された梁部が形成され、感圧素子には、可動部側の基部に、平面視で梁部と重なる位置に梁部と接触可能な接触部が形成されている。 As a physical quantity detector, Patent Literature 1 discloses a movable part that is displaced by acceleration (physical quantity) perpendicular to the main surface, a base that includes a fixed part that supports the movable part via a constricted part, and a direction of acceleration. An acceleration detector comprising a pressure-sensitive element having a pressure-sensing portion connected to a pair of bases aligned with the detection axis, the detection direction of which is the detection axis of the force as a detection axis. ing.
In this acceleration detector, the pair of base portions of the pressure sensitive element are fixed to the movable portion and the fixed portion of the base, and the constricted portion extends in a direction intersecting the direction of the detection axis between the movable portion and the fixed portion. Is formed. The base is formed with a beam portion having a fixed end at one end connected to the fixed portion and a free end at the other end extended to the movable portion side, and the pressure sensitive element has a flat surface on the base portion on the movable portion side. A contact portion that can contact the beam portion is formed at a position overlapping the beam portion as viewed.

特開２０１１−６４６５２号公報JP 2011-64652 A

上記特許文献１の加速度検出器は、加わる加速度に応じて可動部が括れ部を支点にして撓むことで、感圧素子に引っ張り応力や圧縮応力が加わることによる、感圧素子の共振周波数の変化によって加速度を検出する構成となっている。
そして、上記加速度検出器は、所定の範囲を超えた加速度が印加された場合には、感圧素子の接触部が、固定部から延びる梁部の自由端に接触することで、可動部の所定以上の撓みを規制し、破損を回避するストッパーの機能を果たす構成となっている。 The acceleration detector of the above-mentioned Patent Document 1 has a resonance frequency of the pressure-sensitive element due to a tensile stress or a compressive stress applied to the pressure-sensitive element by bending the movable part with the constricted part as a fulcrum according to the applied acceleration. The configuration is such that acceleration is detected by a change.
In the acceleration detector, when an acceleration exceeding a predetermined range is applied, the contact portion of the pressure-sensitive element contacts the free end of the beam portion extending from the fixed portion, so that the predetermined portion of the movable portion is It has a configuration that functions as a stopper that regulates the above bending and avoids breakage.

しかしながら、上記加速度検出器は、実施の形態において、固定部（梁部）に水晶などの硬質な圧電材料が用いられていることから、ストッパーの機能を果たす梁部が撓み難くなっている。
これにより、上記加速度検出器は、所定の範囲を超えた加速度が印加された場合に、加わる加速度の大きさによっては、感圧素子の接触部がストッパーとなる梁部と接触（衝突）した際に、感圧素子や、感圧素子が固定されている可動部が破損する虞がある。 However, in the above-described acceleration detector, since a hard piezoelectric material such as crystal is used for the fixed portion (beam portion) in the embodiment, the beam portion that functions as a stopper is difficult to bend.
Thereby, when the acceleration exceeding the predetermined range is applied, depending on the magnitude of the applied acceleration, when the contact part of the pressure sensitive element comes into contact (collision) with the beam part serving as a stopper, In addition, the pressure sensitive element and the movable part to which the pressure sensitive element is fixed may be damaged.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる物理量検出器は、ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された板状の可動部と、前記継ぎ手部を跨いで前記ベース部と前記可動部とに架け渡された物理量検出素子と、前記可動部の両主面のうち少なくとも一方の前記主面に配置された質量部と、平面視において、前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位ならびに平面視において、前記質量部と重なる領域を有した支持部と、を備え、前記可動部が前記主面と交差する第１方向に加わる力に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記第１方向に変位可能なように、前記領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間を備え、前記支持部には、肉厚部と、前記肉厚部よりも第１方向の厚さが薄い肉薄部とを備えたことを特徴とする。   Application Example 1 A physical quantity detector according to this application example includes a base part, a plate-like movable part connected to the base part via a joint part, and the base part and the movable part straddling the joint part. A physical quantity detection element spanned between the two parts, a mass part disposed on at least one of the principal surfaces of the movable part, and the planar part extending from the base part along the movable part. A support part having a region overlapping with the mass part in a part and a plan view, and the movable part serving as a fulcrum according to the force applied in the first direction intersecting the main surface In the region, a gap is provided between the mass part and the support part so as to be displaceable in the first direction, and the support part has a thick part and a thicker part in the first direction than the thick part. A thin portion having a thin thickness is provided.

これによれば、物理量検出器は、可動部が、主面と交差する第１方向に加わる力に応じて、継ぎ手部を支点にして第１方向に変位可能であり、可動部の両主面のうち少なくとも一方の主面に、平面視において、一部が支持部と重なるように質量部が配置されている。そして、物理量検出器は、質量部と支持部とが重なる領域では、質量部と支持部との間に隙間を備え、支持部には、第１方向の厚さが肉厚部よりも薄い肉薄部が形成されている。
これにより、物理量検出器は、所定の範囲を超えた物理量としての、例えば、加速度が印加された場合に、可動部に配置（固定）された質量部が支持部に接触することで、可動部の所定以上の変位を規制するストッパーの機能を果たす構成となっている。
そして、物理量検出器は、支持部に形成された、可動部の変位方向である第１方向の厚さが肉厚部よりも薄くなっている肉薄部により、例えば肉薄部が屈曲するなどの変形を起し、質量部が支持部に接触（衝突）した際の衝撃が吸収（緩和）される。
この結果、物理量検出器は、質量部が配置（固定）された可動部や、ベース部と可動部とに架け渡された物理量検出素子の破損を、特許文献１の従来構成と比較して低減することができる。 According to this, the physical quantity detector can be displaced in the first direction with the joint portion as a fulcrum according to the force applied to the movable portion in the first direction intersecting the main surface. A mass part is arranged on at least one of the main surfaces so as to partially overlap the support part in plan view. The physical quantity detector includes a gap between the mass part and the support part in a region where the mass part and the support part overlap, and the support part is thinner than the thick part in the first direction. The part is formed.
Thereby, the physical quantity detector is configured so that the mass part arranged (fixed) on the movable part comes into contact with the support part when, for example, acceleration is applied as a physical quantity exceeding a predetermined range, so that the movable part It is the structure which fulfill | performs the function of the stopper which controls the displacement more than predetermined.
The physical quantity detector is deformed such that the thin part is bent by the thin part formed in the support part and having a thickness in the first direction that is the displacement direction of the movable part is thinner than the thick part. And the impact when the mass part contacts (collises) the support part is absorbed (relaxed).
As a result, the physical quantity detector reduces damage to the movable part in which the mass part is arranged (fixed) and the physical quantity detection element spanned between the base part and the movable part as compared with the conventional configuration of Patent Document 1. can do.

［適用例２］上記適用例にかかる物理量検出器において、前記肉薄部は、前記第１方向に沿って両方向から括れていることが好ましい。   Application Example 2 In the physical quantity detector according to the application example, it is preferable that the thin portion is bundled from both directions along the first direction.

これによれば、物理量検出器は、支持部の肉薄部が第１方向に沿って両方向から括れていることから、質量部が支持部に接触（衝突）した際の、可動部の一方の主面側からの衝撃及び可動部の他方の主面側からの衝撃を、均等に吸収（緩和）することができる。   According to this, in the physical quantity detector, since the thin part of the support part is bundled from both directions along the first direction, one main part of the movable part when the mass part contacts (collises) the support part. The impact from the surface side and the impact from the other main surface side of the movable part can be absorbed (relaxed) evenly.

［適用例３］上記適用例にかかる物理量検出器において、前記肉薄部を、前記部位に備えたことが好ましい。   Application Example 3 In the physical quantity detector according to the application example described above, it is preferable that the thin portion is provided in the part.

これによれば、物理量検出器は、肉薄部を上記部位に備えたことから、質量部が支持部に接触（衝突）した際の衝撃を吸収（緩和）することができる。   According to this, since the physical quantity detector is provided with the thin portion at the above site, it can absorb (relax) the impact when the mass portion contacts (collises) the support portion.

［適用例４］上記適用例にかかる物理量検出器において、前記肉薄部は、前記領域を含むことが好ましい。   Application Example 4 In the physical quantity detector according to the application example described above, it is preferable that the thin portion includes the region.

これによれば、物理量検出器は、肉薄部が上記領域を含むことから、肉薄部によって、例えば、質量部に凸部を設けることなく、質量部と支持部との間の隙間を構成することができる。   According to this, since the thin part includes the above-described region, the physical quantity detector forms a gap between the mass part and the support part without providing the convex part on the mass part, for example. Can do.

［適用例５］上記適用例にかかる物理量検出器において、前記可動部は平面視において、前記支持部と前記ベース部とによって囲まれており、前記支持部における前記可動部の一方側にある前記部位と他方側にある前記部位とのそれぞれに、前記肉薄部を備えたことが好ましい。   Application Example 5 In the physical quantity detector according to the application example, the movable part is surrounded by the support part and the base part in a plan view, and is on one side of the movable part in the support part. It is preferable that the thin portion is provided in each of the part and the part on the other side.

これによれば、物理量検出器は、支持部における可動部の一方側の部位と他方側の部位とのそれぞれに肉薄部を備えたことから、両方の肉薄部によって質量部が支持部に接触（衝突）した際の衝撃を吸収（緩和）することができる。
この結果、物理量検出器は、質量部が配置された可動部や、ベース部と可動部とに架け渡された物理量検出素子の破損を、例えば、肉薄部が可動部の一方側の部位にしかない場合と比較して、更に低減することができる。
According to this, since the physical quantity detector includes a thin portion in each of the one side portion and the other side portion of the movable portion in the support portion, the mass portion contacts the support portion by both thin portions ( It is possible to absorb (relax) the impact when a collision occurs.
As a result, in the physical quantity detector, the movable part in which the mass part is arranged or the physical quantity detection element bridged between the base part and the movable part is damaged, for example, the thin part is only in one part of the movable part. Compared with the case, it can further reduce.

［適用例６］本適用例にかかる物理量検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量検出器と、前記物理量検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。   Application Example 6 A physical quantity detection device according to this application example includes the physical quantity detector according to any one of the application examples described above and a package that accommodates the physical quantity detector.

これによれば、本構成の物理量検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量検出器と、物理量検出器を収容するパッケージと、を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する物理量検出デバイスを提供することができる。   According to this, the physical quantity detection device of this configuration includes the physical quantity detector described in any one of the above application examples and the package that houses the physical quantity detector, and thus any one of the above application examples. It is possible to provide a physical quantity detection device that exhibits the effects described in (1).

［適用例７本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量検出器を備えたことを特徴とする。   Application Example 7 An electronic apparatus according to this application example includes the physical quantity detector described in any one of the application examples.

これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の物理量検出器を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。   According to this, since the electronic device of this configuration includes the physical quantity detector described in any one of the above application examples, the electronic device having the effects described in any one of the above application examples is provided. Can do.

第１実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図。The partial expansion model perspective view of the acceleration detector of 1st Embodiment. 図１の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。2A and 2B are schematic plan sectional views showing a schematic configuration of the acceleration detector of FIG. 1, wherein FIG. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a sectional view taken along line AA in FIG. 加速度検出器の動作について説明する模式断面図であり、（ａ）は可動部が−Ｚ方向に変位した状態を示す断面図、（ｂ）は可動部が＋Ｚ方向に変位した状態を示す断面図。It is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the acceleration detector, (a) is a cross-sectional view showing a state where the movable part is displaced in the -Z direction, (b) is a cross-sectional view showing a state where the movable part is displaced in the + Z direction. . 変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図。It is a model plane sectional view showing a schematic structure of an acceleration detector of a modification, (a) is a top view, (b) is a sectional view in an AA line of (a), (c) is a sectional view of (a). Sectional drawing in the DD line. 第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）はリッド（蓋体）側から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図。It is a model plane sectional view which shows schematic structure of the acceleration detection device of 2nd Embodiment, (a) is a top view seen from the lid (lid body) side, (b) is the EE line of (a). Sectional drawing. 第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図。The model perspective view which shows the inclinometer of 3rd Embodiment. 傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図。The partial expansion model perspective view which shows schematic structure of the inclination sensor module accommodated in the inside of an inclinometer.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings.

（第１実施形態）
最初に、物理量検出器としての加速度検出器の一例について説明する。
図１は、第１実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図である。図２は、図１の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図２（ａ）は、平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。 (First embodiment)
First, an example of an acceleration detector as a physical quantity detector will be described.
FIG. 1 is a partially developed schematic perspective view of the acceleration detector according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic plan sectional view showing a schematic configuration of the acceleration detector of FIG. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2A. In addition, each wiring is abbreviate | omitted and the dimension ratio of each component differs from actual.

図１、図２に示すように、加速度検出器１は、平板状のベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された矩形平板状の可動部１２と、継ぎ手部１１を跨いでベース部１０と可動部１２とに架け渡された物理量検出素子としての加速度検出素子１３とを備えている。
そして、加速度検出器１は、平面視において、ベース部１０から可動部１２の両側（−Ｘ方向側と＋Ｘ方向側）に沿って延びる部位を含み、可動部１２の自由端側でＸ軸方向に屈曲して繋がり、ベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されている平板状の支持部１４、を備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the acceleration detector 1 includes a flat base portion 10, a rectangular flat movable portion 12 connected to the base portion 10 via a joint portion 11, and a joint portion 11. An acceleration detection element 13 is provided as a physical quantity detection element straddling the base part 10 and the movable part 12 across the bridge.
The acceleration detector 1 includes a portion extending from the base portion 10 along both sides (−X direction side and + X direction side) of the movable portion 12 in a plan view, and in the X-axis direction on the free end side of the movable portion 12. And a base-like support portion 14 formed in a substantially rectangular frame shape surrounding the movable portion 12 with the base portion 10.

可動部１２は、平板の表裏面に相当する両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる一対の質量部（錘）１５が配置されている。質量部１５は、接合材１６を介して主面１２ａ，１２ｂに接合（固定）されている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて一体で略平板状に形成されている。なお、可動部１２と支持部１４との間には、両者を分割するスリット状の貫通孔が設けられている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。 The movable part 12 has a pair of mass parts (weights) 15 partially overlapping the support part 14 in plan view on both main surfaces 12a and 12b corresponding to the front and back surfaces of the flat plate. The mass portion 15 is bonded (fixed) to the main surfaces 12 a and 12 b via the bonding material 16.
The base part 10, the joint part 11, the movable part 12, and the support part 14 are integrally formed in a substantially flat plate shape, for example, using a quartz substrate cut out from a quartz crystal or the like at a predetermined angle. In addition, between the movable part 12 and the support part 14, the slit-shaped through-hole which divides | segments both is provided.
The outer shapes of the base portion 10, the joint portion 11, the movable portion 12, and the support portion 14 are accurately formed using techniques such as photolithography and etching.

継ぎ手部１１は、ベース部１０の両主面１０ａ，１０ｂ及び可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂ側からのハーフエッチングによって、ベース部１０と可動部１２とを区切るように、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って有底の溝部１１ａが形成されている。
溝部１１ａにより、継ぎ手部１１のＹ軸方向に沿った断面形状（図２（ｂ）の形状）は、略Ｈ字状に形成されている。
この継ぎ手部１１により、可動部１２は、主面１２ａ（１２ｂ）と交差する第１方向としてのＺ軸方向に加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点（回転軸）にして主面１２ａと交差するＺ軸方向に変位（回動）可能となっている。 The joint portion 11 is separated from the base portion 10 by separating the base portion 10 and the movable portion 12 by half etching from both the main surfaces 10a, 10b of the base portion 10 and the both main surfaces 12a, 12b of the movable portion 12. A bottomed groove 11a is formed along a direction (X-axis direction) orthogonal to a direction (Y-axis direction) connecting the movable part 12.
The cross-sectional shape (shape of FIG. 2B) along the Y-axis direction of the joint portion 11 is formed in a substantially H shape by the groove portion 11a.
Due to the joint portion 11, the movable portion 12 is connected to the main surface 12a with the joint portion 11 as a fulcrum (rotating axis) according to the acceleration applied in the Z-axis direction as the first direction intersecting the main surface 12a (12b). It can be displaced (rotated) in the intersecting Z-axis direction.

質量部１５の接合面積（接合材１６の塗布範囲）は、熱応力の抑制の観点から、可動部１２への接合に必要な面積を確保しつつ、極力小さくすることが好ましい。
質量部１５は、加速度検出器１の感度向上を図るべく平面サイズを極力大きくするために、可動部１２における継ぎ手部１１側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子１３を避けて二股状で継ぎ手部１１近傍まで延び、平面視において、略Ｕ字状に形成されている。
質量部１５には、例えば、Ｃｕ（銅）、Ａｕ（金）などの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。
接合材１６には、弾性に優れたシリコーン系樹脂（変成シリコーン樹脂など）を含む接着剤として、例えば、シリコーン系熱硬化型接着剤が用いられている。 It is preferable that the bonding area of the mass part 15 (the application range of the bonding material 16) be as small as possible while securing an area necessary for bonding to the movable part 12 from the viewpoint of suppressing thermal stress.
In order to increase the plane size as much as possible in order to improve the sensitivity of the acceleration detector 1, the mass portion 15 is bifurcated from the free end side of the movable portion 12 opposite to the joint portion 11 side by avoiding the acceleration detecting element 13. It extends to the vicinity of the joint portion 11 in a shape, and is formed in a substantially U shape in plan view.
For the mass part 15, for example, a material having a relatively large specific gravity represented by a metal such as Cu (copper) or Au (gold) is used.
For the bonding material 16, for example, a silicone-based thermosetting adhesive is used as an adhesive including a silicone-based resin (such as a modified silicone resin) having excellent elasticity.

加速度検出器１は、支持部１４に、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂ（図２（ａ）のハッチング部分）を含むようにして、Ｙ軸方向の全幅に亘って、Ｚ軸方向の厚さが隣接部（肉厚部）よりも薄い肉薄部１４ｃが形成されている。
この肉薄部１４ｃにより、加速度検出器１は、図２（ｂ）に示すように、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂでは、質量部１５と支持部１４（肉薄部１４ｃ）との間に隙間Ｃが設けられている。
なお、肉薄部１４ｃは、支持部１４の両主面１４ａ，１４ｂ側からのハーフエッチングによって形成されている。また、肉薄部１４ｃは、応力集中を緩和する観点から隣接部と斜面で接続されていることが好ましい。換言すれば、肉薄部１４ｃは、Ｚ軸方向に括れた形状となっていることが好ましい。 The acceleration detector 1 includes a region B (a hatched portion in FIG. 2A) where the mass unit 15 and the support unit 14 overlap the support unit 14, and extends in the Z-axis direction over the entire width in the Y-axis direction. The thin part 14c whose thickness is thinner than the adjacent part (thick part) is formed.
As shown in FIG. 2B, the acceleration detector 1 causes the mass portion 15 and the support portion 14 (thin portion 14 c) to overlap in the region B where the mass portion 15 and the support portion 14 overlap each other. A gap C is provided between them.
In addition, the thin part 14c is formed by the half etching from both the main surfaces 14a and 14b side of the support part 14. FIG. Moreover, it is preferable that the thin part 14c is connected with the adjacent part by the slope from a viewpoint of relieving stress concentration. In other words, it is preferable that the thin portion 14c has a shape constricted in the Z-axis direction.

加速度検出素子１３は、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる２本の角柱状であって、Ｘ軸方向に屈曲振動をする振動梁１３ａ，１３ｂを有する加速度検出部１３ｃと、加速度検出部１３ｃの両端に接続された一対の基部１３ｄ，１３ｅと、を備えている。
加速度検出素子１３は、２本の振動梁１３ａ，１３ｂと一対の基部１３ｄ，１３ｅとで二組の音叉を構成することから、双音叉素子（双音叉型振動片）とも呼ばれている。
加速度検出素子１３は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部１３ｃと基部１３ｄ，１３ｅとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子１３の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。 The acceleration detection element 13 has two prisms extending along the direction connecting the base portion 10 and the movable portion 12 (Y-axis direction), and includes vibrating beams 13a and 13b that bend and vibrate in the X-axis direction. An acceleration detector 13c and a pair of bases 13d and 13e connected to both ends of the acceleration detector 13c are provided.
The acceleration detecting element 13 is also called a double tuning fork element (double tuning fork type vibrating piece) because the two vibrating beams 13a and 13b and the pair of base portions 13d and 13e constitute two sets of tuning forks.
For example, the acceleration detection element 13 is formed of a quartz substrate cut out at a predetermined angle from a quartz crystal or the like, and the acceleration detection unit 13c and the bases 13d and 13e are integrally formed in a substantially flat plate shape. Further, the outer shape of the acceleration detecting element 13 is accurately formed by using techniques such as photolithography and etching.

加速度検出素子１３は、一方の基部１３ｄが可動部１２の主面１２ａ側に、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なＡｕ／Ｓｎ合金被膜などの接合部材１７を介して固定され、他方の基部１３ｅがベース部１０の主面１０ａ側（可動部１２の主面１２ａと同じ側）に接合部材１７を介して固定されている。
なお、加速度検出素子１３と、ベース部１０の主面１０ａ及び可動部１２の主面１２ａとの間には、可動部１２の変位時に加速度検出素子１３とベース部１０及び可動部１２とが互いに接触しないように、所定の隙間が設けられている。この隙間は、本実施形態では、接合部材１７の厚さで管理されている。
具体的には、例えば、ベース部１０及び可動部１２と加速度検出素子１３との間に、所定の隙間に相当する厚さに形成されたスペーサーを挟んだ状態で、ベース部１０及び可動部１２と加速度検出素子１３とを接合部材１７によって固定し、接合後スペーサーを除去することで、隙間を所定の範囲内に管理することができる。 In the acceleration detecting element 13, one base portion 13d is fixed to the main surface 12a side of the movable portion 12 via, for example, a bonding member 17 such as a low melting point glass or an Au / Sn alloy coating capable of eutectic bonding. The base portion 13 e is fixed to the main surface 10 a side of the base portion 10 (the same side as the main surface 12 a of the movable portion 12) via the joining member 17.
In addition, between the acceleration detection element 13 and the main surface 10a of the base part 10 and the main surface 12a of the movable part 12, when the movable part 12 is displaced, the acceleration detection element 13, the base part 10 and the movable part 12 are mutually connected. A predetermined gap is provided to prevent contact. This gap is managed by the thickness of the joining member 17 in this embodiment.
Specifically, for example, the base portion 10 and the movable portion 12 are sandwiched between the base portion 10 and the movable portion 12 and the acceleration detecting element 13 with a spacer formed in a thickness corresponding to a predetermined gap. And the acceleration detecting element 13 are fixed by the bonding member 17 and the spacer is removed after the bonding, whereby the gap can be managed within a predetermined range.

加速度検出素子１３は、振動梁１３ａ，１３ｂの図示しない励振電極（駆動電極）から基部１３ｅに引き出された引き出し電極１３ｆ，１３ｇが、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤（例えば、シリコーン系導電性接着剤）１８によって、ベース部１０の主面１０ａに設けられた接続端子１０ｃ，１０ｄと接続されている。
詳述すると、引き出し電極１３ｆは、導電性接着剤１８を介して接続端子１０ｃと接続され、引き出し電極１３ｇは、導電性接着剤１８を介して接続端子１０ｄと接続されている。 The acceleration detection element 13 includes conductive electrodes such as a metal filler mixed with conductive electrodes such as metal fillers, which are extracted from excitation electrodes (drive electrodes) (not shown) of the vibration beams 13a and 13b to the base portion 13e. The connecting terminals 10 c and 10 d provided on the main surface 10 a of the base portion 10 are connected by an agent (for example, silicone-based conductive adhesive) 18.
More specifically, the lead electrode 13 f is connected to the connection terminal 10 c via the conductive adhesive 18, and the lead electrode 13 g is connected to the connection terminal 10 d via the conductive adhesive 18.

ベース部１０の接続端子１０ｃ，１０ｄは、図示しない配線によって支持部１４の主面１４ｂ（ベース部１０の主面１０ｂと同じ側の主面）に設けられた外部接続端子１４ｄ，１４ｅと接続されている。
詳述すると、接続端子１０ｃは、ベース部１０の主面１０ａから支持部１４の主面１４ｂに回りこんだ配線によって外部接続端子１４ｄと接続され、接続端子１０ｄは、ベース部１０の主面１０ａから支持部１４の主面１４ｂに回りこんだ配線によって外部接続端子１４ｅと接続されている。
なお、振動梁１３ａ，１３ｂの励振電極、引き出し電極１３ｆ，１３ｇ、接続端子１０ｃ，１０ｄ、配線、外部接続端子１４ｄ，１４ｅは、例えば、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕが積層された構成となっている。 The connection terminals 10c and 10d of the base portion 10 are connected to external connection terminals 14d and 14e provided on the main surface 14b of the support portion 14 (main surface on the same side as the main surface 10b of the base portion 10) by wiring not shown. ing.
More specifically, the connection terminal 10 c is connected to the external connection terminal 14 d by wiring that runs from the main surface 10 a of the base portion 10 to the main surface 14 b of the support portion 14, and the connection terminal 10 d is connected to the main surface 10 a of the base portion 10. Is connected to the external connection terminal 14 e by a wiring that wraps around the main surface 14 b of the support portion 14.
The excitation electrodes of the vibrating beams 13a and 13b, the extraction electrodes 13f and 13g, the connection terminals 10c and 10d, the wiring, and the external connection terminals 14d and 14e have, for example, a structure in which Cr is a base layer and Au is stacked thereon. It has become.

ここで、加速度検出器１の動作について説明する。
図３は、加速度検出器の動作について説明する模式断面図である。図３（ａ）は、可動部が紙面下方（−Ｚ方向）に変位した状態を示す断面図であり、図３（ｂ）は、可動部が紙面上方（＋Ｚ方向）に変位した状態を示す断面図である。 Here, the operation of the acceleration detector 1 will be described.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the acceleration detector. FIG. 3A is a cross-sectional view showing a state where the movable part is displaced downward (−Z direction) in the drawing, and FIG. 3B shows a state where the movable part is displaced upward (+ Z direction) in the drawing. It is sectional drawing.

図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋αに応じた慣性力によって、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして−Ｚ方向に変位した場合、加速度検出素子１３には、Ｙ軸方向に基部１３ｄと基部１３ｅとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂに引っ張り応力が生じる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂの振動周波数（以下、共振周波数ともいう）が高くなる方に変化する。 As shown in FIG. 3A, the acceleration detector 1 is configured such that when the movable part 12 is displaced in the −Z direction with the joint part 11 as a fulcrum by an inertial force corresponding to the acceleration + α applied in the Z-axis direction, A tensile force is applied to the acceleration detecting element 13 in the direction in which the base portion 13d and the base portion 13e are separated from each other in the Y-axis direction, and tensile stress is generated in the vibrating beams 13a and 13b of the acceleration detecting portion 13c.
Thereby, the acceleration detector 1 changes so that the vibration frequency (henceforth resonance frequency) of the vibration beams 13a and 13b of the acceleration detection part 13c becomes high like the string of the wound stringed instrument, for example.

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−αに応じた慣性力によって、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして＋Ｚ方向に変位した場合、加速度検出素子１３には、Ｙ軸方向に基部１３ｄと基部１３ｅとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂに圧縮応力が生じる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂの共振周波数が低くなる方に変化する。 On the other hand, as shown in FIG. 3B, in the acceleration detector 1, the movable portion 12 is displaced in the + Z direction with the joint portion 11 as a fulcrum by the inertial force corresponding to the acceleration −α applied in the Z-axis direction. In this case, the acceleration detecting element 13 is applied with a compressive force in a direction in which the base 13d and the base 13e approach each other in the Y-axis direction, and compressive stress is generated in the vibration beams 13a and 13b of the acceleration detecting unit 13c.
Thereby, the acceleration detector 1 changes so that the resonant frequency of the vibration beams 13a and 13b of the acceleration detection part 13c becomes low like the string of the rewinded stringed instrument, for example.

加速度検出器１は、この共振周波数の変化を検出している。Ｚ軸方向に加わる加速度（＋α、−α）は、この検出された共振周波数の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。   The acceleration detector 1 detects this change in resonance frequency. The acceleration (+ α, −α) applied in the Z-axis direction is derived by converting the acceleration (+ α, −α) into a numerical value determined by a lookup table or the like according to the detected change rate of the resonance frequency.

ここで、図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋αが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の主面１２ａに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４の肉薄部１４ｃに接触（衝突）する。
これにより、加速度検出器１は、加速度＋αに応じて−Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。 Here, as shown in FIG. 3A, the acceleration detector 1 is configured such that when the acceleration + α applied in the Z-axis direction is larger than a predetermined magnitude, the mass portion 15 fixed to the main surface 12a of the movable portion 12 is A portion that overlaps the support portion 14 in a plan view comes into contact (collides) with the thin portion 14 c of the support portion 14.
Thereby, the acceleration detector 1 restricts the displacement of the movable portion 12 that is displaced in the −Z direction according to the acceleration + α within a predetermined range (corresponding to the gap C, see FIG. 2B).

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−αが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の主面１２ｂに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４の肉薄部１４ｃに接触（衝突）する。
これにより、加速度検出器１は、加速度−αに応じて＋Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。
ここで、質量部１５が支持部１４に接触（衝突）する際の衝撃力は、肉薄部１４ｃの撓みによって吸収（緩和）される。 On the other hand, as shown in FIG. 3 (b), the acceleration detector 1 has the mass portion 15 fixed to the main surface 12b of the movable portion 12 when the acceleration −α applied in the Z-axis direction is larger than a predetermined magnitude. A portion that overlaps the support portion 14 in a plan view comes into contact (collides) with the thin portion 14 c of the support portion 14.
Thereby, the acceleration detector 1 regulates the displacement of the movable part 12 that is displaced in the + Z direction according to the acceleration −α within a predetermined range (corresponding to the gap C, see FIG. 2B).
Here, the impact force when the mass portion 15 contacts (collises) the support portion 14 is absorbed (relaxed) by the bending of the thin portion 14c.

上述したように、第１実施形態の加速度検出器１は、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに質量部１５が配置（固定）され、主面１２ａと交差するＺ軸方向（第１方向）に加わる慣性力に応じて、可動部１２が継ぎ手部１１を支点にしてＺ軸方向に変位可能である。そして、加速度検出器１は、平面視において、質量部１５の一部が支持部１４と重なるように配置されている。そして、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂでは、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられ、支持部１４には、Ｚ軸方向の厚さが隣接部（肉厚部）よりも薄い肉薄部１４ｃが形成されている。   As described above, in the acceleration detector 1 of the first embodiment, the mass portion 15 is disposed (fixed) on both the main surfaces 12a and 12b of the movable portion 12, and the Z-axis direction (the first direction) intersecting the main surface 12a. ), The movable portion 12 can be displaced in the Z-axis direction with the joint portion 11 as a fulcrum. The acceleration detector 1 is arranged so that a part of the mass unit 15 overlaps the support unit 14 in plan view. In the region B where the mass portion 15 and the support portion 14 overlap, the acceleration detector 1 is provided with a gap C between the mass portion 15 and the support portion 14, and the support portion 14 has a thickness in the Z-axis direction. The thin part 14c whose thickness is thinner than the adjacent part (thick part) is formed.

これにより、加速度検出器１は、所定の範囲を超えた物理量としての加速度が印加された場合に、可動部１２に固定された質量部１５が支持部１４に接触することで、可動部１２の所定以上の変位を規制するストッパーの機能を果たす構成となっている。
そして、加速度検出器１は、支持部１４に形成された、可動部１２の変位方向であるＺ軸方向の厚さが隣接部よりも薄くなっている肉薄部１４ｃの撓みにより、質量部１５が支持部１４に接触（衝突）した際の衝撃が吸収（緩和）される。
この結果、加速度検出器１は、質量部１５が配置（固定）された可動部１２や、ベース部１０と可動部１２とに架け渡された加速度検出素子１３の破損を、特許文献１の従来構成と比較して低減することができる。 Thereby, the acceleration detector 1 allows the mass unit 15 fixed to the movable unit 12 to come into contact with the support unit 14 when acceleration as a physical quantity exceeding a predetermined range is applied. It has a configuration that functions as a stopper that restricts a predetermined displacement or more.
The acceleration detector 1 has the mass portion 15 formed by bending of the thin portion 14c formed in the support portion 14 and having a thickness in the Z-axis direction that is the displacement direction of the movable portion 12 smaller than that of the adjacent portion. The impact at the time of contact (collision) with the support portion 14 is absorbed (relaxed).
As a result, the acceleration detector 1 causes damage to the movable part 12 in which the mass part 15 is arranged (fixed) and the acceleration detection element 13 spanned between the base part 10 and the movable part 12. This can be reduced compared to the configuration.

また、加速度検出器１は、肉薄部１４ｃがＺ軸方向に両側（一方の主面１２ａ側、他方の主面１２ｂ側）から括れていることから、質量部１５が支持部１４に接触（衝突）した際の、可動部１２の一方の主面１２ａ側からの衝撃及び可動部１２の他方の主面１２ｂ側からの衝撃を、均等に吸収（緩和）することができる。   Moreover, since the thin part 14c is bundled from the both sides (one main surface 12a side, the other main surface 12b side) in the Z-axis direction, the mass part 15 contacts the support part 14 (impacts). ), The impact from the one main surface 12a side of the movable portion 12 and the impact from the other main surface 12b side of the movable portion 12 can be evenly absorbed (relaxed).

また、加速度検出器１は、支持部１４の肉薄部１４ｃが、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂを含むように設けられていることから、肉薄部１４ｃによって、例えば、質量部１５に凸部を設けることなく、質量部１５と支持部１４との間の隙間Ｃを構成することができる。
つまり、加速度検出器１は、支持部１４の肉薄部１４ｃによって、質量部１５と支持部１４との間の隙間Ｃの確保と、質量部１５が支持部１４に接触（衝突）する際の衝撃の吸収（緩和）とを、両立させることができる。 Moreover, since the thin part 14c of the support part 14 is provided so that the mass part 15 and the support part 14 may overlap, the acceleration detector 1 is provided with the thin part 14c. A gap C between the mass portion 15 and the support portion 14 can be formed without providing a convex portion.
That is, the acceleration detector 1 ensures the clearance C between the mass part 15 and the support part 14 by the thin part 14c of the support part 14, and the impact when the mass part 15 contacts (collises) the support part 14. Absorption (relaxation) can be made compatible.

なお、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度が一方向のみ（＋αのみ、または−αのみ）の場合には、支持部１４に接触しない方の質量部１５は、平面視において支持部１４と重ならない形状としてもよく、質量部１５そのものを除去してもよい。
また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３を可動部１２の主面１２ａ側に代えて、主面１２ｂ側に備えてもよく、主面１２ａ側及び主面１２ｂ側の両方に備えてもよい。
また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３の引き出し電極１３ｆ，１３ｇと、ベース部１０の接続端子１０ｃ，１０ｄとの接続を、導電性接着剤１８に代えてＡｕ、Ａｌなどの金属ワイヤーを用いた、ワイヤーボンディングによって行ってもよい。
なお、これらの付帯事項は、以下の変形例にも適用可能である。 In the acceleration detector 1, when the acceleration applied in the Z-axis direction is only in one direction (only + α or only −α), the mass portion 15 that is not in contact with the support portion 14 is the support portion in plan view. 14 may be formed in a shape that does not overlap with 14, or the mass portion 15 itself may be removed.
The acceleration detector 1 may be provided with the acceleration detecting element 13 on the main surface 12b side instead of the main surface 12a side of the movable portion 12, or may be provided on both the main surface 12a side and the main surface 12b side. Good.
Further, the acceleration detector 1 replaces the lead electrodes 13f and 13g of the acceleration detection element 13 and the connection terminals 10c and 10d of the base portion 10 with metal wires such as Au and Al in place of the conductive adhesive 18. You may carry out by the wire bonding used.
These incidental items can also be applied to the following modifications.

（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
図４は、第１実施形態の変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図４（ａ）は、平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ線での断面図、図４（ｃ）は、図４（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
また、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。 (Modification)
Next, a modification of the first embodiment will be described.
FIG. 4 is a schematic plan sectional view showing a schematic configuration of an acceleration detector according to a modification of the first embodiment. 4A is a plan view, FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 4A, and FIG. 4C is a DD line in FIG. 4A. FIG. In addition, each wiring is abbreviate | omitted and the dimension ratio of each component differs from actual.
Also, common parts with the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, detailed description thereof will be omitted, and different parts from the first embodiment will be mainly described.

図４に示すように、加速度検出器２は、支持部１４における可動部１２の一方側（−Ｘ方向側）に沿って延びる部位と、他方側（＋Ｘ方向側）に沿って延びる部位とのそれぞれに、Ｘ軸方向の全幅に亘って、Ｚ軸方向の厚さが隣接部よりも薄い肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２が形成されている。
なお、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２は、支持部１４の両主面１４ａ，１４ｂ側からのハーフエッチングによって形成されている。また、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２は、応力集中を緩和する観点から隣接部と斜面で接続されていることが好ましい。換言すれば、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２は、Ｚ軸方向に括れた形状となっていることが好ましい。
なお、加速度検出器２は、支持部１４における質量部１５と重なる部分（領域Ｂ）には、肉薄部が形成されていない。 As shown in FIG. 4, the acceleration detector 2 includes a portion extending along one side (−X direction side) of the movable portion 12 in the support portion 14 and a portion extending along the other side (+ X direction side). Thin portions 14c1 and 14c2 whose thickness in the Z-axis direction is thinner than the adjacent portions are formed over the entire width in the X-axis direction.
The thin portions 14c1 and 14c2 are formed by half-etching from both main surfaces 14a and 14b of the support portion 14. Moreover, it is preferable that the thin portions 14c1 and 14c2 are connected to the adjacent portions by slopes from the viewpoint of relaxing stress concentration. In other words, it is preferable that the thin portions 14c1 and 14c2 have a shape constricted in the Z-axis direction.
In the acceleration detector 2, a thin portion is not formed in a portion (region B) overlapping the mass portion 15 in the support portion 14.

加速度検出器２は、質量部１５に可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）側に突出する円柱状（円板状）の凸部１５ａを有し、凸部１５ａの先端部が、可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）に接合材１６を介して接合（固定）されている。
なお、凸部１５ａは、熱応力の抑制の観点から、可動部１２への接合に必要な面積を確保しつつ、平面サイズを極力小さくすることが好ましい。また、質量部１５は、接合時の傾き回避の観点から、平面視において、質量部１５の重心が凸部１５ａ内に収まることが好ましい。 The acceleration detector 2 has a columnar (disk-shaped) convex portion 15 a that protrudes toward the main surface 12 a (12 b) side of the movable portion 12 in the mass portion 15, and the tip portion of the convex portion 15 a is the movable portion 12. The main surface 12a (12b) is joined (fixed) via a joining material 16.
In addition, it is preferable that the convex part 15a makes plane size as small as possible, ensuring the area required for joining to the movable part 12, from a viewpoint of suppression of thermal stress. Moreover, it is preferable that the gravity center of the mass part 15 is settled in the convex part 15a in planar view from a viewpoint of the inclination avoidance at the time of joining.

加速度検出器２は、質量部１５に凸部１５ａが設けられたことによって、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂでは、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが確保されている。
なお、加速度検出器２の動作については、上記第１実施形態に準じるので説明は省略する。 In the acceleration detector 2, since the mass portion 15 is provided with the convex portion 15 a, a gap C is secured between the mass portion 15 and the support portion 14 in the region B where the mass portion 15 and the support portion 14 overlap. ing.
The operation of the acceleration detector 2 is the same as that of the first embodiment and will not be described.

上述したように、変形例の加速度検出器２は、支持部１４が、平面視において、ベース部１０とによって可動部１２を囲む枠状に形成され、支持部１４における可動部１２の一方側（−Ｘ方向側）と他方側（＋Ｘ方向側）とのそれぞれに、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２が形成されている。
このことから、加速度検出器２は、支持部１４における可動部１２の一方側の部位と他方側の部位とのそれぞれに形成された肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２の撓みによって、質量部１５が支持部１４に接触（衝突）した際の衝撃を吸収（緩和）することができる。
この結果、加速度検出器２は、質量部１５が配置（固定）された可動部１２や、ベース部１０と可動部１２とに架け渡された加速度検出素子１３の破損を、例えば、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２が可動部１２の一方側にしかない場合と比較して、更に低減することができる。
なお、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２は、支持部１４の主面１４ａ側または主面１４ｂ側の一方側からのエッチング（片側エッチング）により形成されてもよい。 As described above, in the acceleration detector 2 of the modified example, the support portion 14 is formed in a frame shape surrounding the movable portion 12 with the base portion 10 in a plan view, and one side of the movable portion 12 in the support portion 14 ( Thin portions 14c1 and 14c2 are formed on each of the −X direction side and the other side (+ X direction side).
Therefore, in the acceleration detector 2, the mass portion 15 is supported by the support portion 14 by the bending of the thin portions 14c1 and 14c2 formed at the one side portion and the other side portion of the movable portion 12 in the support portion 14, respectively. It is possible to absorb (relax) the impact when it comes into contact (collision).
As a result, the acceleration detector 2 detects the damage of the movable part 12 in which the mass part 15 is disposed (fixed) and the acceleration detection element 13 spanned between the base part 10 and the movable part 12, for example, the thin part 14 c 1. , 14c2 can be further reduced as compared with the case where only one side of the movable portion 12 is present.
The thin portions 14c1 and 14c2 may be formed by etching (one-side etching) from one side of the support portion 14 on the main surface 14a side or the main surface 14b side.

なお、加速度検出器２は、支持部１４における可動部１２の一方側（−Ｘ方向側）と他方側（＋Ｘ方向側）とのそれぞれに、肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２に加えて、更に肉薄部を形成してもよい。
また、本変形例と第１実施形態とを組み合わせた構成としてもよい。例えば、第１実施形態の支持部１４の対応する場所に、本変形例の肉薄部１４ｃ１，１４ｃ２を形成してもよい。
これらによれば、加速度検出器１，２は、衝撃吸収（衝撃緩和）性能を更に向上させることができる。 In addition to the thin portions 14c1 and 14c2, the acceleration detector 2 further includes a thin portion on one side (−X direction side) and the other side (+ X direction side) of the movable portion 12 in the support portion 14. It may be formed.
Moreover, it is good also as a structure which combined this modification and 1st Embodiment. For example, the thin portions 14c1 and 14c2 of the present modification may be formed at locations corresponding to the support portion 14 of the first embodiment.
According to these, the acceleration detectors 1 and 2 can further improve the impact absorption (impact relaxation) performance.

（第２実施形態）
次に、上記第１実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた物理量検出デバイスとしての加速度検出デバイスについて説明する。
図５は、第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図である。図５（ａ）は、リッド（蓋体）側から俯瞰した平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
なお、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。 (Second Embodiment)
Next, an acceleration detection device as a physical quantity detection device including the acceleration detector described in the first embodiment and the modification will be described.
FIG. 5 is a schematic plan sectional view showing a schematic configuration of the acceleration detection device of the second embodiment. Fig.5 (a) is a top view looked down from the lid (lid body) side, FIG.5 (b) is sectional drawing in the EE line | wire of Fig.5 (a). In the plan view, the lid is omitted. Moreover, each wiring is abbreviate | omitted and the dimension ratio of each component differs from actual.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to a common part with the said 1st Embodiment, detailed description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on a different part from the said 1st Embodiment.

図５に示すように、加速度検出デバイス３は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１と、加速度検出器１を収容するパッケージ２０と、を備えている。
パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状のリッド２２と、を有し、略直方体形状に形成されている。
パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。
リッド２２には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。 As shown in FIG. 5, the acceleration detection device 3 includes the acceleration detector 1 described in the first embodiment and a package 20 that houses the acceleration detector 1.
The package 20 includes a package base 21 having a substantially rectangular planar shape and a recess, and a lid 22 having a substantially rectangular planar shape covering the recess of the package base 21 and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. Yes.
The package base 21 is made of an aluminum oxide sintered body, crystal, glass, silicon, or the like formed by laminating and firing ceramic green sheets.
The lid 22 is made of the same material as the package base 21 or a metal such as Kovar, 42 alloy, or stainless steel.

パッケージベース２１には、内底面（凹部の内側の底面）２３の外周部分から凹部の内壁に沿って突出した２箇所の段差部２３ａに、内部端子２４，２５が設けられている。
内部端子２４，２５は、加速度検出器１の支持部１４に設けられた外部接続端子１４ｄ，１４ｅと対向する位置（平面視において重なる位置）に設けられている。なお、前述したように、外部接続端子１４ｄは、ベース部１０の接続端子１０ｃと接続され、外部接続端子１４ｅは、ベース部１０の接続端子１０ｄと接続されている。 The package base 21 is provided with internal terminals 24 and 25 at two step portions 23a protruding from the outer peripheral portion of the inner bottom surface (the bottom surface inside the recess) along the inner wall of the recess.
The internal terminals 24 and 25 are provided at positions facing the external connection terminals 14d and 14e provided on the support portion 14 of the acceleration detector 1 (positions overlapping in plan view). As described above, the external connection terminal 14d is connected to the connection terminal 10c of the base portion 10, and the external connection terminal 14e is connected to the connection terminal 10d of the base portion 10.

パッケージベース２１の外底面（内底面２３の反対側の面、外側の底面）２６には、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる一対の外部端子２７，２８が形成されている。
外部端子２７，２８は、図示しない内部配線によって内部端子２４，２５と接続されている。例えば、外部端子２７は、内部端子２４と接続され、外部端子２８は、内部端子２５と接続されている。
内部端子２４，２５及び外部端子２７，２８は、Ｗ、Ｍｏなどのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。 A pair of external terminals 27 and 28 used for mounting on an external member such as an electronic device are formed on the outer bottom surface (the surface opposite to the inner bottom surface 23, the outer bottom surface) 26 of the package base 21. .
The external terminals 27 and 28 are connected to the internal terminals 24 and 25 by internal wiring (not shown). For example, the external terminal 27 is connected to the internal terminal 24, and the external terminal 28 is connected to the internal terminal 25.
The internal terminals 24 and 25 and the external terminals 27 and 28 are made of a metal film in which films such as Ni and Au are laminated on a metallized layer such as W and Mo by a method such as plating.

パッケージベース２１には、凹部の底部にパッケージ２０の内部を封止する封止部２９が設けられている。
封止部２９は、パッケージベース２１に形成された、外底面２６側の孔径が内底面２３側の孔径より大きい段付きの貫通孔２９ａに、Ａｕ／Ｇｅ合金、ハンダなどからなる封止材２９ｂを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ２０の内部を気密に封止する構成となっている。 The package base 21 is provided with a sealing portion 29 that seals the inside of the package 20 at the bottom of the recess.
The sealing portion 29 is formed in a stepped through hole 29a formed in the package base 21 and having a hole diameter on the outer bottom surface 26 side larger than that on the inner bottom surface 23 side, and a sealing material 29b made of Au / Ge alloy, solder, or the like. The inside of the package 20 is hermetically sealed by charging and solidifying after heating and melting.

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１の支持部１４の外部接続端子１４ｄ，１４ｅ及び他の２箇所の固定部分が、接着剤３０を介して、パッケージベース２１の段差部２３ａに固定されている。
接着剤３０には、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤（例えば、シリコーン系導電性接着剤）が用いられている。これにより、加速度検出デバイス３は、加速度検出器１の外部接続端子１４ｄ，１４ｅと内部端子２４，２５とが電気的に接続される。
なお、外部接続端子１４ｄ，１４ｅ以外の他の２箇所の固定部分には、金属フィラーなどの導電性物質を含まない接着剤（例えば、シリコーン系接着剤）を用いてもよい。 In the acceleration detection device 3, the external connection terminals 14 d and 14 e of the support portion 14 of the acceleration detector 1 and the other two fixed portions are fixed to the step portion 23 a of the package base 21 through the adhesive 30. .
For the adhesive 30, for example, a conductive adhesive (for example, a silicone-based conductive adhesive) mixed with a conductive substance such as a metal filler is used. Thereby, in the acceleration detection device 3, the external connection terminals 14d and 14e of the acceleration detector 1 and the internal terminals 24 and 25 are electrically connected.
Note that an adhesive that does not contain a conductive substance such as a metal filler (for example, a silicone-based adhesive) may be used for the other two fixed portions other than the external connection terminals 14d and 14e.

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１がパッケージベース２１の内部端子２４，２５と接続された状態で、パッケージベース２１の凹部がリッド２２により覆われ、パッケージベース２１とリッド２２とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２２ａで接合される。
加速度検出デバイス３は、リッド２２の接合後、パッケージ２０の内部が減圧された状態（真空度の高い状態）で、封止部２９の貫通孔２９ａに封止材２９ｂが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ２０の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ２０の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。
なお、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。 In the acceleration detection device 3, the recess of the package base 21 is covered with the lid 22 in a state where the acceleration detector 1 is connected to the internal terminals 24 and 25 of the package base 21, and the package base 21 and the lid 22 are seamed. It joins by joining members 22a, such as low melting glass and an adhesive agent.
In the acceleration detecting device 3, after the lid 22 is joined, the sealing material 29b is put into the through hole 29a of the sealing portion 29 in a state where the inside of the package 20 is decompressed (high vacuum state), and after heating and melting By solidifying, the inside of the package 20 is hermetically sealed.
Note that the inside of the package 20 may be filled with an inert gas such as nitrogen, helium, or argon.
The package may have a recess in both the package base and the lid.

加速度検出デバイス３は、外部端子２７，２８、内部端子２４，２５、外部接続端子１４ｄ，１４ｅ、接続端子１０ｃ，１０ｄなどを経由して加速度検出器１の励振電極に印加される駆動信号によって、加速度検出器１の振動梁１３ａ，１３ｂが所定の周波数で発振（共振）する。
そして、加速度検出デバイス３は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出器１の共振周波数を出力信号として出力する。 The acceleration detection device 3 is driven by a drive signal applied to the excitation electrode of the acceleration detector 1 via the external terminals 27 and 28, the internal terminals 24 and 25, the external connection terminals 14d and 14e, the connection terminals 10c and 10d, and the like. The vibrating beams 13a and 13b of the acceleration detector 1 oscillate (resonate) at a predetermined frequency.
And the acceleration detection device 3 outputs the resonance frequency of the acceleration detector 1 which changes according to the applied acceleration as an output signal.

上述したように、第２実施形態の加速度検出デバイス３は、加速度検出器１を備えたことから、上記第１実施形態に記載された効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。
なお、加速度検出デバイス３は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を備えた場合においても、上記と同様の効果及び加速度検出器２の特有の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。 As described above, since the acceleration detection device 3 of the second embodiment includes the acceleration detector 1, it is possible to provide an acceleration detection device that exhibits the effects described in the first embodiment.
Note that the acceleration detection device 3 can provide an acceleration detection device that exhibits the same effects as described above and the unique effects of the acceleration detector 2 even when the acceleration detector 2 is provided instead of the acceleration detector 1. it can.

（第３実施形態）
次に、上記実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた電子機器としての傾斜計について説明する。
図６は、第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図である。図７は、傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図である。
図６、図７に示すように、傾斜計４は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１を、傾斜センサーモジュール５の傾斜センサーとして備えている。
図７に示すように、傾斜センサーモジュール５は、ベース基板２０１と、断熱基板２０２と、基台２０３と、加速度検出器１を備えた加速度検出デバイス３と、発振器２０４と、キャップ２０５と、を備え、傾斜計４の内部に収容されている。 (Third embodiment)
Next, an inclinometer as an electronic apparatus provided with the acceleration detector described in the embodiment and the modification will be described.
FIG. 6 is a schematic perspective view showing the inclinometer of the third embodiment. FIG. 7 is a partially developed schematic perspective view showing a schematic configuration of the tilt sensor module housed in the inclinometer.
As shown in FIGS. 6 and 7, the inclinometer 4 includes the acceleration detector 1 described in the first embodiment as a tilt sensor of the tilt sensor module 5.
As shown in FIG. 7, the inclination sensor module 5 includes a base substrate 201, a heat insulating substrate 202, a base 203, an acceleration detection device 3 including the acceleration detector 1, an oscillator 204, and a cap 205. And is accommodated inside the inclinometer 4.

矩形平板状のベース基板２０１には、例えば、ＦＲ−４（ガラス布入りエポキシ樹脂基板）が用いられ、搭載された回路素子２０１ａによって、加速度検出デバイス３や発振器２０４に関わる周辺回路が構成されている。また、ベース基板２０１には、外部（傾斜計本体）との入出力のための端子２０１ｂや、傾斜計本体への取り付け孔２０１ｃが形成されている。
矩形平板状の断熱基板２０２は、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＬＣＰ（液晶ポリマー）などの低熱伝導率で耐熱性、電気特性、寸法安定性などに優れた樹脂が用いられ、厚み方向に貫通して固定されている細いピン状（棒状）の複数の接続ピン２０２ａによって、ベース基板２０１に隙間を有して接続されている。
基台２０３は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金などの金属を用いて、削り出しまたは板金加工により略直方体形状に形成され、断熱基板２０２に、例えば、接着剤などで固定されている。なお、基台２０３には、上記の樹脂や酸化アルミニウム質焼結体（セラミック類）などを用いてもよい。 For example, FR-4 (epoxy resin substrate with glass cloth) is used for the rectangular flat base substrate 201, and peripheral circuits related to the acceleration detection device 3 and the oscillator 204 are configured by the mounted circuit elements 201a. Yes. Further, the base substrate 201 is formed with a terminal 201b for input / output with the outside (inclinometer body) and a mounting hole 201c to the inclinometer body.
The rectangular flat heat insulating substrate 202 is made of a resin having a low thermal conductivity such as PBT (polybutylene terephthalate) or LCP (liquid crystal polymer) and having excellent heat resistance, electrical characteristics, dimensional stability, etc., and penetrates in the thickness direction. A plurality of thin pin-shaped (pin-shaped) connection pins 202 a are connected to the base substrate 201 with a gap.
The base 203 is formed into a substantially rectangular parallelepiped shape by cutting or sheet metal processing using a metal such as aluminum, aluminum alloy, copper, or copper alloy, and is fixed to the heat insulating substrate 202 with, for example, an adhesive. The base 203 may be made of the above resin or aluminum oxide sintered body (ceramics).

加速度検出デバイス３及び発振器２０４は、基台２０３の側面（断熱基板２０２に対して直立する面）に、例えば、導電性接着剤などによって固定されている。２つの加速度検出デバイス３は、基台２０３における隣り合う直角に接続された側面にそれぞれ固定されている。これにより、傾斜センサーモジュール５は、互いに直交する２軸に対する傾斜を検出することができる。
発振器２０４は、基台２０３における一方の加速度検出デバイス３が固定された側面と対向する側面（換言すれば、他方の加速度検出デバイス３が固定された側面と隣り合う側面）に固定されている。
加速度検出デバイス３及び発振器２０４は、リード線２０６によって断熱基板２０２の接続ピン２０２ａに接続され、接続ピン２０２ａを経由してベース基板２０１に接続されている。 The acceleration detection device 3 and the oscillator 204 are fixed to the side surface of the base 203 (the surface standing upright with respect to the heat insulating substrate 202) with, for example, a conductive adhesive. The two acceleration detection devices 3 are respectively fixed to side surfaces of the base 203 that are connected at right angles to each other. Thereby, the inclination sensor module 5 can detect the inclination with respect to two axes orthogonal to each other.
The oscillator 204 is fixed to the side surface of the base 203 that faces the side surface to which one acceleration detection device 3 is fixed (in other words, the side surface adjacent to the side surface to which the other acceleration detection device 3 is fixed).
The acceleration detection device 3 and the oscillator 204 are connected to the connection pins 202a of the heat insulating substrate 202 by lead wires 206, and are connected to the base substrate 201 via the connection pins 202a.

なお、一方の加速度検出デバイス３の近傍には、周辺の温度を検知するサーミスター２０７（温度センサー）が備えられている。サーミスター２０７は、周辺の温度を検知して、加速度検出デバイス３及び発振器２０４の周波数特性の温度補償（温度補正）をする際の、温度検知手段として設けられている。
サーミスター２０７は、上記加速度検出デバイス３及び発振器２０４と同様に、リード線２０６によって断熱基板２０２の接続ピン２０２ａに接続され、接続ピン２０２ａを経由してベース基板２０１に接続されている。
発振器２０４は、加速度検出時における加速度検出デバイス３（加速度検出器１）の共振周波数と比較する比較回路の基準周波数（基準共振周波数）発振源として備えられている。 A thermistor 207 (temperature sensor) that detects the ambient temperature is provided in the vicinity of one acceleration detection device 3. The thermistor 207 is provided as a temperature detection means for detecting the ambient temperature and performing temperature compensation (temperature correction) of the frequency characteristics of the acceleration detection device 3 and the oscillator 204.
Similar to the acceleration detection device 3 and the oscillator 204, the thermistor 207 is connected to the connection pin 202a of the heat insulating substrate 202 by a lead wire 206, and is connected to the base substrate 201 via the connection pin 202a.
The oscillator 204 is provided as a reference frequency (reference resonance frequency) oscillation source of a comparison circuit that compares with the resonance frequency of the acceleration detection device 3 (acceleration detector 1) at the time of acceleration detection.

ベース基板２０１側に開口部を備えた箱状のキャップ２０５には、断熱基板２０２と同様に低熱伝導率の樹脂（ＰＢＴ、ＡＢＳ、ＰＣなど）が用いられ、ベース基板２０１上の断熱基板２０２、基台２０３、加速度検出デバイス３、サーミスター２０７、発振器２０４、回路素子２０１ａなどを覆うようにベース基板２０１に固定されている。   For the box-shaped cap 205 having an opening on the base substrate 201 side, a low thermal conductivity resin (PBT, ABS, PC, etc.) is used similarly to the heat insulating substrate 202, and the heat insulating substrate 202 on the base substrate 201, It is fixed to the base substrate 201 so as to cover the base 203, the acceleration detection device 3, the thermistor 207, the oscillator 204, the circuit element 201a, and the like.

これらの構成により、傾斜センサーモジュール５は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス３への到達を遅延させることができる。詳述すると、ベース基板２０１からの接触による熱伝導は、細いピン状の接続ピン２０２ａや低熱伝導率の樹脂が用いられた断熱基板２０２により遅延され、加速度検出デバイス３の周辺の大気の対流や、外部部材の放射熱（輻射熱）による熱伝導は、低熱伝導率の樹脂が用いられたキャップ２０５による外気及び放射熱源からの遮断によって遅延される。
このように、傾斜センサーモジュール５は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス３への到達を遅延させることで、加速度検出デバイス３の温度変化をなだらかにすることが可能となることから、加速度検出デバイス３（加速度検出器１）の、例えば、加速度検出精度などの加速度検出特性を良好な状態に維持することができる。 With these configurations, the inclination sensor module 5 can delay the arrival of the ambient temperature change to the acceleration detection device 3. More specifically, the heat conduction due to the contact from the base substrate 201 is delayed by the thin pin-like connection pins 202a and the heat insulating substrate 202 using a low thermal conductivity resin, and the convection of the atmosphere around the acceleration detection device 3 The heat conduction by the radiant heat (radiant heat) of the external member is delayed by the shielding from the outside air and the radiant heat source by the cap 205 using a resin having a low thermal conductivity.
As described above, the inclination sensor module 5 can moderate the temperature change of the acceleration detection device 3 by delaying the arrival of the ambient temperature change to the acceleration detection device 3. 3 (acceleration detector 1), for example, acceleration detection characteristics such as acceleration detection accuracy can be maintained in a good state.

図６に戻って、傾斜計４は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計４は、外部からケーブル４０を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって傾斜センサーモジュール５（加速度検出器１）に駆動信号が送られている。
そして、傾斜計４は、図示しない検出回路によって、傾斜センサーモジュール５（加速度検出器１）に加わる重力加速度に応じて変化する共振周波数から、傾斜計４の姿勢の変化（傾斜計４に対する重力加速度が加わる方向の変化）を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線またはケーブル４０などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計４は、日常の管理や異常の早期発見に貢献することができる。
なお、傾斜計４は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を傾斜センサーとして備えていてもよい。 Returning to FIG. 6, the inclinometer 4 is installed at a measurement site such as a mountain slope, a road slope, or a retaining wall of a bank. The inclinometer 4 is supplied with power from the outside via a cable 40 or has a built-in power supply, and a drive signal is sent to the tilt sensor module 5 (acceleration detector 1) by a drive circuit (not shown).
The inclinometer 4 detects a change in the attitude of the inclinometer 4 (gravitational acceleration with respect to the inclinometer 4) from a resonance frequency that changes according to gravitational acceleration applied to the inclination sensor module 5 (acceleration detector 1) by a detection circuit (not shown). Change in the direction in which the data is added), converted into an angle, and data is transferred to the base station by radio or cable 40, for example. Thereby, the inclinometer 4 can contribute to daily management and early detection of abnormality.
Note that the inclinometer 4 may include the acceleration detector 2 as an inclination sensor instead of the acceleration detector 1.

上述した加速度検出器１，２は、上記傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。   The above-described acceleration detectors 1 and 2 are not limited to the inclinometer, and can be suitably used as an acceleration sensor such as a seismometer, a navigation device, an attitude control device, a game controller, a mobile phone, an inclination sensor, etc. Even in this case, it is possible to provide an electronic device that exhibits the effects described in the embodiment and the modification.

なお、上記各実施形態及び変形例において、ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。
また、加速度検出素子１３の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料を被膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。 In each of the above-described embodiments and modifications, the material of the base portion 10, the joint portion 11, the movable portion 12, and the support portion 14 is not limited to quartz, and may be a semiconductor material such as glass or silicon. Good.
The base material of the acceleration detecting element 13 is not limited to quartz, but lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium tetraborate (Li 2 B 4 O 7 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), titanate Piezoelectric materials such as lead zirconate (PZT), zinc oxide (ZnO) and aluminum nitride (AlN), or semiconductor materials such as silicon provided with a piezoelectric material such as zinc oxide (ZnO) and aluminum nitride (AlN) as a coating There may be.

以上、物理量検出器として加速度検出器を例に挙げて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されず、加速度検出結果から力、速度、距離などを検出する物理量検出器にも適用できる。   The present invention has been described above by taking the acceleration detector as an example of the physical quantity detector. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to a physical quantity detector that detects force, speed, distance, and the like from the acceleration detection result. .

１…物理量検出器としての加速度検出器、１０…ベース部、１０ａ，１０ｂ…主面、１０ｃ，１０ｄ…接続端子、１１…継ぎ手部、１１ａ…溝部、１２…可動部、１２ａ，１２ｂ…主面、１３…物理量検出素子としての加速度検出素子、１３ａ，１３ｂ…振動梁、１３ｃ…加速度検出部、１３ｄ，１３ｅ…基部、１３ｆ，１３ｇ…引き出し電極、１４…支持部、１４ａ，１４ｂ…主面、１４ｃ…肉薄部、１４ｄ，１４ｅ…外部接続端子、１５…質量部、１６…接合材、１７…接合部材、１８…導電性接着剤。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Acceleration detector as a physical quantity detector, 10 ... Base part, 10a, 10b ... Main surface, 10c, 10d ... Connection terminal, 11 ... Joint part, 11a ... Groove part, 12 ... Movable part, 12a, 12b ... Main surface , 13: Acceleration detection element as a physical quantity detection element, 13a, 13b ... vibrating beam, 13c ... acceleration detection unit, 13d, 13e ... base, 13f, 13g ... extraction electrode, 14 ... support part, 14a, 14b ... main surface, 14c ... Thin part, 14d, 14e ... External connection terminal, 15 ... Mass part, 16 ... Joining material, 17 ... Joining member, 18 ... Conductive adhesive.

Claims (7)

ベース部と、
該ベース部に継ぎ手部を介して接続された板状の可動部と、
前記継ぎ手部を跨いで前記ベース部と前記可動部とに架け渡された物理量検出素子と、
前記可動部の両主面のうち少なくとも一方の前記主面に配置された質量部と、
平面視において、前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位ならびに平面視において、前記質量部と重なる領域を有した支持部と、
を備え、
前記可動部が前記主面と交差する第１方向に加わる力に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記第１方向に変位可能なように、前記領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間を備え、
前記支持部には、肉厚部と、前記肉厚部よりも第１方向の厚さが薄い肉薄部とを備えたことを特徴とする物理量検出器。 A base part;
A plate-like movable part connected to the base part via a joint part;
A physical quantity detection element straddling the base part and the movable part across the joint part;
A mass portion arranged on at least one of the principal surfaces of the movable portion;
In plan view, a portion extending along the movable portion from the base portion and a support portion having a region overlapping the mass portion in plan view;
With
In the region, the mass portion and the support portion are arranged so that the movable portion can be displaced in the first direction with the joint portion as a fulcrum according to a force applied in a first direction intersecting the main surface. With a gap between
The physical quantity detector, wherein the support part includes a thick part and a thin part having a thickness in the first direction thinner than the thick part. 請求項１に記載の物理量検出器において、前記肉薄部は、前記第１方向に沿って両方向から括れていることを特徴とする物理量検出器。   The physical quantity detector according to claim 1, wherein the thin portion is bundled from both directions along the first direction. 請求項１または請求項２に記載の物理量検出器において、前記肉薄部を、前記部位に備えたことを特徴とする物理量検出器。   The physical quantity detector according to claim 1, wherein the thin portion is provided in the part. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の物理量検出器において、前記肉薄部は、前記領域を含むことを特徴とする物理量検出器。   4. The physical quantity detector according to claim 1, wherein the thin portion includes the region. 5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物理量検出器において、前記可動部は平面視において、前記支持部と前記ベース部とによって囲まれており、
前記支持部における前記可動部の一方側にある前記部位と他方側にある前記部位とのそれぞれに、前記肉薄部を備えたことを特徴とする物理量検出器。 The physical quantity detector according to any one of claims 1 to 4, wherein the movable part is surrounded by the support part and the base part in plan view,
A physical quantity detector comprising the thin portion at each of the part on one side of the movable part and the part on the other side of the support part in the support part. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物理量検出器と、
前記物理量検出器を収容するパッケージと、
を備えたことを特徴とする物理量検出デバイス。 A physical quantity detector according to any one of claims 1 to 5,
A package containing the physical quantity detector;
A physical quantity detection device comprising: 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物理量検出器を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the physical quantity detector according to any one of claims 1 to 6.
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