JP2013068782A

JP2013068782A - 画像形成方法

Info

Publication number: JP2013068782A
Application number: JP2011207022A
Authority: JP
Inventors: Yosuke Iwasaki; 陽介岩崎; Katsuhisa Yamazaki; 克久山▲崎▼; Toru Takahashi; 徹高橋; Daisuke Tsujimoto; 大祐辻本; Shuhei Moribe; 修平森部; Masami Fujimoto; 雅己藤本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2011-09-22
Filing date: 2011-09-22
Publication date: 2013-04-18

Abstract

【課題】更なる高速化、高画質化を目指した電子写真装置において、長時間使用してもワイヤー汚染が問題にならず、同時に画像流れが問題とならない画像形成方法を提供すること。
【解決手段】静電荷像担持体を帯電する帯電工程を有する画像形成方法であって、帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、静電荷像担持体が、少なくとも光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、トナーはトナー粒子とシリカ微粒子とを少なくとも有し、シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が特定の範囲であることを特徴とする画像形成方法。
【選択図】なし

Description

本発明は、電子写真における静電荷像を顕在化するための画像形成方法に関する。

従来、電子写真法における画像形成方法としては、静電荷像担持体として感光体を使用し、一次帯電器を用いたコロナ帯電の如き帯電方法によって感光体表面を一様に帯電させる。その後、画像露光して感光体表面に静電荷像を形成し、ジャンピング現像法または磁気ブラシ法の如き現像方法により該静電荷像を現像することによって感光体表面にトナー画像を形成する。この後、必要に応じて転写前帯電器を用いて転写前処理を施し（通常はＤＣもしくはＡＣによるコロナの付与、または光除電などを組み合わせたりする）、トナー画像を転写材上に転写帯電器により転写する。その後、定着装置に送ってトナー像を定着し画像が得られる。一方、感光体上の転写残りのトナーをクリーニング装置により除去し、次の画像形成に備える方法が一般的な方法として知られている。
近年では複写機及びプリンターの如き画像形成方法が広く普及するに従い、画像形成方法並びにトナーに要求される性能もより高度になってきており、更なる高画質化、高速化、高耐久安定性、高信頼性、省電力化が求められている。
高耐久安定性、高信頼性が求められる高速複写機においては、水素化アモルファス炭化珪素（以下、「ａ−ＳｉＣ」と称する。）感光体が好ましく用いられる。ａ−ＳｉＣ感光体は可視光領域の全般にわたって高い感度を有し、表面硬度が高くて耐久性、耐熱性に優れるという長所を持っている。それ故、繰り返し使用による劣化もほとんど認められないことから、長期にわたり鮮明な静電荷像を形成できる感光体として期待されている。
このａ−ＳｉＣ感光体には、高速でも感光体を均一に帯電できるということから、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器による、コロナ帯電方式が好ましく用いられる。
しかしながら、長時間の使用によりコロナ帯電器のワイヤーが汚染し、縦スジ等の画質を悪化させる問題が発生することがあった。
ワイヤー汚染の原因としては以下のような理由が言われている。
疎水化処理を施されたシリカ微粒子は、疎水化処理時に凝集物を生じ易い。この凝集物は比表面積が小さく、トナーとの相互作用が弱くなるので、トナー粒子から離れ易く、シリカ微粒子の凝集物が単独で現像器から飛散し易い。
特許文献１では、シリコーンオイルの遊離率を１０乃至７０％にすることで優れた転写性を有するシリカ微粒子が提案されている。
また、特許文献２では、シリコーンオイル処理後に、アルキルシラザン化合物とカップリング処理をする二段処理を施し、分散性を向上したシリカ微粒子が提案されている。
しかしながら、いずれのシリカ微粒子を用いたトナーでも、高速化、現像器の大容量化を進めた複写機においては、トナーへかかるストレスは向上し、シリカ微粒子はより遊離しやすくなる。このトナーからのシリカ微粒子の遊離による複写機内への飛散によりコロナ帯電器のワイヤーを汚染し、縦スジ等の画質を悪化させる問題が発生することがあった。
一方、感光体においては、静電潜像がぼやけて出力されるために画像が滲んだり、画像欠落部が発生する「画像流れ」が発生しやすく、特にａ−ＳｉＣ感光体で顕著であることが知られている。画像流れの原因については、以下のように考えている。
像担持体表面を一様に帯電させる際に、周囲に存在している酸素がイオン化されることでオゾンが生成され、このオゾンが空気中の窒素と化合して放電生成物が生成される。この放電生成物が像担持体表面に付着することで表面抵抗の低下を招き、静電潜像を形成している電荷が像担持体表面に移動してしまう。この結果、静電潜像がぼやけて出力されるために画像が滲んだり、画像欠落部が発生する。
画像流れの問題は、特に高温高湿環境下で放置された場合に、放電生成物が雰囲気中の
水分と反応するために顕著に発生する。
感光体表面の水分と画像流れの関係については次のように考えられる。つまり、感光体に対する帯電工程や除電工程により感光体表面原子が酸化され感光体表面の親水性が高くなる、或いは、感光体周辺で発生する各種放電により生成された硝酸イオン等の放電生成物が感光体表面に吸着される。これが高湿環境下で大気中の水分を吸収する、等により感光体表面の抵抗低下が生じ、静電潜像電荷が保持できなくなる（つまり電荷が感光体表面を流れるように移動する）ことにより画像流れが発生すると考えられる。
この問題に対し、特許文献３では、放電生成物と水分との反応を防ぐために、画像形成装置に感光体を加熱するヒーターを搭載して感光体近傍の水分を蒸発させることで対応されてきた。しかしながら、高速化、省電力化を目指した複写機においては、ヒーターを除く必要があり、ヒーターを除くと画像流れの問題を解消できていなかった。
特許文献４では、原子密度を高めたａ−ＳｉＣ感光体とシリコーンオイルの固定化率を制御したシリカ微粒子を用いることでワイヤー汚染を抑制する手法が提案されている。しかし、この手法では省エネ化を進めた感光体ヒータレスの複写機においては、画像流れを同時に抑制できていなかった。
さらなる高速化、省電力化、高画質化を目指すには、ワイヤー汚染と画像流れを同時に解決する必要がある。しかしながら、上記従来技術では、ワイヤー汚染と画像流れという問題を同時に解決できていなかった。

特開２００２−１７４９２６号公報特開２００４−１６８５５９号公報特許第３５７７４５２号公報特開２０１１−０９０１２１号公報

本発明は上記問題点を解消した画像形成方法を提供するものである。すなわち、更なる高速化、高画質化を目指した電子写真装置において、長時間使用してもワイヤー汚染が問題にならず、同時に画像流れが問題とならない画像形成方法を提供するものである。

静電荷像担持体を帯電する帯電工程と、帯電された該静電荷像担持体を露光して静電荷像を形成する露光工程と、該静電荷像をトナーにより現像して該静電荷像担持体上にトナー像を形成する現像工程と、該静電荷像担持体上の該トナー像を中間転写体を介してまたは介さずに転写材に転写する転写工程とを有する画像形成方法であって、該帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、該静電荷像担持体が、光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該トナーは、結着樹脂と着色剤とを含有するトナー粒子と、シリカ微粒子とを有するトナーであり、該シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、該シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が９５．０質量％以上、９９．５質量％以下であることを特徴とする画像形成方法。

本発明によれば、更なる高速化、高画質化を目指した電子写真装置において、長時間使用してもワイヤー汚染が問題にならず、同時に画像流れが問題とならない画像形成方法を提供することができる。

本発明の感光体作製に用いられるプラズマＣＶＤ装置の一例の模式図

本発明の画像形成方法は、静電荷像担持体を帯電する帯電工程と、帯電された該静電荷像担持体を露光して静電荷像を形成する露光工程と、該静電荷像をトナーにより現像して該静電荷像担持体上にトナー像を形成する現像工程と、該静電荷像担持体上の該トナー像を中間転写体を介してまたは介さずに転写材に転写する転写工程とを有する画像形成方法であって、該帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、該静電荷像担持体が、光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該トナーは、結着樹脂と着色剤とを含有するトナー粒子と、シリカ微粒子とを有するトナーであり、該シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、該シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が９５．０質量％以上、９９．５質量％以下であることを特徴とする。
本発明者らは、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器とａ−ＳｉＣ感光体を有し、高速化を進めた電子写真装置において、帯電器のワイヤー汚染抑制と画像流れ抑制という２つの課題を解決する為に、外添に用いるシリカ微粒子に着目し検討を行った。
その結果、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施され、かつシリコーンオイルの炭素量基準の固定化率を制御したシリカ微粒子を用いることで上記２つの課題を同時に解決するに至った。
以下にその理由を述べる。
従来、ワイヤー汚染はトナーに外添されたシリカ微粒子が飛散するなどして引き起こされているものと考えられてきた。しかし、本発明者らは、シリカ微粒子に処理されたシリコーンオイルの方が揮発や飛散が起きやすいのではないかと考え、シリカ微粒子から遊離したシリコーンオイルに着目し検討を進めようとした。しかし、シリカ微粒子から遊離したシリコーンオイルは極微量なため、トナーからの分析が不可能であった。そこで、遊離したシリコーンオイル量と相関があるシリコーンオイルの固定化率に着目し、ワイヤー汚染の検討を行った。その結果、シリコーンオイルの固定化率とワイヤー汚染には相関があることを発見し、固定化率を高く制御することで、ワイヤー汚染が良化することを見出した。すなわち、シリカ微粒子からの遊離シリコーンオイル量を極微量に抑えることでワイヤー汚染が抑制されることを突き止めた。すなわち、飛散したシリカ微粒子がワイヤーを汚染していたわけではなく、シリカ微粒子から遊離したシリコーンオイルが飛散、揮発して、ワイヤーに到達することで、ワイヤー汚染が引き起こされていたと考えられる。
しかし、シリコーンオイルの固定化率を高く制御すると、画像流れの問題が生じた。
この課題に対し、鋭意検討した結果、シリコーンオイルの固定化率が低くなると画像流れが改善することを見出した。
本発明において、上記のような効果が得られる理由は必ずしも明確ではないが、シリコーンオイルの固定化率を低く制御した場合に画像流れが改善した理由を以下のように考えている。
シリコーンオイルは表面張力が小さいため、感光体上で薄膜として広がると考えられる。またシリコーンオイルは疎水性であるため、感光体上に形成されたシリコーンオイルの薄膜は、感光体への水の吸着を阻害する、よって、水と反応し形成される放電生成物を抑制できる。結果、画像流れを抑制できたと考えている。
従来のシリカ微粒子では、シリコーンオイルの固定化率を高く制御すればワイヤー汚染が改善するが、画像流れが悪化する。逆に、シリコーンオイルの固定化率を低くすれば画像流れは改善するがワイヤー汚染が悪化した。すなわち、ワイヤー汚染と画像流れを解決
する方法はトレードオフの関係にあるため、上記２つの課題を同時に解決することはできなかった。
しかし、本発明者らは、鋭意検討した結果、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であって、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率を９５．０質量％以上、９９．５質量％以下に制御したところ、ワイヤー汚染を抑制しつつ、画像流れの問題を同時に解決できることを見出した。
本発明において、上記のような効果が得られる理由は必ずしも明確ではないが、ワイヤー汚染を抑制しつつ、画像流れの問題を同時に解決できた理由を、以下のように考えている。
シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施された上にさらに表面処理される３段目のシリコーンオイルは、２段目に用いられた化合物表面との間で弱い物理結合を形成する。そのため、シリコーンオイルがシリカ微粒子から離れやすくなり、現像によってトナーに付着したシリカ微粒子と感光体とが接した場合、シリコーンオイルを感光体上に残す作用が強いと考えられる。従来のシリカ微粒子は１段処理であって、１段目にシリコーンオイル処理をしていたため、シリコーンオイルはシリカ微粒子原体と化学結合し、シリコーンオイルを感光体上に残す作用は小さかったと考えられる。
すなわち、シリカ微粒子に３段処理を施すことによって、高い固定化率であっても感光体にシリコーンオイルを残しやすく、画像流れに効果の高いシリカ微粒子が実現できたと考えられる。
この作用によって、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施され、かつシリコーンオイルの固定化率を制御したシリカ微粒子を用いることで、画像流れとワイヤー汚染の課題を同時に解決することができた。

［シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率の測定方法］
（炭素量測定）
酸素気流下、温度１１００℃で試料を燃焼させ、発生したＣＯ、ＣＯ_２量をＩＲの吸光度により測定して、試料中の炭素量を測定する。そして、シリコーンオイルの抽出前後での炭素量を比較して、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率を計算する。
以下に具体的手順を記す。
１．試料２ｇを円筒金型に入れプレスする。
２．プレスした試料０．１５ｇを精秤し、燃焼用ボードに乗せ、堀場製作所ＥＭＡ−１１０で測定する。
炭素量の測定は、以下のように、シリカ微粒子の表面処理の工程毎に測定用サンプルを採取し、実施する。
（１）シリカ微粒子原体に１段目のシリコーンオイル処理をしたシリカ微粒子（このときの炭素量をＣ１とする）
（２）１段目のシリコーンオイル処理後に、遊離シリコーンオイルを下記手法にて抽出したシリカ微粒子（このときの炭素量をＣ２とする）
（３）１段目のシリコーンオイル処理後に、２段目のシラン化合物および／またはシラザン化合物で表面処理をしたシリカ微粒子（このときの炭素量をＣ３とする）
（４）１段目のシリコーンオイル処理後に、２段目のシラン化合物および／またはシラザン化合物で表面処理をし、さらに３段目のシリコーンオイル処理をしたシリカ微粒子（このときの炭素量をＣ４とする）
（５）１段目のシリコーンオイル処理後に、２段目のシラン化合物および／またはシラザン化合物で表面処理をし、さらに３段目のシリコーンオイル処理をした後、遊離シリコーンオイルを抽出したシリカ微粒子（このときの炭素量をＣ５とする）
（遊離シリコーンオイルの抽出）
１．ビーカーにシリカ微粒子０．５ｇ、クロロホルム４０ｍｌを入れ、２時間撹拌する。２．撹拌を止めて、１２時間静置する。
３．サンプルをろ過して、クロロホルム４０ｍｌで３回洗浄する。
４．減圧乾燥によりシリカ微粒子からクロロホルムを除去する。
（固定化率を計算）
シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率は以下のように計算して求める。
シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率（質量％）
＝１００−｛（Ｃ４−Ｃ５）／（Ｃ１+Ｃ４−Ｃ３）｝×１００

本発明のシリカ微粒子を得るのに用いられるシリカ微粒子の原体としては、ケイ素ハロゲン化合物の蒸気相酸化により生成された乾式法またはヒュームドシリカと称される乾式シリカ、及び、水ガラス等から製造される湿式シリカの両方が挙げられる。本発明では表面及び内部にあるシラノール基が少なく、製造残渣のない乾式シリカの方が好ましい。
本発明に用いられるシリカ微粒子は高度に疏水化処理されている必要があり、疏水化処理するには、シリカ微粒子原体と化学吸着あるいは物理吸着する有機ケイ素化合物で処理する方法が挙げられる。本発明の効果を得るには、少なくともシリコーンオイルによる処理が必要である。

本発明のシリカ微粒子は、処理前のシリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が、２００ｍ^２／ｇ以上４００ｍ^２／ｇ以下であることが好ましい。
シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が上記の範囲より小さい場合、シリカ微粒子の表面積が小さくなりすぎ、遊離するシリコーンオイル量が増加しやすく、ワイヤー汚染が発生しやすくなる傾向にある。そのため、上記範囲内であるときワイヤー汚染をより改善することができる。
シリカ微粒子及びシリカ微粒子原体（以下、シリカ微粒子等と称する。）のＢＥＴ比表面積の測定は、ＪＩＳＺ８８３０（２００１年）に準じて行なう。具体的な測定方法は、以下の通りである。
測定装置としては、定容法によるガス吸着法を測定方式として採用している「自動比表面積・細孔分布測定装置ＴｒｉＳｔａｒ３０００（島津製作所社製）」を用いる。測定条件の設定および測定データの解析は、本装置に付属の専用ソフト「ＴｒｉＳｔａｒ３０００Ｖｅｒｓｉｏｎ４．００」を用いて行い、また装置には真空ポンプ、窒素ガス配管、ヘリウムガス配管が接続される。窒素ガスを吸着ガスとして用い、ＢＥＴ多点法により算出した値を本発明におけるＢＥＴ比表面積とする。
尚、ＢＥＴ比表面積は以下のようにして算出する。
まず、シリカ微粒子等に窒素ガスを吸着させ、その時の試料セル内の平衡圧力Ｐ（Ｐａ）とシリカ微粒子等の窒素吸着量Ｖａ（モル・ｇ^−１）を測定する。そして、試料セル内の平衡圧力Ｐ（Ｐａ）を窒素の飽和蒸気圧Ｐｏ（Ｐａ）で除した値である相対圧Ｐｒを横軸とし、窒素吸着量Ｖａ（モル・ｇ^−１）を縦軸とした吸着等温線を得る。次いで、シリカ微粒子等の表面に単分子層を形成するのに必要な吸着量である単分子層吸着量Ｖｍ（モル・ｇ^−１）を、下記のＢＥＴ式を適用して求める。
Ｐｒ／Ｖａ（１−Ｐｒ）＝１／（Ｖｍ×Ｃ）＋（Ｃ−１）×Ｐｒ／（Ｖｍ×Ｃ）
（ここで、ＣはＢＥＴパラメーターであり、測定サンプル種、吸着ガス種、吸着温度により変動する変数である。）
ＢＥＴ式は、Ｘ軸をＰｒ、Ｙ軸をＰｒ／Ｖａ（１−Ｐｒ）とすると、傾きが（Ｃ−１）／（Ｖｍ×Ｃ）、切片が１／（Ｖｍ×Ｃ）の直線と解釈できる（この直線をＢＥＴプロットという）。
直線の傾き＝（Ｃ−１）／（Ｖｍ×Ｃ）
直線の切片＝１／（Ｖｍ×Ｃ）
Ｐｒの実測値とＰｒ／Ｖａ（１−Ｐｒ）の実測値をグラフ上にプロットして最小二乗法
により直線を引くと、その直線の傾きと切片の値が算出できる。これらの値を用いて上記の傾きと切片の連立方程式を解くと、ＶｍとＣが算出できる。
さらに、上記で算出したＶｍと窒素分子の分子占有断面積（０．１６２ｎｍ^２）から、下記の式に基づいて、シリカ微粒子等のＢＥＴ比表面積Ｓ（ｍ^２・ｇ^−１）を算出する。
Ｓ＝Ｖｍ×Ｎ×０．１６２×１０^−１８
（ここで、Ｎはアボガドロ数（モル^−１）である。）
本装置を用いた測定は、装置に付属の「ＴｒｉＳｔａｒ３０００取扱説明書Ｖ４．０」に従うが、具体的には、以下の手順で測定する。
充分に洗浄、乾燥した専用のガラス製試料セル（ステム直径３／８インチ、容積約５ｍｌ）の風袋を精秤する。そして、ロートを使ってこの試料セルの中に約０．１ｇのシリカ微粒子等を入れる。
シリカ微粒子等を入れた前記試料セルを真空ポンプと窒素ガス配管を接続した「前処理装置バキュプレップ０６１（島津製作所社製）」にセットし、２３℃にて真空脱気を約１０時間継続する。尚、真空脱気の際には、シリカ微粒子等が真空ポンプに吸引されないよう、バルブを調整しながら徐々に脱気する。セル内の圧力は脱気とともに徐々に下がり、最終的には約０．４Ｐａ（約３ミリトール）となる。真空脱気終了後、窒素ガスを徐々に注入して試料セル内を大気圧に戻し、試料セルを前処理装置から取り外す。そして、この試料セルの質量を精秤し、風袋との差からシリカ微粒子等の正確な質量を算出する。尚、この際に、試料セル内のシリカ微粒子等が大気中の水分等で汚染されないように、秤量中はゴム栓で試料セルに蓋をしておく。
次に、シリカ微粒子等が入った前記の試料セルのステム部に専用の「等温ジャケット」を取り付ける。そして、この試料セル内に専用のフィラーロッドを挿入し、前記装置の分析ポートに試料セルをセットする。尚、等温ジャケットとは、毛細管現象により液体窒素を一定レベルまで吸い上げることが可能な、内面が多孔性材料、外面が不浸透性材料で構成された筒状の部材である。
続いて、接続器具を含む試料セルのフリースペースの測定を行なう。フリースペースは、２３℃においてヘリウムガスを用いて試料セルの容積を測定し、続いて液体窒素で試料セルを冷却した後の試料セルの容積を、同様にヘリウムガスを用いて測定して、これらの容積の差から換算して算出する。また、窒素の飽和蒸気圧Ｐｏ（Ｐａ）は、装置に内蔵されたＰｏチューブを使用して、別途に自動で測定される。
次に、試料セル内の真空脱気を行った後、真空脱気を継続しながら試料セルを液体窒素で冷却する。その後、窒素ガスを試料セル内に段階的に導入してシリカ微粒子等に窒素分子を吸着させる。この際、平衡圧力Ｐ（Ｐａ）を随時計測することにより前記した吸着等温線が得られるので、この吸着等温線をＢＥＴプロットに変換する。尚、データを収集する相対圧Ｐｒのポイントは、０．０５、０．１０、０．１５、０．２０、０．２５、０．３０の合計６ポイントに設定する。得られた測定データに対して最小二乗法により直線を引き、その直線の傾きと切片からＶｍを算出する。さらに、このＶｍの値を用いて、前記したようにシリカ微粒子等のＢＥＴ比表面積を算出する。

本発明のシリカ微粒子を得るのに必要なシリコーンオイル処理の方法（１段目及び３段目）は、シリカ微粒子原体又はシリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施されたシリカ微粒子（単に、シリカ微粒子原体等ともいう）と、シリコーンオイルとをヘンシェルミキサーの如き混合機を用いて直接混合しても良いし、シリカ微粒子原体等へシリコーンオイルを噴射する方法によっても良い。あるいは適当な溶剤にシリコーンオイルを溶解あるいは分散せしめた後、シリカ微粒子原体等を混合し、溶剤を除去して作製しても良い。シリコーンオイルのシリカ微粒子原体等への最適な固定化率を達成する為に、加熱しながら処理することが好ましい。処理温度としては１５０℃以上３５０℃以下の範囲が好ましい。この処理温度範囲に設定することで、ムラなく均一にシリコーンオイル処理ができ、更にシリコーンオイルのシリカ微粒子原体等表面への固定化率を高めやすい。
シリコーンオイルとしては、ジメチルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイル等が使用できる。中でもジメチルシリコーンオイルが好ましく、且つ、シリコーンオイルの粘度は２５℃において、３０ｍｍ^２／ｓ以上３００ｍｍ^２／ｓ以下であることが好ましい。３０ｍｍ^２／ｓ以下では、シリカ微粒子原体等の表面に十分な量のシリコーンオイルを固定化しにくく、シリコーンオイルが遊離しやすい傾向にある。
また、シリコーンオイルの表面張力は非常に小さいことが知られている。粘度が小さいほど表面張力も下がるが、３０ｍｍ^２／ｓ以上の範囲であっても表面張力は十分小さく、十分な効果を有している。
本発明のシリカ微粒子は、１段目の表面処理に用いるシリコーンオイル量が、シリカ微粒子原体１００．０質量部に対して１０．０質量部以上、２５．０質量部以下であり、３段目の表面処理に用いるシリコーンオイル量が、シリカ微粒子原体１００．０質量部に対して０．５質量部以上、４．０質量部以下であることが、より優れた効果を得る観点から好ましい。
シリコーンオイル量が上記の範囲内であれば、シリカ微粒子原体表面を均一に覆い疎水性を高めた状態で、シラン化合物および／またはシラザン化合物上のシリコーンオイルの量を増やすことができる。その結果、ワイヤー汚染を良化しつつ、画像流れ抑制をより改善することができる。

本発明で用いられるシラン化合物としては、メトキシシラン、エトキシシラン、プロポキシシラン等のアルコキシシラン類、クロルシラン、ブロモシラン、ヨードシラン等のハロシラン類、ハイドロシラン類、アルキルシラン類、アリールシラン類、ビニルシラン類、アクリルシラン類、エポキシシラン類、シリル化合物類、シロキサン類、シリルウレア類、シリルアセトアミド類、及びこれらのシラン化合物類が有する異種の置換基を同時に有するシラン化合物類があげられる。これらのシラン化合物を用いることにより、流動性、転写性、帯電安定化が得られる。これらのシラン化合物は複数用いても良い。
具体例として、トリメチルシラン、トリメチルクロルシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジクロルシラン、メチルトリクロルシラン、アリルジメチルクロルシラン、アリルフェニルジクロルシラン、ベンジルジメチルクロルシラン、ブロムメチルジメチルクロルシラン、α−クロルエチルトリクロルシラン、β−クロルエチルトリクロルシラン、クロルメチルジメチルクロルシラン、トリオルガノシリルメルカプタン、トリメチルシリルメルカプタン、トリオルガノシリルアクリレート、ビニルジメチルアセトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ヘキサメチルジシロキサン、１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン、１，３−ジフェニルテトラメチルジシロキサン、及び１分子当り２から１２個のシロキサン単位を有し、末端に位置する単位のＳｉに水酸基を１つずつ有するジメチルポリシロキサン等がある。これらは１種或いは２種以上の混合物として用いても良い。
本発明で用いられるシラザン化合物は、分子中にＳｉ‐Ｎ結合を有する化合物の総称である。具体的には、ジメチルジシラザン、トリメチルジシラザン、テトラメチルジシラザン、ペンタメチルジシラザン、ヘキサメチルジシラザン、オクタメチルトリシラザン、ヘキサメチルシクロトリシラザン、テトラエチルテトラメチルシクロテトラシラザン、テトラフェニルジメチルジシラザン、ジプロピルテトラメチルジシラザン、ジブチルテトラメチルジシラザン、ジヘキシルテトラメチルジシラザン、ジオクチルテトラメチルジシラザン、ジフェニルテトラメチルジシラザン、オクタメチルシクロテトラシラザンなどが挙げられる。また、これらシラザン化合物を部分的にフッ素などで置換した、有機含フッ素シラザン化合物などを用いてもよい。特に本発明では、ヘキサメチルジシラザンが好ましく用いられる。
シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後に、シラン化合物および／またはシラザン化合物で処理する方法（２段目）には公知の技術が用いられる。例えば、シリコーンオイルで処理されたシリカ微粒子を処理槽に投入して、処理槽内を
撹拌翼の如き撹拌部材で撹拌混合しながら、シラン化合物および／またはシラザン化合物を所定量滴下或いは噴霧して充分に混合する。このとき、シラン化合物および／またはシラザン化合物をアルコールの如き溶媒で希釈して処理することもできる。混合分散した処理剤を含むシリカ微粒子を、窒素雰囲気中で処理温度１５０℃以上３５０℃以下に加熱し、０．５乃至５時間、撹拌しながら還流する。
好ましい製法としては、シリコーンオイルで処理されたシリカ微粒子を処理槽に投入し、処理するシラン化合物および／またはシラザン化合物の沸点以上、分解温度以下の温度に処理槽を保持する。ここに水蒸気を吹き込み、シリカ微粒子表面の水酸基がシラン化合物またはシラザン化合物と反応しやすい状態にしておく。さらにシラン化合物および／またはシラザン化合物を投入し、気相反応でシリカ微粒子表面を処理することが好ましい。その後、必要に応じて余剰の処理剤の如き余剰物を除去することも可能である。
また、シラン化合物および／またはシラザン化合物を処理する前に、解砕処理を行うことが均一な処理を行う上で好ましい。
これらシラン化合物および／またはシラザン化合物の好ましい処理量は、シリカ微粒子原体１００質量部に対して、シラン化合物および／またはシラザン化合物の総量として、２．０質量部以上３０．０質量部以下であることが好ましい。
一方、本発明のトナーは、トナー粒子１００．０質量部に対して０．５質量部以上、４．０質量部以下の上記シリカ微粒子を含有することが好ましい。
シリカ微粒子の含有量が上記の範囲より少ないと、トナーとして流動性が落ち、現像性に弊害を生じやすい。また、遊離するシリコーンオイル量も少なくなるため、画像流れも発生し易い傾向にある。上記の範囲より多いと、遊離するシリコーンオイル量が多くなる傾向にあり、ワイヤー汚染が発生し易くなる。

本発明のトナーに使用される結着樹脂としては、以下のものが挙げられる。ビニル系樹脂、スチレン系樹脂、スチレン系共重合樹脂、ポリエステル樹脂、ポリオール樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、フェノール樹脂、天然変性フェノール樹脂、天然樹脂変性マレイン酸樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリ酢酸ビニール、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、フラン樹脂、エポキシ樹脂、キシレン樹脂、ポリビニルブチラール、テルペン樹脂、クマロンインデン樹脂、石油系樹脂。中でも好ましく用いられる樹脂として、スチレン系共重合樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステル樹脂とビニル系樹脂が混合、または両者が一部反応した、ハイブリッド樹脂が挙げられる。
本発明においては、トナー粒子に対するシリカ微粒子の付着を制御する点で、過粉砕が起こりにくいポリエステル樹脂が好ましい。
本発明に用いられるポリエステル樹脂の成分は以下の通りである。
２価のアルコール成分としては、以下のものが挙げられる。エチレングリコール、プロピレングリコール、１、３−ブタンジオール、１、４−ブタンジオール、２、３−ブタンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、１、５−ペンタンジオール、１、６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、２−エチル−１、３−ヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール（ＣＨＤＭ）、水素化ビスフェノールＡ、式（１）で表されるビスフェノール及びその誘導体：および式（２）で示されるジオール類。

（式中、Ｒはエチレンまたはプロピレン基であり、ｘ、ｙはそれぞれ０以上の整数であり、かつ、ｘ＋ｙの平均値は０乃至１０である。）

これら中でも、トナー粒子の帯電制御及びガラス転移温度の維持において、ビスフェノール及びその誘導体が好ましい。
一方、２価の酸成分としては、以下のジカルボン酸又はその誘導体が挙げられる。フタル酸、テレフタル酸、イソフタル酸、無水フタル酸の如きベンゼンジカルボン酸類又はその無水物又はその低級アルキルエステル；コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、アゼライン酸の如きアルキルジカルボン酸類又はその無水物又はその低級アルキルエステル；ｎ−ドデセニルコハク酸、ｎ−ドデシルコハク酸の如きアルケニルコハク酸類もしくはアルキルコハク酸類、又はその無水物又はその低級アルキルエステル；フマル酸、マレイン酸、シトラコン酸、イタコン酸の如き不飽和ジカルボン酸類又はその無水物又はその低級アルキルエステル。特にテレフタル酸、イソフタル酸が好ましい。

本発明のトナーに用いられる着色剤としては、カーボンブラックやその他、従来知られているあらゆる顔料や染料、または磁性材料の一種又は二種以上を用いることができる。具体的には以下を例示することができる。
染料としては、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド１、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド４、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１、Ｃ．Ｉ．べーシックレッド１、Ｃ．Ｉ．モーダントレッド３０、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー１、Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー２、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１５、Ｃ．Ｉ．べーシックブルー３、Ｃ．Ｉ．べーシックブルー５、Ｃ．Ｉ．モーダントトブルー７、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン６、Ｃ．Ｉ．べーシックグリーン４、Ｃ．Ｉ．べーシックグリーン６等がある。顔料としては、黄鉛、カドミウムイエロー、ミネラルファストイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエローＧ、パーマネントイエローＮＣＧ、タートラジンレーキ、赤口黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ、ピラゾロンオレンジ、ベンジジンオレンジＧ、カドミウムレッド、パーマネントレッド４Ｒ、ウオッチングレッドカルシウム塩、エオシンレーキ、ブリリアントカーミン３Ｂ、マンガン紫、ファストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、ファーストスカイブルー、インダンスレンブルーＢＣ、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンＢ、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等がある。
本発明のトナーをフルカラー画像形成用トナーとして使用する場合には、次の様な着色剤が挙げられる。マゼンタ用着色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、３９、４０、４１、４８、４９、５０、５１、５２、５３、５４、５５、５７、５８、６０、６３、６４、６８、８１、８３、８７、８８、８９、９０、１１２、１１４、１２２、１２３、１６３、２０２、２０６、２０７、２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．バットレッド１、２、１０、１３、１５、２３、２９、３５等が挙げられる。
上記マゼンタ顔料を単独で使用しても構わないが、染料と顔料を併用してその鮮明度を向上させた方がフルカラー画像の画質の点からより好ましい。マゼンタ用染料としては、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド１、３、８、２３、２４、２５、２７、３０、４９、８１、８２、８３、８４、１００、１０９、１２１、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド９、Ｃ．Ｉ．ソ
ルベントバイオレット８、１３、１４、２１、２７、Ｃ．Ｉ．ディスパースバイオレット１などの油溶染料、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１、２、９、１２、１３、１４、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２７、２９、３２、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４０、Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１、３、７、１０、１４、１５、２１、２５、２６、２７、２８などの塩基性染料が挙げられる。
シアン用着色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー２、３、１５、１６、１７、Ｃ．Ｉ．バットブルー６、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー４５などである。
イエロー用着色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、２、３、４、５、６、７、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２３、３５、７３、８３、Ｃ．Ｉ．バットイエロー１、３、２０などが挙げられる。
着色剤は、結着樹脂１００．０質量部に対して、０．１質量部以上６０．０質量部以下が好ましく、より好ましくは０．５質量部以上５０．０質量部以下である。

本発明のトナーを磁性一成分トナーとして用いる場合、磁性材料としては、マグネタイト、マグヘマイト、フェライトなどの酸化鉄、及び他の金属酸化物を含む磁性酸化鉄；Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのような金属、あるいは、これらの金属とＡｌ、Ｃｏ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｓｂ、Ｂｅ、Ｂｆ、Ｃｄ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｓｅ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖのような金属との合金、及びこれらの混合物等が挙げられる。従来、四三酸化鉄（Ｆｅ_３Ｏ_４）、三二酸化鉄（γ−Ｆｅ_２Ｏ_３）、酸化鉄亜鉛（ＺｎＦｅ_２Ｏ_４）、酸化鉄イットリウム（Ｙ_３Ｆｅ_５Ｏ_１２）、酸化鉄カドミウム（Ｃｄ_３Ｆｅ_２Ｏ_４）、酸化鉄ガドリニウム（Ｇｄ_３Ｆｅ_５Ｏ_１２）、酸化鉄銅（ＣｕＦｅ_２Ｏ_４）、酸化鉄鉛（ＰｂＦｅ_１２Ｏ_１９）、酸化鉄ニッケル（ＮｉＦｅ_２Ｏ_４）、酸化鉄ネオジム（ＮｄＦｅ_２Ｏ_３）、酸化鉄バリウム（ＢａＦｅ_１２Ｏ_１９）、酸化鉄マグネシウム（ＭｇＦｅ_２Ｏ_４）、酸化鉄マンガン（ＭｎＦｅ_２Ｏ_４）、酸化鉄ランタン（ＬａＦｅＯ_３）、鉄粉（Ｆｅ）、コバルト粉（Ｃｏ）、ニッケル粉（Ｎｉ）等が知られている。特に好適な磁性材料は四三酸化鉄又は三二酸化鉄の微粉末である。また上述した磁性材料を単独で或いは２種以上の組合せで選択使用することもできる。
本発明のトナーは磁性トナーであっても非磁性トナーであっても良いが、高速機における耐久安定性などの点から磁性トナーであることが好ましい。
該磁性材料は、結着樹脂１００質量部に対して、１０質量部以上２００質量部以下添加するのが好ましい。

本発明においては、トナーに離型性を与えるために必要に応じて離型剤（ワックス）を用いることができる。該ワックスとしては、トナー粒子中での分散のしやすさ、離型性の高さから、低分子量ポリエチレン、低分子量ポリプロピレン、マイクロクリスタリンワックス、パラフィンワックスの如き炭化水素系ワックスが好ましく用いられる。必要に応じて一種または二種以上のワックスを、少量併用してもかまわない。例としては次のものが挙げられる。
酸化ポリエチレンワックスの如き脂肪族炭化水素系ワックスの酸化物、または、それらのブロック共重合物；カルナバワックス、サゾールワックス、モンタン酸エステルワックスの如き脂肪酸エステルを主成分とするワックス類；脱酸カルナバワックスの如き脂肪酸エステル類を一部または全部を脱酸化したもの。さらに、以下のものが挙げられる。パルミチン酸、ステアリン酸、モンタン酸の如き飽和直鎖脂肪酸類；ブラシジン酸、エレオステアリン酸、バリナリン酸の如き不飽和脂肪酸類；ステアリルアルコール、アラルキルアルコール、ベヘニルアルコール、カルナウビルアルコール、セリルアルコール、メリシルアルコールの如き飽和アルコール類；長鎖アルキルアルコール類；ソルビトールの如き多価アルコール類；リノール酸アミド、オレイン酸アミド、ラウリン酸アミドの如き脂肪酸アミド類；メチレンビスステアリン酸アミド、エチレンビスカプリン酸アミド、エチレンビスラウリン酸アミド、ヘキサメチレンビスステアリン酸アミドの如き飽和脂肪酸ビスアミド類；エチレンビスオレイン酸アミド、ヘキサメチレンビスオレイン酸アミド、Ｎ，Ｎ
’−ジオレイルアジピン酸アミド、Ｎ，Ｎ−ジオレイルセバシン酸アミドの如き不飽和脂肪酸アミド類；ｍ−キシレンビスステアリン酸アミド、Ｎ，Ｎ−ジステアリルイソフタル酸アミドの如き芳香族系ビスアミド類；ステアリン酸カルシウム、ラウリン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸マグネシウムの如き脂肪酸金属塩（一般に金属石けんといわれているもの）；脂肪族炭化水素系ワックスにスチレンやアクリル酸の如きビニル系モノマーを用いてグラフト化させたワックス類；ベヘニン酸モノグリセリドの如き脂肪酸と多価アルコールの部分エステル化物；植物性油脂の水素添加によって得られるヒドロキシル基を有するメチルエステル化合物。
使用できる具体的な例としては、以下のものが挙げられる。ビスコール（登録商標）３３０−Ｐ、５５０−Ｐ、６６０−Ｐ、ＴＳ−２００（三洋化成工業株式会社）；ハイワックス４００Ｐ、２００Ｐ、１００Ｐ、４１０Ｐ、４２０Ｐ、３２０Ｐ、２２０Ｐ、２１０Ｐ、１１０Ｐ（三井化学株式会社）；サゾールＨ１、Ｈ２、Ｃ８０、Ｃ１０５、Ｃ７７（サゾールワックス社）；ＨＮＰ−１、ＨＮＰ−３、ＨＮＰ−９、ＨＮＰ−１０、ＨＮＰ−１１、ＨＮＰ−１２（日本精蝋株式会社）、ユニリン（登録商標）３５０、４２５、５５０、７００、ユニシッド（登録商標）３５０、４２５、５５０、７００（東洋ペトロライト社）；木ろう、蜜ろう、ライスワックス、キャンデリラワックス、カルナバワックス（株式会社セラリカＮＯＤＡ）。
該離型剤（ワックス）を添加するタイミングは、トナーの製造中の溶融混練時において添加しても良いが結着樹脂の製造時であっても良く、既存の方法から適宜選ばれる。また、これらの離型剤は単独で使用しても併用しても良い。
該離型剤は結着樹脂１００質量部に対して、１質量部以上２０質量部以下添加することが好ましい。１質量部未満の場合は望まれる離型効果が十分に得られにくく、２０質量部を超える場合はトナー中での分散も悪く、静電荷像担持体へのトナー付着や、現像部材やクリーニング部材の表面汚染が起こりやすく、トナー画像が劣化し易い。

本発明のトナーには、その摩擦帯電性を安定化させるために電荷制御剤を用いることができる。電荷制御剤は、その種類や他のトナー粒子構成材料の物性によっても異なるが、一般に、トナー粒子中に結着樹脂１００質量部当たり０．１質量部以上１０．０質量部以下含まれることが好ましく、０．１質量部以上５．０質量部以下含まれることがより好ましい。このような電荷制御剤としては、トナーの種類や用途に応じて種々のものを一種又は二種以上用いることができる。
トナーを負帯電性に制御するものとしては、以下のものが挙げられる。有機金属錯体（モノアゾ金属錯体；アセチルアセトン金属錯体）；芳香族ヒドロキシカルボン酸又は芳香族ジカルボン酸の金属錯体又は金属塩。その他にも、トナーを負帯電性に制御するものとしては、芳香族モノ及びポリカルボン酸及びその金属塩や無水物；エステル類やビスフェノール等のフェノール誘導体が挙げられる。この中でも特に、安定な帯電性能が得られる芳香族ヒドロキシカルボン酸の金属錯体又は金属塩が好ましく用いられる。
また、電荷制御樹脂も用いることができ、上述の電荷制御剤と併用することもできる。

本発明のトナーには、必要に応じてシリカ微粒子以外の外部添加剤を併用して添加しても良い。このような外部添加剤としては、例えば、帯電補助剤、導電性付与剤、流動性付与剤、ケーキング防止剤、熱ローラ定着時の離型剤、滑剤、研磨剤等の働きをする樹脂微粒子や無機微粒子が挙げられる。
滑剤としては、ポリフッ化エチレン粉末、ステアリン酸亜鉛粉末、ポリフッ化ビニリデン粉末が挙げられ、中でもポリフッ化ビニリデン粉末が好ましい。また研磨剤としては、酸化セリウム粉末、炭化ケイ素粉末、チタン酸ストロンチウム粉末が挙げられ、中でもチタン酸ストロンチウム粉末が好ましい。流動性付与剤としては、酸化チタン粉末、酸化アルミニウム粉末が挙げられ、中でも疎水化処理したものが好ましい。導電性付与剤としては、カーボンブラック粉末、酸化亜鉛粉末、酸化アンチモン粉末が挙げられる。
またさらに、逆極性の白色微粒子及び黒色微粒子を現像性向上剤として少量用いること
もできる。

本発明のトナーを作製するには、結着樹脂及び着色剤、並びに、必要に応じてその他の添加剤を、ヘンシェルミキサー又は、ボールミルの如き混合機により十分混合してから加熱ロール、ニーダー、エクストルーダーの如き熱混練機を用いて溶融混練し、冷却固化後粉砕及び分級を行い、トナー粒子を得、更にトナー粒子にシリカ微粒子をヘンシェルミキサーの如き混合機により十分混合し、本発明のトナーを得ることが出来る。
混合機としては、以下のものが挙げられる。ヘンシェルミキサー（三井鉱山社製）；スーパーミキサー（カワタ社製）；リボコーン（大川原製作所社製）；ナウターミキサー、タービュライザー、サイクロミックス（ホソカワミクロン社製）；スパイラルピンミキサー（太平洋機工社製）；レーディゲミキサー（マツボー社製）。
混練機としては、以下のものが挙げられる。ＫＲＣニーダー（栗本鉄工所社製）；ブス・コ・ニーダー（Ｂｕｓｓ社製）；ＴＥＭ型押し出し機（東芝機械社製）；ＴＥＸ二軸混練機（日本製鋼所社製）；ＰＣＭ混練機（池貝鉄工所社製）；三本ロールミル、ミキシングロールミル、ニーダー（井上製作所社製）；ニーデックス（三井鉱山社製）；ＭＳ式加圧ニーダー、ニダールーダー（森山製作所社製）；バンバリーミキサー（神戸製鋼所社製）。
粉砕機としては、以下のものが挙げられる。カウンタージェットミル、ミクロンジェット、イノマイザ（ホソカワミクロン社製）；ＩＤＳ型ミル、ＰＪＭジェット粉砕機（日本ニューマチック工業社製）；クロスジェットミル（栗本鉄工所社製）；ウルマックス（日曹エンジニアリング社製）；ＳＫジェット・オー・ミル（セイシン企業社製）；クリプトロン（川崎重工業社製）；ターボミル（ターボエ業社製）；スーパーローター（日清エンジニアリング社製）。
分級機としては、以下のものが挙げられる。クラッシール、マイクロンクラッシファイアー、スペディッククラシファイアー（セイシン企業社製）；ターボクラッシファイアー（日清エンジニアリング社製）；ミクロンセパレータ、ターボプレックス（ＡＴＰ）、ＴＳＰセパレータ（ホソカワミクロン社製）；エルボージェット（日鉄鉱業社製）、ディスパージョンセパレータ（日本ニューマチックエ業社製）；ＹＭマイクロカット（安川商事社製）。
粗粒子をふるい分けるために用いられる篩い装置としては、以下のものが挙げられる。ウルトラソニック（晃栄産業社製）；レゾナシーブ、ジャイロシフター（徳寿工作所社）；バイブラソニックシステム（ダルトン社製）；ソニクリーン（新東工業社製）；ターボスクリーナー（ターボエ業社製）；ミクロシフター（槙野産業社製）；円形振動篩い。

本発明に用いられる静電荷像担持体は、少なくとも光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、該感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和が６．６０×１０^２２原子／ｃｍ^３以上であることが好ましい。さらには、該感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和が６．８１×１０^２２原子／ｃｍ^３以上、であることがより好ましい。
なお、ａ−ＳｉＣ感光体では、１３．０×１０^２２原子／ｃｍ^３という原子密度が珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和の上限となる。
感光体の原子密度が上記の範囲であるとき、感光体の吸水性が低下する。従来のａ−ＳｉＣ感光体では、原子密度が低かったため表面層に−ＣＨ_３基が多く、この部分がコロナ放電に暴露されると、表面層のＳｉ−Ｃの結合が切断されやすかった。その結果−ＯＨ基が生じやすく、吸水性が高かった。しかし原子密度が高まることで、−ＣＨ_３基密度が減少し、その結果−ＯＨ基の生成が抑制され、吸水性を抑えることができるものと考えられる。
吸水性が抑えられることで感光体と疎水性のシリコーンオイルとの親和性が向上し、シリコーンオイルが広がりやすくなる。その結果画像流れをより抑制できると考えられる。
本発明に用いられる感光体は、従来の電子写真感光体の表面層に比べて、水素化アモル
ファス炭化珪素を構成している珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和を増加させて、原子密度の高い膜構造を備えた表面層を形成している。上述したように、原子密度の高い膜構造を備えた表面層を形成するには、反応容器に供給するガス量が少ない方が好ましく、高周波電力は高い方が好ましく、反応容器内の圧力が高い方が好ましく、さらに、基体の温度が高い方が好ましい。
まず、反応容器内に供給するガス量を減らし、かつ、高周波電力を上げることにより、ガスの分解を促進させることができる。これにより、珪素原子供給用のガスよりも分解しにくい炭素原子供給用のガスを効率良く分解することができる。その結果、水素原子の少ない活性種が生成され、基体上に形成した堆積膜中の水素原子が減少するため、原子密度の高い水素化アモルファス炭化珪素表面層が形成可能となる。
また、反応容器内の圧力を高めることで、反応容器内に供給された原料ガスの滞留時間が長くなる、また、原料ガスの分解により生じた水素原子により弱結合水素の引き抜き反応が生じる。その結果、珪素原子と炭素原子のネットワーク化が促進されると考えられる。
さらに、基体の温度を上げることにより、基体に到達した活性種の表面移動距離が長くなり、より安定した結合をつくることができる。その結果、水素化アモルファス炭化珪素表面層として、より構造的に安定した配置に各原子が結合できると考えられる。

次に本発明に用いられる感光体の製造方法の一例について説明する。図１は、本発明のａ−ＳｉＣ感光体を作製するための高周波電源を用いたＲＦプラズマＣＶＤ法による感光体の堆積装置の一例を模式的に示したものである。
この装置は大別すると、反応容器１１１０を有する堆積装置１１００、原料ガス供給装置１２００、および、反応容器１１１０内を減圧する為の排気装置（図示せず）から構成されている。
堆積装置１１００中の反応容器１１１０内にはアースに接続された導電性基体１１１２、導電性基体加熱用ヒーター１１１３、および、原料ガス導入管１１１４が設置されている。さらにカソード電極１１１１には高周波マッチングボックス１１１５を介して高周波電源１１２０が接続されている。
原料ガス供給装置１２００は、ＳｉＨ_４、Ｈ_２、ＣＨ_４、ＮＯ、Ｂ_２Ｈ_６等の原料ガスボンベ１２２１乃至１２２５、バルブ１２３１乃至１２３５、圧力調整器１２６１乃至１２６５、流入バルブ１２４１乃至１２４５、流出バルブ１２５１乃至１２５５およびマスフローコントローラ１２１１乃至１２１５から構成されている。各原料ガスを封入したガスのボンベは補助バルブ１２６０を介して反応容器１１１０内の原料ガス導入管１１１４に接続されている。
次にこの装置を使った堆積膜の形成方法について説明する。まず、あらかじめ脱脂洗浄した導電性基体１１１２を反応容器１１１０に受け台１１２３を介して設置する。次に、排気装置（図示せず）を運転し、反応容器１１１０内を排気する。真空計１１１９の表示を見ながら、反応容器１１１０内の圧力がたとえば１Ｐａ以下の所定の圧力になったところで、導電性基体加熱用ヒーター１１１３に電力を供給し、導電性基体１１１２を例えば５０℃から３５０℃の所望の温度に加熱する。このとき、原料ガス供給装置１２００より、Ａｒ、Ｈｅ等の不活性ガスを反応容器１１１０に供給して、不活性ガス雰囲気中で加熱を行うこともできる。
次に、原料ガス供給装置１２００より堆積膜形成に用いるガスを反応容器１１１０に供給する。すなわち、必要に応じバルブ１２３１乃至１２３５、流入バルブ１２４１乃至１２４５、流出バルブ１２５１乃至１２５５を開き、マスフローコントローラ１２１１乃至１２１５に流量設定を行う。各マスフローコントローラの流量が安定したところで、真空計１１１９の表示を見ながらメインバルブ１１１８を操作し、反応容器１１１０内の圧力が所望の圧力になるように調整する。所望の圧力が得られたところで高周波電源１１２０より高周波電力を印加すると同時に高周波マッチングボックス１１１５を操作し、反応容器１１１０内にプラズマ放電を生起する。その後、速やかに高周波電力を所望の電力に調
整し、堆積膜の形成を行う。
所定の堆積膜の形成が終わったところで、高周波電力の印加を停止し、バルブ１２３１乃至１２３５、流入バルブ１２４１乃至１２４５、流出バルブ１２５１乃至１２５５、および補助バルブ１２６０を閉じ、原料ガスの供給を終える。同時に、メインバルブ１１１８を全開にし、反応容器１１１０内を１Ｐａ以下の圧力まで排気する。
以上で、堆積層の形成を終えるが、複数の堆積層を形成する場合、再び上記の手順を繰り返してそれぞれの層を形成すれば良い。原料ガス流量や、圧力等を光導電層形成用の条件に一定の時間で変化させて、接合領域の形成を行うこともできる。
すべての堆積膜形成が終わったのち、メインバルブ１１１８を閉じ、反応容器１１１０内に不活性ガスを導入し大気圧に戻した後、導電性基体１１１２を取り出す。

感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和、並びに、炭素原子比及び水素原子比の測定方法について以下に示す。
まず、表１の電荷注入阻止層及び光導電層のみを積層させたリファレンス電子写真感光体を作製し、任意の周方向における長手方向の中央部を１５ｍｍ四方で切り出し、リファレンス試料を作製した。次に、電荷注入阻止層、光導電層及び表面層を積層させた電子写真感光体を同様に切り出し、測定用試料を作製した。リファレンス試料と測定用試料を分光エリプソメトリー（Ｊ．Ａ．Ｗｏｏｌｌａｍ社製：高速分光エリプソメトリーＭ−２０００）により測定し、表面層の膜厚を求めた。
分光エリプソメトリーの具体的な測定条件は、入射角：６０°、６５°、７０°、測定波長：１９５ｎｍから７００ｎｍ、ビーム径：１ｍｍ×２ｍｍである。
まず、リファレンス試料を分光エリプソメトリーにより各入射角で波長と振幅比Ψ及び位相差Δの関係を求めた。
次に、リファレンス試料の測定結果をリファレンスとして、測定用試料をリファレンス試料と同様に分光エリプソメトリーにより各入射角で波長と振幅比Ψ及び位相差Δの関係を求めた。
そして、電荷注入阻止層及び光導電層、表面層を順次積層し、最表面に表面層と空気層の体積比が８：２となる粗さ層を有する層構成を計算モデルとして用いて、解析ソフト：Ｊ．Ａ．ＷｏｏｌｌａｍＣｏ．，Ｉｎｃ．製ＷＶＡＳＥ３２により各入射角における波長とΨ及びΔの関係を計算により求めた。更に、この計算により求めた波長とΨ及びΔの関係と、測定用試料を測定して求めた波長とΨ及びΔの関係の平均二乗誤差が最小となるときの表面層の膜厚を算出し、この値を表面層の膜厚とした。
分光エリプソメトリーによる測定が終了した後、上記測定用試料をＲＢＳ（ラザフォード後方散乱法）（日新ハイボルテージ（株）製：後方散乱測定装置ＡＮ−２５００）により、ＲＢＳの測定面積における表面層中の珪素原子及び炭素原子の原子数を測定し、Ｃ／（Ｓｉ＋Ｃ）［炭素原子比］を求めた。次に、ＲＢＳの測定面積から求めた珪素原子及び炭素原子の原子数に対し、分光エリプソメトリーにより求めた表面層の膜厚を用いて、珪素原子の原子密度、炭素原子の原子密度及び珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和（Ｓｉ＋Ｃ原子密度）を求めた。
ＲＢＳと同時に、上記測定用試料をＨＦＳ（水素前方散乱法）（日新ハイボルテージ（株）製：後方散乱測定装置ＡＮ−２５００）により、ＨＦＳの測定面積における表面層中の水素原子の原子数を測定した。ＨＦＳの測定面積から求めた水素原子の原子数と、ＲＢＳの測定面積から求めた珪素原子の原子数及び炭素原子の原子数により、水素原子比［水素原子の原子数、珪素原子の原子数及び炭素原子の原子数の和に対する水素原子の原子数の比］を求めた。次に、ＨＦＳ測定面積から求めた水素原子数に対し、分光エリプソメトリーにより求めた表面層の膜厚を用いて、水素原子の原子密度を求めた。
ＲＢＳ及びＨＦＳの具体的な測定条件は、入射イオン：４Ｈｅ⁺、入射エネルギー：２
．３ＭｅＶ、入射角：７５°、試料電流：３５ｎＡ、入射ビーム経：１ｍｍであり、ＲＢＳの検出器は、散乱角：１６０°、アパーチャ径：８ｍｍ、ＨＦＳの検出器は、反跳角：３０°、アパーチャ径：８ｍｍ＋Ｓｌｉｔで測定を行った。

以上本発明の基本的な構成と特色について述べたが、以下実施例に基づいて具体的に本発明について説明する。しかしながら、本発明は何らこれに限定されるものではない。
なお、実施例及び比較例の部数及び％は特に断りが無い場合、すべて質量基準である。

［シリカ微粒子１の製造例］
撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）（ＢＥＴ比表面積３００ｍ^２／ｇ）を投入し、撹拌による流動化状態において、２５０℃に加熱した。
反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体１００質量部に対し、１７質量部のジメチルシリコーンオイル（２５℃における動粘度＝５０．０ｍｍ^２／ｓ）を噴霧し、３０分間撹拌を続けた。その後、撹拌しながら３００℃まで昇温させてさらに２時間撹拌し、最初のシリコーンオイル処理を終了した。反応終了後、解砕処理を行った。
その後、反応器の温度を２５０℃に下げ、シリカ微粒子原体１００質量部に対し、３０質量部のヘキサメチルジシラザンを水蒸気とともに内部に噴霧し、撹拌しながら流動化状態で処理を行なった。この反応を６０分間継続した後、反応を終了した。反応終了後、オートクレーブを脱圧し、窒素ガス気流による洗浄を行い、疎水性シリカから過剰のヘキサメチルジシラザン及び副生物を除去した。
さらに、反応器の温度を２５０℃に維持し、反応槽内を撹拌しながらシリカ微粒子原体１００質量部あたり、１質量部のジメチルシリコーンオイル（２５℃における動粘度＝５０．０ｍｍ^２／ｓ）を噴霧した。２時間撹拌した後に取り出し、本発明で使用したシリカ微粒子１を得た。得られたシリカ微粒子１（表２ではシリカ１と表記している。）の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子２の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用いた。さらにジメチルシリコーンオイルの粘度として、３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルとした以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子２を得た。得られたシリカ微粒子２の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子３の製造例］
３段目のジメチルシリコーンオイル添加量を１．５質量部とし、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子３を得た。得られたシリカ微粒子３の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子４の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用いた。さらに、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．５質量部とした以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子４を得た。得られたシリカ微粒子４の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子５の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、２５．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．５質量部とした。以上変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子５を得た。得られたシリカ微粒子５の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子６の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１０．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１．５質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子６を得た。得られたシリカ微粒子６の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子７の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用いた。さらに、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．５質量部とした以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子７を得た。得られたシリカ微粒子７の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子８の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用いた。さらに、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１．５質量部とした以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子８を得た。得られたシリカ微粒子８の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子９の製造例］
ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．５質量部とした以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子９を得た。得られたシリカ微粒子８の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１０の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用いた。さらに、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３０ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１．５質量部とした以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１０を得た。得られたシリカ微粒子１０の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１１の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、２５．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．１質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１１を得た。得られたシリカ微粒子１１の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１２の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１０．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、３．０質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１２を得た。得られたシリカ微粒子１２の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１３の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、２６．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．１質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１３を得た。得られたシリカ微粒子１３の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１４の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、９．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、３．０質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１４を得た。得られたシリカ微粒子１４の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１５の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積２００ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１０．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．５質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１５を得た。得られたシリカ微粒子１５の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１６の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用いた、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、２５．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、１．５質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ
微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１６を得た。得られたシリカ微粒子１６の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１７の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、９．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、０．１質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１７を得た。得られたシリカ微粒子１７の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１８の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体））として、ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇのシリカを用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として１０ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、２６．０質量部とし、３段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、３．０質量部とした。上記変更以外は、上記シリカ微粒子１と同様にしてシリカ微粒子１８を得た。得られたシリカ微粒子１８の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子１９の製造例］
撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）（ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇ）を投入し、撹拌による流動化状態において、２５０℃に加熱した。
反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体１００質量部に対し、２６．０質量部のジメチルシリコーンオイル（粘度＝１０ｍｍ^２／ｓ）を噴霧し、３０分間撹拌して、シリコーンオイル処理を終了した。反応終了後、解砕処理を行った。
その後、反応器の温度を２５０℃に保ったまま、シリカ微粒子原体１００質量部に対し、１０質量部のヘキサメチルジシラザンを内部に噴霧し、撹拌しながら流動化状態で処理を行なった。この反応を３０分間継続した後、反応を終了した。反応終了後、オートクレーブを脱圧し、窒素ガス気流による洗浄を行い、疎水性シリカから過剰のヘキサメチルジシラザン及び副生物を除去して、本発明で使用したシリカ微粒子１９を得た。得られたシリカ微粒子１９の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子２０の製造例］
撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）（ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇ）を投入し、撹拌による流動化状態において、１５０℃に加熱した。
反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体１００質量部に対し、２６．０質量部のジメチルシリコーンオイル（粘度＝１０ｍｍ^２／ｓ）を噴霧し、３０分間撹拌を続けた。その後、撹拌しながら２００℃まで昇温させてさらに２時間撹拌した後に取り出し、反応終了後、解砕処理を行った。本発明で使用したシリカ微粒子２０を得た。得られたシリカ微粒子２０の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子２１の製造例］
未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）（ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇ）を用い、ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用いた。さらに、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、９．０質量部とした以外は、上記シリカ微粒子１９と同様にしてシリカ微粒子２１を得た。得られたシリカ微粒子２１の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子２２の製造例］
ジメチルシリコーンオイルの粘度として５００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、９．０質量部とした以外は、上記シリカ微粒子２０と同様にしてシリカ微粒子２２を得た。得られたシリカ微粒子２２の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子２３の製造例］
１段目のジメチルシリコーンオイル添加量をシリカ微粒子原体１００質量部に対し、２６．０質量部とした以外は、上記シリカ微粒子２０と同様にしてシリカ微粒子２３を得た。得られたシリカ微粒子２３の物性を表２に示す。

［シリカ微粒子２４の製造例］
撹拌機付きオートクレーブに、未処理の乾式シリカ（シリカ微粒子原体）（ＢＥＴ比表面積１８０ｍ^２／ｇ）を投入し、撹拌による流動化状態において、２５０℃に加熱した。
反応器内部を窒素ガスで置換して反応器を密閉し、シリカ微粒子原体１００質量部に対し、３０質量部のヘキサメチルジシラザンを水蒸気とともに内部に噴霧し、撹拌しながら流動化状態で処理を行なった。この反応を６０分間継続した後、反応を終了した。反応終了後、オートクレーブを脱圧し、窒素ガス気流による洗浄を行い、疎水性シリカから過剰のヘキサメチルジシラザン及び副生物を除去した。
さらに、反応器の温度を２５０℃に維持し、反応槽内を撹拌しながらシリカ微粒子原体１００質量部あたり、２６．０質量部のジメチルシリコーンオイル（２５℃における粘度＝５０．０ｍｍ^２／ｓ）を噴霧し、２時間撹拌した後に取り出し、解砕処理を行った。本発明で使用したシリカ微粒子２４を得た。得られたシリカ微粒子２４の物性を表２に示す。

［感光体１製造例］
図１に示す、周波数としてＲＦ帯の高周波電源を用いたプラズマ処理装置を用いて、円筒状基体（直径８０ｍｍ、長さ３５８ｍｍ、厚さ３ｍｍの鏡面加工を施した円筒状のアルミニウム基体）上に下記表３に示す条件でプラス帯電ａ−ＳｉＣ感光体を作製した。その
際、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行った。なお、表３中の「※」は可変の値であることを示し、表面層作製時の高周波電力、ＳｉＨ_４流量及びＣＨ_４流量を下記表４に示す条件とした。

上記方法により作製した電子写真感光体について、珪素原子の原子密度（Ｓｉ原子密度）と炭素原子の原子密度（Ｃ原子密度）の和（Ｓｉ＋Ｃ原子密度）、水素原子比（Ｈ原子比）、炭素原子比（Ｃ原子比）の評価を前述の条件で行った。その結果を表５に示す。

［結着樹脂１製造例］
・ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド付加物３４．０ｍｏｌ％
（平均付加ｍｏｌ数：２．２ｍｏｌ）
・ビスフェノールＡのエチレンオキサイド付加物１９．５ｍｏｌ％
（平均付加ｍｏｌ数：２．２ｍｏｌ）
・イソフタル酸２３．５ｍｏｌ％
・ｎ−ドデセニルコハク酸１３．５ｍｏｌ％
・トリメリット酸９．５ｍｏｌ％
上記モノマーと、ジブチル錫オキシドを全酸成分１００質量部に対して０．０３質量部添加し窒素気流下、２２．０℃にて６時間攪拌しつつ反応させ、ポリエステル結着樹脂１を得た。

［トナー１の製造例］
・ポリエステル結着樹脂１１００質量部
・磁性酸化鉄粒子（個数平均粒径０．１５μｍ）７５質量部
・フィッシャートロプシュワックス（融点１０５℃）２質量部
・電荷制御剤（下式構造式１）２質量部

上記材料をヘンシェルミキサーで前混合した後、二軸混練押し出し機によって、溶融混練した。
得られた混練物を冷却し、ハンマーミルで粗粉砕した後、ジェットミルで粉砕し、得られた微粉砕粉末を、コアンダ効果を利用した多分割分級機を用いて分級し、重量平均粒径（Ｄ４）が６．８μｍの負摩擦帯電性のトナー粒子を得た。トナー粒子１００質量部に対し、シリカ微粒子１を２．０質量部、及びチタン酸ストロンチウム（個数平均粒径１．２μｍ）３．０質量部を外添混合し目開き１５０μｍのメッシュで篩い、負摩擦帯電性のトナー１を得た。

［トナー２乃至２９の製造例］
表５に示すように、シリカ微粒子の種類と添加量を変えた以外は、トナー１の製造例と同様にして、トナー２乃至２９を得た。

［実施例１］
（ワイヤー汚染評価１）
評価に用いたマシンとしては、市販の複写機（ｉｍａｇｅＰＲＥＳＳ−１１３５キヤノン製プロセススピード６６５ｍｍ／ｓｅｃ）を用いた。転写材には普通紙である「ＣＳ６８０６８ｇ紙キヤノン製」を用いた。この評価機に感光体１をとりつけ、トナー１を充填し、常温低湿環境（２３℃、５％ＲＨ）で印字比率５％のテストチャートを用いて、ワイヤー清掃パッドを取り外した状態で普通紙を連続片面通紙で５０万枚耐久を行った。この際、感光体の暗部電位が一定になるようにコロナ帯電器の放電電流を調整して
耐久を行い、以下に示す項目について評価を行った。
新品のワイヤーの径と、耐久後のシリカの薄膜が形成したワイヤーの径とを比較し、耐久後のシリカの薄膜によるワイヤーの太さを比率で数値化した。ワイヤーの測定は一次帯電器を測定した。尚、測定に用いた顕微鏡はＫＨ−３０００Ｖハイスコープアドバンスト（ＨｉＲＯＸ社製）を用いて、２００倍の倍率で測定を行った。なお、ワイヤー汚染評価１に対して、下記Ｂ評価以上で本発明の効果が得られていると判断した。
［評価基準］
Ａ（非常に良い）１１０％未満
Ｂ（良い）１１０％以上１２０％未満
Ｃ（普通）１２０％以上１３０％未満
Ｄ（やや悪い）１３０％以上１４０％未満
Ｅ（悪い）１４０％以上１５０％未満

（ワイヤー汚染評価２）
評価機をｉｍａｇｅＲＵＮＮＥＲ５０７５（キヤノン製プロセススピード３５０ｍｍ／ｓｅｃ）にした以外は、ワイヤー汚染評価１と同様に画像を出力し、ワイヤー汚染評価１と同様の評価を行った。

（ワイヤー汚染評価３）
評価機をｉｍａｇｅＲＵＮＮＥＲ５０７５（キヤノン製）にし、試験環境を常温常湿環境（２３℃、５０％ＲＨ）にした以外は、ワイヤー汚染評価１と同様に画像を出力し、ワイヤー汚染評価１と同様の評価を行った。

（画像流れ評価１）
画像流れ評価１では、キヤノン（株）製のデジタル電子写真装置ｉｍａｇｅＰＲＥＳＳ−１１３５（キヤノン製プロセススピード６６５ｍｍ／ｓｅｃ）を用いた。
この評価機に感光体１をとりつけ、トナー１を充填し、温度３０℃、相対湿度８０％の高温高湿環境下で連続通紙試験前のＡ３文字チャート（４ｐｔ、印字率４％）の画像を出力した。このとき、感光体ヒーターをＯＮにする条件で実施した。
連続通紙試験前の画像出力後、連続通紙試験を実施した。連続通紙試験時は、電子写真装置を稼働して連続通紙試験を実施している間および電子写真装置を停止している間を通じて常に感光体ヒーターをＯＦＦにする条件で実施した。
具体的には、印字率１％のＡ４テストパターンを用いて、１日当たり２．５万枚の連続通紙試験を１０日間実施して２５万枚まで行った。連続通紙試験終了後、温度３０℃、相対湿度８０％の環境下で１５時間放置した。
１５時間後、感光体ヒーターをＯＦＦのまま立ち上げ、Ａ３文字チャート（４ｐｔ、印字率４％）の画像を出力した。連続通紙試験前に出力した画像と、連続通紙試験後に出力した画像を、それぞれキヤノン（株）製のデジタル電子写真装置「ｉＲＣ−５８７０」（商品名）を用いて、モノクロ３００ｄｐｉの２値の条件でＰＤＦファイルに電子化した。電子化した画像をＡｄｏｂｅ製の画像編集ソフト「ＡｄｏｂｅＰｈｏｔｏｓｈｏｐ」（商品名）を用いて、電子写真感光体１周分の画像領域（２５１．３ｍｍ×２７３ｍｍ）の黒比率を測定した。次に、連続通紙耐久前に出力した画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率の比率を求め、画像流れの評価を行った。
画像流れが発生した場合、画像全体で文字がぼける、または、文字が印字されずに白抜けするため、連続通紙試験前の正常な画像と比較した場合、出力された画像における黒比率が低下する。よって、連続通紙試験前の正常な画像に対する連続通紙試験後に出力された画像の黒比率の比率が１００％に近いほど画像流れが発生していないこととなる。なお、画像流れ評価１では、下記Ｂ評価以上で本発明の効果が得られていると判断した。
［評価基準］
Ａ（非常に良い）連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の
黒比率が９５％以上１０５％以下。
Ｂ（良い）連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の
黒比率が９０％以上９５％未満。
Ｃ（普通）連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の
黒比率が８５％以上９０％未満。
Ｄ（やや悪い）連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の黒比率が８０％以上８５％未満。
Ｅ（悪い）連続通紙試験前の画像に対する連続通紙試験後に出力した画像の
黒比率が７０％以上８０％未満。

（画像流れ評価２）
評価機をｉｍａｇｅＲＵＮＮＥＲ５０７５（キヤノン製プロセススピード３５０ｍｍ／ｓｅｃ）に変更した以外は、画像流れ評価１と同様に画像を出力し、画像流れ評価１と同様の評価を行った。

（画像流れ評価３）
試験環境を常温常湿環境（２３℃、５０％ＲＨ）にした以外は、画像流れ評価１と同様に画像を出力し、画像流れ評価１と同様の評価を行った。

（画像流れ評価４）
感光体ヒーターを常時ＯＮにした以外は、画像流れ評価１と同様に画像を出力し、画像流れ評価１と同様の評価を行った。

（画像流れ評価５）
感光体ヒーターを常時ＯＮにした以外は、画像流れ評価２と同様に画像を出力し、画像流れ評価１と同様の評価を行った。

以上の評価を行った結果、実施例１はいずれの評価でもＡの評価となった。

［実施例２］
トナー１と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１がＢに悪化した。感光体の原子密度が下がることによって、吸水性が上がり、画像流れ抑制の効果が薄くなったと考えられる。
［実施例３］
トナー２と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１および２の評価がＢとなった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目（添加量）が少ないため、トナー中での遊離シリコーンオイル量が少なくなり、画像流れ抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例４］
トナー３と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１がＢとなった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が多くなり、トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例５］
トナー４と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１がＢとなった。シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積は小さくなったが、粘度が大きいオイルを用いることによって固定化率は適切な値となった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が多くなり、トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例６］
トナー５と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１がＢとなった。（固定化しにくい）粘度が大きいオイルを用いているが、３段目の処理オイル量を増やすことで固定化率は適切な値となった。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が多くなり、トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例７］
トナー６と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１および２がＢとなった。シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が２００ｍ^２／ｇと表面積の小さいシリカ微粒子を用いているが、３段目の処理オイル量を減らすことで固定化率は適切な値となっている。トナーへのシリカ微粒子の入れ目が少ないため、トナー中での遊離シリコーンオイル量が少なくなり、画像流れ抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例８］
トナー７と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１がＢとなった。シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が２００ｍ^２／ｇと表面積の小さいシリカ微粒子を用いているが、１段目と３段目の処理オイル量を制御することで固定化率は適切な値となっている。トナー中での遊離シリコーンオイル量が多くなった結果、ワイヤー汚染抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例９］
トナー８と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１および２がＢとなった。シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が２００ｍ^２／ｇのシリカ微粒子を用い、１段目と３段目の処理オイル量を制御することで固定化率は適切な値となっている。トナー中での遊離シリコーンオイル量が少なくなり、画像流れ抑制の効果が薄れたと考えられる。
［実施例１０］
トナー９と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価３がＢに悪化した。シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が２００ｍ^２／ｇのシリカ微粒子と、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、３段目の処理オイル量を制御することで固定化率が範囲上限付近になっている。シリカ微粒子の入れ目も多いため、画像流れ評価３も悪化したと考えられる。
［実施例１１］
トナー１０と感光体２の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１、２がＢとなった。シリカ微粒子原体のＢＥＴ比表面積が２００ｍ^２／ｇのシリカ微粒子と、ジメチルシリコーンオイルの粘度として３００ｍｍ^２／ｓのシリコーンオイルを用い、３段目の処理オイル量を制御することで固定化率が範囲下限付近になっている。シリカ微粒子の入れ目も多いため、ワイヤー汚染評価２も悪化したと考えられる。
［実施例１２］
トナー９と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価４もＢとなった。感光体の原子密度がより下がることによって、吸水性が上がり、画像流れ抑制の効果が薄くなったと考えられる。
［実施例１３］
トナー１１と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがＢとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。
［実施例１４］
トナー１２と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがＢとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。
［実施例１５］
トナー１３と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがＢとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。
［実施例１６］
トナー１４と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがＢとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。［実施例１７］
トナー１５と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがＢとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。
［実施例１８］
トナー１６と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがＢとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。［実施例１９］
トナー１７と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価すべてがＢとなった。固定化率も高く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい下限を下まわったことで、画像流れ評価が悪化したと考えられる。
［実施例２０］
トナー１８と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価すべてがＢとなった。固定化率が低く、またシリカ微粒子の入れ目が好ましい上限を上まわったことで、ワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。
上記トナーと感光体の組み合わせを表７に各種評価結果を表９に示す。

［比較例１］
トナー１９と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＣとなった。固定化率が上限を超し、またシリ
カ微粒子の入れ目も好ましい下限を下まわったことで、感光体ヒーターを切った評価が悪化したと考えられる。
［比較例２］
トナー２０と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１および２がＣとなった。固定化率が下限を下まわり、またシリカの入れ目も好ましい上限を上まわったことで、低湿環境での評価が悪化したと考えられる。
［比較例３］
トナー２１と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＣとなった。固定化率が上限を超したことで、感光体ヒーターを切った評価が悪化したと考えられる。
［比較例４］
トナー２２と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１および２がＣとなった。固定化率が下限を下まわったことで、低湿環境での評価が悪化したと考えられる。
［比較例５］
トナー２３と感光体１の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＣとなった。固定化率が上限を超し、またシリカ微粒子の入れ目も好ましい下限を下まわったことで、感光体ヒーターを切った評価が悪化したと考えられる。
［比較例６］
トナー２３と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価４、５についてもＣとなった。すべての項目で好ましい範囲を外れており、それにより画像流れ評価が悪化したと考えられる。
［比較例７］
トナー２４と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価３についてもＣとなった。すべての項目で好ましい範囲を外れており、それによりワイヤー汚染評価が悪化したと考えられる。
［比較例８］
トナー２５と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＤとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカ微粒子を用いていることから、画像流れがより悪化したと考えられる。
［比較例９］
トナー２６と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＤとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカ微粒子を用いていることから、画像流れがより悪化したと考えられる。
［比較例１０］
トナー２７と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＥとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカを用い、さらに固定化率も上限を上まわっていることから画像流れがより悪化したと考えられる。
［比較例１１］
トナー２８と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、画像流れ評価１、２および３がＥとなった。シラン化合物上のシリコーンオイルが存在しないシリカを用い、さらに固定化率も上限を上まわっていることから画像流れがより悪化したと考えられる。
［比較例１２］
トナー２９と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。
その結果、ワイヤー汚染評価１、２がＤとなった。１段のオイル処理のみなので、遊離シリコーンオイル量も多く、ワイヤー汚染がより悪化したと考えられる。
［比較例１３］
トナー３０と感光体３の組み合わせにおいて、実施例１と同様にして、評価を行った。その結果、ワイヤー汚染評価１、２がＥとなり、評価３がＤとなった。シラン化合物の上にシリコーンオイル処理を施したシリカでは固定化率を上げることができず、遊離量がかなり多くなってしまう。その結果ワイヤー汚染がより悪化したものと考えられる。
上記トナーと感光体の組み合わせを表８に各種評価結果を表９に示す。

１１００：堆積装置、１１１０：反応容器、１１１１：カソード電極、１１１２：導電性基体、１１１３：導電性基体加熱用ヒーター、１１１４：原料ガス導入管、１１１５：高周波マッチングボックス、１１１６：ガス配管、１１１７：リークバルブ、１１１８：メインバルブ、１１１９：真空計、１１２０：高周波電源、１１２１：絶縁材料、１１２３：受け台、１２００：原料ガス供給装置、１２１１乃至１２１５：マスフローコントローラ、１２２１乃至１２２５：原料ガスボンベ、１２３１乃至１２３５：バルブ、１２４１乃至１２４５：流入バルブ、１２５１乃至１２５５：流出バルブ、１２６０：補助バルブ、１２６１乃至１２６５：圧力調整器

Claims

静電荷像担持体を帯電する帯電工程と、帯電された該静電荷像担持体を露光して静電荷像を形成する露光工程と、該静電荷像をトナーにより現像して該静電荷像担持体上にトナー像を形成する現像工程と、該静電荷像担持体上の該トナー像を中間転写体を介してまたは介さずに転写材に転写する転写工程とを有する画像形成方法であって、
該帯電工程では、放電ワイヤーを有するコロナ帯電器により帯電が行われ、
該静電荷像担持体が、少なくとも光導電層と、水素化アモルファス炭化珪素で形成されている表面層とを順次積層した感光体であり、
該トナーは、結着樹脂と着色剤とを含有するトナー粒子と、シリカ微粒子とを有するトナーであり、
該シリカ微粒子は、シリカ微粒子原体にシリコーンオイルで１段目の表面処理が施された後、シラン化合物および／またはシラザン化合物で２段目の表面処理が施され、さらにシリコーンオイルにより３段目の表面処理が施されたシリカ微粒子であり、
該シリカ微粒子は、シリコーンオイルの炭素量基準の固定化率が９５．０質量％以上、９９．５質量％以下であることを特徴とする画像形成方法。
該１段目の表面処理に用いられるシリコーンオイル量が、該シリカ微粒子原体１００．０質量部に対して１０．０質量部以上、２５．０質量部以下であり、該３段目の表面処理に用いられるシリコーンオイル量が、該シリカ微粒子原体１００．０質量部に対して０．５質量部以上、４．０質量部以下であることを特徴とする請求項１に記載の画像形成方法。
該トナーは、該トナー粒子１００．０質量部に対して０．５質量部以上、４．０質量部以下の該シリカ微粒子を含有することを特徴とする請求項１または２に記載の画像形成方法。
該感光体の表面層の珪素原子の原子密度と炭素原子の原子密度の和が６．６０×１０^２２原子／ｃｍ^３以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像形成方法。