JP2013062286A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011198132A JP6029268B2 (ja) | 2011-09-12 | 2011-09-12 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011198132A JP6029268B2 (ja) | 2011-09-12 | 2011-09-12 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013062286A JP2013062286A (ja) | 2013-04-04 |
JP2013062286A5 true JP2013062286A5 (fr) | 2014-10-30 |
JP6029268B2 JP6029268B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=48186734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011198132A Active JP6029268B2 (ja) | 2011-09-12 | 2011-09-12 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6029268B2 (fr) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6497938B2 (ja) * | 2015-01-05 | 2019-04-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法。 |
WO2017094225A1 (fr) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Appareil d'impression, procédé de mesure, procédé d'impression et procédé de fabrication d'articles |
JP7027037B2 (ja) * | 2016-01-22 | 2022-03-01 | キヤノン株式会社 | モールドの複製方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP6779748B2 (ja) * | 2016-10-31 | 2020-11-04 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP6821408B2 (ja) * | 2016-11-28 | 2021-01-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
US10969680B2 (en) * | 2016-11-30 | 2021-04-06 | Canon Kabushiki Kaisha | System and method for adjusting a position of a template |
JP6953259B2 (ja) * | 2017-09-28 | 2021-10-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
JP6560736B2 (ja) * | 2017-12-28 | 2019-08-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
JP2019135760A (ja) | 2018-02-05 | 2019-08-15 | 東芝メモリ株式会社 | インプリント装置および半導体装置の製造方法 |
JP7179655B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2022-11-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP7421278B2 (ja) * | 2019-07-22 | 2024-01-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001264015A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Nikon Corp | 位置検出方法及び位置検出装置並びに露光装置 |
JP4827513B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2011-11-30 | キヤノン株式会社 | 加工方法 |
JP4736821B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2011-07-27 | 株式会社日立製作所 | パターン形成方法およびパターン形成装置 |
JP2009214323A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Asahi Glass Co Ltd | 微細パターンを有する物品の製造装置および製造方法 |
JP2010080861A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Nikon Corp | 転写装置及びデバイス製造方法 |
JP5515516B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2014-06-11 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント方法、パターン形成体、及びナノインプリント装置 |
JP5563319B2 (ja) * | 2010-01-19 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
JP5308369B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2013-10-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 両面インプリント装置の被転写体位置決め方法および両面インプリント装置 |
-
2011
- 2011-09-12 JP JP2011198132A patent/JP6029268B2/ja active Active
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