JP2013058515A - Manufacturing method of module - Google Patents

Manufacturing method of module Download PDF

Info

Publication number
JP2013058515A
JP2013058515A JP2011194569A JP2011194569A JP2013058515A JP 2013058515 A JP2013058515 A JP 2013058515A JP 2011194569 A JP2011194569 A JP 2011194569A JP 2011194569 A JP2011194569 A JP 2011194569A JP 2013058515 A JP2013058515 A JP 2013058515A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
module
connection terminal
wiring board
resin layer
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011194569A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuaki Ogawa
伸明 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2011194569A priority Critical patent/JP2013058515A/en
Publication of JP2013058515A publication Critical patent/JP2013058515A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19106Disposition of discrete passive components in a mirrored arrangement on two different side of a common die mounting substrate

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology which mounts columnar connection terminals forming interlayer connection conductors, where water repellent treatment is performed at one end part, on a wiring board and thereby manufacturing a module at low cost in a short manufacturing time.SOLUTION: A module 100 is formed by mounting columnar connection terminals 11 forming interlayer connection conductors and electronic components 102 on a wiring board 101 and resin sealing the connection terminals 11 and the electronic components 102. When the module 100 is manufactured, the electronic components 102 are mounted on one main surface of the wiring board 101 and the connection terminals 11 are mounted thereon so that one end part of each connection terminal 11 connects with the wiring board 101 (a first mounting process). Then, water repellent treatment is performed at the other end part of each connection terminal 11 before a first sealing process (a repellent treatment process). The electronic components 102 and the connection terminals 11 are sealed with a resin layer 103 (the first sealing process). This manufacturing method allows the module 100 having the interlayer connection conductors to be manufactured at low cost in a short time.

Description

本発明は、層間接続導体を形成する接続端子を用いたモジュールの製造方法に関する。   The present invention relates to a module manufacturing method using connection terminals for forming an interlayer connection conductor.

従来、図5のモジュールの一例に示すように、配線基板501の両面に実装された各種の電子部品502が、樹脂層503により封止されたモジュール500が知られている(例えば特許文献1参照)。この場合、モジュール500の一方の主面には金属シールド層504が設けられ、他方の主面には外部接続用の実装用端子505が設けられている。そして、金属シールド層504および実装用端子505は、それぞれ層間接続用のビア導体506により配線基板501の配線層と電気的に接続される。   Conventionally, as shown in an example of the module of FIG. 5, a module 500 in which various electronic components 502 mounted on both surfaces of a wiring board 501 are sealed with a resin layer 503 is known (see, for example, Patent Document 1). ). In this case, a metal shield layer 504 is provided on one main surface of the module 500, and a mounting terminal 505 for external connection is provided on the other main surface. The metal shield layer 504 and the mounting terminal 505 are electrically connected to the wiring layer of the wiring board 501 through interlayer connection via conductors 506, respectively.

しかしながら、特許文献1に記載の発明では、ビア導体506は、配線基板501に設けられた樹脂層503にレーザー加工により形成されたビアホールに、デスミア処理が施された後、AgやCuなどを含む導体ペーストが充填されたり、ビアフィルめっきが施されることにより形成される。このように、レーザー加工を用いて樹脂層503にビアホールが形成される場合、レーザーの出力調整が難しく、ビアーホールの形成精度にばらつきが生じることが問題となっている。また、ビア導体506は、複数の工程を経て樹脂層503に形成されるため、モジュールの製造コストの増大を招くと共に、モジュールの製造時間の短縮化を図る上で妨げとなっていた。また、レーザー加工により樹脂層503に形成されたビアホールにデスミア処理が施される際の薬液や、ビアフィルめっきが施される際の薬液が、樹脂層503や配線基板501を浸食するという問題があった。   However, in the invention described in Patent Document 1, the via conductor 506 includes Ag, Cu, or the like after desmearing is performed on a via hole formed by laser processing on the resin layer 503 provided on the wiring substrate 501. It is formed by filling with a conductive paste or by performing via fill plating. As described above, when a via hole is formed in the resin layer 503 using laser processing, it is difficult to adjust the output of the laser, and the formation accuracy of the via hole becomes a problem. Further, since the via conductor 506 is formed in the resin layer 503 through a plurality of steps, it causes an increase in the manufacturing cost of the module and hinders a reduction in the manufacturing time of the module. In addition, there is a problem that the chemical solution when the desmear treatment is performed on the via hole formed in the resin layer 503 by laser processing or the chemical solution when the via fill plating is performed erodes the resin layer 503 and the wiring substrate 501. It was.

そこで、積層構造を有するモジュールにおいて、上記した層間接続用のビア導体506を用いずに、柱状の接続端子を実装することにより層間接続導体を形成する技術が提案されている。   In view of this, there has been proposed a technique for forming an interlayer connection conductor by mounting columnar connection terminals without using the above-described interlayer connection via conductor 506 in a module having a laminated structure.

国際公開2005/078796号(段落0017〜0025,0035、図1、要約書など)International Publication No. 2005/078796 (paragraphs 0017-0025,0035, FIG. 1, abstract, etc.)

ところで、積層構造を有するモジュールにおいて、ビアホールの代わりに柱状の接続端子を実装し、層間接続導体を形成する場合、接続端子を配線基板に実装した後に、その接続端子および配線基板に実装された電子部品などを樹脂で封止し、さらにその後、接続端子を樹脂表面に露出させるために樹脂を研磨などする必要がある。   By the way, in a module having a laminated structure, when mounting columnar connection terminals instead of via holes to form an interlayer connection conductor, after mounting the connection terminals on the wiring board, the connection terminals and the electrons mounted on the wiring board It is necessary to seal the parts with resin and then polish the resin to expose the connection terminals on the resin surface.

このとき、研磨などすることにより接続端子に横方向の負荷がかかるため、接続端子の根元(配線基板に実装側)の接合部にクラックが発生するおそれがある。また、樹脂は金属に比べて柔らかく、目の細かい砥石では目詰まりが発生するため、生産性の面で目の粗い砥石を使用することが好ましいところ、接続端子を形成する金属(例えばCu)は延びやすく、目の粗い砥石で研磨すると金属が樹脂表面上に延び広がる(接続端子のダレ)ことにより品質上の問題が生じるため、目の細かい砥石で研磨し、延びを防止することが好ましい。   At this time, since a lateral load is applied to the connection terminal by polishing or the like, there is a possibility that a crack may occur at the joint portion at the base of the connection terminal (on the mounting side on the wiring board). In addition, since the resin is softer than metal and clogging occurs with a fine-grained grindstone, it is preferable to use a coarse-grained grindstone in terms of productivity. The metal forming the connection terminal (for example, Cu) is If it is easy to extend and is polished with a coarse grindstone, the metal will extend and spread on the surface of the resin (sagging of the connection terminals), so that there is a problem in quality.

そこで、従来は、品質重視のもと、目の細かい砥石を使用し、切削水を十分にかけながら時間をかけて樹脂ならびに接続端子を研磨することで砥石の目詰まりを防止する策が採られているが、モジュールの製造に長時間を要し、生産性の低下を招くという新たな問題がある。   Therefore, in the past, based on quality, measures were taken to prevent clogging of the grindstone by using a fine grindstone and polishing the resin and connection terminals over time while applying sufficient cutting water. However, there is a new problem that it takes a long time to manufacture the module, resulting in a decrease in productivity.

この発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、ビアホールを設けることなく層間接続可能なモジュールを低コストかつ短い製造時間で提供できるようにするとともに、品質の高い積層構造を有するモジュールの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and enables a module capable of interlayer connection without providing a via hole to be provided at a low cost and in a short manufacturing time, and a module having a high-quality laminated structure. An object is to provide a manufacturing method.

上記した目的を達成するために、本発明のモジュールの製造方法は、層間接続導体を形成する柱状の接続端子および電子部品を配線基板上に実装し樹脂封止してなるモジュールの製造方法において、前記配線基板の一方主面に、電子部品を実装するとともに前記接続端子の一方端部が前記配線基板に接続されるように前記接続端子を実装する第1実装工程と、前記電子部品および前記接続端子を樹脂層により封止する第1封止工程とを備え、前記第1実装工程の前または後であって、前記第1封止工程の前に実行される前記接続端子の他方端部に撥水処理を施す撥水処理工程をさらに備えることを特徴としている(請求項1)。   In order to achieve the above-described object, the module manufacturing method of the present invention is a module manufacturing method in which a columnar connection terminal and an electronic component forming an interlayer connection conductor are mounted on a wiring board and sealed with a resin. A first mounting step of mounting an electronic component on one main surface of the wiring board and mounting the connection terminal so that one end of the connection terminal is connected to the wiring board; and the electronic component and the connection A first sealing step for sealing the terminal with a resin layer, before or after the first mounting step, and before the first sealing step, at the other end of the connection terminal A water repellent treatment step for performing a water repellent treatment is further provided (claim 1).

そして、前記第1封止工程の後に前記樹脂層の表面を研磨または研削する工程をさらに備えるようにしてもよい(請求項2)。   And you may make it further provide the process of grind | polishing or grinding the surface of the said resin layer after a said 1st sealing process (Claim 2).

また、前記配線基板の他方主面に他の電子部品を実装する第2実装工程と、前記他の電子部品を樹脂層により封止する第2封止工程とをさらに備えるようにしてもよい(請求項3)。   Moreover, you may make it further provide the 2nd mounting process which mounts another electronic component on the other main surface of the said wiring board, and the 2nd sealing process which seals the said other electronic component with a resin layer ( Claim 3).

そして、前記第2実装工程において、前記接続端子の一方端部が前記配線基板の他方主面に接続するように前記接続端子をさらに実装してもよい(請求項4)。   In the second mounting step, the connection terminal may be further mounted such that one end of the connection terminal is connected to the other main surface of the wiring board.

また、前記配線基板の他方主面に実装される前記接続端子の他方端部に接続するように他の電子部品を実装してもよい(請求項5)。   Moreover, you may mount another electronic component so that it may connect with the other end part of the said connection terminal mounted in the other main surface of the said wiring board (Claim 5).

請求項1の発明によれば、配線基板の一方主面に、電子部品が実装されるとともに、層間接続導体を形成する柱状の接続端子の一方端部が配線基板に接続されるように接続端子が実装され、実装された電子部品および接続端子が樹脂層により封止される。   According to the invention of claim 1, the electronic component is mounted on one main surface of the wiring board, and the connection terminal is connected so that one end of the columnar connection terminal forming the interlayer connection conductor is connected to the wiring board. Is mounted, and the mounted electronic component and connection terminal are sealed with a resin layer.

樹脂層による封止後は、接続端子により層間接続導体が形成されるため、従来の技術のように、ビアホールを設ける必要がなく、モジュールの生産にかかるコストの削減ならびに製造時間の短縮が図れる。さらに、従来のように、デスミア処理が施される際の薬液や、ビアフィルめっきが施される際の薬液が、樹脂層や配線基板を浸食するという問題も生じない。   After the sealing with the resin layer, since the interlayer connection conductor is formed by the connection terminal, it is not necessary to provide a via hole as in the conventional technique, and the cost for manufacturing the module and the manufacturing time can be reduced. Further, unlike the prior art, there is no problem that the chemical solution when the desmear treatment is performed or the chemical solution when the via fill plating is performed erodes the resin layer or the wiring board.

また、樹脂封止工程の前に、接続端子の他方端部に撥水処理が施されるため、接続端子(他方端部)は樹脂をはじき、従来のように、樹脂封止の際に、接続端子の他方端部の上面が樹脂により封止されることがない。そのため、接続端子の端面を出すための研磨または研削工程が必要なく、モジュールを低コストかつ短い製造時間で製造することができ、モジュールの生産性が向上する。また、研磨または研削工程が必要ないため、上記したような、接続端子の根元(一方端部側)の接合部にクラックが発生する問題や目の細かい砥石で樹脂を研磨することにより生産性が低下するという問題も生じない。   In addition, since the water repellent treatment is performed on the other end of the connection terminal before the resin sealing step, the connection terminal (the other end) repels the resin, The upper surface of the other end of the connection terminal is not sealed with resin. Therefore, there is no need for a polishing or grinding process for projecting the end face of the connection terminal, the module can be manufactured at a low cost and in a short manufacturing time, and the productivity of the module is improved. In addition, since a polishing or grinding process is not required, productivity can be improved by polishing the resin with a fine grindstone or the problem of cracks occurring at the joint portion at the base (one end side) of the connection terminal as described above. The problem of lowering does not occur.

また、研磨または研削による接続端子のダレが発生しないため、接続端子の他方端部の形状が安定し、品質が向上する。また、接続端子の他方端部の形状が安定するため、配線基板に複数の接続端子を実装した場合には、各接続端子間のピッチを狭くすることができ、モジュールの小型化を図ることができる。   Further, since the sagging of the connection terminal due to polishing or grinding does not occur, the shape of the other end of the connection terminal is stabilized and the quality is improved. In addition, since the shape of the other end of the connection terminal is stable, when a plurality of connection terminals are mounted on the wiring board, the pitch between the connection terminals can be reduced, and the module can be downsized. it can.

また、請求項2の発明によれば、樹脂封止の後に樹脂層の表面が研磨または研削されるため、樹脂表面の平坦化を図ることができるとともに、モジュールの低背化を図ることができる。   According to the invention of claim 2, since the surface of the resin layer is polished or ground after resin sealing, the resin surface can be flattened and the height of the module can be reduced. .

また、請求項3の発明によれば、配線基板の他方主面に電子部品が実装され、配線基板の他方主面に実装された電子部品が第2樹脂層により封止されることにより、モジュールに実装される電子部品の実装密度を高めることができるので実用的である。   According to the invention of claim 3, an electronic component is mounted on the other main surface of the wiring board, and the electronic component mounted on the other main surface of the wiring board is sealed by the second resin layer, whereby the module This is practical because the mounting density of the electronic components mounted on can be increased.

請求項4の発明によれば、配線基板の他方主面にも他方端部に撥水処理が施された接続端子が実装されるため、他方主面側でも請求項1の効果と同様の効果を得ることができる。   According to the invention of claim 4, since the connection terminal having the other end portion subjected to the water repellent treatment is mounted on the other main surface of the wiring board, the same effect as the effect of claim 1 is also provided on the other main surface side. Can be obtained.

請求項5の発明によれば、配線基板の他方主面に実装される接続端子の他方端部に接続するようにさらに電子部品が実装されるため、モジュールに実装される電子部品の実装密度をさらに高めることができるので実用的である。   According to the invention of claim 5, since the electronic component is further mounted so as to be connected to the other end portion of the connection terminal mounted on the other main surface of the wiring board, the mounting density of the electronic component mounted on the module is reduced. Since it can be further increased, it is practical.

本発明の第1実施形態にかかるモジュールの製造方法を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the module concerning 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態にかかるモジュールを示す図である。It is a figure which shows the module concerning 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態にかかるモジュールを示す図である。It is a figure which shows the module concerning 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態にかかるモジュールを示す図である。It is a figure which shows the module concerning 4th Embodiment of this invention. 従来のモジュールの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the conventional module.

<第1実施形態>
本発明の第1実施形態にかかるモジュールの製造方法について、図1を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施形態にかかるモジュールの製造方法を示す図であり、(a)〜(d)はそれぞれ異なる工程を示す。
<First Embodiment>
A method for manufacturing a module according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram showing a module manufacturing method according to a first embodiment of the present invention, and (a) to (d) show different processes.

この実施形態で説明するモジュールの製造方法では、通信携帯端末のマザー基板などに実装される、Bluetooth(登録商標)モジュールおよび無線LANモジュールなどの各種の通信モジュール、アンテナスイッチモジュール、電源モジュールなどの高周波用回路モジュールが製造される。   In the module manufacturing method described in this embodiment, various communication modules such as a Bluetooth (registered trademark) module and a wireless LAN module, which are mounted on a mother board of a communication portable terminal, an antenna switch module, a high frequency such as a power supply module, etc. Circuit modules are manufactured.

(モジュールの製造方法)
まず、所望の断面径および長さを有する柱状の接続端子を用意し、その一つの端部(他方端部)に撥水処理を施す(撥水処理工程)。撥水材10としては、例えば、シリコン樹脂やフッ素樹脂などを用いることが好ましい。なお、撥水処理は後述する第1実装工程の後であって、第1封止工程の前に実行してもよい。このとき、接続端子11を配線基板101に実装した後に、転写方式により接続端子11に撥水処理を施したり、撥水材10が注入されたシリンジの先にニードルを装着した上で、シリンジに空気圧を加えることにより塗布するなどして、撥水処理を施せばよい。
(Module manufacturing method)
First, a columnar connection terminal having a desired cross-sectional diameter and length is prepared, and water repellent treatment is performed on one end portion (the other end portion) (water repellent treatment step). As the water repellent material 10, for example, it is preferable to use silicon resin, fluorine resin, or the like. The water repellent treatment may be performed after the first mounting step described later and before the first sealing step. At this time, after the connection terminal 11 is mounted on the wiring board 101, the connection terminal 11 is subjected to a water repellent treatment by a transfer method, or a needle is attached to the tip of the syringe into which the water repellent material 10 has been injected, Water repellent treatment may be performed by applying by applying air pressure.

次に、複数の接続端子11を配線基板101に実装する位置に対応する所定の間隔に空けられた凹部を有する治具に、撥水処理が施された端部(他方端部)が突出する状態で固定し、粘着部などが設けられた支持体12を上方から垂直に押し当てることで、各接続端子11それぞれの他方端部が支持体12に支持され、各接続端子11が支持体12に支持される。   Next, an end portion (the other end portion) subjected to the water-repellent treatment protrudes from a jig having recesses spaced at predetermined intervals corresponding to positions where the plurality of connection terminals 11 are mounted on the wiring board 101. The other end portion of each connection terminal 11 is supported by the support body 12 by pressing the support body 12 fixed in a state and provided with an adhesive portion or the like vertically from above, and each connection terminal 11 is supported by the support body 12. Supported by

また、接続端子11は、他方端部の径が一方端部よりも大きい断面T字状を有するように形成してもよい。この場合、径の大きな接続端子11の他方端部が上記した治具の凹部の周縁部に当接することで接続端子11を固定できるため、他方端部が突出するように治具の凹部を形成するときの高い加工精度が必要なく、治具製作コストを低減することができる。   Further, the connection terminal 11 may be formed so as to have a T-shaped cross section in which the diameter of the other end is larger than that of the one end. In this case, since the connection terminal 11 can be fixed by the other end of the connection terminal 11 having a large diameter coming into contact with the peripheral edge of the recess of the jig described above, the recess of the jig is formed so that the other end protrudes. High machining accuracy is not necessary, and jig manufacturing costs can be reduced.

そして、支持体12を上方に垂直に引き上げることにより、支持体12に支持された接続端子11の集合体が完成する。   Then, by pulling up the support body 12 vertically, an assembly of the connection terminals 11 supported by the support body 12 is completed.

次に、図1(a)に示すように、複数の接続端子11が支持された支持体12と、各種のチップ部品やICなどの電子部品102とを、配線基板101の一方主面の所定の位置に半田リフローや超音波接合などの一般的な表面実装技術により実装する(第1実装工程)。このとき、接続端子11は一方端部が配線基板101に接続されるように実装される。また、接続端子11の実装方法は、複数の接続端子11を支持体12に支持して、一度に複数の接続端子11を配線基板101に実装する方法に限られず、例えば、接続端子11を一つずつ真空吸着などの通常の吸着方法により吸着し、マウンタなどを使用して配線基板101に実装してもかまわない。   Next, as shown in FIG. 1A, a support body 12 on which a plurality of connection terminals 11 are supported, and electronic components 102 such as various chip components and ICs are arranged on a predetermined main surface of the wiring board 101. Is mounted by a general surface mounting technique such as solder reflow or ultrasonic bonding (first mounting step). At this time, the connection terminal 11 is mounted such that one end thereof is connected to the wiring board 101. Further, the mounting method of the connection terminals 11 is not limited to the method of mounting the plurality of connection terminals 11 on the wiring board 101 at a time by supporting the plurality of connection terminals 11 on the support body 12. It may be sucked by a normal suction method such as vacuum suction one by one and mounted on the wiring board 101 using a mounter or the like.

また、配線基板101は、この実施形態では、複数のセラミックグリーンシートが積層されて焼成されてなる多層セラミック基板である。セラミックグリーンシートは、アルミナおよびガラスなどの混合粉末が有機バインダおよび溶剤などと一緒に混合されたスラリーがシート化されたものであり、セラミックグリーンシートの所定位置に、レーザー加工などによりビアホールが形成され、形成されたビアホールにAgやCuなどを含む導体ペーストが充填されて、層間接続用のビア導体が形成され、導体ペーストによる印刷により種々の電極パターンが形成される。その後、各セラミックグリーンシートを積層、圧着することによりセラミック積層体を形成して、約1000℃前後の低い温度で、所謂、低温焼成して形成されている。   In this embodiment, the wiring substrate 101 is a multilayer ceramic substrate in which a plurality of ceramic green sheets are laminated and fired. A ceramic green sheet is a sheet in which a mixed powder of alumina and glass is mixed with an organic binder and solvent. A via hole is formed at a predetermined position of the ceramic green sheet by laser processing or the like. The formed via hole is filled with a conductor paste containing Ag, Cu or the like to form a via conductor for interlayer connection, and various electrode patterns are formed by printing with the conductor paste. Thereafter, the ceramic green sheets are laminated and pressure-bonded to form a ceramic laminate, which is formed by so-called low-temperature firing at a low temperature of about 1000 ° C.

このように、配線基板101には、内部配線パターン、接続端子11および電子部品102が実装される実装用電極および外部接続用電極などの種々の電極パターンが設けられているが、配線基板101は、樹脂やポリマー材料などを用いた、プリント基板、LTCC、アルミナ系基板、ガラス基板、複合材料基板、単層基板、多層基板などで形成することができ、モジュール100の使用目的に応じて、適宜最適な材質を選択して配線基板101を形成すればよい。   Thus, the wiring board 101 is provided with various electrode patterns such as an internal wiring pattern, a mounting electrode on which the connection terminal 11 and the electronic component 102 are mounted, and an external connection electrode. It can be formed of a printed circuit board, LTCC, alumina substrate, glass substrate, composite material substrate, single layer substrate, multilayer substrate, etc. using a resin or a polymer material. The wiring board 101 may be formed by selecting an optimum material.

次に、図1(b)に示すように、配線基板101の一方主面に実装された各接続端子11を支持する支持体12を各接続端子11から除去する。なお、接続端子11を一つずつ配線基板101に実装する場合には、支持体12は不要である。   Next, as shown in FIG. 1B, the support 12 that supports each connection terminal 11 mounted on one main surface of the wiring board 101 is removed from each connection terminal 11. When the connection terminals 11 are mounted on the wiring substrate 101 one by one, the support 12 is not necessary.

そして、図1(c)に示すように、配線基板101の一方主面に樹脂が充填されることにより、配線基板101の一方主面に実装された電子部品102および接続端子11が第1樹脂層103により封止される(第1封止工程)。このとき、接続端子11の他方端部には撥水処理が施されているため、該他方端部の上面は樹脂をはじき、他方端部が第1樹脂層103の表面に露出した状態で第1樹脂層103が形成される。なお、第1樹脂層103は、エポキシ樹脂やフェノール樹脂、シアネート樹脂などの熱硬化性の樹脂に、酸化アルミニウムやシリカ(二酸化ケイ素)、二酸化チタンなどの無機フィラーが混合されて形成された複合樹脂により形成することができる。   And as shown in FIG.1 (c), when the one main surface of the wiring board 101 is filled with resin, the electronic component 102 and the connection terminal 11 which were mounted on the one main surface of the wiring board 101 are 1st resin. Sealed by the layer 103 (first sealing step). At this time, since the other end portion of the connection terminal 11 is subjected to water repellent treatment, the upper surface of the other end portion repels the resin and the other end portion is exposed on the surface of the first resin layer 103. One resin layer 103 is formed. The first resin layer 103 is a composite resin formed by mixing an inorganic filler such as aluminum oxide, silica (silicon dioxide), or titanium dioxide in a thermosetting resin such as an epoxy resin, a phenol resin, or a cyanate resin. Can be formed.

例えば、PETフィルム上に複合樹脂を成型して半硬化させた樹脂シートを用いて第1樹脂層103を形成する場合には、所望の厚みを有するスペーサ(型)が周囲に配置された状態の配線基板101に樹脂シートを被せ、スペーサ厚みになるように加熱プレスした後、配線基板101をオーブンにより加熱して樹脂を硬化させることにより、所望の厚みを有する第1樹脂層103を形成することができる。なお、第1樹脂層103は、液状の樹脂を用いたポッティング技術やトランスファーモールド技術、コンプレッションモールド技術など、樹脂層を形成する一般的な成型技術を用いて形成すればよい。   For example, when the first resin layer 103 is formed using a resin sheet obtained by molding and semi-curing a composite resin on a PET film, a spacer (mold) having a desired thickness is arranged around Forming the first resin layer 103 having a desired thickness by covering the wiring substrate 101 with a resin sheet and heat-pressing the spacer so as to have a spacer thickness, and then heating the wiring substrate 101 in an oven to cure the resin. Can do. The first resin layer 103 may be formed using a general molding technique for forming a resin layer, such as a potting technique using a liquid resin, a transfer molding technique, or a compression molding technique.

そして、図1(d)に示すように、ローラブレード等により第1樹脂層103の表面を研削したり研磨することにより、不要な樹脂を除去して、第1樹脂層103の表面を平坦化して(研磨または研削工程)、モジュール100が完成する。なお、第1樹脂層103の表面が研磨または研削される際に、接続端子11の他方端部の撥水材10が一緒に除去される。なお、第1樹脂層103の表面の樹脂を除去しなくても、接続端子11の他方端部は第1樹脂層103の表面に露出するため、必ずしもこの研磨または研削工程は必要ない。特に、第1樹脂層103の表面を接続端子11の他方端部とほぼ同じ高さに形成することができる場合には研磨または研削工程は不要である。   Then, as shown in FIG. 1 (d), the surface of the first resin layer 103 is flattened by grinding or polishing the surface of the first resin layer 103 with a roller blade or the like to remove unnecessary resin. (Polishing or grinding process), the module 100 is completed. In addition, when the surface of the 1st resin layer 103 is grind | polished or ground, the water repellent material 10 of the other end part of the connecting terminal 11 is removed together. Even if the resin on the surface of the first resin layer 103 is not removed, the other end of the connection terminal 11 is exposed on the surface of the first resin layer 103, and thus this polishing or grinding process is not necessarily required. In particular, when the surface of the first resin layer 103 can be formed at substantially the same height as the other end portion of the connection terminal 11, the polishing or grinding process is unnecessary.

したがって、この実施形態では、第1封止工程の前に接続端子11の他方端部に撥水処理が施されるため、配線基板101に実装された接続端子11や電子部品102を第1樹脂層103により封止する際に、接続端子11の他方端部に施された撥水材10により該他方端部の上面の樹脂がはじかれるため、他方端部が第1樹脂層103の表面に露出する。   Therefore, in this embodiment, since the other end portion of the connection terminal 11 is subjected to water repellent treatment before the first sealing step, the connection terminal 11 and the electronic component 102 mounted on the wiring board 101 are connected to the first resin. When sealing with the layer 103, the resin on the upper surface of the other end is repelled by the water repellent material 10 applied to the other end of the connection terminal 11, so that the other end is on the surface of the first resin layer 103. Exposed.

例えば、従来のような、接続端子を実装して層間接続導体を形成する場合には、接続端子の端面を露出させるために研磨または研削が必要であるため、上記したような、目の細かい砥石を使用することにより生産性が低下するという問題や、目の粗い砥石を使用することによる接続端子のダレが発生し、品質が悪くなるという問題が生じる。この点、本実施形態におけるモジュールは接続端子11の他方端部が露出して形成されるため、接続端子11の端面を露出させるための研磨または研削工程が必要なく、接続端子11のダレが発生するという問題が生じない。また、第1樹脂層103の除去自体を不要とすることができ、必要な場合には、第1樹脂層103のみを除去すればよいため、樹脂の研磨に最適な目の粗い砥石を使用でき、モジュール100の生産性を向上することができる。   For example, when a connection terminal is mounted to form an interlayer connection conductor as in the prior art, polishing or grinding is necessary to expose the end face of the connection terminal. There is a problem that productivity decreases due to the use of, and sagging of connection terminals due to the use of a coarse-grained grindstone occurs, resulting in poor quality. In this respect, the module according to the present embodiment is formed by exposing the other end portion of the connection terminal 11, so that a polishing or grinding process for exposing the end surface of the connection terminal 11 is not required, and the connection terminal 11 is sag. The problem of doing does not occur. Further, the removal of the first resin layer 103 itself can be made unnecessary, and if necessary, only the first resin layer 103 has to be removed, so that a rough grindstone optimal for resin polishing can be used. The productivity of the module 100 can be improved.

また、接続端子11を研磨または研削する必要がないため、接続端子11に負荷がかからず、接続端子の根元(配線基板に実装側)の接合部にクラックが発生するおそれもない。   Further, since there is no need to polish or grind the connection terminal 11, no load is applied to the connection terminal 11, and there is no possibility that a crack will occur at the joint of the connection terminal at the base (mounting side on the wiring board).

さらに、研磨または研削による接続端子のダレが発生しないため、接続端子の他方端部の形状が安定し、品質が向上する。また、接続端子の他方端部の形状が安定するため、配線基板に複数の接続端子を実装した場合には、各接続端子間のピッチを狭くすることができ、モジュールの小型化を図ることができる。   Furthermore, since the sagging of the connection terminal due to polishing or grinding does not occur, the shape of the other end of the connection terminal is stabilized and the quality is improved. In addition, since the shape of the other end of the connection terminal is stable, when a plurality of connection terminals are mounted on the wiring board, the pitch between the connection terminals can be reduced, and the module can be downsized. it can.

また、接続端子11の他方端部に施された撥水材10は、研磨または研削工程により第1樹脂層の表面と一緒に除去されるため、外部部品などと接続する際に、モジュール100と外部部品との接続を容易に行なうことができる。   Further, since the water repellent material 10 applied to the other end of the connection terminal 11 is removed together with the surface of the first resin layer by a polishing or grinding process, when connecting to an external component or the like, Connection with external parts can be easily performed.

また、接続端子11ならびに支持体12は、電子部品102を実装するマウンタの吸着コレットなどの形状を変更するだけで実装することが可能であるため、既存の設備を利用できるという利点がある。さらに、接続端子11は層間接続導体を形成するものであり、従来のように、ビアホールを形成する必要がない。つまり、層間接続導体の形成をマウンタのみで行なえるという大きな利点を有する。   Moreover, since the connection terminal 11 and the support body 12 can be mounted only by changing the shape of the suction collet of the mounter on which the electronic component 102 is mounted, there is an advantage that existing facilities can be used. Furthermore, the connection terminal 11 forms an interlayer connection conductor, and there is no need to form a via hole as in the prior art. That is, there is a great advantage that the interlayer connection conductor can be formed only by the mounter.

また、複数の接続端子11を支持体12により支持して、配線基板101に実装するため、生産効率を高めることができる。   Further, since the plurality of connection terminals 11 are supported by the support 12 and mounted on the wiring board 101, the production efficiency can be improved.

そして、支持体12は、接続端子11と電子部品102の実装後であって、第1樹脂層103形成(第1封止工程)前に除去される。そのため、第1樹脂層103を形成するために配線基板101の一方主面に充填される樹脂の充填性が向上する。また、樹脂に封止された空気が抜けやすく、第1樹脂層103にボイドが発生することを抑制できる。   The support 12 is removed after the connection terminals 11 and the electronic component 102 are mounted and before the first resin layer 103 is formed (first sealing step). Therefore, the filling property of the resin filling one main surface of the wiring substrate 101 for forming the first resin layer 103 is improved. Moreover, the air sealed with resin is easy to escape, and it is possible to suppress the generation of voids in the first resin layer 103.

また、配線基板101の一方主面に実装された接続端子11を支持する支持体12が樹脂封止前に除去されているため、第1樹脂層103を形成するために、液状の樹脂や樹脂シートなどの種々の態様の樹脂を使用することができ、一般的に知られている種々の方法により第1樹脂層103を容易に形成することができる。   In addition, since the support 12 that supports the connection terminal 11 mounted on one main surface of the wiring board 101 is removed before resin sealing, a liquid resin or resin is used to form the first resin layer 103. Various modes of resin such as a sheet can be used, and the first resin layer 103 can be easily formed by various generally known methods.

また、第1封止工程の後に第1樹脂層103の表面を研削や研磨により、第1樹脂層103の表面を平坦化することができるとともにモジュール100を低背化することができる。   Moreover, the surface of the 1st resin layer 103 can be planarized by grinding and grinding | polishing the surface of the 1st resin layer 103 after a 1st sealing process, and the module 100 can be made low-profile.

また、接続端子11を上記したような他方端部の径が一方端部よりも大きい断面T字状を有するように形成した場合は、配線基板101と接続する一方端部と反対側の他方端部に面積の大きい外部接続用のランドを形成することができる。したがって、モジュール100の大面積の外部接続用のランドを利用することにより、モジュール100が通信携帯端末のマザー基板などに実装される際の電気的接続性を向上することができる。この場合、第1樹脂層103の表面に露出する外部接続用のランド(他方端部)と接続端子11とが一体形成されているため、第1樹脂層103の表面に露出する接続端子11に、スクリーン印刷やフォトリソグラフィなどによりランドを形成する場合と比較すると、ランド(他方端部)と接続端子11との間の接続強度を向上することができる。   In addition, when the connection terminal 11 is formed so as to have a T-shaped cross section having a larger diameter at the other end as described above, the other end opposite to the one end connected to the wiring substrate 101 is used. An external connection land having a large area can be formed in the portion. Therefore, by using the large area external connection land of the module 100, it is possible to improve electrical connectivity when the module 100 is mounted on a mother board of a communication portable terminal. In this case, since the external connection land (the other end) exposed on the surface of the first resin layer 103 and the connection terminal 11 are integrally formed, the connection terminal 11 exposed on the surface of the first resin layer 103 is formed. Compared with the case where the land is formed by screen printing or photolithography, the connection strength between the land (the other end) and the connection terminal 11 can be improved.

また、マザー基板などに接続する際に必要な電気接続性や接続強度は、大面積を有する当該他方端部のランドにより確保できるため、接続端子11の一方端部の径を外部接続用のランド(他方端部)の径よりも小さく形成することができる。   In addition, since the electrical connectivity and connection strength required when connecting to a mother board or the like can be ensured by the land at the other end having a large area, the diameter of one end of the connection terminal 11 is set to the land for external connection. It can be formed smaller than the diameter of (the other end).

また、第1樹脂層103による封止後は、接続端子11により層間接続導体が形成されるため、従来の技術のように、ビアホールを設ける必要がなく、モジュール100の生産にかかるコストの削減ならびに製造時間の短縮が図れる。さらに、従来のように、デスミア処理が施される際の薬液や、ビアフィルめっきが施される際の薬液が、樹脂層や配線基板を浸食するという問題も生じない。   Moreover, since the interlayer connection conductor is formed by the connection terminal 11 after sealing with the first resin layer 103, there is no need to provide a via hole as in the conventional technique, and the cost for production of the module 100 can be reduced. Manufacturing time can be shortened. Further, unlike the prior art, there is no problem that the chemical solution when the desmear treatment is performed or the chemical solution when the via fill plating is performed erodes the resin layer or the wiring board.

<第2実施形態>
本発明の第2実施形態にかかるモジュール100aについて、図2を参照して説明する。図2は本発明の第2実施形態にかかるモジュール100aを示す図である。
Second Embodiment
A module 100a according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a module 100a according to the second embodiment of the present invention.

この実施形態にかかるモジュール100aが、上記した第1実施形態と異なるのは、図2に示すように、モジュール100aの配線基板101の他方主面に電子部品102がさらに実装される(第2実装工程)とともに、それらの電子部品102が第2樹脂層104により封止されている(第2封止工程)点である。その他の構成は上記した第1実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。   The module 100a according to this embodiment differs from the first embodiment described above in that an electronic component 102 is further mounted on the other main surface of the wiring board 101 of the module 100a (second mounting) as shown in FIG. And the electronic component 102 is sealed with the second resin layer 104 (second sealing step). Since other configurations are the same as those in the first embodiment, description of the configuration is omitted by giving the same reference numerals.

したがって、配線基板101の他方主面に電子部品102が実装され、配線基板101の他方主面に実装された電子部品102が第2樹脂層104により封止されることにより、モジュール100aに実装される電子部品102の実装密度を高めることができるので実用的である。   Therefore, the electronic component 102 is mounted on the other main surface of the wiring substrate 101, and the electronic component 102 mounted on the other main surface of the wiring substrate 101 is sealed with the second resin layer 104, so that it is mounted on the module 100a. This is practical because the mounting density of the electronic components 102 can be increased.

<第3実施形態>
本発明の第3実施形態にかかるモジュール100bについて、図3を参照して説明する。図3は本発明の第3実施形態にかかるモジュール100bを示す図である。
<Third Embodiment>
A module 100b according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing a module 100b according to the third embodiment of the present invention.

この実施形態にかかるモジュール100bが、上記した第2実施形態と異なるのは、図3に示すように、モジュール100bの配線基板101の他方主面に設けられた第2樹脂層104に金属シールド層105が設けられている点である。その他の構成は上記した第1、第2実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。なお、金属シールド層105は、配線基板101に設けられたGND用配線と電気的に接続されるのが望ましい。   The module 100b according to this embodiment differs from the second embodiment described above in that a metal shield layer is formed on the second resin layer 104 provided on the other main surface of the wiring substrate 101 of the module 100b as shown in FIG. 105 is provided. Since other configurations are the same as those in the first and second embodiments described above, description of the configuration is omitted by giving the same reference numerals. Note that the metal shield layer 105 is preferably electrically connected to the GND wiring provided on the wiring board 101.

このように構成すると、第2樹脂層104に金属シールド層105が設けられているため、特に、第2樹脂層104に封止される電子部品102に、外部からのノイズが伝搬することを防止できるとともに、第2樹脂層104に封止される電子部品102から電磁波などが輻射されることを防止できる。   With this configuration, since the metal shield layer 105 is provided on the second resin layer 104, it is possible to prevent noise from the outside from propagating to the electronic component 102 that is sealed by the second resin layer 104. In addition, electromagnetic waves and the like can be prevented from being radiated from the electronic component 102 sealed in the second resin layer 104.

<第4実施形態>
本発明の第4実施形態にかかるモジュール100cについて、図4を参照して説明する。図4は本発明の第4実施形態にかかるモジュール100cを示す図である。
<Fourth embodiment>
A module 100c according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a diagram showing a module 100c according to the fourth embodiment of the present invention.

この実施形態にかかるモジュール100cが、図2を参照して説明した第2実施形態と異なるのは、図4に示すように、モジュール100cの配線基板101の他方主面に接続端子11が実装されることにより(第2実装工程)、第2樹脂層104に接続端子11による層間接続導体が設けられている点である。また、第2樹脂層104は、配線基板101の他方主面に実装された複数の接続端子11が支持された支持体12が接続端子11から除去された後に樹脂が充填されることにより形成される。   The module 100c according to this embodiment differs from the second embodiment described with reference to FIG. 2 in that the connection terminals 11 are mounted on the other main surface of the wiring board 101 of the module 100c as shown in FIG. Thus (second mounting step), the second resin layer 104 is provided with an interlayer connection conductor by the connection terminals 11. The second resin layer 104 is formed by filling the resin after the support 12 supporting the plurality of connection terminals 11 mounted on the other main surface of the wiring substrate 101 is removed from the connection terminals 11. The

また、この実施形態では、第2樹脂層104に設けられた接続端子11により形成された層間接続導体に接続されるように、第2樹脂層104にさらに電子部品102が実装される。その他の構成は上記した第1〜第3実施形態と同様の構成であるため、同一符号を付すことによりその構成の説明は省略する。   In this embodiment, the electronic component 102 is further mounted on the second resin layer 104 so as to be connected to the interlayer connection conductor formed by the connection terminals 11 provided on the second resin layer 104. Since other configurations are the same as those in the first to third embodiments, description of the configuration is omitted by giving the same reference numerals.

このように構成すると、配線基板101の他方主面に接続端子11がさらに実装されるので、第2樹脂層104に層間接続導体を形成することができる。また、配線基板101の他方主面に実装された電子部品102および接続端子11が第2樹脂層104により封止される前に、配線基板101の他方主面の支持体12が接続端子11から除去されるため、第2樹脂層104を形成するための樹脂を配線基板101の他方主面に効率よく充填することができる。   If comprised in this way, since the connection terminal 11 is further mounted in the other main surface of the wiring board 101, an interlayer connection conductor can be formed in the 2nd resin layer 104. FIG. In addition, before the electronic component 102 and the connection terminal 11 mounted on the other main surface of the wiring board 101 are sealed by the second resin layer 104, the support 12 on the other main surface of the wiring board 101 is connected to the connection terminal 11. Since it is removed, the resin for forming the second resin layer 104 can be efficiently filled into the other main surface of the wiring board 101.

また、第2封止工程により形成された第2樹脂層104に、第2樹脂層104に設けられた接続端子11に接続されるように電子部品102がさらに実装されるため、モジュール100cに実装される電子部品102の実装密度をさらに高めることができるので実用的である。   Further, since the electronic component 102 is further mounted on the second resin layer 104 formed by the second sealing step so as to be connected to the connection terminal 11 provided on the second resin layer 104, the electronic component 102 is mounted on the module 100c. This is practical because the mounting density of the electronic component 102 can be further increased.

なお、本発明は上記した各実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上記したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications other than those described above can be made without departing from the spirit of the invention.

例えば、上記した実施形態では、第1樹脂層103の表面と一緒に撥水材10を研磨または研削することにより撥水材10を除去したが、第1樹脂層103の表面を研磨または研削した後に、薬液などを使用して撥水材10を除去してもよい。このようにすることでも、モジュール100,100a,100b,100cを外部部品などに接続する場合の接続を容易に行なうことができる。   For example, in the above-described embodiment, the water repellent material 10 is removed by polishing or grinding the water repellent material 10 together with the surface of the first resin layer 103, but the surface of the first resin layer 103 is polished or ground. Later, the water repellent material 10 may be removed using a chemical solution or the like. This also facilitates connection when connecting the modules 100, 100a, 100b, and 100c to external components.

また、露出した接続端子11の他方端部の撥水材10を除去した後、例えばNi/Auめっきなどを施して、そこに半田などのバンプを形成してもよい。こうすることで、モジュール100,100a,100b,100cを外部基板などと接続する際に、外部部品などに半田バンプを形成する必要がなくなり実用的である。
なお、上記実施形態においては撥水材の除去工程を記載したが、接続端子11の他方端部にめっきを施す場合には、めっき形成のための前処理の脱脂工程や、洗浄工程により撥水材を除去することができるため、上記撥水材の除去工程を経なくてもよい。もちろん、撥水材の除去工程を経た場合であっても、上記めっき形成のための前処理工程を経ることにより、一部残留していた撥水材を確実に除去することができる。
Further, after removing the water repellent material 10 at the other end of the exposed connection terminal 11, for example, Ni / Au plating may be applied, and bumps such as solder may be formed thereon. By doing so, when connecting the modules 100, 100a, 100b, and 100c to an external substrate or the like, it is practically unnecessary to form solder bumps on the external components or the like.
In addition, although the removal process of the water repellent material was described in the said embodiment, when plating on the other end part of the connection terminal 11, water repellent is carried out by the degreasing process of pre-processing for plating formation, or a washing process. Since the material can be removed, the water repellent material removal step does not have to be performed. Of course, even when the water repellent material is removed, the remaining water repellent material can be reliably removed through the pretreatment step for forming the plating.

上記した実施形態では、モジュール単体ごとの製造方法について説明したが、複数のモジュールの集合体を形成した後に、個々のモジュールに個片化することによりモジュールを製造してもよい。この場合、配線基板101の集合体に複数の接続端子11を支持する支持体12を実装する際に、個片化される前の支持体12の集合体を配線基板101の集合体に実装してもよい。このようにすると、配線基板101への支持体12の実装時間の短縮を図ることができるので、モジュールの製造時間の短縮を図ることができる。   In the above-described embodiment, the manufacturing method for each module has been described. However, after forming an assembly of a plurality of modules, the modules may be manufactured by dividing them into individual modules. In this case, when mounting the support body 12 that supports the plurality of connection terminals 11 on the assembly of the wiring boards 101, the assembly of the support bodies 12 before being singulated is mounted on the assembly of the wiring boards 101. May be. In this way, the mounting time of the support 12 on the wiring substrate 101 can be shortened, so that the module manufacturing time can be shortened.

また、本発明のように、モジュールの配線基板に柱状の接続端子を表面実装技術を用いて実装することにより、モジュールの層間接続導体を形成する技術に本発明を広く適用することができ、種々の電子部品を配線基板に搭載することにより、種々の機能を有するモジュールを構成することができる。   In addition, the present invention can be widely applied to a technique for forming an interlayer connection conductor of a module by mounting columnar connection terminals on the circuit board of the module using a surface mounting technique as in the present invention. By mounting the electronic component on the wiring board, a module having various functions can be configured.

10 撥水材
11 接続端子
100,100a,100b,100c モジュール
101 配線基板
102 電子部品
103 第1樹脂層
104 第2樹脂層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Water repellent material 11 Connection terminal 100,100a, 100b, 100c Module 101 Wiring board 102 Electronic component 103 1st resin layer 104 2nd resin layer

Claims (5)

層間接続導体を形成する柱状の接続端子および電子部品を配線基板上に実装し樹脂封止してなるモジュールの製造方法において、
前記配線基板の一方主面に、電子部品を実装するとともに前記接続端子の一方端部が前記配線基板に接続されるように前記接続端子を実装する第1実装工程と、
前記電子部品および前記接続端子を樹脂層により封止する第1封止工程とを備え、
前記第1実装工程の前または後であって、前記第1封止工程の前に実行される前記接続端子の他方端部に撥水処理を施す撥水処理工程を
さらに備えることを特徴とするモジュールの製造方法。
In the method of manufacturing a module formed by mounting resin-sealed columnar connection terminals and electronic components that form interlayer connection conductors on a wiring board,
A first mounting step of mounting an electronic component on one main surface of the wiring board and mounting the connection terminal so that one end of the connection terminal is connected to the wiring board;
A first sealing step of sealing the electronic component and the connection terminal with a resin layer,
A water repellent treatment step of performing a water repellent treatment on the other end of the connection terminal, which is performed before or after the first mounting step and before the first sealing step. Module manufacturing method.
前記第1封止工程の後に前記樹脂層の表面を研磨または研削する工程を備えることを特徴とする請求項1に記載のモジュールの製造方法。   The method for manufacturing a module according to claim 1, further comprising a step of polishing or grinding the surface of the resin layer after the first sealing step. 前記配線基板の他方主面に他の電子部品を実装する第2実装工程と、前記他の電子部品を樹脂層により封止する第2封止工程とさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載のモジュールの製造方法。   2. The method according to claim 1, further comprising: a second mounting step of mounting another electronic component on the other main surface of the wiring board; and a second sealing step of sealing the other electronic component with a resin layer. 2. A method for producing the module according to 2. 前記他の電子部品を実装する第2実装工程において、前記配線基板の他方主面に前記柱状端の一方端部が接続されるように前記接続端子を実装することを特徴とする請求項3に記載のモジュールの製造方法。   4. The second mounting step of mounting the other electronic component, wherein the connection terminal is mounted so that one end of the columnar end is connected to the other main surface of the wiring board. A manufacturing method of the module described. 前記配線基板の他方主面に実装される前記接続端子の他方端部に接続されるように、他の電子部品を実装することを特徴とする請求項4に記載のモジュールの製造方法。
The method for manufacturing a module according to claim 4, wherein another electronic component is mounted so as to be connected to the other end of the connection terminal mounted on the other main surface of the wiring board.
JP2011194569A 2011-09-07 2011-09-07 Manufacturing method of module Pending JP2013058515A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011194569A JP2013058515A (en) 2011-09-07 2011-09-07 Manufacturing method of module

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011194569A JP2013058515A (en) 2011-09-07 2011-09-07 Manufacturing method of module

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013058515A true JP2013058515A (en) 2013-03-28

Family

ID=48134168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011194569A Pending JP2013058515A (en) 2011-09-07 2011-09-07 Manufacturing method of module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013058515A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10973132B2 (en) 2018-01-25 2021-04-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio-frequency module and communication apparatus
US11631659B2 (en) 2019-02-04 2023-04-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. High-frequency module and communication apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002359350A (en) * 2001-05-31 2002-12-13 Denso Corp Method of manufacturing stacked circuit module
JP2007311596A (en) * 2006-05-19 2007-11-29 Murata Mfg Co Ltd Manufacturing method of circuit board having protruding electrode, and same circuit board having protruding electrode
JP2008016729A (en) * 2006-07-07 2008-01-24 Kyushu Institute Of Technology Manufacturing method for semiconductor device with double-sided electrode structure
WO2009136496A1 (en) * 2008-05-09 2009-11-12 国立大学法人九州工業大学 Three-dimensionally integrated semiconductor device and method for manufacturing the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002359350A (en) * 2001-05-31 2002-12-13 Denso Corp Method of manufacturing stacked circuit module
JP2007311596A (en) * 2006-05-19 2007-11-29 Murata Mfg Co Ltd Manufacturing method of circuit board having protruding electrode, and same circuit board having protruding electrode
JP2008016729A (en) * 2006-07-07 2008-01-24 Kyushu Institute Of Technology Manufacturing method for semiconductor device with double-sided electrode structure
WO2009136496A1 (en) * 2008-05-09 2009-11-12 国立大学法人九州工業大学 Three-dimensionally integrated semiconductor device and method for manufacturing the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10973132B2 (en) 2018-01-25 2021-04-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio-frequency module and communication apparatus
US11631659B2 (en) 2019-02-04 2023-04-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. High-frequency module and communication apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9293446B2 (en) Low profile semiconductor module with metal film support
JP5768889B2 (en) Module manufacturing method and module
CN101044805A (en) Hybrid multilayer substrate and method for manufacturing the same
JP5768888B2 (en) Module manufacturing method and terminal assembly
CN1835661A (en) Wiring board manufacturing method
JP5831057B2 (en) Module manufacturing method
CN101355857B (en) Electronic component-embedded board and method of manufacturing the same
JP5708814B2 (en) Module manufacturing method
CN1577813A (en) Circuit module and manufacturing method thereof
CN1758433A (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP6282589B2 (en) Module and manufacturing method thereof
CN1519920A (en) Semiconductor device and mfg. method for same
KR20080059098A (en) Collective mounting method of electronic components and manufacturing method of electronic component-embedded substrate
CN1858997A (en) Crystal oscillator
CN1392602A (en) Method for producing circuit device
JP2013058515A (en) Manufacturing method of module
JP6105316B2 (en) Electronic equipment
JP2008205265A (en) Electronic-component mounting substrate
WO2013035717A1 (en) Module, and manufacturing method for module
WO2014017160A1 (en) Module, and device having module mounted thereon
US8241449B2 (en) Method for producing ceramic body
CN1574301A (en) Ceramic package and fabrication method thereof
JP2013110299A (en) Composite module
WO2013099360A1 (en) Module and component equipped with module
KR20090112937A (en) Manufacturing method of multi-layer substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140617

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150204

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150210

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20150707