JP2013049599A - 繊維状カーボン材料の製造装置 - Google Patents

繊維状カーボン材料の製造装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2013049599A
JP2013049599A JP2011188077A JP2011188077A JP2013049599A JP 2013049599 A JP2013049599 A JP 2013049599A JP 2011188077 A JP2011188077 A JP 2011188077A JP 2011188077 A JP2011188077 A JP 2011188077A JP 2013049599 A JP2013049599 A JP 2013049599A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylindrical member
opening
rod
fibrous carbon
carbon material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011188077A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5705068B2 (ja
Inventor
Toshiyuki Okada
利幸 岡田
Masashi Hori
雅史 堀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Zosen Corp
Original Assignee
Hitachi Zosen Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Zosen Corp filed Critical Hitachi Zosen Corp
Priority to JP2011188077A priority Critical patent/JP5705068B2/ja
Publication of JP2013049599A publication Critical patent/JP2013049599A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5705068B2 publication Critical patent/JP5705068B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Inorganic Fibers (AREA)

Abstract

【課題】流動層を用いてカーボンナノコイルなどを製造する際に、その製造効率の改善を図り得る製造装置を提供する。
【解決手段】上下端部が閉塞された筒状部材1と、この筒状部材内の中間部に配置されて流動層形成用の上方空間部Aと反応ガス供給用の下方空間部Bとに区画すると共に中央に製品の取出用開口部2aが形成され逆円錐形状の流動層保持部材2と、この保持部材上の製品を回収手段4に導く取出用筒部材3と、取出用開口部を開閉自在な開閉手段5と、筒状部材の上方空間部に粒状体を供給する粒状体供給手段6と、取出用筒部材と筒状部材との間の環状空間部C内に反応ガスを供給する反応ガス供給手段7と、筒状部材の外周に配置されてその内部を加熱し得る加熱手段8と、筒状部材の上方空間部内に配置されて当該筒状部材の内壁面に付着した付着物を掻き落し得る掻き落し手段9とを具備したもの。
【選択図】図1

Description

本発明は、繊維状カーボン材料の製造装置に関するものである。
従来、カーボンナノチューブを製造する装置として、熱CVD装置が用いられているが、効率良く製造する装置として、流動層を用いたものがある(例えば、特許文献1参照)。
この流動層を用いた製造装置は、円筒形状のタンク内に、流動層を配置するとともに、その底部から流動層を形成するためのガスを供給するとともに、原料である炭素ガスを供給するようにしたものである。勿論、タンクの周囲には、加熱手段が設けられており、タンク内は所定温度に加熱される。
特開2003−342840号公報
上述した製造装置では、流動層を形成する材料として、触媒を担持させた担体をバインダーで結合したものを用いることにより、原料と触媒との接触を十分に行わせてカーボンナノ材料を効率良く製造するようにしているが、バッチ式であるとともに、その熱CVD時に、煤・タールなどの副産物が生成し、この副産物がタンクの内壁面に付着・成長して製品の取り出しに不都合が生じ、延いては、製造効率が低下するという問題があった。
そこで、本発明は、流動層を用いてカーボンナノコイル、カーボンナノチューブなどの繊維状カーボン材料を製造する際に、その製造効率の改善を図り得る繊維状カーボン材料の製造装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の請求項1に係る繊維状カーボン材料の製造装置は、粒子に触媒が担持されてなる粒状体を炭素を含む反応ガスを用いて流動化させるとともに加熱することにより、粒状体に繊維状カーボンを成長させて繊維状カーボン材料を製造する装置であって、
上下方向に配置されて上下端部が閉塞された筒状部材と、この筒状部材内の中間部に配置されて流動層形成用の上方空間部と反応ガス供給用の下方空間部とに区画するとともに中央に繊維状カーボン材料の取出用開口部が形成され且つ当該取出用開口部の外周寄りに複数のガス導入穴が形成された逆円錐形状の流動層保持部材と、上記下方空間部内に配置されて上端開口部が上記取出用開口部に接続されるとともに下端開口部が回収手段に接続し得るようにされた繊維状カーボン材料の取出用筒部材と、上記取出用開口部を開閉自在な開閉手段と、上記筒状部材の上方空間部に粒状体を供給する粒状体供給手段と、上記取出用筒部材と上記筒状部材との間の環状空間部内に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、上記筒状部材の外周に配置されてその内部を加熱し得る加熱手段と、上記筒状部材の上方空間部内に配置されて当該筒状部材の内壁面に付着した付着物を掻き落し得る掻き落し手段とを具備したものである。
また、本発明の請求項2に係る繊維状カーボン材料の製造装置は、請求項1に記載の製造装置における加熱手段による加熱範囲を、筒状部材の上方空間部および下方空間部を同時に加熱し得るように設定したものである。
また、本発明の請求項3に係る繊維状カーボン材料の製造装置は、請求項1に記載の製造装置における開閉手段を、上端部から筒状部材内に昇降可能に挿入された棒状体と、この棒状体の下端に設けられて取出用開口部を上方または下方から開閉自在な弁体とから構成したものである。
また、本発明の請求項4に係る繊維状カーボン材料の製造装置は、請求項3に記載の製造装置における掻き落し手段として、開閉手段の棒状体の外面に設けられた羽根体を用いたものである。
また、本発明の請求項5に係る繊維状カーボン材料の製造装置は、請求項3に記載の製造装置における掻き落し手段を、開閉手段の棒状体に外嵌されるとともに棒状体とは別個に昇降可能に設けられた管状体と、この管状体の外面に設けられて筒状部材の内壁面の付着物を掻き落とし得る羽根体とから構成したものである。
さらに、本発明の請求項6に係る繊維状カーボン材料の製造装置は、請求項1に記載の製造装置における開閉手段を、上端部から筒状部材内に昇降可能に挿入された棒状体と、この棒状体の下端に設けられて取出用開口部を下方から開閉自在な弁体とから構成するとともに、掻き落し手段を、開閉手段の棒状体に外嵌されるとともに棒状体とは別個に昇降可能に設けられた管状体と、この管状体の外面に設けられて当該筒状部材の内壁面の付着物を掻き落とし得る羽根体とから構成したものである。
上記の構成によると、粒子に触媒が付着されてなる粒状体を筒状部材内に上方から供給して下方からの反応ガスにより流動化させ且つ周囲に配置された加熱手段により加熱して繊維状カーボン材料を触媒の表面に成長させるとともに、下方に設けられた取出用筒部材から供給される不活性ガスにより冷却しながら下方に排出するようにしたので、装置全体の加熱・冷却を交互に行う必要がなく、したがって繊維状カーボン材料を連続的に効率良く成長させることができ、さらに筒状部材の内壁面に付着した付着物を掻き落し得る掻き落し手段を設けたので、熱CVD時に生成して内壁面に付着する煤・タールなどの付着物を容易に取り除くことができる。すなわち、作業性が向上して、より一層、繊維状カーボン材料の製造効率の向上を図ることができる。
本発明の実施例の繊維状カーボン材料の製造装置の構成を示す断面図である。 同製造装置による製造方法を説明する模式断面図である。 同製造装置による製造方法を説明する模式断面図である。 同製造装置の変形例の構成を示す断面図である。 同製造装置の変形例の構成を示す断面図である。 同製造装置の他の変形例の構成を示す断面図である。
以下、本発明に係る繊維状カーボン材料の製造装置の実施例を図面に基づき説明する。
なお、ここで説明する繊維状カーボン材料としては、カーボンナノコイル(CNC)、カーボンナノチューブ(CNT)などがあるが、寸法的には、ナノオーダより大きいものであってもよいが、本実施例では、カーボンナノコイルを製造する場合について説明する。
すなわち、この製造装置による製造方法は、金属粒子として例えばアルミナ粒子に鉄、インジウム、スズなどの触媒を担持させてなる粒状体を、炭素を含む反応ガスを用いて流動させた状態で加熱することにより(つまり、流動層による熱CVD法である)、アルミナ粒子の表面にカーボンを繊維状に成長させて製品であるカーボンナノコイルを得る方法である。
まず、本実施例に係る繊維状カーボン材料の製造装置について説明する。
この製造装置は、図1に示すように、上下方向に配置されて上下端部が閉鎖された筒状部材1と、この筒状部材1内の中間部に配置されて流動層形成用の上方空間部Aと反応ガス導入用の下方空間部Bとに区画するとともに中央にカーボンナノコイル(以下、製品と称す)の取出用開口部2aが形成され且つ当該取出用開口部2aの外周寄りに複数のガス導入穴2bが形成された逆円錐形状の流動層保持部材2と、上記下方空間部B内に配置されて上端開口部が上記取出用開口部2aに接続されるとともに下端開口部が製品の回収手段4に接続し得るようにされた製品の取出用筒部材3と、上記取出用開口部2aを開閉自在な開閉手段5と、上記筒状部材1の上方空間部Aに粒状体を供給する粒状体供給手段6と、上記取出用筒部材3と上記筒状部材1との間の環状空間C内に炭素分を含む反応ガス(例えば、ヘリウム、アルゴン、窒素などの不活性ガスに、炭素を含むガスとしてアセチレンガスが混合されたもの)を供給する反応ガス供給手段7と、上記筒状部材1の外周に配置されてその内部を加熱し得る加熱手段8と、上記筒状部材1の上方空間部A内に配置されてその内壁面に付着した付着物を掻き落すための掻き落し手段9とから構成されている。
上記筒状部材1は、円筒状の胴部11と、この胴部11の上下端部を閉塞する上蓋部12および下蓋部13とから構成され、またこの内部の中間位置には、上述したように、中央に円形の取出用開口部2aが形成された逆円錐形状の流動層保持部材(以下、単に、保持部材と称す)2が配置され、さらにこの内部の上方位置には水平の隔壁14が設けられて上方空間部Aがさらに上側の逆流防止用空間部(後述する)Dと下側の熱CVD法を行うための反応空間部Eとに区画されている。また、この隔壁14には、粒状体供給手段6により供給される粒状体を反応空間部Eに案内するための逆円錐形状の案内口14aが形成されている。
なお、上記保持部材2の取出用開口部2aの外周寄り部分に設けられるガス導入穴2bは、水平且つ放射方向で形成されるとともに、同一円周上で所定間隔置きに複数箇所(例えば、8箇所)で放射状(半径方向または旋回流を形成するように斜め方向)に配置されている。
そして、上記上蓋部12には、第1ガス供給管(ガス供給口とも言える)21が上下方向で挿通され、また上述した粒状体供給手段6が備えられている。
この粒状体供給手段6は、上蓋部12に上下方向で挿通して設けられた粒状体供給管22と、この粒状体供給管22の上端に開閉弁23を介して接続された粒状体の貯留用容器24とから構成されている。なお、第1ガス供給管21および粒状体供給管22は隔壁14より上方の逆流防止用空間部D内に開口されている。特に、粒状体供給管22は、その下端開口面が隔壁14に形成された案内口14aに対向し且つ接近して設けられている。
上記下蓋部13に設けられる反応ガス供給手段7は、先端開口部が下蓋部13を上下方向で挿通して設けられた第2ガス供給管25と、この第2ガス供給管25に接続されて反応ガスを供給するための反応ガスタンク(図示せず)とから構成されている。また、下蓋部13より外側に突出する取出用筒部材3にはヘリウム、アルゴン、窒素などの不活性ガスを供給し得る第3ガス供給管26が接続されている。さらに、上記筒状部材1の胴部11の隔壁14より直ぐ下方位置には、反応空間部E内のガスを排出するためのガス排出管27が水平方向で接続されている。
上記開閉手段5は、上蓋部12を貫通されて筒状部材1の内部に挿通された棒状体(操作棒ともいえる)31と、この棒状体31の下端に設けられて取出用開口部2aを上方から閉鎖し得る弁体32とから構成されている。
上記掻き落し手段9は、取出用開口部2aを開閉するための開閉手段5に設けられている。すなわち、棒状体31の下方部に且つその周囲複数箇所、例えば3箇所(120度置きに)にて、板状のスクレーパ33が設けられている。なお、このスクレーパ33の側面視形状は、筒状部材1の胴部11の内壁面および保持部材2の上面に付着した付着物を掻き落すためのものであるため、その下縁および外縁形状は、胴部11の内壁面および保持部材2の上面に沿う形状にされている。
上記上蓋部12の棒状体31の挿通部および下蓋部13の取出用筒部材3の挿通部には、シール材34,35が設けられており、また上蓋部12および下蓋部13には、冷却水を流すための冷却水用通路36,37が形成されている。
また、棒状体31の隔壁14での挿通部分(穴部)には隙間が設けられているが、この隙間は僅かであるため、反応空間部Eから逆流防止用空間部Dへのガスの漏れが殆ど生じないとともに、逆流防止用空間部Dに供給される不活性ガスによりガスの漏れが確実に阻止される(シール機能の発揮)。
なお、上蓋部12と胴部11との間および下蓋部13と胴部11との間には、パッキン38,39が設けられており、これらの部材が互いに分解し得るように構成されている。
上記回収手段4は、取出用筒部材3に設けられた開閉弁41と、この開閉弁41に接続された製品の回収用容器42とから構成されており、また上記加熱手段8は、電熱コイル45と、この電熱コイル45に接続された電源(図示せず)とから構成されているとともに、電熱コイル45は、反応空間部E(上方空間部Aでもある)と下方空間部Bとに亘って加熱し得るように配置されている。言い換えれば、環状空間部Cの上側であるガス予熱ゾーン、流動層ゾーン(反応空間部Eの下側)および排気ゾーン(反応空間部Eの上側)に亘って配置されている。なお、環状空間部Cであるガス予熱ゾーンは第2ガス供給管25から供給された反応ガスを予熱してガスの分解を促進する領域であり、流動層ゾーンは温度が均一で安定してカーボンナノコイルの生成を行う領域であり、排気ゾーンは上側のガス温度を維持して流動層ゾーンの温度を均一にする領域である。
また、逆流防止用空間部Dは、第1ガス供給管21から不活性ガスが当該逆流防止用空間部D内に供給されることにより、熱CVD時に発生する煤、タールなどの炭化物(副産物)が当該逆流防止用空間部D内に入り粒状体供給管22から供給された粒状体に付着して触媒機能が失われるのを防止するためのものである。この意味で、逆流防止用空間部Dを触媒失活防止用空間部と呼ぶこともできる。
以下、カーボンナノコイルの製造方法を図2および図3に基づき説明する。
まず、図2(a)に示すように、粒状体供給手段6の貯留用容器24に、粒子に触媒が担持されてなる粒状体Gを貯留しておく。なお、取出用開口部2aは弁体32により閉鎖されている。
次に、加熱手段8の電熱コイル45に電気を供給して筒状部材1内の温度を所定温度に加熱しておく。この温度範囲としては300〜900℃の範囲内であり、当然に、製品つまり生成物に応じて異なり、カーボンナノコイルの場合には600〜800℃程度に加熱する。このとき、冷却水用通路36,37に冷却水が供給されて冷却が行われており、シール材34,35が保護されている。
次に、図2(b)に示すように、開閉弁23を開いて貯留用容器24内の粒状体Gを粒状体供給管22を介して筒状部材1内に供給する。
このとき、第2ガス供給管25から不活性ガスにアセチレンガス(炭素分を含むガス)が含まれてなる反応ガスが環状空間部C(下方空間部Bでもある)に供給されているとともに、第1ガス供給管21から不活性ガスが逆流防止用空間部D内に供給されている。
この状態で、粒状体Gが隔壁14の案内口14aより反応空間部E内に落下されて保持部材2上に導かれると、導入穴2aから噴出される反応ガスにより粒状体Gが流動化し攪拌が行われる。
すなわち、粒状体Gは反応空間部E内で流動・攪拌されるとともに加熱手段8により加熱されて反応ガスの熱分解により粒状体Gの触媒の表面に炭素分が付着・成長し(熱CVD法)、製品としてのカーボンナノコイルが形成される。
そして、図2(c)に示すように、所定時間経過後に、弁体32を上昇させて取出用開口部2aを開き、製品であるカーボンナノコイルHを取出用筒部材3から回収手段4である回収用容器42内に排出させる。
このとき、第2ガス供給管25および第3ガス供給管26から不活性ガスが供給されており、反応空間部E内の反応ガスを排出するとともに取出用開口部2aから排出される製品の冷却が行われる。
ところで、熱CVD後の筒状部材1内には、反応時の副産物である煤やタールなどの炭化物が付着するが、製品(生成物)によっては、炭化物自身が製品成長の阻害となるため取り除く必要が生じる。このため、図2(d)に示すように、弁体32を下降させて取出用開口部2aを閉鎖した状態で、第2ガス供給管25より空気または酸素を含むガスを供給し、反応空間部E内(上方空間部A内でもある)の炭化物を燃焼させることにより、その除去を行う。所謂、焼洗浄が行われる。
なお、この焼洗浄時および上記熱CVD時に、第1ガス供給管21より逆流防止用空間部Dに不活性ガスが供給されて(図2(b)および(d)参照)、粒状体供給部分の清浄化および反応ガスの漏れ防止化が図られており、同時に、この粒状体供給部分において、断熱効果および冷却効果が得られる。
このような操作(作業)を繰り返すことにより、装置全体の温度を低下させることなく、連続的にカーボンナノコイルを製造することができる。
また、運転がある程度行われると、図3に示すように、筒状部材1の内壁面にはクリンカJなどが付着するが、この場合、掻き落し手段9の棒状体31を介して、スクレーパ33を上下動および回転させることにより、その内壁面に付着したクリンカを掻き落とせばよい。
このように、粒子に触媒が担持されてなる粒状体を筒状部材1内に上方から供給して下方からの反応ガスにより流動化させ且つ周囲に配置された加熱手段8により加熱してカーボンナノコイルを触媒の表面に成長させるとともに、下方に設けられた取出用筒部材3から供給される不活性ガスにより冷却しながら下方に排出するようにしたので、装置全体の加熱・冷却を交互に行う必要がなく、したがってカーボンナノコイルを連続的に効率良く製造することができ、さらに筒状部材1の内壁面に付着した付着物を掻き落し得るスクレーパ33を設けたので、熱CVD時に生成して内壁面に付着する煤・タールなどの付着物を容易に取り除くことができる。すなわち、作業性が向上して、より一層、カーボンナノコイルの製造効率の向上を図ることができる。
ところで、上記実施例においては、弁体を取出用開口部の上方に位置するように設けたが、例えば図4に示すように、弁体32′を取出用開口部2aの下方に位置させて、下方から開閉するようにしてもよい。
この場合、熱CVD時にスクレーパ33が邪魔にならないように、弁体32′による取出用開口部2aの閉塞状態のときに、スクレーパ33が上方に位置するように当該スクレーパ33が棒状体31に取り付けられる。なお、図5にスクレーパ33の使用状態を示しておく。図5から分かるように、スクレーパ33の使用時においては、弁体32′が下方に位置して掻き落とされた付着物がそのまま取出用筒部材3内に落下するようにされている。
さらに、上記実施例においては、スクレーパ33を棒状体31の外周に取り付けるようにしたが、例えば図6に示すように、開閉手段5と別個に設けるようにしてもよい。
この場合の掻き落し手段9′を具体的に説明すると、棒状体31に隙間を有して外嵌する(つまり、遊嵌状態)筒状体51を、やはり、上蓋部12を上下方向で挿通して設けるとともに、この筒状体51の下部周囲に、上述した実施例と同様のスクレーパ52を複数設けたものである。
この場合は、当然ながら、弁体32の昇降動作に関係なくスクレーパ52を上下動および回動させることができるので、付着物の掻き落としを自由に行うことができる。したがって、付着物の掻き落とし作業の効率化を図ることができる。
A 上方空間部
B 下方空間部
C 環状空間部
D 逆流防止用空間部
E 反応空間部
1 筒状部材
2 流動層保持部材
2a 取出用開口部
2b ガス導入穴
3 取出用筒部材
4 回収手段
5 開閉手段
5′ 開閉手段
6 粒状体供給手段
7 反応ガス供給手段
8 加熱手段
9 掻き落し手段
9′ 掻き落し手段
11 胴部
12 上蓋部
13 下蓋部
14 隔壁
14a 案内口
21 第1ガス供給管
22 粒状体供給管
24 貯留用容器
25 第2ガス供給管
26 第3ガス供給管
27 ガス排出管
31 棒状体
32 弁体
32′ 弁体
33 スクレーパ
42 回収用容器
45 電熱コイル
51 筒状体
52 スクレーパ

Claims (6)

  1. 粒子に触媒が担持されてなる粒状体を炭素を含む反応ガスを用いて流動化させるとともに加熱することにより、粒状体に繊維状カーボンを成長させて繊維状カーボン材料を製造する装置であって、
    上下方向に配置されて上下端部が閉塞された筒状部材と、この筒状部材内の中間部に配置されて流動層形成用の上方空間部と反応ガス供給用の下方空間部とに区画するとともに中央に繊維状カーボン材料の取出用開口部が形成され且つ当該取出用開口部の外周寄りに複数のガス導入穴が形成された逆円錐形状の流動層保持部材と、上記下方空間部内に配置されて上端開口部が上記取出用開口部に接続されるとともに下端開口部が回収手段に接続し得るようにされた繊維状カーボン材料の取出用筒部材と、上記取出用開口部を開閉自在な開閉手段と、上記筒状部材の上方空間部に粒状体を供給する粒状体供給手段と、上記取出用筒部材と上記筒状部材との間の環状空間部内に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、上記筒状部材の外周に配置されてその内部を加熱し得る加熱手段と、上記筒状部材の上方空間部内に配置されて当該筒状部材の内壁面に付着した付着物を掻き落し得る掻き落し手段とを具備したことを特徴とする繊維状カーボン材料の製造装置。
  2. 加熱手段による加熱範囲を、筒状部材の上方空間部および下方空間部を同時に加熱し得るように設定したことを特徴とする繊維状カーボン材料の製造装置。
  3. 開閉手段を、上端部から筒状部材内に昇降可能に挿入された棒状体と、この棒状体の下端に設けられて取出用開口部を上方または下方から開閉自在な弁体とから構成したことを特徴とする請求項1に記載の繊維状カーボン材料の製造装置。
  4. 掻き落し手段として、開閉手段の棒状体の外面に設けられた羽根体を用いたことを特徴とする請求項3に記載の繊維状カーボン材料の製造装置。
  5. 掻き落し手段を、開閉手段の棒状体に外嵌されるとともに棒状体とは別個に昇降可能に設けられた管状体と、この管状体の外面に設けられて筒状部材の内壁面の付着物を掻き落とし得る羽根体とから構成したことを特徴とする請求項3に記載の繊維状カーボン材料の製造装置。
  6. 開閉手段を、上端部から筒状部材内に昇降可能に挿入された棒状体と、この棒状体の下端に設けられて取出用開口部を下方から開閉自在な弁体とから構成するとともに、掻き落し手段を、開閉手段の棒状体に外嵌されるとともに棒状体とは別個に昇降可能に設けられた管状体と、この管状体の外面に設けられて当該筒状部材の内壁面の付着物を掻き落とし得る羽根体とから構成したことを特徴とする請求項1に記載の繊維状カーボン材料の製造装置。
JP2011188077A 2011-08-31 2011-08-31 繊維状カーボン材料の製造装置 Expired - Fee Related JP5705068B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011188077A JP5705068B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 繊維状カーボン材料の製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011188077A JP5705068B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 繊維状カーボン材料の製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013049599A true JP2013049599A (ja) 2013-03-14
JP5705068B2 JP5705068B2 (ja) 2015-04-22

Family

ID=48011981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011188077A Expired - Fee Related JP5705068B2 (ja) 2011-08-31 2011-08-31 繊維状カーボン材料の製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5705068B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015100062A1 (de) 2015-01-06 2016-07-07 Universität Paderborn Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Siliziumcarbid
WO2017145952A1 (ja) * 2016-02-27 2017-08-31 学校法人早稲田大学 粒子処理装置、並びに触媒担持体及び/又は繊維状炭素ナノ構造体の製造方法
DE102018100679A1 (de) 2018-01-12 2019-07-18 Universität Paderborn Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Siliziumcarbid

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6421980A (en) * 1987-07-17 1989-01-25 Mitsubishi Electric Corp Discharge-excited excimer laser apparatus
JPH02290244A (ja) * 1989-04-28 1990-11-30 Ube Ind Ltd 熱電変換材料用粉末の製造方法
JPH0753205A (ja) * 1993-08-12 1995-02-28 Agency Of Ind Science & Technol 被覆ダイヤモンド準微粒子、並びに被覆ダイヤモンド準微粒子焼結体及びその製造法
JPH08169707A (ja) * 1994-12-16 1996-07-02 Heiyou Shoji Kk 吸着剤用被活性物の活性化方法
JP2002211909A (ja) * 2001-01-12 2002-07-31 Mitsubishi Chemicals Corp 炭素製造装置およびそれを用いた製造方法
JP2003342840A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 繊維状ナノ炭素の製造方法及び装置
JP2004019018A (ja) * 2002-06-13 2004-01-22 Mitsubishi Chemical Engineering Corp 炭素質微細繊維状体の製造方法
JP2007153694A (ja) * 2005-12-06 2007-06-21 Toray Ind Inc カーボンナノチューブの製造方法および製造装置
JP2008056523A (ja) * 2006-08-30 2008-03-13 Toray Ind Inc カーボンナノチューブ製造方法
JP2010126405A (ja) * 2008-11-25 2010-06-10 Semes Co Ltd 炭素ナノチューブの合成装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6421980A (en) * 1987-07-17 1989-01-25 Mitsubishi Electric Corp Discharge-excited excimer laser apparatus
JPH02290244A (ja) * 1989-04-28 1990-11-30 Ube Ind Ltd 熱電変換材料用粉末の製造方法
JPH0753205A (ja) * 1993-08-12 1995-02-28 Agency Of Ind Science & Technol 被覆ダイヤモンド準微粒子、並びに被覆ダイヤモンド準微粒子焼結体及びその製造法
JPH08169707A (ja) * 1994-12-16 1996-07-02 Heiyou Shoji Kk 吸着剤用被活性物の活性化方法
JP2002211909A (ja) * 2001-01-12 2002-07-31 Mitsubishi Chemicals Corp 炭素製造装置およびそれを用いた製造方法
JP2003342840A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 繊維状ナノ炭素の製造方法及び装置
JP2004019018A (ja) * 2002-06-13 2004-01-22 Mitsubishi Chemical Engineering Corp 炭素質微細繊維状体の製造方法
JP2007153694A (ja) * 2005-12-06 2007-06-21 Toray Ind Inc カーボンナノチューブの製造方法および製造装置
JP2008056523A (ja) * 2006-08-30 2008-03-13 Toray Ind Inc カーボンナノチューブ製造方法
JP2010126405A (ja) * 2008-11-25 2010-06-10 Semes Co Ltd 炭素ナノチューブの合成装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015100062A1 (de) 2015-01-06 2016-07-07 Universität Paderborn Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Siliziumcarbid
WO2017145952A1 (ja) * 2016-02-27 2017-08-31 学校法人早稲田大学 粒子処理装置、並びに触媒担持体及び/又は繊維状炭素ナノ構造体の製造方法
DE102018100679A1 (de) 2018-01-12 2019-07-18 Universität Paderborn Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Siliziumcarbid
WO2019137942A1 (de) 2018-01-12 2019-07-18 Universität Paderborn Vorrichtung und verfahren zum herstellen von siliziumcarbid

Also Published As

Publication number Publication date
JP5705068B2 (ja) 2015-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200932667A (en) Apparatus for producing nanotube
JP5705068B2 (ja) 繊維状カーボン材料の製造装置
KR100977147B1 (ko) 유동층 탄소나노튜브 생성 장치 및 그것을 사용한탄소나노튜브 생성 설비 및 방법
CA2645330A1 (en) Method and apparatus for the continuous production and functionalization of single-walled carbon nanotubes using a high frequency plasma torch
CN105754628B (zh) 一种废旧轮胎热解和裂解管裂解系统
JP6786638B2 (ja) カーボンナノチューブの製造装置および製造方法
JP2001115342A (ja) 微細気相成長炭素繊維製造装置、微細気相成長炭素繊維の製造方法、微細気相成長炭素繊維付着防止装置及び微細気相成長炭素繊維
KR100964867B1 (ko) 탄소나노튜브 생성을 위한 유동층 장치
CN104755589B (zh) 原料的材料处理的设备和方法
JP6418690B2 (ja) カーボンナノチューブの製造装置
JP4115637B2 (ja) 炭素繊維質物製造装置、炭素繊維質物の製造方法及び炭素繊維質物付着防止装置
KR100948086B1 (ko) 탄소나노튜브 생성을 위한 유동층 장치 및 방법
CN109437158A (zh) 一种筒形卧式碳纳米管沉积炉
JP2003146633A (ja) カーボンナノチューブの製造方法
TW201424848A (zh) 帶螺紋的噴嘴及可關閉噴嘴閥之總成
KR20090073341A (ko) 탄소나노튜브 회수를 위한 장치 및 방법
KR20120108049A (ko) Cnt의 제조
JP2004149961A (ja) 気相成長炭素繊維取出方法及び気相成長炭素繊維取出装置
IT201600100814A1 (it) Procedimento e impianto per la produzione di syngas da rifiuti, preferibilmente rifiuti industriali o municipali e relativi prodotti associati.
KR101008681B1 (ko) 유동층 탄소나노튜브 생성 장치 및 방법
RU2424184C2 (ru) Реактор синтеза углеродных нанотрубок
KR20090073342A (ko) 탄소나노튜브 생성을 위한 유동층 장치
JP3585248B2 (ja) 流動気相成長微細繊維の太さ成長装置
JP2919647B2 (ja) 微細炭素繊維製造装置
KR101016031B1 (ko) 탄소나노튜브 합성 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140519

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140917

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141007

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141127

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150127

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150224

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5705068

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees