JP2013044972A - フィルム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム露光装置1は、フィルム搬送部2と、フォトマスク3と、フォトマスク3を被露光体Fの露光面a上に保持するマスク保持部4と、フォトマスク3のマスクパターンに光を照射する光照射部5とを備える。フォトマスク3は、被露光体Fの搬送方向に沿って第1のマスクパターン31と第2のマスクパターン32を備える。フィルム搬送部2は、第1のマスクパターン31と第2のマスクパターン32の位置に対応して配置した一対のバックロール21,22を備え、一対のバックロール21,22で露光面aの逆側の面を支持している。一対のバックロール21,22の間にアライメントカメラ6を配置するスペースを確保する。
【選択図】図1
Description
4:マスク保持部,4a:開口,5(5A,5B):光照射部,
6(6A,6B):アライメントカメラ,7:位置調整部,
8:ギャップセンサ,9:位置調整用光源,
21,22:バックロール,23,24:搬送ロール,
31:第1のマスクパターン,32:第2のマスクパターン,
33,34,35:アライメント開口部,
41:遮光板,43:支持枠,44:枠体,45:マスク吸着孔
F:被露光体,a:露光面
Claims (4)
- フィルム状の被露光体にマスクパターンを露光する露光装置において、
前記被露光体を一方向に沿って搬送するフィルム搬送部と、
前記被露光体の露光面上に近接配置されるフォトマスクと、
前記フォトマスクを前記被露光体の露光面上に保持するマスク保持部と、
前記フォトマスクのマスクパターンに光を照射する光照射部とを備え、
前記フォトマスクは、前記被露光体の搬送方向に沿って配置される第1のマスクパターンと第2のマスクパターンを備え、
前記フィルム搬送部は、前記第1のマスクパターンと前記第2のマスクパターンの位置に対応して配置した一対のバックロールを備え、前記一対のバックロールで前記第1のマスクパターンと前記第2のマスクパターンが露光される露光面の逆側の面を支持することを特徴とするフィルム露光装置。 - 前記一対のバックロール間のスペースに前記被露光体に設けたアライメントマークを撮像するアライメントカメラを配置したことを特徴とする請求項1記載のフィルム露光装置。
- 前記フォトマスクは、前記第1のマスクパターンと前記第2のマスクパターンの間に前記アライメントマークに対応するアライメント開口部を備えることを特徴とする請求項2に記載のフィルム露光装置。
- 前記マスク保持部は、前記第1のマスクパターンと前記第2のマスクパターンの間で前記フォトマスクを保持することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフィルム露光装置。
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JP2016535299A (ja) * | 2013-10-22 | 2016-11-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | ウェブベース処理用のマスクレスリソグラフィ |
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-
2011
- 2011-08-24 JP JP2011183133A patent/JP5874126B2/ja active Active
-
2012
- 2012-08-17 CN CN 201220408290 patent/CN202794848U/zh not_active Expired - Fee Related
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