JP2013040375A - Cr含有基材用エッチング剤組成物及び該エッチング剤を用いたエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のCr含有基材用エッチング剤組成物は、(A)フェリシアン化金属塩成分、(B)無機アルカリ化合物及び有機アルカリ化合物からなる群から選択される少なくとも1種類以上であるアルカリ成分、(C)ノニオン性界面活性剤成分を含む水溶液からなることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
また、特許文献2に開示されているエッチング剤組成物のうち、酸性エッチング剤組成物は、エッチング速度が早いがサイドエッチングは大きい傾向があり、アルカリ性エッチング剤組成物は、サイドエッチングが小さいが、エッチング速度は遅いという傾向があり、どちらの性能も満足させ得るエッチング剤組成物ではなかった。
(1)水晶基板の表裏両面もしくは片面に真空蒸着法などを用いて、クロムの金属膜とクロムの上に金の金属膜を形成し、クロムと金とからなる積層金属膜を形成する。これらの積層金属膜の形成は、真空蒸着法などで行う;
(2)感光性樹脂を全面に回転塗布法により形成し、所定のフォトマスクを用いて、露光、現像処理を行い、感光性樹脂をパターニングする;
(3)パターニングした感光性樹脂をエッチングマスクとして、金の金属膜をエッチングし、クロムの金属膜をエッチングし、水晶基板をエッチングすることでパターニングされた金/クロム/水晶基板の積層膜付基板を得る;
(4)レジスト膜及び金/クロム積層膜を除去することで、パターニングされた水晶振動子が得られる。
即ち、本発明は、(A)フェリシアン化金属塩成分、(B)無機アルカリ化合物及び有機アルカリ化合物からなる群から選択される少なくとも1種類以上であるアルカリ成分、及び(C)ノニオン性界面活性剤成分を含む水溶液からなることを特徴とするCr含有基材用エッチング剤組成物を提供するものである。
まず、本明細書に記載する「Cr含有基材」とは、Au/Cr積層膜、Cu/Cr積層膜、Cr2O3−CrからなるCr系積層膜、CrN単層膜、Cr単層膜等を備えた水晶基体、ガラス基体、シリコン基体、ポリイミド樹脂やエポキシ樹脂等の有機樹脂基体等を総称するものとする。
実施例1
表1に示した界面活性剤を用いて、表2に示した配合でエッチング剤組成物を調合し、本発明品1〜9を得た。なお、含有量の残部は水である。
比較例1
実施例1と同様にして、表1に示した界面活性剤を用いて、表2に示した配合でエッチング剤組成物を調合し、比較品1及び2を得た。なお、含有量の残部は水である。
上から順にAu500Å、Cr250Åが積層された水晶基板のAuについてパターンエッチングを行い、一部Crが露出した基材(Au/Cr基材)を作成した。このAu/Cr基材を25mm□に切断し、25℃で本発明品1〜15及び比較品1〜2のエッチング剤組成物100mlに浸してCrエッチング処理を行った。エッチング処理は、各々のエッチング剤組成物について、露出したCrが光学顕微鏡による観察で完全に見られなくなるまでの時間だけ行った。この基材についてクロスセクションポリッシャーを用いてAuパターンを含む断面を作成し、走査型電子顕微鏡により断面画像を撮影してサイドエッチング量の確認を行った。結果を表3に示す。
上から順にAu500Å、Cr250Åが積層された水晶基板のAuについてパターンエッチングを行い、一部Crが露出した基材(Au/Cr基材)を作成した。このAu/Cr基材を25mm□に切断し、25℃で本発明品1〜9、12、15及び比較品1〜2のエッチング剤組成物100mlに浸してCrエッチング処理を行った。Crエッチングの進行は光学顕微鏡により観察を行い、露出したCrが完全に見られなくなるまでの時間をエッチング時間と定義した。結果を表4に示す。
上から順にCr2O3200Å、Cr800Åが積層されたガラス基板を25℃で本発明品1、3及び6並びに比較品1のエッチング剤組成物に浸漬した。積層膜の溶解状態を目視により観察し、Cr系材料が完全に消失した時間をエッチング時間とした。結果を表5に示す。
Claims (6)
- (A)フェリシアン化金属塩成分;
(B)無機アルカリ化合物及び有機アルカリ化合物からなる群から選択される少なくとも1種類以上であるアルカリ成分;
(C)ノニオン性界面活性剤成分
を含む水溶液からなることを特徴とするCr含有基材用エッチング剤組成物。 - 前記(A)フェリシアン化金属塩成分が、フェリシアン化カリウムである、請求項1に記載のCr含有基材用エッチング剤組成物。
- 前記(B)アルカリ成分が、無機水酸化物及び有機水酸化物からなる群から選択される少なくとも1種類以上である、請求項1又は2に記載のCr含有基材用エッチング剤組成物。
- 前記(B)アルカリ成分が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及び水酸化テトラメチルアンモニウムからなる群から選択される少なくとも1種類以上である、請求項1ないし3のいずれか1項に記載のCr含有基材用エッチング剤。
- 前記(C)ノニオン性界面活性剤成分が、下記の一般式(1)及び(2)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種類以上の化合物である、請求項1ないし4のいずれか1項に記載のエッチング剤組成物。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のCr含有基材用エッチング剤を使用することを特徴とするCr含有基材のエッチング方法。
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JPS60181280A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-14 | Fujitsu Ltd | クロムのエツチング方法 |
JPH02285081A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-22 | Sanyo Chem Ind Ltd | エッチング液 |
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