JP2013032942A - Manufacturing method of rotation detection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、回転検出装置の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method of manufacturing a rotation detection device.
従来、磁気抵抗素子の抵抗値の変化から、被検体の回転数もしくは回転方向を検出する回転検出装置として、特許文献1、2に示されるものがある。
Conventionally, there are those disclosed in
図13に特許文献1に記載の回転検出装置の全体構成を示す。図13に示す回転検出装置は、例えば、車両のエンジンのクランク角度を検出するクランク角センサであり、エンジンブロック2の取り付け穴3に挿入固定されるものである。この回転検出装置は、モールドIC10と中空磁石20との一体化部品と、この一体化部品を収容するとともに回転検出装置全体の外形をなすケースJ30とを備えている。
FIG. 13 shows the overall configuration of the rotation detection device described in Patent Document 1. The rotation detection device shown in FIG. 13 is, for example, a crank angle sensor that detects the crank angle of an engine of a vehicle, and is inserted into and fixed to the
モールドIC10と中空磁石20とがクランク角度を検出する検出部を構成している。
The
ケースJ30は、外部端子と接続されるコネクタ部31と、一体化部品が取り付け穴3に挿入された状態の際に、気密性を保持しながら取り付け穴3に固定される気密性保持部32とを備えている。
The case J30 includes a
コネクタ部31は、開口部の内部に接続端子であるターミナル33が設けられている。このターミナル33は、コネクタ部31の内部からモールドIC10のリードフレーム11に到達する長さであり、リードフレーム11と電気的に接続されている。
The
気密性保持部32は、その外面に気密性を保持するためのOリング34が取り付けられており、このOリング34が取り付け穴3の壁面に密着することで、気密性が保持される。
The O-
また、ケースJ30は、エンジンブロック2に対してネジ等により固定するための固定部を有しており、この固定部にはネジ等が挿入される金属パイプ35が取り付けられている。
The case J30 has a fixing portion for fixing to the
そして、図13に示される回転検出装置は、モールドIC10と中空磁石20とを組み付けてキャップ36に収容して一体化部品とした後、モールドIC10のリードフレーム11とターミナル33とを接合し、これらを成形型のキャビティ内に収容した状態での射出成形により、ケースJ30を一体成形することで製造される。
The rotation detection device shown in FIG. 13 assembles the
また、図14に特許文献2に記載の回転検出装置の全体構成を示す。この回転検出装置は、図13に示す回転検出装置に対して、回転検出装置全体の外形をなすケースを中空構造に変更したものである。この回転検出装置は、一端が開口し他端が閉塞した筒状(中空構造)のケースJ40を樹脂成形しておき、モールドIC10のリードフレーム11とターミナル33とを接合した後、モールドIC10からターミナル33までをケースJ40の内部に挿入することで製造される。
FIG. 14 shows the overall configuration of the rotation detection device described in
特許文献1に記載の回転検出装置の製造方法では、図13に示すように、ケースJ30の気密性保持部32が厚肉のため、ケースの樹脂成形工程において、樹脂が冷却されて固化するまでに時間がかかり、ケースの樹脂成形工程にかかる時間が長くなってしまう。
In the method of manufacturing the rotation detection device described in Patent Document 1, as shown in FIG. 13, since the
これに対して、特許文献2に記載の回転検出装置の製造方法によれば、回転検出装置全体の外形をなすケースJ40を中空構造とし、モールドIC10からターミナル33までをケースJ40の内部に挿入するようにしたので、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部32を特許文献1の製造方法よりも薄肉として成形できる。このため、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。
On the other hand, according to the manufacturing method of the rotation detection device described in
しかし、特許文献2に記載の製造方法では、ケースJ40のうち気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分、すなわち、取り付け穴3に挿入固定された際に取り付け穴3(図13参照)から露出する部分における形状の設計自由度が低いという問題が生じてしまう。具体的には、接合されたターミナル33とモールドIC10とを曲げることなく、そのままケースJ40の内部に挿入するためには、ケースJ40の一端側から他端側までが直線状に延びていなければならず、ケースJ40のうち気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分を屈曲形状とすることはできない。
However, in the manufacturing method described in
本発明は上記点に鑑みて、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できるとともに、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケースのうち気密性保持部よりもコネクタ部側の部分における形状の設計自由度が高い回転検出センサの製造方法を提供することを目的とする。
In view of the above points, the present invention can shorten the time required for the resin molding process of the case, and in the case of the case closer to the connector part than the airtight holding part in the case as compared with the manufacturing method described in
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、
コネクタ部(31)と気密性保持部(32)とを有する形状のケース(30)であって、ターミナル(33)の一端(33a)がコネクタ部(31)の内部に位置するとともに、ターミナル(33)の他端(33b)がケース(30)の気密性保持部(32)側で露出するケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
モールドIC(10)と磁石(20)とを一体化した一体化部品(10、20)を用意する工程と、
一体化部品(10、20)のリードフレーム(11)と、ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
一体化部品(10、20)、リードフレーム(11)とターミナル(33)との接合部およびケース(30)の気密性保持部(32)を、液状の樹脂(41)に浸して樹脂硬化させることにより、封止樹脂(40)で封止する樹脂封止工程とを行うことを特徴としている。
In order to achieve the above object, in the invention described in claim 1,
A case (30) having a shape having a connector part (31) and an airtight holding part (32), wherein one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31) and the terminal ( A case (30) in which the other end (33b) of 33) is exposed on the airtight holding part (32) side of the case (30), and a resin molding step of the case for resin molding using a mold;
Preparing an integrated part (10, 20) in which a mold IC (10) and a magnet (20) are integrated;
Joining the lead frame (11) of the integrated component (10, 20) and the other end (33b) side of the terminal (33);
The joint parts of the integrated parts (10, 20), the lead frame (11) and the terminal (33) and the airtight holding part (32) of the case (30) are immersed in the liquid resin (41) and cured. Thus, a resin sealing step of sealing with a sealing resin (40) is performed.
また、請求項2に記載の発明では、
コネクタ部(31)と気密性保持部(32)とを有する形状のケース(30)であって、ターミナル(33)の一端(33a)がコネクタ部(31)の内部に位置するとともに、ターミナル(33)の他端(33b)がケース(30)の気密性保持部(32)側で露出するケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
モールドIC(10)を用意する工程と、
モールドIC(10)のリードフレーム(11)と、ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
モールドIC(10)、リードフレーム(11)とターミナル(33)との接合部およびケース(30)の気密性保持部(32)を、磁石用原料粉末を混ぜた液状の樹脂(42)に浸して樹脂硬化させることにより、封止樹脂(40)で封止する樹脂封止工程と、
封止樹脂(40)のうちモールドIC(10)を覆う部分(43)に対して着磁をする工程とを行うことを特徴としている。
In the invention according to
A case (30) having a shape having a connector part (31) and an airtight holding part (32), wherein one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31) and the terminal ( A case (30) in which the other end (33b) of 33) is exposed on the airtight holding part (32) side of the case (30), and a resin molding step of the case for resin molding using a mold;
Preparing a mold IC (10);
Bonding the lead frame (11) of the mold IC (10) and the other end (33b) side of the terminal (33);
The joint part of the mold IC (10), the lead frame (11) and the terminal (33) and the airtight holding part (32) of the case (30) are immersed in a liquid resin (42) mixed with the raw material powder for magnet. A resin sealing step of sealing with a sealing resin (40) by curing the resin,
A step of magnetizing a portion (43) covering the mold IC (10) of the sealing resin (40) is performed.
請求項1、2に記載の発明によれば、樹脂封止工程で気密性保持部を樹脂封止するので、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部の肉厚を封止樹脂の厚さ分を差し引いた肉厚とし、気密性保持部を従来よりも薄肉として成形できる。このため、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。 According to the first and second aspects of the invention, since the airtight holding portion is resin-sealed in the resin sealing step, the thickness of the airtight holding portion is set to the thickness of the sealing resin in the resin molding step of the case. The thickness can be reduced by subtracting the minutes, and the airtight holding portion can be formed thinner than before. For this reason, the time for cooling and solidifying the resin can be shortened, and the time required for the resin molding process of the case can be shortened.
また、これらによれば、ケースの気密性保持部よりもコネクタ部側の部分の形状を直線形状としたり、屈曲形状としたりしても、回転検出装置を製造できるので、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケースのうち気密性保持部よりもコネクタ部側の部分における形状の設計自由度が高いと言える。 In addition, according to these, since the rotation detection device can be manufactured even if the shape of the portion closer to the connector portion than the hermeticity holding portion of the case is a linear shape or a bent shape, the rotation detection device can be manufactured. Compared with the manufacturing method, it can be said that the design freedom of the shape in the portion of the case closer to the connector portion than the airtight holding portion is high.
ところで、通常、回転検出装置に用いられる磁石は、磁石用原料粉末を混ぜた樹脂を用いて樹脂成形した後に、この成形体を着磁することで製造されるところ、請求項2に記載の発明によれば、この磁石を製造するための樹脂成形工程を省略することができる。
By the way, normally, the magnet used for the rotation detection device is manufactured by magnetizing the molded body after resin molding using a resin mixed with the raw material powder for magnet, and the invention according to
請求項3に記載の発明では、
コネクタ部(31)と気密性保持部(32)とを有し、気密性保持部(32)が中空部(32b)を有する形状のケース(30)であって、ターミナル(33)の一端(33a)がコネクタ部(31)の内部に位置し、ターミナル(33)の他端(33b)が気密性保持部(32)側で露出するケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
モールドIC(10)と磁石(20)とを一体化した一体化部品(10、20)を用意する工程と、
一体化部品(10、20)のリードフレーム(11)と、ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
一体化部品(10、20)およびリードフレーム(11)とターミナル(33)との接合部を、シート状の樹脂(51)で覆って密着させることにより、封止樹脂(50)で封止する樹脂封止工程とを行うことを特徴としている。
In invention of
A case (30) having a connector part (31) and an airtight holding part (32), the airtight holding part (32) having a hollow part (32b), and one end of a terminal (33) ( Case (30) in which 33a) is located inside the connector portion (31) and the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding portion (32) side is resin-molded using a mold Resin molding process,
Preparing an integrated part (10, 20) in which a mold IC (10) and a magnet (20) are integrated;
Joining the lead frame (11) of the integrated component (10, 20) and the other end (33b) side of the terminal (33);
The joint between the integrated part (10, 20) and the lead frame (11) and the terminal (33) is covered with a sheet-like resin (51) and is closely adhered, thereby sealing with a sealing resin (50). A resin sealing step is performed.
また、請求項4に記載の発明では、
コネクタ部(31)と気密性保持部(32)とを有し、気密性保持部(32)が中空部(32b)を有する形状のケース(30)であって、ターミナル(33)の一端(33a)がコネクタ部(31)の内部に位置し、ターミナル(33)の他端(33b)が気密性保持部(32)側で露出するケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
モールドIC(10)を用意する工程と、
モールドIC(10)のリードフレーム(11)と、ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
モールドIC(10)およびリードフレーム(11)とターミナル(33)との接合部を、磁石用原料粉末を混ぜたシート状の樹脂(52)で覆って密着させることにより、封止樹脂(50)で封止する樹脂封止工程と、
封止樹脂(50)のうちモールドIC(10)を覆う部分(53)に対して着磁をする工程とを行うことを特徴としている。
In the invention according to claim 4,
A case (30) having a connector part (31) and an airtight holding part (32), the airtight holding part (32) having a hollow part (32b), and one end of a terminal (33) ( Case (30) in which 33a) is located inside the connector portion (31) and the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding portion (32) side is resin-molded using a mold Resin molding process,
Preparing a mold IC (10);
Bonding the lead frame (11) of the mold IC (10) and the other end (33b) side of the terminal (33);
Covering the joints of the mold IC (10) and the lead frame (11) with the terminal (33) with a sheet-like resin (52) mixed with magnet raw material powder, and sealing the sealing resin (50) A resin sealing step of sealing with,
A step of magnetizing a portion (53) covering the mold IC (10) of the sealing resin (50) is performed.
請求項3、4に記載の発明によれば、気密性保持部を中空構造としてケースを樹脂成形するので、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部を従来よりも薄肉として成形できる。このため、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。 According to the third and fourth aspects of the invention, since the case is resin-molded with the airtight holding portion having a hollow structure, the airtight holding portion can be formed with a thinner wall than in the past in the resin molding step of the case. For this reason, the time for cooling and solidifying the resin can be shortened, and the time required for the resin molding process of the case can be shortened.
また、これらによれば、ケースの気密性保持部よりもコネクタ部側の部分の形状を直線形状としたり、屈曲形状としたりしても、回転検出装置を製造できるので、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケースのうち気密性保持部よりもコネクタ部側の部分における形状の設計自由度が高いと言える。 In addition, according to these, since the rotation detection device can be manufactured even if the shape of the portion closer to the connector portion than the hermeticity holding portion of the case is a linear shape or a bent shape, the rotation detection device can be manufactured. Compared with the manufacturing method, it can be said that the design freedom of the shape in the portion of the case closer to the connector portion than the airtight holding portion is high.
ところで、通常、回転検出装置に用いられる磁石は、磁石用原料粉末を混ぜた樹脂を用いて樹脂成形した後に、この成形体を着磁することで製造されるところ、請求項4に記載の発明によれば、この磁石を製造するための樹脂成形工程を省略することができる。 By the way, normally, the magnet used for the rotation detection device is manufactured by magnetizing this molded body after resin molding using a resin mixed with magnet raw material powder. Therefore, the resin molding process for manufacturing this magnet can be omitted.
請求項5に記載の発明では、
コネクタ部(31)と気密性保持部(32)とを有し、気密性保持部(32)が中空部(32b)を有する形状のケース(30)であって、ターミナル(33)の一端(33a)がコネクタ部(31)の内部に位置し、ターミナル(33)の他端(33b)が気密性保持部(32)側で露出するケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
有底筒状の樹脂製のキャップ(60)にモールドIC(10)と磁石(20)とを収容したものを用意する工程と、
モールドIC(10)のリードフレーム(11)と、ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
ケース(30)の中空部(32b)にキャップ(60)を被せた状態で、ケース(30)とキャップ(60)とを接合することにより、リードフレーム(11)とターミナル(33)との接合部を封止する工程とを行うことを特徴としている。
In the invention according to claim 5,
A case (30) having a connector part (31) and an airtight holding part (32), the airtight holding part (32) having a hollow part (32b), and one end of a terminal (33) ( Case (30) in which 33a) is located inside the connector portion (31) and the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding portion (32) side is resin-molded using a mold Resin molding process,
A step of preparing a bottomed cylindrical resin cap (60) containing a mold IC (10) and a magnet (20);
Bonding the lead frame (11) of the mold IC (10) and the other end (33b) side of the terminal (33);
Joining the lead frame (11) and the terminal (33) by joining the case (30) and the cap (60) in a state where the cap (60) is put on the hollow part (32b) of the case (30). And a step of sealing the portion.
これによれば、気密性保持部を中空構造としてケースを樹脂成形するので、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部を従来よりも薄肉として成形できる。このため、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。 According to this, since the case is resin-molded with the airtight holding portion as a hollow structure, the airtight holding portion can be formed thinner than in the conventional case in the resin molding step of the case. For this reason, the time for cooling and solidifying the resin can be shortened, and the time required for the resin molding process of the case can be shortened.
また、これによれば、ケースの気密性保持部よりもコネクタ部側の部分の形状を直線形状としたり、屈曲形状としたりしても、回転検出装置を製造できるので、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケースのうち気密性保持部よりもコネクタ部側の部分における形状の設計自由度が高いと言える。 Further, according to this, since the rotation detecting device can be manufactured even if the shape of the portion closer to the connector portion than the airtight holding portion of the case is a linear shape or a bent shape, the rotation detection device can be manufactured. Compared with the manufacturing method, it can be said that the design freedom of the shape in the portion of the case closer to the connector portion than the airtight holding portion is high.
請求項5に記載の発明においては、例えば、請求項6に記載のように、ケース(30)の中空部(32b)にキャップ(60)を被せて、ケース(30)とキャップ(60)とを接触させるとともに、リードフレーム(11)とターミナル(33)とを接触させた後、
リードフレーム(11)とターミナル(33)とを接合する工程と、ケース(30)とキャップ(60)とを接合する工程とを、超音波溶着により、同時に行うことができる。
In the invention described in claim 5, for example, as described in claim 6, the cap (60) is put on the hollow portion (32b) of the case (30), and the case (30), the cap (60), And after contacting the lead frame (11) and the terminal (33),
The step of joining the lead frame (11) and the terminal (33) and the step of joining the case (30) and the cap (60) can be performed simultaneously by ultrasonic welding.
また、請求項5に記載の発明においては、例えば、請求項7に記載のように、ケース(30)の中空部(32b)にキャップ(60)を被せて、ケース(30)とキャップ(60)とを接触させると同時に、リードフレーム(11)とターミナル(33)のそれぞれに設けたコネクタ部(71、72)同士を嵌合させることにより、リードフレーム(11)とターミナル(33)とを接合する工程を行った後、
ケース(30)とキャップ(60)とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する工程を行うことができる。
In the invention according to claim 5, for example, as described in claim 7, the cap (60) is put on the hollow portion (32 b) of the case (30), and the case (30) and the cap (60 ) And at the same time, the lead frame (11) and the terminal (33) are connected by fitting the connector portions (71, 72) provided in the lead frame (11) and the terminal (33), respectively. After performing the process of joining,
A step of joining the case (30) and the cap (60) by ultrasonic welding or laser welding can be performed.
また、請求項5に記載の発明においては、例えば、請求項8に記載のように、ケース(30)の中空部(32b)にキャップ(60)を被せて、ケース(30)とキャップ(60)とを接触させるとともに、リードフレーム(11)とターミナル(33)とを接触させた後、
リードフレーム(11)とターミナル(33)とをレーザー溶着により接合する工程と、ケース(30)とキャップ(60)とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する工程とを別々に行うことができる。
Further, in the invention described in claim 5, for example, as described in claim 8, the cap (60) is put on the hollow portion (32b) of the case (30), and the case (30) and the cap (60 ) And the lead frame (11) and the terminal (33),
The step of joining the lead frame (11) and the terminal (33) by laser welding and the step of joining the case (30) and the cap (60) by ultrasonic welding or laser welding can be performed separately.
また、請求項5に記載の発明においては、例えば、請求項9に記載のように、ターミナル(33)として伸縮可能な形状を有するものを用い、
ターミナル(33)を伸ばした状態とするとともに、ケース(30)とキャップ(60)とを離した状態で、リードフレーム(11)とターミナル(33)とを接合する工程を行った後、
ターミナル(33)を縮めながら、ケース(30)とキャップ(60)とを接触させた後、ケース(30)とキャップ(60)とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する工程を行うことができる。
Further, in the invention described in claim 5, for example, as described in claim 9, a terminal (33) having a shape that can be expanded and contracted is used.
After performing the process of joining the lead frame (11) and the terminal (33) in a state where the terminal (33) is extended and the case (30) and the cap (60) are separated from each other,
After the terminal (33) is contracted, the case (30) and the cap (60) are brought into contact with each other, and then the case (30) and the cap (60) are joined by ultrasonic welding or laser welding. .
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.
(第1実施形態)
図1に本実施形態の回転検出装置1の全体構成を示す。本実施形態の回転検出装置1は、車両のエンジンのクランク角度を検出するクランク角センサであり、上述の図13に示す従来の回転検出装置と同様に、エンジンブロック2の取り付け穴3に挿入固定されるものである。
(First embodiment)
FIG. 1 shows the overall configuration of the rotation detection device 1 of the present embodiment. The rotation detection device 1 of this embodiment is a crank angle sensor that detects the crank angle of the vehicle engine, and is inserted and fixed in the mounting
本実施形態の回転検出装置1は、モールドIC10と、中空磁石20と、ケース30と、封止樹脂(モールド樹脂)40とを備えている。
The rotation detection apparatus 1 according to the present embodiment includes a
モールドIC10は、磁気抵抗(MRE)素子を含むICチップ(図示せず)がリードフレーム11に搭載されており、リードフレーム11の一部とICチップとがモールド樹脂12に被覆されたものである。
In the
ICチップとリードフレーム11とはボンディングワイヤ(図示せず)により電気的に接続されている。リードフレーム11のうち電源端子、出力端子、接地端子を構成する各リード部11a、11b、11cがモールド樹脂12から露出している(後述の図2参照)。リードフレーム11は、Cu等の金属で構成され、モールド樹脂12はエポキシ樹脂等で構成される。
The IC chip and the
中空磁石20は、ICチップの磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石であって、中心に貫通孔21を有する中空状のものである。この中空磁石20は、フェライト等の磁石用原料粉末(磁粉)と樹脂を混ぜて射出成形したプラスチック磁石である。中空磁石20の貫通孔21にモールドIC10が挿入され、中空磁石20がモールドIC10の外面に装着されている。
The
ケース30は、コネクタ部31と気密性保持部32とを有し、それらの内部にターミナル33が配置されている。コネクタ部31および気密性保持部32は、図13に示す回転検出装置のコネクタ部31および気密性保持部32と同様の目的のものである。コネクタ部31は、一端が開口し、他端が閉塞した筒状であり、コネクタ部31の内部にターミナル33の一端33a側が露出している。気密性保持部32の外面には、Oリング34を取り付けるための溝部32aが形成されている。
The
本実施形態のケース30は、コネクタ部31と気密性保持部32とが連続した形状として樹脂成形されたものであるが、ターミナル33の他端33bを露出する形状であり、モールドIC10および中空磁石20を収容していない。
The
また、ケース30には、図13に示す回転検出装置と同様に、ケース30を固定するエンジンブロックに固定するためのネジ等が挿入される金属パイプ35が取り付けられている。
Similarly to the rotation detection device shown in FIG. 13, a
そして、ターミナル33の他端33b側とモールドIC10のリードフレーム11とが接合されている。
And the
封止樹脂40は、モールドIC10、中空磁石20、リードフレーム11とターミナル33との接合部およびケース30の気密性保持部32を覆って封止する樹脂である。このように、ケース30の気密性保持部32は、封止樹脂40に覆われており、封止樹脂40の外側にOリング34が取り付けられている。
The sealing
ケース30および封止樹脂40は、PPS、PBT、PA66等の熱可塑性樹脂で構成され、同じ樹脂で構成される。なお、ケース30および封止樹脂40を異なる樹脂で構成しても良い。
The
本実施形態における回転検出装置1は、バイアス磁界の変化による磁気抵抗素子の抵抗値変化から、被検体の回転数および回転方向、本実施形態ではクランク角度を検出する。なお、この検出原理については、特許文献1等に開示されているように、広く知られているので、ここではその説明を省略する。 The rotation detection device 1 in the present embodiment detects the rotation speed and rotation direction of the subject, and in this embodiment, the crank angle, from the change in the resistance value of the magnetoresistive element due to the change in the bias magnetic field. Since this detection principle is widely known as disclosed in Patent Document 1 and the like, its description is omitted here.
次に、回転検出装置1の製造方法を説明する。 Next, a method for manufacturing the rotation detection device 1 will be described.
図2(a)、(b)および図3(a)〜(c)に回転検出装置1の製造工程を示す。 2A and 2B and FIGS. 3A to 3C show a manufacturing process of the rotation detection device 1. FIG.
図2(a)に示すように、モールドIC10と中空磁石20とをそれぞれ用意し、図2(b)に示すように、モールドIC10と中空磁石20とを組み付けて一体化部品とする。このとき、中空磁石20の貫通孔21にモールドIC10を圧入することで、モールドIC10と中空磁石20とを固定したり、中空磁石20の貫通孔21にモールドIC10を挿入して接着剤で仮固定したりする。また、中空磁石20の貫通孔21にモールドIC10を挿入した後、これらを成形型に収容した状態での樹脂成形により、モールドIC10と中空磁石20とを固定しても良い。また、モールドIC10を成形型の内部に配置した状態で、中空磁石20を一体成形しても良い。
As shown in FIG. 2A, a
一方、図3(a)に示すように、ケース30の樹脂成形を行う(ケースの樹脂成形工程)。ここでは、ターミナル33を成形型の内部(キャビティ)に配置した状態での射出成形(インサート成形)により、コネクタ部31と気密性保持部32とが連続した形状であって、それらの内部にターミナル33を配置して一体化したケース30を成形する。
On the other hand, as shown in FIG. 3A, resin molding of the
このケース30は、気密性保持部32側において、ターミナル33のうちコネクタ31側の一端33aとは反対側の他端33b側を露出させている。また、このケース30における気密性保持部32の外径寸法は、封止樹脂40の厚さを考慮して、仕上がり寸法より小さい。
In the
その後、ケース30から露出しているターミナル33の他端33b側と、モールドIC10のリードフレーム11とを接合する。このとき、溶接、熱かしめ等により両者を接合する。
Thereafter, the
続いて、図3(b)、(c)に示すように、モールドIC10および中空磁石20の一体化部品と、リードフレーム11とターミナル33の接合部と、ケース30の気密性保持部32とを樹脂封止する工程を行う。
Subsequently, as shown in FIGS. 3B and 3C, an integrated part of the
すなわち、図3(b)に示すように、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品から気密性保持部32までを、液状の樹脂41に浸した後(ディッピング)、図3(c)に示すように、液状の樹脂41から取り出して、冷却して樹脂硬化させることで封止樹脂40を形成する。このとき用いる液状の樹脂41は、封止樹脂40を構成する樹脂を加熱して液状にしたものである。
That is, as shown in FIG. 3B, after the integrated parts of the
このように、液状の樹脂41に浸して樹脂硬化させることで、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品から気密性保持部32までを均一の厚さの樹脂層でコーティングできる。このとき、封止樹脂40に覆われた気密性保持部32の外径が、エンジンブロック2の取り付け穴3のサイズに応じた寸法となるように、液状の樹脂41の温度、浸漬時間等を調整する。言い換えると、液状の樹脂41の温度、浸漬時間等を調整して、封止樹脂40の厚さを調整することで、封止樹脂40に覆われた気密性保持部32の外径を任意の寸法に変更できる。
In this way, by immersing in the
また、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品等を液状の樹脂41から取り出したときでは、液状の樹脂41が垂れて、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品よりも下方に封止樹脂40が伸びた形状となるので、図3(c)に示すように、所望の首下寸法L1となるように、樹脂硬化前に長すぎる分をカットする。なお、カットする代わりに、液状の樹脂41から取り出した直後に、一体化部品よりも下方に封止樹脂が伸びないように、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品に対して治具(型)を固定しても良い。
Further, when the integrated part of the
このようにして、図1に示す回転検出装置1が製造される。 In this way, the rotation detection device 1 shown in FIG. 1 is manufactured.
以上の説明の通り、本実施形態では、モールドIC10および中空磁石20の一体化部品の封止をケース30とは別の封止樹脂40で行うこととしている。具体的には、ケースの樹脂成形工程では、コネクタ部31と気密性保持部32とを有する形状であって、内部にターミナル33を有するケース30を樹脂成形し、樹脂封止工程で、モールドICと中空磁石の一体化部品からケース30の気密性保持部32までを、液状の樹脂41に浸して樹脂硬化させることで、樹脂封止することとしている。
As described above, in this embodiment, the integrated component of the
このため、本実施形態によれば、樹脂封止工程でケース30の気密性保持部32を含めて樹脂封止するので、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部32の肉厚を封止樹脂40の厚さ分を差し引いた肉厚とし、ケース30の気密性保持部32を従来よりも薄肉として樹脂成形できる。よって、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。
For this reason, according to this embodiment, since the resin sealing process is performed including the airtight holding
また、本実施形態では、ケースの樹脂成形工程において、図3(a)に示すように、ターミナル33が直線状となっており、コネクタ部31と気密性保持部32が直線状に並ぶ形状のケース30を成形したが、気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分を屈曲形状に変更しても、回転検出装置を製造することができる。
In the present embodiment, in the resin molding process of the case, as shown in FIG. 3A, the terminal 33 is linear, and the
したがって、本実施形態の回転検出装置の製造方法は、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケース30のうち気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分における形状の設計自由度が高いと言える。
Therefore, the rotation detection device manufacturing method of the present embodiment is more flexible in designing the shape of the
ところで、本実施形態とは異なる製造方法として、本実施形態の樹脂封止工程を、型を用いた樹脂成形により行うことが考えられる。 By the way, as a manufacturing method different from the present embodiment, it is conceivable to perform the resin sealing step of the present embodiment by resin molding using a mold.
しかし、型は高価であるため、型を用いると製品コストが増大してしまう。また、型を用いた樹脂成形では、モールドIC10と磁石20の一体化部品およびケース30を型の内部にセットしなければならず、手間がかかる。
However, since the mold is expensive, the use of the mold increases the product cost. Further, in resin molding using a mold, an integrated part of the
これに対して、本実施形態によれば、型を用いずに樹脂封止することができる。この結果、型を用いることによる製品コストの増大を回避できる。また、本実施形態によれば、液状の樹脂41に浸して樹脂硬化させるだけなので、一体化部品10、20およびケース30を型の内部にセットして樹脂成形する場合よりも手間がかからない。また、液状の樹脂に浸して樹脂硬化させる方が、型を使用する場合と比較して、1回の樹脂封止工程で樹脂封止できる個数が多くなる。
On the other hand, according to this embodiment, resin sealing can be performed without using a mold. As a result, an increase in product cost due to the use of the mold can be avoided. In addition, according to the present embodiment, since the resin is simply immersed in the
(第2実施形態)
図4(a)〜(d)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第1実施形態における回転検出装置の製造工程に対して、樹脂封止工程が相違するものであり、以下では、この相違点を説明する。
(Second Embodiment)
4A to 4D show a manufacturing process of the rotation detecting device according to this embodiment. In the present embodiment, the resin sealing process is different from the manufacturing process of the rotation detecting device in the first embodiment, and this difference will be described below.
ケースの樹脂成形工程では、図4(a)に示すように、第1実施形態と同様に、コネクタ部31と気密性保持部32とが連続した形状であって、それらの内部にターミナル33を一体化したケース30を成形する。このケース30は、気密性保持部32の内部に中空部32bを有する形状であって、気密性保持部32の外径寸法は仕上がり寸法となっている。また、このケース30では、ターミナル33の一端33aがコネクタ部31の内部で露出し、ターミナル33の他端33b側が気密性保持部32の中空部32bに位置し、ターミナル33の他端33bがケース30の気密性保持部32側で露出している。
In the resin molding process of the case, as shown in FIG. 4A, the
そして、ターミナル33の他端33b側と、モールドIC10のリードフレーム11とを接合した後、図4(b)〜(d)に示すように、モールドIC10および中空磁石20の一体化部品と、リードフレーム11とターミナル33の接合部と、気密性保持部32の内部のターミナル33とを樹脂封止する工程を行う。
Then, after joining the
すなわち、図4(b)に示すように、予め熱をかけた熱可塑性樹脂のシート51の中央部に、モールドIC10および中空磁石20の一体化部品を押し当てることにより、図4(c)に示すように、シート51を折り曲げてシート51の端部を気密性保持部32の外面に接触させる。
That is, as shown in FIG. 4 (b), the integrated part of the
シート51は、予めシート状に樹脂成形されたものであり、モールドIC10および中空磁石20の一体化部品から気密性保持部32の内部のターミナル33までを包むことができる大きさのものであり、例えば、平面形状が円形状のものである。
The
続いて、図4(d)に示すように、コネクタ部31から、ケース30とターミナル33の隙間を介して、シート51で包まれた内部空間を減圧(真空引き)することで、一体化部品とリードフレーム11とターミナル33とにシート51を密着させて封止樹脂50を形成する。このとき、気密性保持部32の外面に位置していたシート51は、気密性保持部32の内側に吸い寄せられる。
Subsequently, as shown in FIG. 4D, the integrated space is decompressed (evacuated) from the
その後、図4(d)中の破線で囲まれているケース30と封止樹脂50の端部との接触部分をシーム溶接、レーザー溶着等で接合する。これにより、一体化部品10、20と、リードフレーム11と、ターミナル33とを樹脂封止し、気密性を保持する。
Then, the contact part of
このように、本実施形態においても、モールドIC10および中空磁石20の一体化部品の封止をケース30とは別の封止樹脂50で行うこととしている。具体的には、ケースの樹脂成形工程では、コネクタ部31と気密性保持部32とを有し、気密性保持部32が中空部32bを有する形状であって、内部にターミナル33を有するケース30を樹脂成形し、樹脂封止工程では、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品からケース30から露出するターミナル33までを、シート状の樹脂51で覆って密着させることにより形成した封止樹脂50で封止することとしている。
As described above, also in this embodiment, the integrated component of the
このため、本実施形態によれば、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部32を中空構造としてケース30を樹脂成形するので、ケース30の気密性保持部32を従来よりも薄肉として樹脂成形できる。このため、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。
Therefore, according to the present embodiment, in the resin molding process of the case, since the
また、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、ケース30の気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分を屈曲形状に変更しても、回転検出装置を製造することができる。したがって、本実施形態の回転検出装置の製造方法は、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケース30のうち気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分における形状の設計自由度が高いと言える。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, the rotation detection device can be manufactured even if the portion of the
また、本実施形態においても、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品からケース30から露出するターミナル33までを、型を用いずに樹脂封止することができるので、第1実施形態と同様に、型を用いることによる製品コストの増大を回避できる等の効果を奏する。
Also in this embodiment, since the molded
(第3実施形態)
図5(a)、(b)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第1実施形態における回転検出装置の製造工程の一部を変更したものであり、以下では、第1実施形態との相違点を説明する。
(Third embodiment)
FIGS. 5A and 5B show a manufacturing process of the rotation detection device according to this embodiment. In the present embodiment, a part of the manufacturing process of the rotation detecting device in the first embodiment is changed. Hereinafter, differences from the first embodiment will be described.
本実施形態では、中空磁石20を用いず、モールドIC10のみを用意する。そして、図3(a)に示す形状のケース30のターミナル33とモールドIC10のリードフレーム11とを接合する。
In the present embodiment, only the
その後、図5(a)に示すように、モールドIC10から気密性保持部32までを、磁石用原料粉末(磁粉)を混ぜた液状の樹脂42に浸した後、図5(b)に示すように、液状の樹脂42から取り出して、冷却して樹脂硬化させることで封止樹脂40を形成する。
Thereafter, as shown in FIG. 5A, after the
その後、封止樹脂40のうちモールドIC10を覆う部分43に対して着磁をする。これにより、封止樹脂40のうちモールドIC10を覆う部分43を、磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石として機能させる。
Thereafter, the
本実施形態によれば、第1実施形態と同様の形状のケース30を成形するので、第1実施形態と同様の効果を奏するとともに、さらに、次の効果を奏する。すなわち、中空磁石20を用いる場合、中空磁石20は、磁石用原料粉末を混ぜた樹脂を用いて樹脂成形した後に、この成形体を着磁することで製造されるところ、本実施形態によれば、中空磁石20を製造するための樹脂成形工程を省略することができる。
According to this embodiment, since the
(第4実施形態)
図6(a)〜(c)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第2実施形態における回転検出装置の製造工程の一部を変更したものであり、以下では、この相違点を説明する。
(Fourth embodiment)
6A to 6C show a manufacturing process of the rotation detection device according to this embodiment. The present embodiment is obtained by changing a part of the manufacturing process of the rotation detection device in the second embodiment, and the difference will be described below.
本実施形態では、中空磁石20を用いず、モールドIC10のみを用意する。そして、図4(a)に示す形状のケース30のターミナル33とモールドIC10のリードフレーム11とを接合する。
In the present embodiment, only the
その後、図6(a)に示すように、磁石用原料粉末(磁粉)を混ぜた熱可塑性樹脂のシート52を用い、予め熱をかけたシート52の中央に、モールドIC10を押し当てることにより、図6(b)に示すように、シート52を折り曲げてシート52の端部を気密性保持部32の外面に接触させる。
Thereafter, as shown in FIG. 6 (a), by using a
続いて、図6(c)に示すように、シート52で包まれた内部空間を減圧(真空引き)することで、モールドIC10とリードフレーム11とターミナル33とにシート52を密着させることにより、封止樹脂50を形成し、図6(c)中の破線で囲まれているケース30と封止樹脂50の端部との接触部分を接合する。
Subsequently, as shown in FIG. 6C, by reducing the pressure (evacuating) the internal space wrapped with the
その後、封止樹脂50のうちモールドIC10を覆う部分53に対して着磁をする。これにより、封止樹脂50のうちモールドIC10を覆う部分53を、磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石として機能させる。
Thereafter, the
本実施形態によれば、第2実施形態と同様の形状のケース30を成形するので、第2実施形態と同様の効果を奏するとともに、さらに、次の効果を奏する。すなわち、中空磁石20を用いる場合、中空磁石20は、磁石用原料粉末を混ぜた樹脂を用いて樹脂成形した後に、この成形体を着磁することで製造されるところ、本実施形態によれば、中空磁石20を製造するための樹脂成形工程を省略することができる。
According to the present embodiment, the
(第5実施形態)
図7(a)、(b)、図8、図9(a)、(b)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第2実施形態における回転検出装置の製造工程の一部を変更したものであり、以下では、この相違点を説明する。
(Fifth embodiment)
7A, 7B, 8, 9A, and 9B show a manufacturing process of the rotation detection device according to the present embodiment. The present embodiment is obtained by changing a part of the manufacturing process of the rotation detection device in the second embodiment, and the difference will be described below.
図7(a)、(b)に示すように、モールドIC10と中空磁石20との一体化部品を有底筒状の樹脂製のキャップ60に収容する。なお、図7(a)、(b)は、それぞれ、一体化部品を収容したキャップ60の斜視図、断面図である。
As shown in FIGS. 7A and 7B, an integrated part of the
具体的には、モールドIC10と中空磁石20とを組み付けて一体化部品とした後、型を用いて、この一体化部品とキャップ60とを一体成形する。このように、キャップ60の樹脂成形と一体化部品のキャップ60への収容とを同時に行う代わりに、キャップ60を樹脂成形した後に、一体化部品をキャップ60の内部に収容しても良い。
Specifically, after the
ここで、一体化部品をキャップ60の内部に収容しておくのは、検出部の構成部品として完成させるためである。キャップ60に収容した状態で、回転検出装置の完成前に、検出部の検査を行っておくことで、回転検出装置の完成後の検査を導通検査等の簡便な検査で済ませることができる。また、回転検出装置のケース30の形状は、取り付けられるエンジンの種類等によって変更されるものであるが、一体化部品をキャップ60の内部に収容したものについては、取り付けられるエンジンの種類等に関わらず、共通の部品とすることができる。
Here, the reason why the integrated component is housed in the
一方、図8に示すように、ケース30の樹脂成形を行う(ケースの樹脂成形工程)。ここでは、第2実施形態と同様に、コネクタ部31と気密性保持部32とが連続した形状であって、それらの内部にターミナル33を一体化したケース30を成形する。このケース30は、気密性保持部32の内部に中空部32bを有する形状であって、気密性保持部32の外径寸法は仕上がり寸法となっている。また、気密性保持部32の内部では、ケース30の一部32cがターミナル33の延伸方向に延びており、このケース30の一部32cにターミナル33の他端33bを除く部分が覆われている。また、ケース30は、気密性保持部32の端部に、キャップ60と嵌合する嵌合部37が設けられている。
On the other hand, as shown in FIG. 8, the
続いて、ケース30のターミナル33とモールドIC10のリードフレーム11とを接合するとともに、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品や、リードフレーム11とターミナル33との接合部を封止する。
Subsequently, the
具体的には、図9(a)に示すように、ケース30の気密性封止部32の中空部32bにキャップ60を被せて、ケース30とキャップ60とを接触させる。このとき、ターミナル33とリードフレーム11とを接触させつつ、ケース30の嵌合部37にキャップ60の端部を嵌合させる。
Specifically, as illustrated in FIG. 9A, the
続いて、図9(b)に示すように、破線で囲まれている部分を超音波溶着により接合する。すなわち、超音波溶着により、ターミナル33とリードフレーム11との接触部の接合と、ケース30とキャップ60との接触部の接合とを同時に行う。この超音波溶着は、外部から照射した超音波が接触部に届いて接触部が振動して発熱することで、接触部を溶着させるものである。
Subsequently, as shown in FIG. 9B, the portions surrounded by the broken lines are joined by ultrasonic welding. That is, the joining of the contact portion between the terminal 33 and the
この超音波溶着を行うことで、ターミナル33とリードフレーム11との接触部がキャップ60およびケース30に覆われた状態であっても、ターミナル33とリードフレーム11との接合が可能となる。また、ケース30を構成する樹脂と、キャップ60を構成する樹脂とを同じ樹脂とすることにより、超音波溶着によってケース30とキャップ60との接合部で樹脂が結晶化し、完全な封止ができる。
By performing this ultrasonic welding, even when the contact portion between the terminal 33 and the
このように、本実施形態では、ケースの樹脂成形工程で、コネクタ部31と気密性保持部32とを有し、気密性保持部32が中空部32bを有する形状であって、内部にターミナル33を有するケース30を樹脂成形した後、この中空部32bにキャップ60を被せることで、モールドIC10と中空磁石20の一体化部品からケース30から露出するターミナル33までを封止することとしている。
Thus, in the present embodiment, in the resin molding process of the case, the
このため、本実施形態によれば、ケースの樹脂成形工程では、気密性保持部32を中空構造としてケース30を樹脂成形するので、ケース30の気密性保持部32を従来よりも薄肉として樹脂成形できる。このため、樹脂の冷却固化の時間を短縮でき、ケースの樹脂成形工程にかかる時間を短縮できる。
Therefore, according to the present embodiment, in the resin molding process of the case, since the
また、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、ケース30の気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分を屈曲形状に変更しても、回転検出装置を製造することができる。したがって、本実施形態の回転検出装置の製造方法は、特許文献2に記載の製造方法と比較して、ケース30のうち気密性保持部32よりもコネクタ部31側の部分における形状の設計自由度が高いと言える。
Also in this embodiment, as in the first embodiment, the rotation detection device can be manufactured even if the portion of the
(第6実施形態)
図10(a)〜(c)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第5実施形態における回転検出装置の製造工程の一部を変更したものであり、以下では、この相違点のみを説明する。
(Sixth embodiment)
10A to 10C show a manufacturing process of the rotation detecting device in the present embodiment. In this embodiment, a part of the manufacturing process of the rotation detecting device in the fifth embodiment is changed, and only this difference will be described below.
本実施形態では、図10(a)、(b)に示すように、ケース30の中空部32bにキャップ60を被せて、ケース30とキャップ60とを接触させると同時に、リードフレーム11とターミナル33のそれぞれの先端に設けたコネクタ部71、72同士を嵌合させることにより、リードフレーム11とターミナル33とを機械的に接合する。このコネクタ部71、72としては、一般的なオス、メスのコネクタ構造を用いることができる。
In this embodiment, as shown in FIGS. 10A and 10B, the
その後、図10(c)に示すように、破線で囲まれている、ケース30とキャップ60との接触部を、第5実施形態と同様に、超音波溶着により接合する。なお、ケース30とキャップ60との接合方法としては、超音波溶着の代わりに、レーザー溶着を採用することもできる。このレーザー溶着は、接触部にレーザー光を照射して接触部を溶着させるものであり、ケース30およびキャップ60がPPS、PBT等の熱可塑性樹脂で構成されていれば、ケース30およびキャップ60を透過させて、両者の接触部にレーザーを到達させることができる。
Then, as shown in FIG.10 (c), the contact part of
このようにして、ターミナル33とリードフレーム11との接合と、ケース30とキャップ60との接合とを行うこともできる。本実施形態においても、第5実施形態と同様の形状のケース30を成形するので、第5実施形態と同様の効果を奏する。
In this manner, the terminal 33 and the
(第7実施形態)
図11(a)〜(c)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第5実施形態における回転検出装置の製造工程の一部を変更したものであり、以下では、この相違点のみを説明する。
(Seventh embodiment)
FIGS. 11A to 11C show a manufacturing process of the rotation detection device according to this embodiment. In this embodiment, a part of the manufacturing process of the rotation detecting device in the fifth embodiment is changed, and only this difference will be described below.
図11(a)、(b)に示すように、ケース30の気密性封止部32の中空部32bにキャップ60を被せて、ケース30とキャップ60とを接触させるとともに、ターミナル33とリードフレーム11とを接触させた後、図11(b)中の破線で囲まれている、ケース30とキャップ60の接触部を超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する。
As shown in FIGS. 11A and 11B, the
続いて、図11(c)に示すように、破線で囲まれている、ターミナル33とリードフレーム11との接触部をレーザー溶着により接合する。なお、ケース30とキャップ60の接合よりも先に、ターミナル33とリードフレーム11との接合を行っても良い。
Subsequently, as shown in FIG. 11C, the contact portion between the terminal 33 and the
このようにして、ターミナル33とリードフレーム11との接合と、ケース30とキャップ60との接合とを行うこともできる。本実施形態においても、第5実施形態と同様の形状のケース30を成形するので、第5実施形態と同様の効果を奏する。
In this manner, the terminal 33 and the
また、本実施形態によれば、ケース30とキャップ60の超音波溶着もしくはレーザー溶着と、ターミナル33とリードフレーム11とのレーザー溶着とを別々に行うので、それぞれの溶着を異なるエネルギー(パワー)で行うことができる。このため、リードフレーム11とターミナル33との溶着のために照射するレーザーのエネルギーを、ケース30とキャップ60との溶着のために照射するレーザーのエネルギーよりも大きくすることができ、リードフレーム11とターミナル33とを確実に接合することができる。
Further, according to the present embodiment, ultrasonic welding or laser welding of the
(第8実施形態)
図12(a)〜(c)に本実施形態における回転検出装置の製造工程を示す。本実施形態は、第5実施形態における回転検出装置の製造工程の一部を変更したものであり、以下では、この相違点のみを説明する。
(Eighth embodiment)
12A to 12C show a manufacturing process of the rotation detecting device in the present embodiment. In this embodiment, a part of the manufacturing process of the rotation detecting device in the fifth embodiment is changed, and only this difference will be described below.
本実施形態では、ターミナル33として伸縮可能な形状(バネ性)を有するものを用いる。具体的には、図12(a)に示すように、ケース30の中空部32bに位置するターミナル33は、屈曲部81、82、83を有し、この屈曲部81、82、83での曲げ伸ばしにより、ターミナル33が伸縮可能となっている。ターミナル33を伸ばした状態では、ターミナル33の他端33bはケース30からはみ出ている。
In the present embodiment, a terminal 33 having a shape that can expand and contract (spring property) is used. Specifically, as shown in FIG. 12A, the terminal 33 located in the
そして、図12(b)に示すように、ターミナル33を伸ばした状態とするとともに、ケース30とキャップ60とを離した状態で、リードフレーム11とターミナル33とを接合する。このとき、破線で囲まれた部分を、溶接、熱かしめ、超音波溶着、レーザー溶着等により接合する。
Then, as shown in FIG. 12B, the
続いて、図12(c)に示すように、屈曲部81、82、83を屈曲させてターミナル33を縮めながら、ケース30とキャップ60とを接触させた後、ケース30とキャップ60とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する。
Subsequently, as shown in FIG. 12C, the
このようにして、ターミナル33とリードフレーム11との接合と、ケース30とキャップ60との接合とを行うこともできる。本実施形態においても、第5実施形態と同様の形状のケース30を成形するので、第5実施形態と同様の効果を奏する。
In this manner, the terminal 33 and the
また、本実施形態によれば、ターミナル33に伸縮性(バネ性)を持たせることで、ターミナル33とリードフレーム11との接合を確実に行った後に、ケース30とキャップ60との接合を行うことができる。
In addition, according to the present embodiment, the terminal 33 and the
(他の実施形態)
(1)第1、第3実施形態では、ケース30の気密性保持部32が中空部を有する形状ではなかったが、第2実施形態のように、ケース30の形状を、気密性保持部32が中空部32bを有する形状としても良い。
(Other embodiments)
(1) In the first and third embodiments, the airtight holding
(2)上述の各実施形態では、本発明の回転検出装置をクランク角センサに適用したが、本発明の回転検出装置は、カム角センサ、車速センサ、車輪速センサ等の回転を行う被検体の回転数もしくは回転方向を検出するものに適用可能である。 (2) In each of the embodiments described above, the rotation detection device of the present invention is applied to a crank angle sensor. However, the rotation detection device of the present invention is a subject that rotates a cam angle sensor, a vehicle speed sensor, a wheel speed sensor, or the like. It can be applied to those that detect the number of rotations or the direction of rotation.
1 回転検出装置
10 モールドIC
11 リードフレーム
20 中空磁石
30 ケース
31 コネクタ部
32 気密性保持部
33 ターミナル
40 封止樹脂
41 液状の樹脂
42 磁石用原料粉末を混ぜた液状の樹脂
50 封止樹脂
51 シート状の樹脂
52 磁石用原料粉末を混ぜたシート状の樹脂
60 キャップ
71 ターミナルのコネクタ部
72 リードフレームのコネクタ部
1
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石(20)と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とが取り付け穴(3)に挿入された状態の際に、気密性を保持しながら前記取り付け穴(3)に固定される気密性保持部(32)と、
前記リードフレーム(11)と電気的に接続されたターミナル(33)を内部に有するコネクタ部(31)とを備える回転検出装置の製造方法において、
前記コネクタ部(31)と前記気密性保持部(32)とを有する形状のケース(30)であって、前記ターミナル(33)の一端(33a)が前記コネクタ部(31)の内部に位置するとともに、前記ターミナル(33)の他端(33b)が前記ケース(30)の前記気密性保持部(32)側で露出する前記ケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とを一体化した一体化部品(10、20)を用意する工程と、
前記一体化部品(10、20)の前記リードフレーム(11)と、前記ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
前記一体化部品(10、20)、前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)との接合部および前記ケース(30)の前記気密性保持部(32)を、液状の樹脂(41)に浸して樹脂硬化させることにより、封止樹脂(40)で封止する樹脂封止工程とを行うことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 An IC chip having a magnetoresistive element and a lead frame (11) electrically connected to the IC chip, and a part of the lead frame (11) and the IC chip are covered with a resin (12). Mold IC (10),
A magnet (20) for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive element;
When the mold IC (10) and the magnet (20) are inserted into the mounting hole (3), the airtight holding part (32) fixed to the mounting hole (3) while maintaining airtightness. )When,
In a method of manufacturing a rotation detection device comprising a connector portion (31) having a terminal (33) electrically connected to the lead frame (11),
A case (30) having a shape having the connector part (31) and the airtight holding part (32), wherein one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31). In addition, the case (30) in which the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding part (32) side of the case (30) is molded with a mold using a mold. Process,
Preparing an integrated part (10, 20) in which the mold IC (10) and the magnet (20) are integrated;
Joining the lead frame (11) of the integrated part (10, 20) and the other end (33b) side of the terminal (33);
The integrated part (10, 20), the joint between the lead frame (11) and the terminal (33) and the airtight holding part (32) of the case (30) are made into a liquid resin (41). A method of manufacturing a rotation detecting device, comprising performing a resin sealing step of sealing with a sealing resin (40) by dipping and curing the resin.
前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石(20)と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とが取り付け穴(3)に挿入された状態の際に、気密性を保持しながら前記取り付け穴(3)に固定される気密性保持部(32)と、
前記リードフレーム(11)と電気的に接続されたターミナル(33)を内部に有するコネクタ部(31)とを備える回転検出装置の製造方法において、
前記コネクタ部(31)と前記気密性保持部(32)とを有する形状のケース(30)であって、前記ターミナル(33)の一端(33a)が前記コネクタ部(31)の内部に位置するとともに、前記ターミナル(33)の他端(33b)が前記ケース(30)の前記気密性保持部(32)側で露出する前記ケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
前記モールドIC(10)を用意する工程と、
前記モールドIC(10)の前記リードフレーム(11)と、前記ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
前記モールドIC(10)、前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)との接合部および前記ケース(30)の前記気密性保持部(32)を、磁石用原料粉末を混ぜた液状の樹脂(42)に浸して樹脂硬化させることにより、封止樹脂(40)で封止する樹脂封止工程と、
前記封止樹脂(40)のうち前記モールドIC(10)を覆う部分(43)に対して着磁をする工程とを行うことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 An IC chip having a magnetoresistive element and a lead frame (11) electrically connected to the IC chip, and a part of the lead frame (11) and the IC chip are covered with a resin (12). Mold IC (10),
A magnet (20) for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive element;
When the mold IC (10) and the magnet (20) are inserted into the mounting hole (3), the airtight holding part (32) fixed to the mounting hole (3) while maintaining airtightness. )When,
In a method of manufacturing a rotation detection device comprising a connector portion (31) having a terminal (33) electrically connected to the lead frame (11),
A case (30) having a shape having the connector part (31) and the airtight holding part (32), wherein one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31). In addition, the case (30) in which the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding part (32) side of the case (30) is molded with a mold using a mold. Process,
Preparing the mold IC (10);
Bonding the lead frame (11) of the mold IC (10) and the other end (33b) side of the terminal (33);
The mold IC (10), the joint between the lead frame (11) and the terminal (33), and the airtight holding part (32) of the case (30) are liquid resin in which magnet raw material powder is mixed. A resin sealing step of sealing with a sealing resin (40) by immersing in (42) and curing the resin;
And a step of magnetizing a portion (43) of the sealing resin (40) covering the mold IC (10).
前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石(20)と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とが取り付け穴(3)に挿入された状態の際に、気密性を保持しながら前記取り付け穴(3)に固定される気密性保持部(32)と、
前記リードフレーム(11)と電気的に接続されたターミナル(33)を内部に有するコネクタ部(31)とを備える回転検出装置の製造方法において、
前記コネクタ部(31)と前記気密性保持部(32)とを有し、前記気密性保持部(32)が中空部(32b)を有する形状のケース(30)であって、前記ターミナル(33)の一端(33a)が前記コネクタ部(31)の内部に位置し、前記ターミナル(33)の他端(33b)が前記気密性保持部(32)側で露出する前記ケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とを一体化した一体化部品(10、20)を用意する工程と、
前記一体化部品(10、20)の前記リードフレーム(11)と、前記ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
前記一体化部品(10、20)および前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)との接合部を、シート状の樹脂(51)で覆って密着させることにより、封止樹脂(50)で封止する樹脂封止工程とを行うことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 An IC chip having a magnetoresistive element and a lead frame (11) electrically connected to the IC chip, and a part of the lead frame (11) and the IC chip are covered with a resin (12). Mold IC (10),
A magnet (20) for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive element;
When the mold IC (10) and the magnet (20) are inserted into the mounting hole (3), the airtight holding part (32) fixed to the mounting hole (3) while maintaining airtightness. )When,
In a method of manufacturing a rotation detection device comprising a connector portion (31) having a terminal (33) electrically connected to the lead frame (11),
A case (30) having a shape having a connector part (31) and an airtight holding part (32), the airtight holding part (32) having a hollow part (32b), and the terminal (33 The case (30) in which one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31) and the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding part (32) side, A resin molding process of a case for resin molding using a mold;
Preparing an integrated part (10, 20) in which the mold IC (10) and the magnet (20) are integrated;
Joining the lead frame (11) of the integrated part (10, 20) and the other end (33b) side of the terminal (33);
By covering the integrated parts (10, 20) and the lead frame (11) and the terminal (33) with a sheet-like resin (51) and bringing them into close contact with each other, a sealing resin (50) is used. A method for manufacturing a rotation detecting device, comprising performing a resin sealing step of sealing.
前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石(20)と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とが取り付け穴(3)に挿入された状態の際に、気密性を保持しながら前記取り付け穴(3)に固定される気密性保持部(32)と、
前記リードフレーム(11)と電気的に接続されたターミナル(33)を内部に有するコネクタ部(31)とを備える回転検出装置の製造方法において、
前記コネクタ部(31)と前記気密性保持部(32)とを有し、前記気密性保持部(32)が中空部(32b)を有する形状のケース(30)であって、前記ターミナル(33)の一端(33a)が前記コネクタ部(31)の内部に位置し、前記ターミナル(33)の他端(33b)が前記気密性保持部(32)側で露出する前記ケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
前記モールドIC(10)を用意する工程と、
前記モールドIC(10)の前記リードフレーム(11)と、前記ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
前記モールドIC(10)および前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)との接合部を、磁石用原料粉末を混ぜたシート状の樹脂(52)で覆って密着させることにより、封止樹脂(50)で封止する樹脂封止工程と、
前記封止樹脂(50)のうち前記モールドIC(10)を覆う部分(53)に対して着磁をする工程とを行うことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 An IC chip having a magnetoresistive element and a lead frame (11) electrically connected to the IC chip, and a part of the lead frame (11) and the IC chip are covered with a resin (12). Mold IC (10),
A magnet (20) for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive element;
When the mold IC (10) and the magnet (20) are inserted into the mounting hole (3), the airtight holding part (32) fixed to the mounting hole (3) while maintaining airtightness. )When,
In a method of manufacturing a rotation detection device comprising a connector portion (31) having a terminal (33) electrically connected to the lead frame (11),
A case (30) having a shape having a connector part (31) and an airtight holding part (32), the airtight holding part (32) having a hollow part (32b), and the terminal (33 The case (30) in which one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31) and the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding part (32) side, A resin molding process of a case for resin molding using a mold;
Preparing the mold IC (10);
Bonding the lead frame (11) of the mold IC (10) and the other end (33b) side of the terminal (33);
A sealing resin is obtained by covering and closely bonding the joints of the mold IC (10) and the lead frame (11) with the terminal (33) with a sheet-like resin (52) mixed with magnet raw material powder. A resin sealing step of sealing in (50);
And a step of magnetizing a portion (53) of the sealing resin (50) covering the mold IC (10).
前記磁気抵抗素子にバイアス磁界を与える磁石(20)と、
前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とが取り付け穴(3)に挿入された状態の際に、気密性を保持しながら前記取り付け穴(3)に固定される気密性保持部(32)と、
前記リードフレーム(11)と電気的に接続されたターミナル(33)を内部に有するコネクタ部(31)とを備える回転検出装置の製造方法において、
前記コネクタ部(31)と前記気密性保持部(32)とを有し、前記気密性保持部(32)が中空部(32b)を有する形状のケース(30)であって、前記ターミナル(33)の一端(33a)が前記コネクタ部(31)の内部に位置し、前記ターミナル(33)の他端(33b)が前記気密性保持部(32)側で露出する前記ケース(30)を、型を用いて樹脂成形するケースの樹脂成形工程と、
有底筒状の樹脂製のキャップ(60)に前記モールドIC(10)と前記磁石(20)とを収容したものを用意する工程と、
前記モールドIC(10)の前記リードフレーム(11)と、前記ターミナル(33)の他端(33b)側とを接合する工程と、
前記ケース(30)の前記中空部(32b)に前記キャップ(60)を被せた状態で、前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを接合することにより、前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)との接合部を封止する工程とを行うことを特徴とする回転検出装置の製造方法。 An IC chip having a magnetoresistive element and a lead frame (11) electrically connected to the IC chip, and a part of the lead frame (11) and the IC chip are covered with a resin (12). Mold IC (10),
A magnet (20) for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive element;
When the mold IC (10) and the magnet (20) are inserted into the mounting hole (3), the airtight holding part (32) fixed to the mounting hole (3) while maintaining airtightness. )When,
In a method of manufacturing a rotation detection device comprising a connector portion (31) having a terminal (33) electrically connected to the lead frame (11),
A case (30) having a shape having a connector part (31) and an airtight holding part (32), the airtight holding part (32) having a hollow part (32b), and the terminal (33 The case (30) in which one end (33a) of the terminal (33) is located inside the connector part (31) and the other end (33b) of the terminal (33) is exposed on the airtight holding part (32) side, A resin molding process of a case for resin molding using a mold;
A step of preparing a bottomed cylindrical resin cap (60) containing the mold IC (10) and the magnet (20);
Bonding the lead frame (11) of the mold IC (10) and the other end (33b) side of the terminal (33);
The lead frame (11) and the cap (60) are joined by joining the case (30) and the cap (60) in a state where the cap (60) is put on the hollow portion (32b) of the case (30). And a step of sealing the joint with the terminal (33).
前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)とを接合する工程と、前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを接合する工程とを、超音波溶着により、同時に行うことを特徴とする請求項5に記載の回転検出装置の製造方法。 The cap (60) is put on the hollow portion (32b) of the case (30) to bring the case (30) and the cap (60) into contact with each other, and the lead frame (11) and the terminal (33). )
The step of joining the lead frame (11) and the terminal (33) and the step of joining the case (30) and the cap (60) are simultaneously performed by ultrasonic welding. A method for manufacturing the rotation detection device according to claim 5.
前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する工程を行うことを特徴とする請求項5に記載の回転検出装置の製造方法。 The cap (60) is put on the hollow part (32b) of the case (30) to bring the case (30) and the cap (60) into contact with each other, and at the same time, the lead frame (11) and the terminal ( 33) After performing the step of joining the lead frame (11) and the terminal (33) by fitting the connector portions (71, 72) provided in each of the above,
The method for manufacturing a rotation detecting device according to claim 5, wherein the step of joining the case (30) and the cap (60) by ultrasonic welding or laser welding is performed.
前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)とをレーザー溶着により接合する工程と、前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する工程とを別々に行うことを特徴とする請求項5に記載の回転検出装置の製造方法。 The cap (60) is put on the hollow portion (32b) of the case (30) to bring the case (30) and the cap (60) into contact with each other, and the lead frame (11) and the terminal (33). )
The step of joining the lead frame (11) and the terminal (33) by laser welding and the step of joining the case (30) and the cap (60) by ultrasonic welding or laser welding are performed separately. The method of manufacturing a rotation detecting device according to claim 5.
前記ターミナル(33)を伸ばした状態とするとともに、前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを離した状態で、前記リードフレーム(11)と前記ターミナル(33)とを接合する工程を行った後、
前記ターミナル(33)を縮めながら、前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを接触させた後、前記ケース(30)と前記キャップ(60)とを超音波溶着もしくはレーザー溶着により接合する工程を行うことを特徴とする請求項5に記載の回転検出装置の製造方法。 Using the terminal (33) having an expandable shape,
A step of joining the lead frame (11) and the terminal (33) with the terminal (33) extended and the case (30) and the cap (60) separated from each other; After
The step of bringing the case (30) and the cap (60) into contact with each other while the terminal (33) is contracted, and then joining the case (30) and the cap (60) by ultrasonic welding or laser welding. The method for manufacturing a rotation detecting device according to claim 5, wherein:
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015059883A (en) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社デンソー | Position detection device |
JP2017106879A (en) * | 2015-12-03 | 2017-06-15 | 株式会社ジェイテクト | Sensor assembly and method for manufacturing the sensor assembly |
JP2018020453A (en) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | 株式会社ジェイテクト | Insert molding method, insert molded article, torque detection device and electrically driven power steering device |
DE102018107122A1 (en) | 2017-03-28 | 2018-10-04 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Electronic component module and method for manufacturing an electronic component module |
JP2020008547A (en) * | 2018-06-28 | 2020-01-16 | 株式会社デンソー | Magnetic detection module, detection device, case assembly, and manufacturing method of magnetic detection module |
-
2011
- 2011-08-01 JP JP2011168477A patent/JP2013032942A/en not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015059883A (en) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社デンソー | Position detection device |
JP2017106879A (en) * | 2015-12-03 | 2017-06-15 | 株式会社ジェイテクト | Sensor assembly and method for manufacturing the sensor assembly |
JP2018020453A (en) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | 株式会社ジェイテクト | Insert molding method, insert molded article, torque detection device and electrically driven power steering device |
DE102018107122A1 (en) | 2017-03-28 | 2018-10-04 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Electronic component module and method for manufacturing an electronic component module |
JP2020008547A (en) * | 2018-06-28 | 2020-01-16 | 株式会社デンソー | Magnetic detection module, detection device, case assembly, and manufacturing method of magnetic detection module |
JP2020073936A (en) * | 2018-06-28 | 2020-05-14 | 株式会社デンソー | Detector and magnetic detection module |
JP2021185390A (en) * | 2018-06-28 | 2021-12-09 | 株式会社デンソー | Detection device |
JP7103498B2 (en) | 2018-06-28 | 2022-07-20 | 株式会社デンソー | Detection device |
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