JP2013028008A - 記録ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド10は、第1の基板1と第2の基板2とを有する。第1の基板1は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子3と、第1の基板1を貫通するインク供給口6とを有する。第2の基板2は、インクの吐出口4を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第2の基板2の溝と第1の基板1とでノズルとインク供給口6とをつなぐインク流路5が形成されている。第1の基板1の上に第2の基板2が配置されており、第2の基板2には、記録ヘッド10の表面側の一方の面と、第1の基板1の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部7、8が設けられている。
【選択図】図1
Description
(1)オリフィス基板を形成する樹脂材料が記録ヘッドの製造中に収縮する。
(2)オリフィス基板の表面付近と裏面付近とでオリフィス基板の平面に平行な方向の収縮量が異なる。
図1は、本発明に係るインクジェット記録装置用の記録ヘッドの一実施形態の概略構成図であり、(a)は記録ヘッドの表面からみた記録ヘッドの概略構成図、(b)は(a)のAA’断面の概略斜視図である。
(1)裏面溝部7の終了位置x1f>インク供給口6の開始位置x3i
(2)裏面溝部7の開始位置x1iは可能な限り小さくする
(3)裏面溝部7の終了位置x1f<位置x4と位置x5の中心位置x6
となるようにする。
(1)裏面溝部7の終了位置x1f<表面溝部8の開始位置x2i
(2)表面溝部8の終了位置x2f<位置x5
(3)表面溝部8の開始位置x2i<位置x4と位置x5の中心位置x6
となるようにする。
本発明に係る記録ヘッドの第2の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同一の構成については説明を省略する。図7は、本発明に係る記録ヘッドの第2の実施形態の概略構成図であり、(a)は記録ヘッドの表面からみた記録ヘッドの概略構成図、(b)は(a)のEE’断面の概略斜視図である。本実施形態が第1の実施形態と大きく異なる点は、シリコン基板1の短手方向において(記録ヘッド10を表面側からみて)、裏面溝部7と表面溝部8とが重なることである。
(1)表面溝部8の端部位置x2>裏面溝部7の終了位置x1f
(2)表面溝部8の端部位置x2<接合位置x5
(3)表面溝部8の端部位置x2>位置x4と位置x5の中心位置x6
となるようにする。
2 オリフィス基板(第2の基板)
3 エネルギー発生素子
4 吐出口
5 インク流路
6 インク供給口
7 裏面溝部(凹部)
8 表面溝部(凹部)
10記録ヘッド
Claims (11)
- インクを吐出するためのエネルギー発生素子を有する第1の基板であって該基板を貫通するインク供給口を有する第1の基板と、前記インクの吐出口を有する複数のノズルと溝とを有する第2の基板とを有し、前記第2の基板の前記溝と前記第1の基板とで前記ノズルと前記インク供給口とをつなぐインク流路が形成されている、インクジェット記録装置用の記録ヘッドであって、
前記第1の基板の上に前記第2の基板が配置されており、
前記第2の基板には、前記記録ヘッドの表面側の一方の面と、前記第1の基板の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部が設けられている、記録ヘッド。 - 前記第2の基板の前記他方の面の前記凹部は、前記インク流路を構成する部分に設けられている、請求項1に記載の記録ヘッド。
- 前記第2の基板は一方向に長くなっており、
前記第2の基板には、前記ノズルを互いに区切る壁部が設けられており、前記第2の基板の短手方向において、前記第2の基板の端部の前記第1の基板に接合している部分であって、前記第2の基板の中央部側の位置と、前記壁部の、前記第2の基板の端部側の位置との中心が前記第2の基板の前記一方の面の前記凹部に位置している、請求項1または2に記載の記録ヘッド。 - 前記第2の基板の前記一方の面の前記凹部は、前記記録ヘッドの表面から見て、前記他方の面の前記凹部および前記吐出口とは重なっていない、請求項1から3のいずれか1項に記載の記録ヘッド。
- 前記第2の基板の前記一方の面の前記凹部は、前記記録ヘッドの表面から見て、前記他方の面の前記凹部および前記吐出口と重なっている、請求項1から3のいずれか1項に記載の記録ヘッド。
- 前記第2の基板は一方向に長くなっており、
前記第2の基板の短手方向において、前記第2の基板の前記一方の面の前記凹部は、前記第2の基板の前記吐出口と、前記第2の基板の端部の、前記第1の基板と接合している部分との間に位置している、請求項4に記載の記録ヘッド。 - 前記第2の基板は一方向に長くなっており、
前記第2の基板の短手方向において、前記第2の基板の前記一方の面の前記凹部の端部が、前記第2の基板の前記吐出口と、前記第2の基板の端部の、前記第1の基板と接合している部分との間に位置している、請求項5に記載の記録ヘッド。 - 前記第2の基板は一方向に長くなっており、
前記第2の基板の短手方向において、前記第2の基板の前記他方の面の前記凹部が、前記第2の基板の端部の前記第1の基板と接合している部分であって第2の基板の中央部側の位置と、前記ノズルを互いに区切る壁部の、前記第2の基板の端部側の位置との中心の位置よりも前記吐出口に近い位置にある、請求項4から7のいずれか1項に記載の記録ヘッド。 - 前記第2の基板は一方向に長くなっており、
前記第2の基板の短手方向において、前記第2の基板の前記他方の面の前記凹部は、前記記録ヘッドの表面から見て、前記インク供給口と重なっている、請求項4から8のいずれか1項に記載の記録ヘッド。 - 前記第1の基板および前記第2の基板は樹脂材料で構成されている、請求項1から9のいずれか1項に記載の記録ヘッド。
- インクを吐出するためのエネルギー発生素子を有する第1の基板であって該基板を貫通するインク供給口を有する第1の基板と、前記インクの吐出口を有する複数のノズルと溝とを有する第2の基板とを有し、前記第2の基板の前記溝と前記第1の基板とで前記ノズルと前記インク供給口とをつなぐインク流路が形成され、前記第2の基板の一方の面と前記第1の基板に接合する他方の面にそれぞれ凹部が設けられたインクジェット記録装置用の記録ヘッドの製造方法であって、
前記エネルギー発生素子を配置した第1の基板の上に第1の層と第2の層とを順に積層し、前記第2の層の、前記第2の基板の前記他方の面の前記凹部となる部分以外を除去し、
前記第1の層の、前記第2の基板の前記他方の面の前記凹部に対応して設けられるインク流路となる部分以外を除去してから前記第1の層を第3の層で覆い、
前記第3の層の前記吐出口となる部分を除去してから前記第3の層を第4の層で覆い、
前記第4の層の前記第2の基板の前記一方の面の前記凹部となる部分を除去し、前記第1の基板の前記インク供給口となる部分を除去し、
前記第1の層を除去して前記インク流路を形成し、前記第2の層を除去して前記第2の基板の前記他方の面の前記凹部を形成することで、前記第2の基板を形成する、記録ヘッドの製造方法。
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