JP2013016731A - 放熱基板、半導体モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この放熱基板10は、基体11上に黒鉛シート12が貼り付けられて構成される。黒鉛シート12は、薄い接着剤(図示せず)を用いて基体11の表面に固定される。また、黒鉛シート12は、平板状のものが折り曲げられた上で図1の状態で基体11上に固定される。黒鉛シート12が折り曲げられる前の状態においては、黒鉛(グラファイト)の結晶構造における六角形環が広がる方向は、黒鉛シート12の面内方向となっている。
【選択図】図1
Description
本発明の放熱基板は、結晶構造における六角形環が広がる方向が面内方向とされた黒鉛シートが用いられた放熱基板であって、略矩形体形状をなす基体の表面に、前記黒鉛シートが、前記基体の表面を構成する一つの面から当該一つの面に対向する面にかけて折り曲げられて貼り付けられた構成を具備することを特徴とする。
本発明の放熱基板において、前記基体は樹脂材料で構成されたことを特徴とする。
本発明の放熱基板は、結晶構造における六角形環が広がる方向が面内方向とされた黒鉛シートが、略矩形体形状をなす基体の表面を構成する一つの面から当該一つの面に対向する面にかけて、折り曲げられて貼り付けられた構成を具備する複数の放熱基板ブロックが、前記一つの面が一方の主面を、前記一つの面と対向する面が他方の主面をそれぞれ構成するように、前記複数の放熱基板ブロックにおける前記一つの面と交差する面同士が接合されたことを特徴とする。
本発明の放熱基板において、前記基体は樹脂材料で構成されたことを特徴とする。
本発明の放熱基板において、前記放熱基板ブロックにおける前記一つの面と交差する面には突起部及び孔部が形成され、隣接する2つの前記放熱基板ブロックにおいて、前記突起部と前記孔部とが嵌合する構成を具備することを特徴とする。
本発明の放熱基板は、表面にめっき層が形成されたことを特徴とする。
本発明の放熱基板は、前記一方の主面側に、絶縁シートを介して金属薄膜層が形成されたことを特徴とする。
本発明の放熱基板は、前記金属薄膜層が部分的に除去された構成を具備することを特徴とする。
本発明の半導体モジュールは、前記放熱基板が用いられたことを特徴とする。
本発明の半導体モジュールは、前記放熱基板が用いられ、前記金属薄膜層の上に半導体チップが搭載されたことを特徴とする。
以下、本発明の実施の形態となる放熱基板の構造について説明する。この放熱基板は、基体の表面に黒鉛シートが貼り付けられて構成される。この際、発熱源となる半導体チップ等が搭載される表面側からその裏面側に向かって、黒鉛シートは一体化されている。この黒鉛シートは、平板状のものが折り曲げられてこの形態とされる。この放熱基板においては放熱は主に黒鉛シートによってなされる。
上記の放熱基板10を半導体モジュールに用いることができるが、この放熱基板10を複数連結した構成とすることもできる。図3は、この放熱基板110の構成を示す斜視図(a)、及びそのC−C方向の断面図(b)である。この放熱基板110は、前記の放熱基板10と同様の構造が一つのブロック(放熱基板ブロック120)とされ、これらが面内で複数接合して構成される。この場合、各放熱基板ブロック120においては、黒鉛シート12は、上面(一つの面)側から下面(前記一つの面に対向する面)にかけて連続的に形成され、折り曲げられて図1と同様の構成とされる。ここで、各放熱基板ブロック120は、放熱基板ブロック120の上面(一つの面)が放熱基板110の一方の主面を、放熱基板ブロック120の下面(前記一つの面と対向する面)が放熱基板110における他方の主面をそれぞれ構成するように配列される。放熱基板ブロック120における側面(前記一つの面と交差する面)同士が接合されることによって放熱基板110が形成される。放熱基板ブロック120同士の接合は、基体11と黒鉛シート12の接合と同様に、接着剤等を用いて行うことができる。接着剤の厚さは前記と同様に例えば10〜20μmとすることができる。図3においては、接着剤の記載は省略されている。
図3のような形態で連結することが特に容易なように放熱基板ブロックを形成することもできる。図4は、この場合に用いられる個々の放熱基板ブロック210に用いられる黒鉛シート220の折り曲げられる前の一方向からの斜視図(a)、放熱基板ブロック210の一方向からの斜視図(b)、放熱基板ブロック210の他方向からの斜視図(c)を示す。この放熱基板ブロック210においては、基体211の一側面に2つの突起部212が形成されている。また、この突起部212と反対側の側面に、2つの孔部213が設けられている。図4(a)(b)に示されるように、黒鉛シート220は、突起部212が設けられた面には接合されない。また、孔部213が設けられた面においては、黒鉛シート220にも孔部213に対応した開口部が設けられている。図5は、この放熱基板ブロック210の左側面図(a)、上面図(b)、右側面図(c)、D−D方向の断面図(d)である。
前記の放熱基板110と同様の構造の表面に、めっき層を形成した放熱基板310の断面図を図7に示す。この放熱基板310においては、前記の放熱基板110と同様に放熱基板ブロック120が配列された構造の表面全面にめっき層311が形成されている。めっき層311は、例えば銅(Cu)やニッケル(Ni)等、電解めっきや無電解めっきで放熱基板ブロック120の表面に形成できる金属で形成される。めっき層311の厚さは、例えば5〜20μm程度とすることができる。
上記の放熱基板10、110、230、310における上面側の最表面は、黒鉛やめっき層(金属)であり、これらはいずれも導電体であるため、最表面全体が導電層となっている。これに対して、以下に示す放熱基板410においては、上面側の最表面を部分的に導電性とすることができ、この部分的な導電層を配線パターンとして用いることができる。図8は、この放熱基板410を製造し、かつこれを用いて半導体モジュールを製造する場合の工程断面図である。
11、211 基体
12、220 黒鉛シート
80 半導体チップ
90 ボンディングワイヤ
100 金属板
120、210 放熱基板ブロック
212 突起部
213 孔部
311 めっき層
411 絶縁シート
412 金属薄膜層
Claims (10)
- 結晶構造における六角形環が広がる方向が面内方向とされた黒鉛シートが用いられた放熱基板であって、
略矩形体形状をなす基体の表面に、
前記黒鉛シートが、前記基体の表面を構成する一つの面から当該一つの面に対向する面にかけて折り曲げられて貼り付けられた構成を具備することを特徴とする放熱基板。 - 前記基体は樹脂材料で構成されたことを特徴とする請求項1に記載の放熱基板。
- 結晶構造における六角形環が広がる方向が面内方向とされた黒鉛シートが、略矩形体形状をなす基体の表面を構成する一つの面から当該一つの面に対向する面にかけて、折り曲げられて貼り付けられた構成を具備する複数の放熱基板ブロックが、
前記一つの面が一方の主面を、前記一つの面と対向する面が他方の主面をそれぞれ構成するように、前記複数の放熱基板ブロックにおける前記一つの面と交差する面同士が接合されたことを特徴とする放熱基板。 - 前記基体は樹脂材料で構成されたことを特徴とする請求項3に記載の放熱基板。
- 前記放熱基板ブロックにおける前記一つの面と交差する面には突起部及び孔部が形成され、隣接する2つの前記放熱基板ブロックにおいて、前記突起部と前記孔部とが嵌合する構成を具備することを特徴とする請求項3又は4に記載の放熱基板。
- 表面にめっき層が形成されたことを特徴とする請求項3から請求項5までのいずれか1項に記載の放熱基板。
- 前記一方の主面側に、絶縁シートを介して金属薄膜層が形成されたことを特徴とする請求項3から請求項6までのいずれか1項に記載の放熱基板。
- 前記金属薄膜層が部分的に除去された構成を具備することを特徴とする請求項7に記載の放熱基板。
- 請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の放熱基板が用いられたことを特徴とする半導体モジュール。
- 請求項8に記載の放熱基板が用いられ、前記金属薄膜層の上に半導体チップが搭載されたことを特徴とする半導体モジュール。
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JPH10242354A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 熱伝導部材およびそれを用いた電子装置 |
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