JP2013008928A - レーザ光源装置 - Google Patents
レーザ光源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013008928A JP2013008928A JP2011142110A JP2011142110A JP2013008928A JP 2013008928 A JP2013008928 A JP 2013008928A JP 2011142110 A JP2011142110 A JP 2011142110A JP 2011142110 A JP2011142110 A JP 2011142110A JP 2013008928 A JP2013008928 A JP 2013008928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- concave mirror
- conversion element
- wavelength conversion
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/109—Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/12—Picture reproducers
- H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
- H04N9/3102—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators
- H04N9/3111—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying the colours sequentially, e.g. by using sequentially activated light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/12—Picture reproducers
- H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
- H04N9/3141—Constructional details thereof
- H04N9/315—Modulator illumination systems
- H04N9/3161—Modulator illumination systems using laser light sources
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/3501—Constructional details or arrangements of non-linear optical devices, e.g. shape of non-linear crystals
- G02F1/3503—Structural association of optical elements, e.g. lenses, with the non-linear optical device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
- G02F1/3542—Multipass arrangements, i.e. arrangements to make light pass multiple times through the same element, e.g. using an enhancement cavity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
- H01S3/09415—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/1601—Solid materials characterised by an active (lasing) ion
- H01S3/1603—Solid materials characterised by an active (lasing) ion rare earth
- H01S3/1611—Solid materials characterised by an active (lasing) ion rare earth neodymium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/163—Solid materials characterised by a crystal matrix
- H01S3/1671—Solid materials characterised by a crystal matrix vanadate, niobate, tantalate
- H01S3/1673—YVO4 [YVO]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2383—Parallel arrangements
- H01S3/2391—Parallel arrangements emitting at different wavelengths
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/023—Mount members, e.g. sub-mount members
- H01S5/02325—Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
- H01S5/02326—Arrangements for relative positioning of laser diodes and optical components, e.g. grooves in the mount to fix optical fibres or lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
【課題】レーザ光源装置において、凹面ミラーの簡易な位置決めにより、レーザの出力を良好に維持しつつ、他の光学素子に必要とされる光軸調整マージンを抑制可能とする。
【解決手段】励起用レーザ光を出力する半導体レーザ31と、励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体34と、赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子35と、波長変換素子に対向する凹面36aを有し、レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラー36と、凹面ミラーを支持する凹面ミラー支持部61とを備え、この凹面ミラー支持部は、波長変換素子からのレーザ光を通過させる開口部61bと、波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、開口部の一端側の周囲に形成されて凹面ミラーの凹面側が当接する外面61aとを有する構成とする。
【選択図】図11
【解決手段】励起用レーザ光を出力する半導体レーザ31と、励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体34と、赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子35と、波長変換素子に対向する凹面36aを有し、レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラー36と、凹面ミラーを支持する凹面ミラー支持部61とを備え、この凹面ミラー支持部は、波長変換素子からのレーザ光を通過させる開口部61bと、波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、開口部の一端側の周囲に形成されて凹面ミラーの凹面側が当接する外面61aとを有する構成とする。
【選択図】図11
Description
本発明は、半導体レーザを用いたレーザ光源装置に関し、特に画像表示装置の光源に用いられるレーザ光源装置に関するものである。
近年、画像表示装置の光源に半導体レーザを用いる技術が注目されている。この半導体レーザは、従来から画像表示装置に多用されてきた水銀ランプに比較して、色再現性がよい点、瞬時点灯が可能である点、長寿命である点、高効率で消費電力を低減することができる点、ならびに小型化が容易である点など、種々の利点を有している。
このような画像表示装置に用いられるレーザ光源装置においては、緑色レーザ光を直接出力する半導体レーザに高出力のものがないため、半導体レーザから励起用レーザ光を出力させ、この励起用レーザ光でレーザ媒体を励起させて赤外レーザ光を出力させ、この赤外レーザ光の波長を波長変換素子で変換して緑色レーザ光を出力するようにした技術が知られている(特許文献1参照)。
ところで、上記特許文献1に記載の従来技術では、光共振部において、基本波に対して高反射であり、かつ第2次高調波に対して高透過である誘電体反射膜を有する凹面ミラーが設けられている。この凹面ミラーの設置に際しては、レーザ光の光路に対する位置や角度に応じてレーザ光の出力が変化するため、レーザ光の出力が最大となるように凹面の中心(正反射点)とレーザ光の光路とを一致させるように位置決めすることが望ましい。
しかしながら、上記従来技術では、凹面ミラーの製作誤差により、単に凹面ミラーの位置決めをするだけでは凹面の中心とレーザ光の光路とは必ずしも一致せず、レーザ光源装置における他の光学素子を含めたレーザ光の光軸調整マージン(各光学素子の位置や傾きを変更することにより、レーザ光の光軸を変位させることが可能な範囲)が不足して光軸の調整が困難となるという問題があった。特に、小型の凹面ミラー(例えば、外径が0.5mm)を用いる場合には、そのような問題は顕著となる。
本発明は、このような従来技術の課題を鑑みて案出されたものであり、凹面ミラーの簡易な位置決めにより、レーザの出力を良好に維持しつつ、他の光学素子に必要とされる光軸調整マージンを抑制可能とするレーザ光源装置を提供することを主目的とする。
本発明のレーザ光源装置は、励起用レーザ光を出力する半導体レーザと、前記励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体と、前記赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子と、前記波長変換素子に対向する凹面を有し、当該波長変換素子を介して前記レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラーと、前記凹面ミラーを支持する凹面ミラー支持部とを備え、前記凹面ミラー支持部は、前記波長変換素子から前記凹面ミラーに向けてレーザ光を通過させる開口部と、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、前記開口部の一端側の周囲に形成されて前記凹面ミラーの凹面側が当接する当接面とを有することを特徴とする。
このように本発明によれば、凹面ミラーの簡易な位置決めにより、レーザの出力を良好に維持しつつ、他の光学素子に必要とされる光軸調整マージンを抑制することが可能となるという優れた効果を奏する。
上記課題を解決するためになされた第1の発明は、励起用レーザ光を出力する半導体レーザと、前記励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体と、前記赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子と、前記波長変換素子に対向する凹面を有し、当該波長変換素子を介して前記レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラーと、前記凹面ミラーを支持する凹面ミラー支持部とを備え、前記凹面ミラー支持部は、前記波長変換素子から前記凹面ミラーに向けてレーザ光を通過させる開口部と、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、前記開口部の一端側の周囲に形成されて前記凹面ミラーの凹面側が当接する当接面とを有する構成とする。
これによると、凹面ミラーの中心を基準として各光学素子の光軸調整を実施する場合に、凹面ミラーの中心を通るレーザ光の光路と凹面ミラーの中心(すなわち、レーザ光の出力が最大となる正反射点)とを略一致させることができるため、凹面ミラーの簡易な位置決めにより、レーザの出力を良好に維持しつつ、他の光学素子に必要とされる光軸調整マージンを抑制することが可能となる。
また、第2の発明は、前記凹面ミラーを前記当接面に向けて押圧する弾性押圧部材を更に備えた構成とする。
これによると、凹面ミラーの中心を基準として凹面ミラーを簡易に位置決めすることができる。
また、第3の発明は、凹面ミラー支持部が設けられた基台を更に備え、前記波長変換素子および前記レーザ媒体は、前記基台に共に支持された構成とする。
これによると、凹面ミラーの中心を基準として各光学素子の光軸調整を容易に実施することができ、各光学素子に必要とされる光軸調整マージンを抑制することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明による画像表示装置1の概略構成図である。この画像表示装置1は、所要の画像をスクリーンに投影表示するものであり、緑色レーザ光を出力する緑色レーザ光源装置2と、赤色レーザ光を出力する赤色レーザ光源装置3と、青色レーザ光を出力する青色レーザ光源装置4と、映像信号に応じて各レーザ光源装置2〜4からのレーザ光の変調を行う液晶反射型の空間光変調器5と、各レーザ光源装置2〜4からのレーザ光を反射させて空間光変調器5に照射させるとともに空間光変調器5から出射された変調レーザ光を透過させる偏光ビームスプリッタ6と、各レーザ光源装置2〜4から出射されるレーザ光を偏光ビームスプリッタ6に導くリレー光学系7と、偏光ビームスプリッタ6を透過した変調レーザ光をスクリーンに投射する投射光学系8とを備えている。
この画像表示装置1は、いわゆるフィールドシーケンシャル方式でカラー画像を表示するものであり、各レーザ光源装置2〜4から各色のレーザ光が時分割で順次出力され、各色のレーザ光による画像が視覚の残像効果によってカラー画像として認識される。
リレー光学系7は、各レーザ光源装置2〜4から出射される各色のレーザ光を平行ビームに変換するコリメータレンズ11〜13と、コリメータレンズ11〜13を通過した各色のレーザ光を所要の方向に導く第1および第2のダイクロイックミラー14、15と、ダイクロイックミラー14、15により導かれたレーザ光を拡散させる拡散板16と、拡散板16を通過したレーザ光を収束レーザに変換するフィールドレンズ17とを備えている。
投射光学系8からスクリーンSに向けてレーザ光が出射される側を前側とすると、青色レーザ光源装置4から青色レーザ光が後方に向けて出射され、この青色レーザ光の光軸に対して緑色レーザ光の光軸および赤色レーザ光の光軸が互いに直交するように、緑色レーザ光源装置2および赤色レーザ光源装置3から緑色レーザ光および赤色レーザ光が出射され、これら青色レーザ光、赤色レーザ光、および緑色レーザ光が、2つのダイクロイックミラー14、15で同一の光路に導かれる。すなわち、青色レーザ光と緑色レーザ光が第1のダイクロイックミラー14で同一の光路に導かれ、青色レーザ光および緑色レーザ光と赤色レーザ光が第2のダイクロイックミラー15で同一の光路に導かれる。
第1および第2のダイクロイックミラー14、15は、表面に所定の波長のレーザ光を透過および反射させるための膜が形成されたものであり、第1のダイクロイックミラー14は、青色レーザ光を透過するとともに緑色レーザ光を反射させる。第2のダイクロイックミラー15は、赤色レーザ光を透過するとともに青色レーザ光および緑色レーザ光を反射させる。
これらの各光学部材は、筐体21に支持されている。この筐体21は、各レーザ光源装置2〜4で発生した熱を放熱する放熱体として機能し、アルミニウムや銅などの熱伝導性の高い材料で形成されている。
緑色レーザ光源装置2は、側方に向けて突出した状態で筐体21に形成された取付部22に取り付けられている。この取付部22は、リレー光学系7の収容スペースの前方と側方にそれぞれ位置する前壁部23と側壁部24とが交わる角部から側壁部24に直交する向きに突出した状態で設けられている。赤色レーザ光源装置3は、ホルダ25に保持された状態で側壁部24の外面側に取り付けられている。青色レーザ光源装置4は、ホルダ26に保持された状態で前壁部23の外面側に取り付けられている。
赤色レーザ光源装置3および青色レーザ光源装置4は、いわゆるCANパッケージで構成され、レーザ光を出力するレーザチップが、ステムに支持された状態で缶状の外装部の中心軸上に光軸が位置するように配置されたものであり、外装部の開口に設けられたガラス窓からレーザ光が出射される。これら赤色レーザ光源装置3および青色レーザ光源装置4は、ホルダ25、26に開設された取付孔27、28に圧入するなどして固定される。青色レーザ光源装置4および赤色レーザ光源装置3のレーザチップの発熱は、ホルダ25、26を介して筐体21に伝達されて放熱され、各ホルダ25、26は、アルミニウムや銅などの熱伝導率の高い材料で形成されている。
緑色レーザ光源装置2は、励起用レーザ光を出力する半導体レーザ31と、半導体レーザ31から出力された励起用レーザ光を集光する集光レンズであるFAC(Fast-Axis Collimator)レンズ32およびロッドレンズ33と、励起用レーザ光により励起されて基本レーザ光(赤外レーザ光)を出力するレーザ媒体34と、基本レーザ光の波長を変換して半波長レーザ光(緑色レーザ光)を出力する波長変換素子35と、レーザ媒体34とともに共振器を構成する凹面ミラー36と、励起用レーザ光および基本波長レーザ光の漏洩を阻止するガラスカバー37と、各部を支持する基台38と、各部を覆うカバー体39とを備えている。
この緑色レーザ光源装置2は、基台38を筐体21の取付部22に取り付けて固定され、緑色レーザ光源装置2と筐体21の側壁部24との間に所要の幅(例えば0.5mm以下)の間隙が形成される。これにより、緑色レーザ光源装置2の熱が赤色レーザ光源装置3に伝わりにくくなり、赤色レーザ光源装置3の昇温を抑制して、温度特性の悪い赤色レーザ光源装置3を安定的に動作させることができる。また、赤色レーザ光源装置3の所要の光軸調整代(例えば0.3mm程度)を確保するため、緑色レーザ光源装置2と赤色レーザ光源装置3との間に所要の幅(例えば0.3mm以上)の間隙が設けられている。
図2は、緑色レーザ光源装置2におけるレーザ光の状況を示す模式図である。半導体レーザ31のレーザチップ41は、波長808nmの励起用レーザ光を出力する。FACレンズ32は、レーザ光のファースト軸(光軸方向に対して直交し且つ図の紙面に沿う方向)の拡がりを低減する。ロッドレンズ33は、レーザ光のスロー軸(図の紙面に対して直交する方向)の拡がりを低減する。
レーザ媒体34は、いわゆる固体レーザ結晶であり、ロッドレンズ33を通過した波長808nmの励起用レーザ光により励起されて波長1064nmの基本波長レーザ光(赤外レーザ光)を出力する。このレーザ媒体34は、Y(イットリウム)VO4(バナデート)からなる無機光学活性物質(結晶)にNd(ネオジウム)をドーピングしたものであり、より具体的には、母材であるYVO4のYに蛍光を発する元素であるNd3+に置換してドーピングしたものである。
レーザ媒体34におけるロッドレンズ33に対向する側には、波長808nmの励起用レーザ光に対する反射防止と、波長1064nmの基本波長レーザ光および波長532nmの半波長レーザ光に対する高反射の機能を有する膜42が形成されている。レーザ媒体34における波長変換素子35に対向する側には、波長1064nmの基本波長レーザ光および波長532nmの半波長レーザ光に対する反射防止の機能を有する膜43が形成されている。
波長変換素子35は、いわゆるSHG(Second Harmonics Generation)素子であり、レーザ媒体34から出力される波長1064nmの基本波長レーザ光(赤外レーザ光)の波長を変換して波長532nmの半波長レーザ光(緑色レーザ光)を生成する。
波長変換素子35におけるレーザ媒体34に対向する側には、波長1064nmの基本波長レーザ光に対する反射防止と、波長532nmの半波長レーザ光に対する高反射の機能を有する膜44が形成されている。波長変換素子35における凹面ミラー36に対向する側には、波長1064nmの基本波長レーザ光および波長532nmの半波長レーザ光に対する反射防止の機能を有する膜45が形成されている。
凹面ミラー36は、波長変換素子35に対向する側に凹面を有し、この凹面には、波長1064nmの基本波長レーザ光に対する高反射と、波長532nmの半波長レーザ光に対する反射防止の機能を有する膜46が形成されている。これにより、レーザ媒体34の膜42と凹面ミラー36の膜46との間で、波長1064nmの基本波長レーザ光が共振して増幅される。
波長変換素子35では、レーザ媒体34から入射した波長1064nmの基本波長レーザ光の一部が波長532nmの半波長レーザ光に変換され、変換されずに波長変換素子35を通過した波長1064nmの基本波長レーザ光は、凹面ミラー36で反射されて波長変換素子35に再度入射し、その一部が波長532nmの半波長レーザ光に変換される。この波長532nmの半波長レーザ光は、波長変換素子35の膜44で反射されて波長変換素子35から出射される。また、波長変換素子35への再度入射後に変換されずに通過した波長1064nmを有するレーザ光は、レーザ媒体34の膜42で反射されて再び波長変換素子35に入射し、その一部が波長532nmの半波長レーザ光に変換されて波長変換素子35から出射される。
ここで、レーザ媒体34から波長変換素子35に入射して波長変換素子35で波長変換されて波長変換素子35から出射されるレーザ光のビームB1と、凹面ミラー36で一旦反射されて波長変換素子35に入射して膜44で反射されて波長変換素子35から出射されるレーザ光のビームB2とが互いに重なり合う状態では、波長532nmの半波長レーザ光と波長1064nmの基本波長レーザ光とが干渉を起こして出力が低下する。
そこでここでは、波長変換素子35を光軸方向に対して傾斜させて、入射面35aおよび出射面35b(図6参照)での屈折作用により、レーザ光のビームB1、B2が互いに重なり合わないようにして、波長532nmの半波長レーザ光と波長1064nmの基本波長レーザ光との干渉を防ぐようにしており、これにより出力低下を避けることができる。
なお、図1に示したガラスカバー37には、波長808nmの励起用レーザ光および波長1064nmの基本波長レーザ光が外部に漏洩することを防止するため、これらのレーザ光を透過しない膜が形成されている。
図3は、緑色レーザ光源装置2の内部構造を示す一部切欠き斜視図であり、図4は、緑色レーザ光源装置2の内部構造を示す断面図であり、図5は、凹面ミラー支持部61に対する凹面ミラー36の取付構造を示す(A)部分斜視図および(B)右側面図である。なお、図5ではガラスカバー37等の一部の構成を省略して示している。
図3に示すように、半導体レーザ31、FACレンズ32、ロッドレンズ33、レーザ媒体34、波長変換素子35、および凹面ミラー36は、基台38に一体的に支持されている。基台38の底面51は光軸方向に対して平行となる。なおここでは、基台38の底面51に対して直交する方向を高さ方向とし、この高さ方向および光軸方向に対して直交する方向を幅方向とする。また、基台38の底面51に近接する側を下、底面51と相反する側を上として説明するが、これは実際の装置の上下方向と必ずしも一致するものではない。
半導体レーザ31は、レーザ光を出力するレーザチップ41をマウント部材52に実装したものである。レーザチップ41は、光軸方向に長い帯板状をなし、光出射面をFACレンズ32側に向けた状態で、板状をなすマウント部材52の一面の幅方向の略中心位置に固着されている。この半導体レーザ31は、取付部材53を介して基台38に固定される。この取付部材53は、銅あるいはアルミ等の熱伝導性の高い金属で形成されており、これによりレーザチップ41の発熱が基台38に伝達されて放熱することができる。
FACレンズ32およびロッドレンズ33は、集光レンズホルダ54に保持される。この集光レンズホルダ54は、基台38に一体的に形成された支持部55に支持される。集光レンズホルダ54は、光軸方向に移動可能に支持部55に連結されており、これにより集光レンズホルダ54、すなわちFACレンズ32およびロッドレンズ33の位置が、光軸方向に調整される。FACレンズ32およびロッドレンズ33は位置調整作業の前に集光レンズホルダ54に接着剤で固定され、位置調整作業の後に、集光レンズホルダ54と支持部55とが接着剤で互いに固定される。
レーザ媒体34は、基台38に一体的に形成されたレーザ媒体支持部56に支持される。レーザ媒体支持部56は、図4に示すように、基台38に隔壁状に立設され、レーザ媒体34を保持するレーザ媒体保持部57が側方に突出するように設けられている。レーザ媒体支持部56には、ロッドレンズ33から出射されたレーザ光をレーザ媒体34に導く光路孔63が形成されている。レーザ媒体34とレーザ媒体保持部57とは接着剤で互いに固定される。
再び図3に戻って、波長変換素子35は、波長変換素子ホルダ58に保持される。この波長変換素子ホルダ58は、波長変換素子35の幅方向の位置および光軸方向に対する傾斜角度を調整することができるように、基台38に対して、幅方向に移動可能に、且つ光軸方向に対して略直交する軸周りに回動可能に設けられている。この波長変換素子ホルダ58については後に詳しく説明する。波長変換素子35は位置調整作業の前に波長変換素子ホルダ58に接着剤で固定され、位置調整作業の後に、波長変換素子ホルダ58と基台38とが接着剤で互いに固定される。
凹面ミラー36は、基台38に一体的に形成された凹面ミラー支持部61に支持される。より詳細には、凹面ミラー36は、図5(A)に示すように、凹面ミラー支持部61の外面(当接面)61aに対してその凹面36a側の周縁部を当接させた状態(図11参照)で板ばね(弾性押圧部材)67によって保持される。
また、図5(B)に示すように、板ばね62の下部には、凹面ミラー支持部61に設けられた位置決めピン68が嵌め込まれる位置決め用の開口69が形成されている。開口69が位置する板ばね62下部の幅方向両側は、凹面ミラー支持部61に設けられた鉤形の一対の突部70によって固定されている。板ばね67の上部には、弾性変形可能な略L字状の一対の支持アーム80が幅方向に離間して形成されており、両支持アーム80は、それぞれ相対する側に形成された円弧状の当接縁部80aにより、凹面ミラー36の高さ方向の中間に位置する周面の一部を挟持すると共に、それぞれの先端部に形成された押圧片部80bによって凹面ミラー36を凹面ミラー支持部61側に押圧する。凹面ミラー36は、板ばね67に保持された状態で後述する位置決めが可能な程度に移動可能である。このような構成により、後述するように、凹面ミラーを初期位置で保持する一方、その後の移動(位置決め)が容易となる。
なお、図3に示したように、凹面ミラー支持部61には、波長変換素子35から凹面ミラー36に向けてレーザ光を通過させる開口部61bが形成されており、凹面ミラー36の凹面36aは、開口部61bを介して波長変換素子35と対向する。また、凹面ミラー36が当接する外面61aは、波長変換素子からのレーザ光の光軸と実質的に直交すると共に、開口部61bの外側(ガラスカバー37側)の周囲に形成される。ここで、開口部61bは、孔状や切り欠き状など種々の形状を採用することが可能である。
また、詳細は後述するが、板ばね67によって保持される凹面ミラー36の初期位置(すなわち、緑色レーザ光源装置2における各光学素子の光軸調整時の標準位置)は、波長変換素子35からのレーザ光の光路(標準の光路)が凹面ミラー36の中心(すなわち、図10(A)、(B)中の平面36bの中心点C1)を通るように設定される。最終的に、凹面ミラー36は、外面61aにおける位置調整により適正な位置(レーザ出力を最大とする位置)が決定された後に、その適正な位置において図示しない接着剤によって凹面ミラー支持部61に固定される。
図4に示すように、基台38には、凹面ミラー支持部61の上端とレーザ媒体支持部56の上端とを相互に連結するように架設部64が設けられており、この架設部64には、後に詳述する調整治具が挿入される開放部65が形成されている。また、凹面ミラー36の下側にも調整治具が挿入される開放部66が形成されている(開放部65、66の構造については、図8も併せて参照されたい)。
なお、前記の各部材、例えば波長変換素子ホルダ58と基台38との固定に用いる接着剤は、例えばUV硬化型接着剤が好適である。
図6は、波長変換素子35の斜視図である。波長変換素子35は、強誘電体結晶に分極反転領域71と非分極反転領域72とが交互に形成された、周期的な分極反転構造を備えたものであり、分極反転周期方向(分極反転領域71の配列方向)に基本波長レーザ光を入射させる。これにより、擬似位相整合による入射光の第2次高調波発生で2倍の周波数、すなわち1/2の波長のレーザ光(高調波のレーザ光)を得ることができる。
周期電極73と対向電極74を用いて、単分極した強誘電体結晶に分極方向と逆方向の電界を印加すると、周期電極73に対応する部分の分極方向が反転し、分極反転領域71が周期電極73から対向電極74に向けて楔形状に形成される。
なお、実際には、強誘電体結晶の基板に分極反転構造を形成した上でこれを所要の寸法に切断して1つの波長変換素子35が得られ、入射面35aおよび出射面35bは、精密な光学研磨により分極反転領域71の深さ方向に対して平行な平面に形成される。また、最終的に側面35c、35dの周期電極73および対向電極74は研磨により削除される。強誘電体結晶には、例えばLN(ニオブ酸リチウム)にMgOを添加したものが用いられる。
分極反転領域71は、深さ方向に沿って幅が次第に狭くなる楔形状をなし、入射するレーザ光に対して、分極反転領域71の深さ方向に波長変換素子35を移動させることで、レーザ光の光路上に位置する分極反転領域71と非分極反転領域72との割合が変化し、これに応じて波長変換効率が変化する。そこで、波長変換効率が最大となる、すなわちレーザ光の出力が最大となるように、レーザ光の光軸に対する波長変換素子35の位置が調整される。この波長変換素子35の位置調整については後に詳しく説明する。
図7は、波長変換素子ホルダ58の分解斜視図であり、図8は、緑色レーザ光源装置2を一部分解して示す斜視図である。
図7に示すように、波長変換素子ホルダ58は、ホルダ本体81と、これとは別体に形成された1対の狭持部材82とで構成される。ホルダ本体81には、波長変換素子35から出射されたレーザ光を凹面ミラー36に導く光路孔83が形成されている。この光路孔83の出射側は漏斗状に広がっている(図4を併せて参照されたい)。
波長変換素子35の入射面35aおよび出射面35bは、精密な研磨により高い精度で平行度が確保されているが、波長変換素子35の側面35c、35dと頂面35eおよび底面35fに関しては、入射面35aおよび出射面35bに対する直角度や、互いに相対するもの同士の平行度は確保されておらず、基板から切り出す際に発生する製造誤差がある。このため、精度が確保されている出射面35bを、光路孔83が開口する取付基準面84に当接させて、波長変換素子35の位置決めが行われる。
両狭持部材82は、波長変換素子35における分極反転領域71の深さ方向に相対する2つの側面35c、35dにそれぞれ当接し、波長変換素子35を左右から挟み込むように取り付けられる。ホルダ本体81には、狭持部材82が嵌合するガイド溝85が形成されており、このガイド溝85により狭持部材82の高さ方向の位置が規定される。ホルダ本体81と狭持部材82とは接着剤で固定され、狭持部材82には接着剤が装填される孔86が形成されている。
狭持部材82において、波長変換素子35の側面35c、35dに当接する当接面87には導電性接着剤が塗布される。また、ホルダ本体81および狭持部材82は金属材料などの導電性材料からなる。これにより、波長変換素子35の側面35c、35d同士が電気的に接続され、側面35c、35dを同一の電位に維持して、チャージアップによる屈折率の変化を抑えることができる。
ホルダ本体81には、波長変換素子35を上下から挟み込む保持部88が形成されている。この保持部88には、接着剤を装填する溝89が形成されている。これにより、波長変換素子35の頂面35eおよび底面35fに接着剤が付着し、この接着剤を介して波長変換素子35とホルダ本体81とが互いに固定される。
図4に示したように、基台38には、光軸方向に対して直交する平面をなす第1の基準面91、92が設けられている。この第1の基準面91、92は、基台38に一体的に形成された上下のホルダ支持部59、60の凹面ミラー36側にそれぞれ形成されている。上側のホルダ支持部59は、レーザ媒体支持部56と凹面ミラー支持部61とを相互に連結する架設部64に設けられている。
一方、波長変換素子ホルダ58には、第1の基準面91、92に当接する1対の軸部93、94が設けられている。この1対の軸部93、94は、同一径の円柱状をなし、互いに同軸的に配置され、ホルダ本体81に互いに相反する向きに突出した状態で設けられている(図7を併せて参照されたい)。第1の基準面91、92は、光軸方向に対して直交する同一の平面上に配置されており、軸部93、94が第1の基準面91、92で規制されることで、波長変換素子ホルダ58の光軸方向の位置が規定される。
軸部93、94は、第1の基準面91、92に沿って幅方向に摺動させることができ、これにより波長変換素子ホルダ58の光軸方向の位置を変化させない状態で、波長変換素子ホルダ58を基台38に対して幅方向に(分極反転領域の深さ方向)に移動させることができる。また、第1の基準面91、92に当接した状態で軸部93、94を回動させることができ、これにより波長変換素子ホルダ58を光軸方向に対して略直交する軸周りに回動させることができる。
波長変換素子35は、波長変換素子ホルダ58において光路孔83が開口する取付基準面84で位置決めされ、この取付基準面84は軸部93、94の円筒面を形成する母線と平行に配置されている。レーザ媒体34は、光路孔63が開口する取付基準面95に入射面34aを当接させて位置決めされる。したがって、波長変換素子ホルダ58において波長変換素子35の取付基準面84と軸部93、94の中心線との平行度を管理するとともに、基台38においてレーザ媒体34の取付基準面95と第1の基準面91、92との平行度を管理することで、波長変換素子35の入射面35aおよび出射面35bと、レーザ媒体34の入射面34aおよび出射面34bとの平行度を確保することができる。
下側のホルダ支持部60には、第1の基準面91、92に対して直交する平面をなす第2の基準面96が形成されている。この第2の基準面92は、光軸方向および波長変換素子35の分極反転領域の深さ方向に対して平行に配置されている。
一方、波長変換素子ホルダ58には、第2の基準面96に当接する脚部97が設けられている。この脚部97は、板状部98と、その下面に形成された2つのボス99および段部100で構成されている(図7参照)。板状部98は、波長変換素子35の取付基準面84が形成された基部101からL字形の断面形状をなすように延出され、波長変換素子35およびレーザ媒体34の下側に配置される。これにより、波長変換素子35およびレーザ媒体34の下側のスペースを有効利用して、装置の小型化を図ることができる。下側の軸部94は、段部100から突出した状態で設けられている。
2つのボス99は、分極反転領域の深さ方向に離間し、段部100は、2つのボス99に対して、分極反転領域の深さ方向の中間に位置するとともに光軸方向にずれた位置に配置され、2つのボス99および段部100の端面は、同一の高さに設定されている。これにより、波長変換素子ホルダ58の軸部93、94が、高さ方向、すなわち光軸方向および分極反転領域の深さ方向に対して直交する正規の方向から傾くことを避けることができる。
また、緑色レーザ光源装置2には、波長変換素子ホルダ58の脚部97を第2の基準面96に当接した状態に保持するばね102が設けられている。このばね102は、コ字形状の断面をなす板ばねで構成され、波長変換素子ホルダ58の脚部97と第2の基準面96を備えたホルダ支持部60とを挟み込む態様で取り付けられている。これにより、波長変換素子ホルダ58を傾かせることなく幅方向に移動させることができ、位置角度調整作業が容易になる。ばね102の付勢力は、位置角度調整時の仮止めに用いられ、位置角度調整作業後に接着剤で波長変換素子ホルダ58とホルダ支持部60とが固定される。
図8に示すように、ばね102においてホルダ支持部60の下面側に当接する部分には、ホルダ支持部60の下面に形成された突起103に嵌り合う切り欠き104が形成されており、これによりばね102がホルダ支持部60に対して光軸方向および幅方向に移動することが規制される。ばね102において波長変換素子ホルダ58の脚部97の上面側に当接する部分には、球面状の当接部105が形成されており、これによりホルダ支持部60に固定されたばね102に対して、波長変換素子ホルダ58の脚部97を円滑に摺動させることができる。
図9は、光軸方向に対する波長変換素子35の傾斜角度θに応じた波長変換効率ηの変化状況を示す図である。波長変換素子35の波長変換効率ηは、光軸方向に対する波長変換素子35の傾斜角度θに応じて変化し、光軸方向に対して傾斜していない状態(θ=0)では波長変換効率ηが低く、光軸方向に対して傾斜させることで波長変換効率ηを高めることができる。
これは、傾斜角度θが0の場合、図2に示したように、レーザ光のビームB1、B2が互いに重なり合うことで、波長532nmの半波長レーザ光と波長1064nmの基本波長レーザ光とが干渉を起こすことによるためであり、波長変換素子35を光軸方向に対して傾斜させることで、入射面35aおよび出射面35bでの屈折作用により、レーザ光のビームB1、B2がずれるため、干渉による出力低下を傾けることができる。
特にここでは、波長変換効率のピーク点(ここではθ=±0.6度)を中心にした所要の範囲(例えば±0.4度)の高効率領域に入るように波長変換素子35の傾斜角度θを調整し、この調整代に相当する角度範囲で波長変換素子ホルダ58を基台38に対して傾動させることができるように各部の寸法が設定される。
図10は、凹面ミラー36の形状の一例を示す模式的な断面図であり、それぞれ(A)標準形状(製作誤差なし)、及び(B)実際形状(製作誤差あり)を示す。ここでは、説明の便宜上、凹面ミラー36の形状については正確に図示しておらず、実用上の最適な形状とは異なる(後述する図11および図12についても同様)。
図10(A)に示すように、標準形状(理想形状)の凹面ミラー36では、円筒状の光学材料(ここでは、屈折率1.5の光学ガラス)の一方側(波長変換素子35に対向する側)の面が凹面36aとして加工される。ここでは、凹面36aを楕円面として示しているが、これに限らず必要に応じて球面や双曲面等を用いることができる。凹面36aの中心点C0における法線Nは、他方側の平面36bの中心点C1においてこの平面36bと直交する凹面ミラー36の中心軸Xと一致する。この凹面36aの中心点C0は、その接平面P0が平面36bと平行となる正反射点であり、波長変換素子35からのレーザ光の光路を法線Nに一致させた場合に緑色レーザ光源装置2のレーザ出力が最大となる。
一方、凹面ミラー36の実際形状は、図10(B)に示すように製作誤差(ここでは、凹面36aの加工誤差による平面36bとの位置ずれ)を有する。この場合、凹面ミラー36の凹面36a側から平面36bと直交する方向にレーザ光を入射させたときの凹面36aの正反射点C2を通る平面36b上の法線Nは、凹面ミラー36の中心軸Xとは一致しない。したがって、このような状態でレーザ光の光路(すなわち、光軸調整時の標準の光路)を中心軸Xに一致させるように凹面ミラー36の初期位置を定めた場合、緑色レーザ光源装置2のレーザの出力を良好に維持するためには、レーザ光の光路を法線Nと一致させるように凹面ミラー36を移動させることが必要となる。
図11は、本発明による凹面ミラー36の取付構造を示す説明図であり、図12は、図11の取付構造の比較例を示す説明図である。ここでは、説明の便宜上、上述の板ばね62等の図示は省略している。なお、理想的には、波長変換素子35からのレーザ光の光路は、凹面ミラー支持部61の開口部61bの中心を通るように設計されているが、実際にはそうではない。波長変換素子35からのレーザ光の光路は、それより前に配置されている半導体レーザ31、FACレンズ32、ロッドレンズ33およびレーザ媒体34(以上、図1〜図4参照)の取付誤差により、開口部61bの中心から外れる。図11は、そのような凹面ミラーより前に配置されている各光学部材の取付誤差が無く、波長変換素子35からのレーザ光の光路が、凹面ミラー支持部61の開口部61bの中心を通る場合を示している。
図11に示す本実施の形態においては、凹面ミラー36の平面36bが凹面ミラー支持部61の外面(当接面)61aに対して角度θで傾斜しており、凹面36aの中心点C0が正反射点となる。したがって、凹面36aの中心点C0が光軸Laと一致しさえすれば、レーザ光の出力が最大となる。理想的な状態として、図11に示すように、波長変換素子35からのレーザ光の光路が、凹面ミラー支持部61の開口部61bの中心を通り、凹面ミラー36の凹面36aの中心点C0も開口部61bの中心に来るよう取り付けることができるのであれば、凹面ミラー36を調整する必要はない。しかしながら、先にも述べたように、波長変換素子35からのレーザ光の光路は開口部61bの中心から外れるし、凹面ミラー36も、その中心点C0が開口部61bの中心に来るよう、最初から正確に取り付けられるわけではない。よって実際には、凹面ミラー36を任意の方向(図3中の高さ方向および幅方向)に摺動させることにより、凹面36aの中心点C0を光軸Laと一致させ、レーザ光の出力が最大となる適正な位置を決定する。
このとき、平面36bは凹面ミラー支持部61の外面(平面)61aに対して角度θで傾斜した状態にあるものの、凹面36aの中心点C0は外径φ(ここでは、φ=0.5mm)の凹面ミラー36の中心付近に位置する。これにより、レーザ光の入射光路Laは、凹面36aの略中心点C0から入射(光路La)し、平面36bにて僅かに屈折してガラスカバー37(図1参照)側に向けて出射(光路Lb)する。
ここで、光路Lbの出射点C3を通る平面36b上の法線Yに対し、凹面36aに入射するレーザ光の光路Laは所定の角度θ(ここで、θの最大角度は0.2度(加工精度から予想される最大値)とする。)で傾斜した状態にある。この状態において、出射するレーザ光の光路Lbの法線Yに対する傾斜の角度ψは0.3度となり、レーザ光の光路Lbのレーザ光の光路Laに対する傾斜の角度ψ−θは最大で0.1度となるに過ぎない。このようなレーザ光の光路Lbの僅かな傾斜であれば、画像表示装置1のリレー光学系7(図1参照)に配置されている他の光学素子の光軸調整により解消可能であるため、その後のレーザ光の光路に影響を及ぼすことはない。
このように、緑色レーザ光源装置2の凹面ミラー36は、その初期位置において、レーザ光の光路Laの入射位置と凹面36aの中心点C0とが略一致し、また、出射後の光路Lbについても入射側の光路Laとのずれは僅かとなる。つまり、緑色レーザ光源装置2の凹面ミラー36の調整マージンがそれほど大きくなくても、必要な緑色レーザ光の出力を得ることができ、緑色レーザ光源装置2における光軸調整が容易となると共に、光軸調整に関する設計の自由度が高まりよりコンパクトな構成が可能となる。特に、図11に示す理想的なレーザ光軸の状態においては、凹面ミラー36は、その初期位置に配置されるよう、調整されればよい。
なお、先ほども述べたように、ここでは、凹面ミラー36に入射するレーザ光が凹面ミラー支持部61の開口部61bの中心を通るように示してあるが、入射するレーザ光の光路は必ずしもこれに限定されない。しかし、たとえそうであっても、凹面ミラー36の調整マージンは、それより前に配置される各光学部材の取付誤差によるレーザ光Laの光軸ずれを見積もったものだけで済み、凹面ミラー36自体の製作誤差までも見積もる必要は無い。
一方、図12に示す比較例では、凹面ミラー36は、凹面ミラー支持部61の内面61cに対して平面36b側の周縁部を当接させた状態で保持される。(図12も図11と同様に、波長変換素子35より前に配置されている各光学部材の取付誤差が無く、波長変換素子35からのレーザ光の光路が、凹面ミラー支持部61の開口部61bの中心を通る場合を示している。)この場合、初期位置における凹面ミラー36では、波長変換素子35からのレーザ光の標準の光路は、平面36bの中心点C1を通る(凹面ミラー36の中心軸Xと一致する)ように設定される。ところが、この取り付け状態は図10(B)と基本的に同じであり、中心点C1を通る中心軸Xと凹面36aとの交点C4は、凹面36aの中心にありながら、その製作誤差により、レーザ光の光路Laに対する正反射点とはならない。したがって、緑色レーザ光源装置2における各光学素子の光軸調整に際し、レーザ光の光路Laが凹面36aの正反射点C2を通るように凹面ミラー36を移動させる必要がある。つまり、凹面ミラー36の調整マージンは、波長変換素子35より前に配置される各光学部材の取付誤差によるレーザ光Laの光軸ずれを見積もったもののみならず、凹面ミラー36自体の製作誤差までも見積もる必要がある。
移動後(位置決め後)の凹面ミラー36では、図12に示すように、波長変換素子35からのレーザ光は、凹面36aの中心点C2から入射(光路La)し、そのまま直進して平面36bの出射点C5から出射(光路Lb)する。しかしながら、緑色レーザ光源装置2における他の光学素子を含めて光軸調整マージンには一定の限界がある(ここでは、光軸調整マージンは0.5mm)。したがって、比較例の取付構造では、レーザ光の光路Laと凹面ミラー36の中心軸XのずれW(Wは最大0.14mm)により光軸調整マージンが不足して光軸調整が困難となる場合がある。
本発明を特定の実施形態に基づいて説明したが、これらの実施形態はあくまでも例示であって、本発明はこれらの実施形態によって限定されるものではない。本発明に係るレーザ光源装置は、比較的小型の凹面ミラーへの適用に好適であるため、携帯型の情報処理装置等(例えば、ノート型のPCのドライブベイ)に内蔵されるコンパクトな画像表示装置(プロジェクタ)に用いられるレーザ光源装置として最適である。なお、上記実施形態に示した本発明に係るレーザ光源装置の各構成要素は、必ずしも全てが必須ではなく、少なくとも本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜取捨選択することが可能である。
本発明に係るレーザ光源装置は、レーザの出力を良好に維持しつつ、他の光学素子に必要とされる光軸調整マージンを抑制することを可能とし、画像表示装置の光源に用いられるレーザ光源装置などとして有用である。
1 画像表示装置
2 緑色レーザ光源装置
3 赤色レーザ光源装置
4 青色レーザ光源装置
31 半導体レーザ
34 レーザ媒体
35 波長変換素子
36 凹面ミラー
36a 凹面
38 基台
61 凹面ミラー支持部
61a 外面(当接面)
61b 開口部
67 板ばね(弾性押圧部材)
2 緑色レーザ光源装置
3 赤色レーザ光源装置
4 青色レーザ光源装置
31 半導体レーザ
34 レーザ媒体
35 波長変換素子
36 凹面ミラー
36a 凹面
38 基台
61 凹面ミラー支持部
61a 外面(当接面)
61b 開口部
67 板ばね(弾性押圧部材)
本発明のレーザ光源装置は、励起用レーザ光を出力する半導体レーザと、前記励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体と、前記赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子と、前記波長変換素子に対向する凹面を有し、当該波長変換素子を介して前記レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラーと、前記波長変換素子から前記凹面ミラーに向けてレーザ光を通過させる開口部と、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、前記開口部の一端側の周囲に形成されて前記凹面ミラーの凹面側が当接する当接面とを有し、前記凹面ミラーが支持固定される凹面ミラー支持部と、下方に前記凹面ミラー支持部に対する固定部を有し、上方に前記凹面ミラーの周面の一部を挟持する一対の当接縁部と前記凹面ミラーを前記当接面に向けて押圧する一対の押圧片部とを有した弾性押圧部材と、を備え、前記凹面ミラーは、前記弾性押圧部材により前記凹面ミラー支持部に保持し、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸が前記凹面ミラーの凹面側の正反射点を通過する位置で前記凹面ミラー支持部に支持固定したことを特徴とする。
上記課題を解決するためになされた第1の発明は、励起用レーザ光を出力する半導体レーザと、前記励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体と、前記赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子と、前記波長変換素子に対向する凹面を有し、当該波長変換素子を介して前記レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラーと、前記波長変換素子から前記凹面ミラーに向けてレーザ光を通過させる開口部と、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、前記開口部の一端側の周囲に形成されて前記凹面ミラーの凹面側が当接する当接面とを有し、前記凹面ミラーが支持固定される凹面ミラー支持部と、下方に前記凹面ミラー支持部に対する固定部を有し、上方に前記凹面ミラーの周面の一部を挟持する一対の当接縁部と前記凹面ミラーを前記当接面に向けて押圧する一対の押圧片部とを有した弾性押圧部材と、を備え、前記凹面ミラーは、前記弾性押圧部材により前記凹面ミラー支持部に保持し、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸が前記凹面ミラーの凹面側の正反射点を通過する位置で前記凹面ミラー支持部に支持固定した構成とする。
また、第2の発明は、前記凹面ミラー支持部が設けられた基台を更に備え、前記波長変換素子および前記レーザ媒体は、前記基台に共に支持された構成とする。
Claims (3)
- 励起用レーザ光を出力する半導体レーザと、
前記励起用レーザ光により励起されて赤外レーザ光を出力するレーザ媒体と、
前記赤外レーザ光の波長を変換して高調波のレーザ光を出力する波長変換素子と、
前記波長変換素子に対向する凹面を有し、当該波長変換素子を介して前記レーザ媒体とともに共振器を構成する凹面ミラーと、
前記凹面ミラーを支持する凹面ミラー支持部と
を備え、
前記凹面ミラー支持部は、前記波長変換素子から前記凹面ミラーに向けてレーザ光を通過させる開口部と、前記波長変換素子からのレーザ光の光軸と直交すると共に、前記開口部の一端側の周囲に形成されて前記凹面ミラーの凹面側が当接する当接面とを有することを特徴とするレーザ光源装置。 - 前記凹面ミラーを前記当接面に向けて押圧する弾性押圧部材を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源装置。
- 凹面ミラー支持部が設けられた基台を更に備え、
前記波長変換素子および前記レーザ媒体は、前記基台に共に支持されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ光源装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011142110A JP4870237B1 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | レーザ光源装置 |
US13/364,660 US20120327371A1 (en) | 2011-06-27 | 2012-02-02 | Laser light source apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011142110A JP4870237B1 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | レーザ光源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4870237B1 JP4870237B1 (ja) | 2012-02-08 |
JP2013008928A true JP2013008928A (ja) | 2013-01-10 |
Family
ID=45781901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011142110A Expired - Fee Related JP4870237B1 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | レーザ光源装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120327371A1 (ja) |
JP (1) | JP4870237B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020187215A1 (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 光学元件固定组件及光源系统 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111536906B (zh) * | 2020-04-15 | 2021-12-14 | 北京仿真中心 | 毫米波/红外复合模拟器同轴度标定装置及其操作方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2559290A (en) * | 1950-01-09 | 1951-07-03 | Leitz Ernst Gmbh | Frame for optical mirrors |
JPS6251373A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-06 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 記録装置 |
JPS6380515A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | 松下電器産業株式会社 | 金属化フイルムコンデンサ |
US5267252A (en) * | 1991-08-30 | 1993-11-30 | Hoya Corporation | Solid-state laser device comprising a temperature-controlled thermal conductive support |
JPH05127057A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-25 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置の光学素子支持装置 |
JP3430274B2 (ja) * | 1994-11-22 | 2003-07-28 | 日本アビオニクス株式会社 | 光学部品の固定機構 |
JPH11352430A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Toshiba Corp | 光学装置 |
JP2000261064A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | レーザ装置の組立方法 |
JP2000277835A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体レーザ装置 |
JP3984148B2 (ja) * | 2002-10-30 | 2007-10-03 | オリンパス株式会社 | 光学系駆動装置 |
JP2004157344A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Kyocera Mita Corp | レンズ保持構造及びそのレンズ保持構造を有する走査光学装置 |
JP2006065358A (ja) * | 2005-11-07 | 2006-03-09 | Nec Corp | 光モジュール、パッケージおよび光ファイバコネクタ |
JP2008090257A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-04-17 | Konica Minolta Opto Inc | 投射ユニット |
WO2008093545A1 (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-07 | Panasonic Corporation | 固体レーザー装置、表示装置及び波長変換素子 |
JP2010045147A (ja) * | 2008-08-12 | 2010-02-25 | Fujifilm Corp | モード同期レーザ装置、パルスレーザ光源装置、及び顕微鏡装置 |
-
2011
- 2011-06-27 JP JP2011142110A patent/JP4870237B1/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-02-02 US US13/364,660 patent/US20120327371A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020187215A1 (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 光学元件固定组件及光源系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4870237B1 (ja) | 2012-02-08 |
US20120327371A1 (en) | 2012-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8177369B2 (en) | Reflective liquid crystal projector and image reproduction apparatus | |
US8334937B2 (en) | Liquid crystal projector and image reproducing device | |
US8121156B2 (en) | Solid-state laser device and image display device | |
JP4980454B2 (ja) | レーザ光源装置 | |
US20120057219A1 (en) | Laser light source apparatus | |
EP2424249A2 (en) | Image display device and information processing device including the same | |
JP4870237B1 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP4669578B1 (ja) | 画像表示装置 | |
JP4786761B1 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP4815642B1 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP4815641B1 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP5899468B2 (ja) | 波長変換装置及び画像表示装置 | |
JP2012248558A (ja) | レーザ光源装置 | |
JP4827983B1 (ja) | レーザ光源装置 | |
JP2013145302A (ja) | レーザ光源装置及び画像表示装置 | |
JP5570537B2 (ja) | レーザ光源装置及びそれを用いた画像表示装置 | |
JP4669577B1 (ja) | 画像表示装置 | |
JP4904431B1 (ja) | 画像表示装置 | |
JP4822301B1 (ja) | 画像表示装置 | |
JP4822300B1 (ja) | 画像表示装置 | |
JP2013083767A (ja) | 波長変換素子、レーザ光出力装置、画像表示装置及び波長変換素子の製造方法 | |
JP2012230941A (ja) | レーザ光源装置 | |
JP2011233741A (ja) | レーザ光源装置 | |
JP2011123232A (ja) | プロジェクター |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |