JP2013007686A - Checker and conveyance system with checker - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a checker capable of vibrating an object to be inspected at a proper position, and certainly detecting vibration and sound waves to be generated from the object to be inspected.SOLUTION: A checker 29 supports an object W to be inspected by a support base 22, and vibrates the object W to be inspected by a vibrator 20. Then, the checker 29 detects signals (such as sound waves, sound pressure and vibration) generated due to vibration of the object W to be measured by a signal detector 21, and an analyzer 23 inspects the object W to be measured on the basis of the detected signals of the signal detector 21. The support base 22 includes a lifting device 22b, and the checker 29 controls distance between the object W to be inspected and the vibrator 20 by the lifting device 22b.

Description

本発明は、被検査物の検査を行う検査装置及びこの検査装置を備えた搬送システムに関するものである。   The present invention relates to an inspection apparatus that inspects an object to be inspected and a transport system including the inspection apparatus.

従来より、被検査物の不良検査を行う検査装置として、加振装置によって被検査物(測定対象物)に振動を与え、発生した音圧や振動を解析することにより被検査物の欠陥を検知するものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, as an inspection device for inspecting a defect of an inspection object, a vibration is applied to the inspection object (measurement object) and the generated sound pressure or vibration is analyzed to detect the defect of the inspection object. Have been proposed (see, for example, Patent Document 1).

また、検査装置を備えた従来の搬送システムとしては、搬送装置であるコンベアを停止させ、コンベアを上下方向に移動させることによって被検査物を検査位置に搬送するものが提案されている(例えば、特許文献2参照)。   Moreover, as a conventional conveyance system provided with an inspection apparatus, what conveys to-be-inspected object to an inspection position by stopping the conveyor which is a conveyance apparatus, and moving a conveyor to an up-down direction is proposed (for example, Patent Document 2).

特開2002−333436号公報(要約、図1)JP 2002-333436 A (summary, FIG. 1) 特開平6−160533号公報(段落0004、図1)JP-A-6-160533 (paragraph 0004, FIG. 1)

被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置(例えば特許文献1)は、被検査物の支持手段や加振装置の高さが常に一定の状態で、被検査物の検査が行われている。このため、従来の検査装置は、被検査物の支持手段や加振装置の高さによっては被検査物を適切に加振できないことがあり、被検査物を適切に検査できるだけの特徴量をもつ音圧や振動を得ることができないという課題があった。   A conventional inspection apparatus that inspects an inspection object by vibrating the inspection object (for example, Patent Document 1) is such that the height of the support means of the inspection object and the vibration device is always constant. Inspection has been conducted. For this reason, the conventional inspection apparatus may not vibrate the inspection object appropriately depending on the height of the support means of the inspection object or the vibration device, and has a characteristic amount that can inspect the inspection object appropriately. There was a problem that sound pressure and vibration could not be obtained.

また、被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置(例えば特許文献1参照)を従来の搬送システム(例えば特許文献2参照)に採用した場合、以下のような課題があった。   Further, when a conventional inspection apparatus (for example, see Patent Document 1) that inspects an inspection object by vibrating the object to be inspected is employed in a conventional transport system (for example, see Patent Document 2), the following problems are encountered. was there.

つまり、被検査物に振動を与えて検査を行う場合、加振装置と支持手段によって被検査物を挟み込み、加振装置によって被検査物を振動させる必要がある。このため、従来の搬送システムにおいては、被検査物と一体となって上下に移動するコンベアが支持手段となるため、加振装置と支持手段であるコンベアによって被検査物を挟み込むこととなる。したがって、被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置を従来の搬送システムに採用した場合、加振装置によって被検査物を振動させても、被検査物から発生する振動や音波がコンベアに吸収されて信号が減衰してしまうという課題があった。また、被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置を従来の搬送システムに採用した場合、被検査物の加振に伴ってコンベアも加振され、コンベアから発生する振動や音波をノイズとして信号検出装置が拾ってしまい、被検査物を精度良く検査することができないという課題もあった。   That is, when an inspection is performed by applying vibration to the object to be inspected, it is necessary to sandwich the object to be inspected by the vibration device and the support means and to vibrate the object to be inspected by the vibration device. For this reason, in the conventional transport system, the conveyor that moves up and down integrally with the object to be inspected is the support means, and therefore the object to be inspected is sandwiched between the vibration device and the conveyor as the support means. Therefore, when a conventional inspection apparatus that inspects an inspection object by vibrating the inspection object is employed in a conventional transport system, even if the inspection object is vibrated by a vibration device, the inspection object is generated from the inspection object. There was a problem that vibration and sound waves were absorbed by the conveyor and the signal was attenuated. In addition, when a conventional inspection apparatus that inspects an inspection object by vibrating the inspection object is employed in a conventional transport system, the conveyor is also vibrated with the vibration of the inspection object, and is generated from the conveyor. There is also a problem that the signal detection device picks up vibration and sound waves as noise, and the inspection object cannot be inspected with high accuracy.

本発明は、上述のような課題のうちの少なくとも1つを解決するためになされたものであり、被検査物から発生する振動や音波等をより確実に検知することができ、被検査物の検査精度を向上させることが可能な検査装置及びこの検査装置を備えた搬送システムを得ることを目的とする。   The present invention has been made to solve at least one of the above-described problems, and can more reliably detect vibrations, sound waves, and the like generated from the inspected object. It is an object of the present invention to obtain an inspection apparatus capable of improving inspection accuracy and a transport system including the inspection apparatus.

本発明に係る検査装置は、被検査物を支持する支持装置と、支持装置の上方に設けられ、被検査物を振動させる加振装置と、被検査物の振動により発生した音波、音圧及び振動のうちの少なくとも1つを検知する信号検出装置と、信号検出装置の検知信号を解析し、被検査物を検査する解析装置と、支持装置及び加振装置のうちの少なくとも1つを昇降させる第1の昇降装置と、解析装置で解析された結果に基づいて第1の昇降装置を制御し、支持装置と加振装置との間の距離を調整する制御装置と、を備えたものである。   An inspection apparatus according to the present invention includes a support device that supports an object to be inspected, a vibration device that is provided above the support device and vibrates the object to be inspected, and a sound wave, a sound pressure generated by the vibration of the object to be inspected, and A signal detection device that detects at least one of vibrations, an analysis device that analyzes a detection signal of the signal detection device, and inspects an object to be inspected, and at least one of a support device and a vibration device is moved up and down A first lifting device and a control device that controls the first lifting device based on the result analyzed by the analysis device and adjusts the distance between the support device and the vibration exciting device. .

また、本発明に係る搬送システムは、上記の検査装置と、被検査物を検査装置に搬送し、検査装置で検査された被検査物を次工程へ搬送する搬送装置と、を備え、検査装置の支持装置は少なくとも3つの凸部により被検査物を支持し、検査装置の昇降装置は少なくとも支持装置を昇降させ、制御装置は、支持装置を所定高さ上昇させた後、支持装置と加振装置との間の距離を調整するものである。   Further, a transport system according to the present invention includes the inspection apparatus, and a transport apparatus that transports the inspection object to the inspection apparatus and transports the inspection object inspected by the inspection apparatus to the next process. The support device supports the object to be inspected by at least three convex portions, the lifting device of the inspection device lifts and lowers at least the support device, and the control device raises the support device by a predetermined height and then vibrates with the support device. The distance between the devices is adjusted.

本発明に係る検査装置においては、制御装置は、解析装置で解析された結果に基づいて第1の昇降装置を制御し、支持装置と加振装置との間の距離を調整する。このため、本発明に係る検査装置は、加振装置と被検査物との距離を好適な状態にして、被検査物を加振することができる。したがって、本発明に係る検査装置は、被検査物を確実に振動させることができるので、被検査物から発生する音波、音圧及び振動等をより確実に検知することができ、被検査物の検査精度を向上させることができる。   In the inspection apparatus according to the present invention, the control device controls the first lifting device based on the result analyzed by the analysis device, and adjusts the distance between the support device and the vibration exciting device. Therefore, the inspection apparatus according to the present invention can vibrate the inspection object with the distance between the vibration device and the inspection object in a suitable state. Therefore, since the inspection apparatus according to the present invention can vibrate the inspection object reliably, it can more reliably detect sound waves, sound pressures, vibrations, etc. generated from the inspection object. Inspection accuracy can be improved.

また、本発明に係る搬送システムにおいては、支持装置と加振装置との間の距離を調整する前に、支持装置を所定高さ上昇させる。つまり、本発明に係る搬送システムは、被検査物を検査する前に被検査物を持ち上げ、被検査物と搬送装置を非接触状態にすることができる。また、本発明に係る搬送システムにおいては、検査装置の支持装置は少なくとも3つの凸部により被検査物を支持している。このため、本発明に係る搬送システムは、被検査物から発生する音波、音圧及び振動等がコンベア等の搬送装置に吸収されることを防止できる。また、搬送装置の振動等を検出装置が検出してしまうことも防止できる。したがって、本発明に係る搬送システムは、被検査物から発生する音波、音圧及び振動等をより確実に検知することができ、被検査物の検査精度を向上させることができる。   Moreover, in the conveyance system which concerns on this invention, before adjusting the distance between a support apparatus and a vibration apparatus, a support apparatus is raised predetermined height. That is, the conveyance system according to the present invention can lift the inspection object before inspecting the inspection object, and bring the inspection object and the conveyance device into a non-contact state. In the transport system according to the present invention, the support device of the inspection apparatus supports the object to be inspected by at least three convex portions. For this reason, the conveyance system according to the present invention can prevent sound waves, sound pressures, vibrations, and the like generated from the inspection object from being absorbed by a conveyance device such as a conveyor. Further, it is possible to prevent the detection device from detecting vibrations of the transfer device. Therefore, the transport system according to the present invention can more reliably detect sound waves, sound pressures, vibrations, and the like generated from the inspected object, and improve the inspection accuracy of the inspected object.

本発明の実施の形態1に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。It is the conceptual diagram which showed the whole structure of the conveyance system provided with the inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention from the upper direction. 本発明の実施の形態1に係る検査装置を備えた搬送システムの上流部分を側方から示した概念図である。It is the conceptual diagram which showed the upstream part of the conveyance system provided with the inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention from the side. 本発明の実施の形態1に係る検査装置が備えた支持台を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the support stand with which the inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention was equipped. 本発明の実施の形態1に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the test | inspection procedure of the conveyance system which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図4に続く、本発明の実施の形態1に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating the inspection procedure of the transport system according to the first embodiment of the present invention, following FIG. 4. 本発明の実施の形態1に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the test | inspection procedure of the conveyance system which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。It is the conceptual diagram which showed the whole structure of the conveyance system provided with the inspection apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention from upper direction. 本発明の実施の形態2に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the test | inspection procedure of the conveyance system which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図8に続く、本発明の実施の形態2に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the test | inspection procedure of the conveyance system which concerns on Embodiment 2 of this invention following FIG. 本発明の実施の形態2に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。It is the flowchart which showed the test | inspection procedure of the conveyance system which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る搬送システムの別の一例を上方から示した概念図である。It is the conceptual diagram which showed another example of the conveyance system which concerns on Embodiment 1 of this invention from upper direction.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。図2は、この搬送システムの上流部分(より詳しくは、検査装置よりも上流側の部分)を側方から示した概念図である。また、図3は、この検査装置が備えた支持台を示す概略斜視図である。以下、これら図1〜図3を用いて、本実施の形態1に係る検査装置29及びこの検査装置29を備えた搬送システム1について説明する。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a conceptual diagram showing the overall configuration of a transport system including an inspection apparatus according to Embodiment 1 of the present invention from above. FIG. 2 is a conceptual diagram showing the upstream portion (more specifically, the upstream portion of the inspection apparatus) of the transport system from the side. FIG. 3 is a schematic perspective view showing a support base provided in the inspection apparatus. Hereinafter, the inspection apparatus 29 according to the first embodiment and the transport system 1 including the inspection apparatus 29 will be described with reference to FIGS.

搬送システム1は、搬送装置10と、検査装置29と、分別装置30と、不良判定品回収所31と、判定不可品回収所32とを備えている。   The transport system 1 includes a transport device 10, an inspection device 29, a sorting device 30, a defective determination product collection place 31, and a non-determinable product collection place 32.

搬送装置10は、水平方向に並行して走る1組のコンベア11を備えている。この搬送装置10は、上流側の前工程等から検査装置29へ被検査物Wを搬送するものである。また、搬送装置10は、被検査物Wの検査終了後、検査装置29から下流側の次工程等へ被検査物Wを搬送するものである。   The transport apparatus 10 includes a set of conveyors 11 that run in parallel in the horizontal direction. The transport device 10 transports the inspection object W from the upstream upstream process or the like to the inspection device 29. Moreover, the conveyance apparatus 10 conveys the to-be-inspected object W from the inspection apparatus 29 to the downstream next process etc. after the inspection of the to-be-inspected object W is complete | finished.

なお、本実施の形態1では、搬送装置10をコンベア11で構成したが、搬送装置10の構成はこれに限定されるものではない。例えば、搬送装置10を、把持アームで被検査物Wを接触保持して搬送する構成や、ベルヌーイチャック方式の非接触保持アーム等で被検査物Wを接触保持して搬送する構成にしてもよい。   In the first embodiment, the transport device 10 is configured by the conveyor 11, but the configuration of the transport device 10 is not limited to this. For example, the conveying device 10 may be configured to convey and hold the inspection object W with a gripping arm, or to convey and hold the inspection object W with a Bernoulli chuck type non-contact holding arm. .

このような搬送装置10の途中には、被検査物Wを検査する検査装置29が設けられている。この検査装置29は、加振装置20と、信号検出装置21と、解析装置23と、支持台22と、位置検知センサー22aとを備えている。   An inspection device 29 for inspecting the inspection object W is provided in the middle of the conveying device 10. The inspection device 29 includes a vibration device 20, a signal detection device 21, an analysis device 23, a support base 22, and a position detection sensor 22a.

加振装置20は、被検査物Wに振動を与えて被検査物Wから音波や音圧、振動を発生させるものである。本実施の形態1では、加振装置20として、音波や超音波による放射圧により非接触で被検査物Wを振動させる方法を採用している。なお、本実施の形態1に係る加振装置20は、このような方式のものに限定されるものではなく、例えば、圧電素子による振動や打検用の棒や板による打撃を被検査物Wに直接あてて振動させる方法や、加振装置20表面からエアー等の流体を直接または非接触により放出する方法等、任意の方法を採用できる。また、本実施の形態1では、加振装置20のON・OFF等を解析装置23で制御している。しかしながら、これに限らず、加振装置20の制御装置と解析装置23を別体で構成しても勿論よい。なお、本実施の形態1では、部品点数を削減することができ、信号の授受も容易となるため、これらを一体で形成している。   The vibration exciter 20 applies vibration to the inspection object W to generate sound waves, sound pressure, and vibration from the inspection object W. In the first embodiment, as the vibration device 20, a method of vibrating the inspection object W in a non-contact manner by a radiation pressure by sound waves or ultrasonic waves is employed. Note that the vibration device 20 according to the first embodiment is not limited to such a method. For example, vibrations caused by piezoelectric elements and impacts caused by hammering bars and plates are detected. Arbitrary methods, such as a method of directly applying vibration to the surface and a method of releasing a fluid such as air from the surface of the vibration device 20 directly or in a non-contact manner, can be employed. In the first embodiment, the analysis device 23 controls ON / OFF of the vibration device 20. However, the present invention is not limited to this, and the control device for the vibration device 20 and the analysis device 23 may be configured separately. In the first embodiment, the number of parts can be reduced, and signal transmission and reception is facilitated. Therefore, these are integrally formed.

信号検出装置21は、被検査物Wから発生した音波、音圧及び振動のうちの少なくとも1つを検出するものである。本実施の形態1では、信号検出装置21は、並行して走る1組のコンベア11の間から被検査物Wの音波、音圧及び振動等を検出できるように配置されている。つまり、信号検出装置21は、平面視(図1)においてコンベア11の間となる位置に設けられている。   The signal detection device 21 detects at least one of a sound wave, a sound pressure, and a vibration generated from the inspection object W. In the first embodiment, the signal detection device 21 is arranged so as to detect sound waves, sound pressures, vibrations, and the like of the inspection object W from between a pair of conveyors 11 that run in parallel. That is, the signal detection device 21 is provided at a position between the conveyors 11 in a plan view (FIG. 1).

支持台22は、検査時に被検査物Wを載せ、所定の高さに上昇させる昇降機能を持つものである。本実施の形態1では、支持台22は、被検査物Wの四隅を支持できるように、平面視においてコンベア11の外側となる位置に4つ配置されている。これら各支持台22は、昇降装置22bと、土台22dと、脚22cと、接触部22eとを備えている。昇降装置22bは、可動部を上下方向に移動させる直動アクチュエーターである。なお、昇降装置22bの構成は、特に限定されるものではない。例えば、回動自在に設けられたネジ部、該ネジ部を駆動するモーター等の駆動源、及び該ネジ部に螺合したナット部で昇降装置22bを構成し、ネジ部を回動させることにより可動部であるナットを昇降させてもよい。   The support base 22 has an elevating function for placing an object to be inspected at the time of inspection and raising it to a predetermined height. In the first embodiment, four support bases 22 are arranged at positions on the outside of the conveyor 11 in plan view so that the four corners of the inspection object W can be supported. Each of these support bases 22 includes an elevating device 22b, a base 22d, a leg 22c, and a contact portion 22e. The elevating device 22b is a linear actuator that moves the movable part in the vertical direction. In addition, the structure of the raising / lowering apparatus 22b is not specifically limited. For example, the elevating device 22b is configured by a screw part provided rotatably, a drive source such as a motor for driving the screw part, and a nut part screwed to the screw part, and the screw part is rotated. You may raise / lower the nut which is a movable part.

昇降装置22bの可動部には、土台22dが設けられている。昇降装置22bを制御することにより、土台22dを昇降させることができる。この土台22dの上部には、例えばコイルバネである脚22cが設けられている。そして、脚22cの上部には、上部がドーム形状に形成された接触部22eが設けられている。接触部22eは、被検査物Wを接触する部材であり、衝撃吸収材で形成されている。   A base 22d is provided on the movable part of the lifting device 22b. The base 22d can be moved up and down by controlling the lifting device 22b. A leg 22c, for example, a coil spring, is provided on the top of the base 22d. And the contact part 22e by which the upper part was formed in the dome shape is provided in the upper part of the leg 22c. The contact portion 22e is a member that contacts the inspection object W, and is formed of an impact absorbing material.

つまり、昇降装置22bを制御して土台22dを上昇させることにより、コンベア11の上面(搬送面)よりも下方に配置されている接触部22eが土台22d及び脚22cとともに上昇することとなる。これにより、接触部22eが被検査物Wの下面に当接して、コンベア11によって支持台22の上方まで運ばれた被検査物Wを持ち上げ、コンベア11と被検査物Wを非接触状態とすることができる。そして、昇降装置22bを制御して被検査物Wをさらに持ち上げることにより、被検査物Wを検査位置24(加振された被検査物Wが発生する振動や音波、音圧を検出するのに最適な高さ)に配置することができる。
ここで、土台22d、脚22c及び接触部22eの集合体が、本発明における支持装置に相当する。また、昇降装置22bが、本発明における第1の昇降装置に相当する。また、接触部22eが、本発明における凸部に相当する。
That is, by controlling the lifting device 22b to raise the base 22d, the contact portion 22e disposed below the upper surface (conveying surface) of the conveyor 11 rises together with the base 22d and the legs 22c. Thereby, the contact part 22e contacts the lower surface of the inspection object W, the inspection object W carried to the upper part of the support base 22 by the conveyor 11 is lifted, and the conveyor 11 and the inspection object W are brought into a non-contact state. be able to. Then, by further lifting the inspection object W by controlling the lifting device 22b, the inspection object 24 is detected at the inspection position 24 (vibration, sound wave and sound pressure generated by the excited inspection object W). Optimal height).
Here, the aggregate of the base 22d, the legs 22c, and the contact portion 22e corresponds to the support device in the present invention. The lifting device 22b corresponds to the first lifting device in the present invention. The contact portion 22e corresponds to the convex portion in the present invention.

なお、本実施の形態1で示した支持台22の構成は、あくまでも一例である。例えば、接触部22eの上部形状は、ドーム形状に限らず、被検査物Wとの接触範囲が小さい形状であればよい。また、接触部22eの上部形状は、被検査物W及び接触部22eが傷つきにくい形状であればよい。つまり、接触部22eの上部形状は、直方体形状や円錐形状等であってもよい。接触部22eの材料については、ゴム、ゼラチン、エラストマー、プラスチック、ゲル、繊維、タンパク質等の弾性体を用いてもよい。例えば、シリコン、スチレンブタジエン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリウレタンストラマー、ポリイソブチレン、ポリビニルブチラール樹脂等の重合体や、その組合せなどが挙げられる。また例えば、脚22cは、コイルバネに限らず、ゴム等の弾力性がありバネのような働きをする材料で形成すればよい。つまり、接触部22eが被検査物Wと接触した際の衝撃を吸収できる材料で脚22cを形成すればよい。また、支持台22の数も任意であり、少なくとも3つの支持台22が設けられていれば、被検査物Wを支持することができる。また、検査位置24の高さ(換言すると、支持台22が被検査物Wを上昇させる高さ)も特に限定するものではない。被検査物Wを検査する際に、被検査物Wが発生する音波、音圧及び振動等の信号以外の雑音を信号検出装置21が検出しない高さであればよい。このとき、信号検出装置21の上方や周囲に、被検査物Wが発生する音波、音圧及び振動等を妨げる障害物がないようにすることが好ましい。   In addition, the structure of the support stand 22 shown in this Embodiment 1 is an example to the last. For example, the upper shape of the contact portion 22e is not limited to the dome shape, and may be a shape having a small contact range with the inspection object W. Moreover, the upper shape of the contact part 22e should just be a shape with which the to-be-inspected object W and the contact part 22e are hard to be damaged. That is, the upper shape of the contact portion 22e may be a rectangular parallelepiped shape, a conical shape, or the like. As the material of the contact portion 22e, an elastic body such as rubber, gelatin, elastomer, plastic, gel, fiber, protein, or the like may be used. Examples thereof include polymers such as silicon, styrene butadiene, polytetrafluoroethylene, polyurethane strammer, polyisobutylene, and polyvinyl butyral resin, and combinations thereof. Further, for example, the leg 22c is not limited to a coil spring, but may be formed of a material having elasticity such as rubber and acting like a spring. That is, the legs 22c may be formed of a material that can absorb an impact when the contact portion 22e comes into contact with the inspection object W. Further, the number of the support bases 22 is also arbitrary, and the inspection object W can be supported if at least three support bases 22 are provided. Further, the height of the inspection position 24 (in other words, the height at which the support base 22 raises the inspection object W) is not particularly limited. When the inspection object W is inspected, it is sufficient that the signal detection device 21 does not detect noise other than signals such as sound waves, sound pressures, and vibrations generated by the inspection object W. At this time, it is preferable that there is no obstacle above or around the signal detection device 21 that obstructs the sound wave, sound pressure, vibration, or the like generated by the inspection object W.

解析装置23は、信号検出装置21で検出された信号を解析し、被検査物Wの良否を検査するものである。本実施の形態1では、解析装置23は、上述の昇降装置22bの制御装置としても機能している。換言すると、解析装置23と昇降装置22bの制御装置は一体で形成されている。なお、これらを別体で構成しても勿論よい。本実施の形態1では、部品点数を削減することができ、信号の授受も容易となるため、これらを一体で形成している。この解析装置23は、例えばマイクロコンピュータで構成され、CPU、RAM及びROM等を備えており、ROMには制御プログラム及び後述のフローチャートに対応した搬送制御プログラム等が記憶されている。   The analysis device 23 analyzes the signal detected by the signal detection device 21 and inspects the quality of the inspection object W. In the first embodiment, the analysis device 23 also functions as a control device for the above-described lifting device 22b. In other words, the analysis device 23 and the control device of the lifting device 22b are integrally formed. Of course, these may be configured separately. In the first embodiment, the number of parts can be reduced and signal transmission / reception is facilitated, so these are formed integrally. The analysis device 23 is composed of, for example, a microcomputer, and includes a CPU, a RAM, a ROM, and the like. The ROM stores a control program, a conveyance control program corresponding to a flowchart described later, and the like.

位置検知センサー22aは、被検査物Wが支持台22の上部に配置されたことを検知するものである。本実施の形態1においては、位置検知センサー22aは、支持台22の接触部22eの内部に設けられている。接触部22eには、位置検知センサー22aから接触部22eの上部にかけて貫通した孔が形成されており、位置検知センサー22aはこの孔を介して被検査物Wを検知している。   The position detection sensor 22 a detects that the inspection object W is disposed on the upper part of the support base 22. In the first embodiment, the position detection sensor 22 a is provided inside the contact portion 22 e of the support base 22. A hole penetrating from the position detection sensor 22a to the upper part of the contact portion 22e is formed in the contact portion 22e, and the position detection sensor 22a detects the inspection object W through the hole.

本実施の形態1においては、位置検知センサー22aが被検査物Wを検知すると、位置検知センサー22aからの信号を受け取った図示しないコントローラーが直ちにコンベア11を停止させる。このとき、上述のように位置検知センサー22aを設けることにより、搬送されてきた被検査物Wを支持台22の上方に正確に停止させることができる。   In the first embodiment, when the position detection sensor 22a detects the inspection object W, a controller (not shown) that receives a signal from the position detection sensor 22a immediately stops the conveyor 11. At this time, by providing the position detection sensor 22 a as described above, the object to be inspected W that has been conveyed can be accurately stopped above the support base 22.

なお、本実施の形態1では位置検知センサー22aを支持台22に内蔵させているが、支持台22の外部に位置検知センサー22aを設け、支持台22とは別の位置から被検査物Wを検知してもよい。このように位置検知センサー22aを設けても、搬送されてきた被検査物Wを支持台22の上方に停止させることができる。また、本実施の形態1では、解析装置23とは別にコンベア11のコントローラーを設けているが、昇降装置22bの制御装置と同様に、このコントローラーを解析装置23や昇降装置22bの制御装置と一体形成しても勿論よい。   In the first embodiment, the position detection sensor 22 a is built in the support base 22. However, the position detection sensor 22 a is provided outside the support base 22, and the inspection object W is moved from a position different from the support base 22. It may be detected. Thus, even if the position detection sensor 22 a is provided, the object W to be inspected can be stopped above the support base 22. In the first embodiment, the controller for the conveyor 11 is provided separately from the analysis device 23. However, like the control device for the lifting device 22b, this controller is integrated with the analysis device 23 and the control device for the lifting device 22b. Of course, it may be formed.

分別装置30は、上述した検査装置29よりも下流側に設けられている。この分別装置30は、コンベア11によって搬送された検査後の被検査物Wを検査装置29の検査結果に応じて分別するものである。詳細は後述するが、本実施の形態1に係る検査装置29の検査結果は、良品Wa、不良品Wb、または判定不可品Wcとなる。このため、本実施の形態1に係る分別装置30は、被検査物Wを、良品Wa、不良品Wb、または判定不可品Wcに分別する。   The sorting device 30 is provided on the downstream side of the inspection device 29 described above. The separation device 30 separates the inspection object W after inspection conveyed by the conveyor 11 according to the inspection result of the inspection device 29. Although details will be described later, the inspection result of the inspection apparatus 29 according to the first embodiment is a non-defective product Wa, a defective product Wb, or a non-determinable product Wc. For this reason, the sorting apparatus 30 according to the first embodiment sorts the inspection object W into a non-defective product Wa, a defective product Wb, or a non-determinable product Wc.

より詳しくは、分別装置30はコンベア11上の不良品Wbを把持して持ち上げる把持アームを備えており、分別装置30の制御部(図示せず)は、当該把持アームを制御して、コンベア11上の不良品Wbを不良判定品回収所31へ搬送する。また、分別装置30はコンベア11上の判定不可品Wcを把持して持ち上げる把持アームも備えており、分別装置30の制御部(図示せず)は、当該把持アームを制御して、コンベア11上の判定不可品Wcを判定不可品回収所32へ搬送する。そして、良品Waのみが、そのままコンベア11によって搬送され、次工程に送られることとなる。なお、分別装置30による不良品Wbや判定不可品Wcの搬送方法は、接触保持する把持アームを用いたものに限らず、例えば、吸着式のロボットハンドを用いた搬送方法や、ベルヌーイチャック方式による非接触保持アームを用いた搬送方法を採用することができる。また、分別装置30による不良品Wbや判定不可品Wcの搬送方法は、コンベア11上からこれらを一端持ち上げて搬送する方法に限らず、不良品Wbや判定不可品Wcを水平方向にコンベア11上から押し出す方法を採用することも可能である。   More specifically, the sorting device 30 includes a gripping arm that grips and lifts the defective product Wb on the conveyor 11, and a control unit (not shown) of the sorting device 30 controls the gripping arm to control the conveyor 11. The upper defective product Wb is transported to the defective determination product collection place 31. The sorting device 30 also includes a gripping arm that grips and lifts the non-determinable product Wc on the conveyor 11, and a control unit (not shown) of the sorting device 30 controls the gripping arm to The non-determinable product Wc is transported to the non-determinable product collection place 32. Then, only the non-defective product Wa is conveyed as it is by the conveyor 11 and is sent to the next process. Note that the method of transporting the defective product Wb and the non-determinable product Wc by the sorting device 30 is not limited to using a gripping arm that is held in contact. For example, a transport method using a suction robot hand or a Bernoulli chuck method is used. A conveyance method using a non-contact holding arm can be employed. In addition, the method of transporting the defective product Wb and the non-determinable product Wc by the sorting device 30 is not limited to the method of transporting the defective product Wb and the non-determinable product Wc on the conveyor 11 in the horizontal direction. It is also possible to employ a method of extruding from

[検査手順の説明]
続いて、本実施の形態1に係る搬送システム1の検査手順について説明する。
図4及び図5は、本発明の実施の形態1に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。また、図6は、本発明の実施の形態1に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。なお、図4及び図5は、搬送システム1を側方から示した図となっている。
以下、これら図4〜図6を参照して、本実施の形態1に係る搬送システム1の検査手順について説明する。なお、以下で示す検査手順は、ある1つの被検査物Wをコンベア11で検査装置29へ搬送し、検査装置29で検査後のこの被検査物Wが分別装置30を通過するまでの流れを示している。
[Explanation of inspection procedure]
Subsequently, an inspection procedure of the transport system 1 according to the first embodiment will be described.
4 and 5 are explanatory diagrams showing the inspection procedure of the transport system according to the first embodiment of the present invention. FIG. 6 is a flowchart showing the inspection procedure of the transport system according to the first embodiment of the present invention. 4 and 5 are diagrams showing the transport system 1 from the side.
Hereinafter, the inspection procedure of the transport system 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, the inspection procedure shown below conveys the flow until a certain inspection object W is conveyed to the inspection device 29 by the conveyor 11, and this inspection object W after inspection by the inspection device 29 passes through the sorting device 30. Show.

まず、検査工程が開始されると、図4(a)に示すように、コントローラーは、コンベア11により、被検査物Wを検査装置29へ向かって搬送する。そして、コントローラーは、検査装置29の位置検知センサー22aが被検査物Wを検知するまで、被検査物Wをコンベア11で搬送させる。位置検知センサー22aが支持台22上に被検査物Wが到着したことを検知すると、コントローラーは、位置検知センサー22aから信号を受信し、コンベア11を停止させる(S1)。   First, when the inspection process is started, as shown in FIG. 4A, the controller conveys the inspection object W toward the inspection device 29 by the conveyor 11. Then, the controller conveys the inspection object W on the conveyor 11 until the position detection sensor 22a of the inspection device 29 detects the inspection object W. When the position detection sensor 22a detects that the inspection object W has arrived on the support base 22, the controller receives a signal from the position detection sensor 22a and stops the conveyor 11 (S1).

図4(b)に示すように、被検査物Wが支持台22上に配置されたところで、解析装置23は、各支持台22の昇降装置22bを制御して、各支持台22の土台22d、脚22c及び接触部22eを上昇させる。そして、解析装置23は、被検査物Wを予め設定された検査位置24まで上昇させる(S2a)。   As shown in FIG. 4B, when the inspection object W is arranged on the support base 22, the analysis device 23 controls the lifting device 22 b of each support base 22, and the base 22 d of each support base 22. The leg 22c and the contact portion 22e are raised. And the analysis apparatus 23 raises the to-be-inspected object W to the preset inspection position 24 (S2a).

被検査物Wを予め設定された検査位置24に配置すると、解析装置23は、加振装置20の出力をONにし、被検査物Wを振動させる(S3)。すると、搬送システム1(より詳しくは、検査装置29)は、図5(c)に示す状態となる。なお、本実施の形態1では、被検査物Wが検査位置24に搬送されてから加振装置20の出力をONにしているが、被検査物Wが検査位置24に搬送される前から加振装置20の出力をONの状態にしておき、被検査物Wが加振された状態で検査位置24に搬送する方法をとってもよい。   When the inspection object W is placed at the inspection position 24 set in advance, the analysis device 23 turns on the output of the vibration device 20 and vibrates the inspection object W (S3). Then, the transport system 1 (more specifically, the inspection device 29) is in the state shown in FIG. In the first embodiment, the output of the vibration exciter 20 is turned on after the inspection object W is transported to the inspection position 24. However, the inspection object W is added before the inspection object W is transported to the inspection position 24. A method may be used in which the output of the vibration device 20 is turned on and the inspection object W is conveyed to the inspection position 24 while being vibrated.

ステップS3の後、解析装置23は、信号検出装置21によって得た検出信号が、良品、不良品の判定に適した信号であるかを判別する(S4)。信号が良品、不良品の判定に適切な信号であれば、解析装置23において被検査物Wが良品であるかどうかの検査が行われ、終了次第、次の工程へと移行する(S5)。なお、解析装置23は、解析装置23に予め記憶されている所定の信号と、信号検出装置21から得られた信号とを比較して、信号検出装置21から得られた信号が適切な信号か否かを判別する。   After step S3, the analysis device 23 determines whether the detection signal obtained by the signal detection device 21 is a signal suitable for determination of a non-defective product or a defective product (S4). If the signal is a signal suitable for the determination of a non-defective product or a defective product, the analysis device 23 inspects whether or not the inspected object W is a non-defective product and proceeds to the next step upon completion (S5). The analysis device 23 compares a predetermined signal stored in advance in the analysis device 23 with a signal obtained from the signal detection device 21, and determines whether the signal obtained from the signal detection device 21 is an appropriate signal. Determine whether or not.

ステップS4において良品、不良品の判定に適切な信号が得られない場合、解析装置23は、ステップS7において被検査物Wの高さ(つまり、支持台22の土台22d、脚22c及び接触部22eの高さ)を微調整し、再び被検査物Wの検査を試みることとなる。ここで、本実施の形態1では、1つの被検査物Wの検査にかけられる最大時間である制限時間、又は被検査物Wの高さを微調整ができる最大回数である制限回数が、例えば解析装置23に予め記憶されている。このため、ステップS4において良品、不良品の判定に適切な信号が得られない場合、解析装置23は、ステップS7に進む前に、制限時間または制限回数以内であるか否かを判断する(S6)。   If an appropriate signal for determining good or defective products is not obtained in step S4, the analysis device 23 determines the height of the inspection object W (that is, the base 22d, the legs 22c, and the contact portions 22e of the support base 22 in step S7). (Height) is finely adjusted, and the inspection of the inspection object W is attempted again. Here, in the first embodiment, the time limit that is the maximum time that can be taken for the inspection of one inspection object W or the maximum number of times that the height of the inspection object W can be finely adjusted is, for example, the analysis. Pre-stored in the device 23. For this reason, when an appropriate signal for determining good or defective products cannot be obtained in step S4, the analysis device 23 determines whether the time is within the time limit or the number of times before proceeding to step S7 (S6). ).

ステップS6において、制限時間以内であると判断した場合や、制限回数以内であると判断した場合、解析装置23は、昇降装置22bを制御して、被検査物Wの高さ(つまり、支持台22の土台22d、脚22c及び接触部22eの高さ)を上下方向に微調整し(S7)、再度良品、不良品の判定に適切な信号であるかを判断する(S4)。   In step S6, if it is determined that the time is within the time limit or if it is determined that the time is within the time limit, the analysis device 23 controls the lifting device 22b to control the height of the inspection object W (that is, the support base). 22 (height of the base 22d, the legs 22c, and the contact portion 22e) is finely adjusted in the vertical direction (S7), and it is determined again whether the signal is appropriate for the determination of a non-defective product or a defective product (S4).

ステップS5において被検査物Wが良品であるかどうかの検査をした後、解析装置23はステップS8bへ進む。ステップS6において制限時間を超えていると判断した場合や、制限回数を超えていると判断した場合も、解析装置23は、同様にステップS8bへ進む。
そして、ステップS8bにおいて、解析装置23は、図5(d)に示すように、昇降装置22bを制御して接触部22eを降下させて、被検査物Wを検査位置24からコンベア11上へと戻す(S8b)。このとき、被検査物Wが傷ついたり破損したりしない程度の降下速度にして、丁寧に下ろすようにする。被検査物Wがコンベア11上に戻されると、コントローラーは再びコンベア11を動作させ、被検査物Wを分別位置へと搬送させる(S9a)。
After inspecting whether or not the inspection object W is a non-defective product in step S5, the analyzing apparatus 23 proceeds to step S8b. If it is determined in step S6 that the time limit has been exceeded, or if it is determined that the time limit has been exceeded, the analysis device 23 similarly proceeds to step S8b.
In step S8b, as shown in FIG. 5D, the analysis device 23 controls the elevating device 22b to lower the contact portion 22e to move the inspection object W from the inspection position 24 onto the conveyor 11. Return (S8b). At this time, the lowering speed is set so that the inspection object W is not damaged or damaged, and is carefully lowered. When the inspection object W is returned onto the conveyor 11, the controller operates the conveyor 11 again to convey the inspection object W to the sorting position (S9a).

被検査物Wが分別位置に搬送されると、分別装置30の制御部は、ステップS5,6で示した解析装置23の検査結果に基づき、搬送されてきた被検査物Wが良品Waであるか否かを判断する(S10)。被検査物Wが良品Waの場合、分別装置30の制御部は、良品Waを良品搬送順路に搬送する(S11)。なお、本実施の形態1の場合、良品Waが送られる次工程はコンベア11の下流側となっている。このため、分別装置30の制御部は、コンベア11から良品Waを取り除かず、そのままコンベア11の下流側へ搬送させている。   When the inspection object W is conveyed to the separation position, the control unit of the separation device 30 determines that the inspection object W conveyed is the non-defective product Wa based on the inspection result of the analysis device 23 shown in steps S5 and S6. Whether or not (S10). When the inspected object W is the non-defective product Wa, the control unit of the sorting apparatus 30 transports the non-defective product Wa to the non-defective product transport route (S11). In the case of the first embodiment, the next process in which the non-defective product Wa is sent is on the downstream side of the conveyor 11. For this reason, the control unit of the sorting device 30 does not remove the non-defective product Wa from the conveyor 11, but directly conveys it to the downstream side of the conveyor 11.

ステップS10において被検査物Wが良品Waでなかった場合、分別装置30の制御部は、ステップS5,6で示した解析装置23の検査結果に基づき、当該被検査物Wが不良品Wbであるか否かを判断する(S12)。被検査物Wが不良品Wbの場合、図5(e)に示すように、分別装置30の制御部は、把持アームによって不良品Wbを把持して浮上させ、コンベア11から不良判定品回収所31へ不良品Wbを搬送する(S13)。一方、被検査物Wが不良品Wbでない場合(つまり、被検査物Wが判定不可品Wcの場合)、分別装置30の制御部は、把持アームによって判定不可品Wcを把持して浮上させ、コンベア11から判定不可品回収所32へ判定不可品Wcを搬送する(S14)。   When the inspected object W is not a non-defective product Wa in step S10, the control unit of the sorting apparatus 30 determines that the inspected object W is a defective product Wb based on the inspection result of the analyzing device 23 shown in steps S5 and S6. Whether or not (S12). When the inspected object W is a defective product Wb, as shown in FIG. 5 (e), the control unit of the sorting device 30 grips the defective product Wb by the gripping arm and floats it up from the conveyor 11. The defective product Wb is conveyed to 31 (S13). On the other hand, when the inspected object W is not a defective product Wb (that is, when the inspected object W is a non-determinable product Wc), the control unit of the sorting apparatus 30 grips and lifts the non-determinable product Wc by the gripping arm, The non-determinable product Wc is conveyed from the conveyor 11 to the non-determinable product collection place 32 (S14).

以上、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、解析装置23で解析された結果に基づいて昇降装置22bを制御し、被検査物Wと加振装置20との間の距離(つまり、支持台22の接触部22eと加振装置20との間の距離)を調整している。このため、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、被検査物Wと加振装置20との距離を好適な状態にして被検査物Wを加振することができるので、被検査物Wを確実に振動させることができる。   As described above, the inspection device 29 and the conveyance system 1 according to the first embodiment control the lifting device 22b based on the result analyzed by the analysis device 23, and the distance between the inspection object W and the vibration device 20 is controlled. That is, the distance between the contact portion 22e of the support base 22 and the vibration device 20 is adjusted. For this reason, the inspection apparatus 29 and the transport system 1 according to the first embodiment can vibrate the inspection object W with the distance between the inspection object W and the vibration apparatus 20 in a suitable state. The inspection object W can be reliably vibrated.

また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、解析装置23が、昇降装置22bの制御装置としても機能している。このため、部品点数を削減することができ、信号の授受も容易となる。したがって、装置の小型化、設置位置の省スペース化、外部電源からの電力供給量と配線の削減、及びメンテナンスの簡略化を図ることができる。また、信号授受のエラー数低減、制御精度や、制御速度の向上及び安定を見込むことができる。   In the inspection device 29 and the transport system 1 according to the first embodiment, the analysis device 23 also functions as a control device for the lifting device 22b. For this reason, the number of parts can be reduced, and transmission / reception of signals becomes easy. Therefore, it is possible to reduce the size of the apparatus, save the installation position, reduce the amount of power supplied from the external power source and wiring, and simplify the maintenance. In addition, it is possible to expect a reduction in the number of signal transmission / reception errors, an improvement in control accuracy, and an increase in control speed and stability.

また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、支持台22の接触部22eで被検査物Wを4点支持し、被検査物Wを振動させている。つまり、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、被検査物Wとコンベア11とを非接触状態にして、被検査物Wを振動させることができる。このため、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、被検査物Wから発生する音波、音圧及び振動等がコンベア11に吸収されることを防止できる。また、加振装置20が被検査物Wを振動させる際にコンベア11も振動してしまうことを防止でき、よって、信号検出装置21がコンベア11の当該振動(又は当該振動に相当する音波や音圧)を検出してしまうことも防止できる。   Further, the inspection apparatus 29 and the transport system 1 according to the first embodiment support the inspection object W at four points by the contact portion 22e of the support base 22, and vibrate the inspection object W. That is, the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 according to the first embodiment can vibrate the inspection object W by bringing the inspection object W and the conveyor 11 into a non-contact state. For this reason, the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 according to the first embodiment can prevent sound waves, sound pressures, vibrations, and the like generated from the inspection object W from being absorbed by the conveyor 11. In addition, it is possible to prevent the conveyor 11 from vibrating when the vibrating device 20 vibrates the inspection object W, and thus the signal detection device 21 performs the vibration of the conveyor 11 (or a sound wave or sound corresponding to the vibration). It is also possible to prevent detection of pressure.

また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、支持台22の接触部22eを衝撃緩衝材で形成し、これら接触部22eをバネで構成された脚22cで支持している。このため、接触部22eが被検査物Wを支持する際、被検査物Wの損傷を防止することができる。   Further, in the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 according to the first embodiment, the contact portion 22e of the support base 22 is formed of an impact cushioning material, and these contact portions 22e are supported by legs 22c configured by springs. . For this reason, when the contact part 22e supports the to-be-inspected object W, damage to the to-be-inspected object W can be prevented.

また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、信号検出装置21が良品、不良品の判定に適切な信号を検出できなかった場合、被検査物Wの高さを再調整し、被検査物Wを再検査している。このため、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、より高精度に被検査物Wの良否判定を行うことができる。
また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、検査時間が制限時間を超えた場合や、検査回数が制限回数を超えた場合、被検査物Wの再検査を行わなず、被検査物Wを判定不可品Wcとしている。このため、被検査物Wの再検査が繰り返されることによって生じる処理能力の低下を防止することができる。
In addition, the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 according to the first embodiment readjust the height of the inspection object W when the signal detection apparatus 21 cannot detect a signal suitable for the determination of a non-defective product or a defective product. Then, the inspection object W is reinspected. For this reason, the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 which concern on this Embodiment 1 can perform the quality determination of the to-be-inspected object W with higher precision.
Moreover, the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 according to the first embodiment do not reinspect the inspection object W when the inspection time exceeds the time limit or when the number of inspections exceeds the time limit. The inspected object W is set as a non-determinable product Wc. For this reason, it is possible to prevent a reduction in processing capacity caused by repeated re-inspection of the inspection object W.

また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、非接触で被検査物Wを振動させる加振装置20を採用している。このため、加振装置20が被検査物Wを加振する際、被検査物Wが損傷することを防止することができる。   Further, the inspection apparatus 29 and the transport system 1 according to the first embodiment employ the vibration apparatus 20 that vibrates the inspection object W in a non-contact manner. For this reason, when the vibration apparatus 20 vibrates the inspection object W, it can prevent that the inspection object W is damaged.

また、本実施の形態1に係る検査装置29及び搬送システム1は、支持台22の接触部22eの内部に位置検知センサー22aを設けている。このため、コンベア11によって搬送されてきた被検査物Wを支持台22の上方に正確に停止させることができる。   Further, the inspection device 29 and the transport system 1 according to the first embodiment are provided with the position detection sensor 22 a inside the contact portion 22 e of the support base 22. For this reason, the inspection object W conveyed by the conveyor 11 can be accurately stopped above the support base 22.

また、本実施の形態1に係る搬送システム1は、検査装置29の検査結果に基づいて被検査物Wを分別する分別装置30を備えている。このため、本実施の形態1に係る搬送システム1は、被検査物Wの品質状態に応じた管理を容易にすることができる。   Further, the transport system 1 according to the first embodiment includes a separation device 30 that separates the inspection object W based on the inspection result of the inspection device 29. For this reason, the transport system 1 according to the first embodiment can facilitate management according to the quality state of the inspection object W.

実施の形態2.
実施の形態1で示した検査装置29に以下の構成を追加することにより、被検査物Wの検査精度をより向上させることが可能となる。なお、本実施の形態2において、特に記述しない項目については実施の形態1と同様とし、同一の機能や構成については同一の符号を用いて述べることとする。
Embodiment 2. FIG.
By adding the following configuration to the inspection apparatus 29 shown in the first embodiment, the inspection accuracy of the inspection object W can be further improved. In the second embodiment, items that are not particularly described are the same as those in the first embodiment, and the same functions and configurations are described using the same reference numerals.

図7は、本発明の実施の形態2に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。
図7に示すように、本実施の形態2に係る検査装置29は、実施の形態1で示した検査装置29(図1参照)の構成に加え、支持台22を水平移動させる移動装置25が設けられている。つまり、移動装置25は、可動部を水平方向に移動させる直動アクチュエーターであり、支持台22が可動部に設けられている。この移動装置25は、制御装置26で制御されている。ここで、移動装置25の構成は、特に限定されるものではない。例えば、回動自在に設けられたネジ部、該ネジ部を駆動するモーター等の駆動源、及び該ネジ部に螺合したナット部で移動装置25を構成し、ネジ部を回動させることにより可動部であるナットを水平移動させてもよい。また、制御装置26を、加振装置20の制御装置と同様に、解析装置23と一体で形成しても勿論よい。
なお、図7及び後述する図8,図9では、搬送システム1及び検査装置29の理解を容易にするため、移動装置25は可動部のみを表示している。
FIG. 7 is a conceptual diagram showing the overall configuration of the transport system including the inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention from above.
As shown in FIG. 7, in addition to the configuration of the inspection apparatus 29 (see FIG. 1) shown in the first embodiment, the inspection apparatus 29 according to the second embodiment includes a moving device 25 that horizontally moves the support base 22. Is provided. That is, the moving device 25 is a linear actuator that moves the movable part in the horizontal direction, and the support base 22 is provided in the movable part. The moving device 25 is controlled by a control device 26. Here, the configuration of the moving device 25 is not particularly limited. For example, the moving device 25 is configured by a screw part provided rotatably, a driving source such as a motor for driving the screw part, and a nut part screwed to the screw part, and the screw part is rotated. You may horizontally move the nut which is a movable part. Of course, the control device 26 may be formed integrally with the analysis device 23 in the same manner as the control device of the vibration device 20.
In FIG. 7 and FIGS. 8 and 9 to be described later, in order to facilitate understanding of the transport system 1 and the inspection device 29, the moving device 25 displays only the movable portion.

また、コンベア11の構成も、実施の形態1と本実施の形態2では異なっている。詳しくは、実施の形態1に係るコンベア11は、検査装置29の上流側から下流側まで連なった構成となっていた。一方、本実施の形態1に係るコンベア11は、検査装置29の上流側に設けられたコンベア11aと、検査装置29の下流側に設けられたコンベア11bとで構成されている。   The configuration of the conveyor 11 is also different between the first embodiment and the second embodiment. Specifically, the conveyor 11 according to the first embodiment is configured to be continuous from the upstream side to the downstream side of the inspection device 29. On the other hand, the conveyor 11 according to the first embodiment includes a conveyor 11 a provided on the upstream side of the inspection device 29 and a conveyor 11 b provided on the downstream side of the inspection device 29.

すなわち、実施の形態1に係る搬送システム1は、検査前の被検査物Wをコンベア11によって加振装置20の真下まで搬送させていた。一方、本実施の形態2に係る搬送システム1は、コンベア11aによって搬送されてきた検査前の被検査物Wを、移動装置25によってコンベア11aの下流部まで移動した支持台22で受け取る構成となっている。そして、移動装置25を移動させ、検査前の被検査物Wを加振装置20の真下まで搬送する構成となっている。また、本実施の形態2に係る搬送システム1は、被検査物Wを検査した後、当該被検査物Wを移動装置25によって、検査装置29の下流側に設けられたコンベア11bに受け渡す構成となっている。なお、本実施の形態2では、コンベア11aで搬送されてきた被検査物Wが検査装置29への受け渡し前に落下することを防止するため、コンベア11aの下流端に落下防止装置12を設けている。   That is, the transport system 1 according to the first embodiment transports the inspection object W before inspection to the position immediately below the vibration device 20 by the conveyor 11. On the other hand, the transport system 1 according to the second embodiment has a configuration in which the inspection object W before inspection that has been transported by the conveyor 11a is received by the support base 22 that has been moved to the downstream portion of the conveyor 11a by the moving device 25. ing. Then, the moving device 25 is moved, and the inspection object W before the inspection is conveyed to just below the vibration device 20. Further, the transport system 1 according to the second embodiment has a configuration in which after the inspection object W is inspected, the inspection object W is transferred to the conveyor 11b provided on the downstream side of the inspection apparatus 29 by the moving device 25. It has become. In the second embodiment, the fall prevention device 12 is provided at the downstream end of the conveyor 11a in order to prevent the inspection object W transported by the conveyor 11a from falling before delivery to the inspection device 29. Yes.

[検査手順の説明]
続いて、本実施の形態2に係る搬送システム1の検査手順について説明する。
図8及び図9は、本発明の実施の形態2に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。また、図10は、本発明の実施の形態2に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。なお、図8及び図9は、搬送システム1を側方から示した図となっている。また、図10は、実施の形態1の図6で示したフローチャートに対して、ステップS2bとステップS8aを追加し、ステップS9aをステップS9bに変更したものである。
以下、これら図8〜図10を参照して、本実施の形態1に係る搬送システム1の検査手順について説明する。なお、以下で示す検査手順は、ある1つの被検査物Wをコンベア11で検査装置29へ搬送し、検査装置29で検査後のこの被検査物Wが分別装置30を通過するまでの流れを示している。
[Explanation of inspection procedure]
Subsequently, an inspection procedure of the transport system 1 according to the second embodiment will be described.
8 and 9 are explanatory diagrams showing the inspection procedure of the transport system according to the second embodiment of the present invention. FIG. 10 is a flowchart showing the inspection procedure of the transport system according to the second embodiment of the present invention. 8 and 9 are diagrams showing the transport system 1 from the side. FIG. 10 is obtained by adding step S2b and step S8a to the flowchart shown in FIG. 6 of the first embodiment, and changing step S9a to step S9b.
Hereinafter, the inspection procedure of the transport system 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, the inspection procedure shown below conveys the flow until a certain inspection object W is conveyed to the inspection device 29 by the conveyor 11, and this inspection object W after inspection by the inspection device 29 passes through the sorting device 30. Show.

まず、検査工程が開始されると、図8(a)に示すように、コントローラーは、コンベア11aにより、被検査物Wを下流側へ搬送し始める。また、制御装置26は、移動装置25によって支持台22を移動させ、コンベア11aの下流部に支持台22を待機させる。そして、コントローラーは、検査装置29の位置検知センサー22aが被検査物Wを検知するまで、被検査物Wをコンベア11aで搬送させる。位置検知センサー22aが支持台22上に被検査物Wが到着したことを検知すると、コントローラーは、位置検知センサー22aから信号を受信し、コンベア11aを停止させる(S1)。   First, when the inspection process is started, as shown in FIG. 8A, the controller starts to convey the inspection object W to the downstream side by the conveyor 11a. Moreover, the control apparatus 26 moves the support stand 22 with the moving apparatus 25, and makes the support stand 22 stand by in the downstream part of the conveyor 11a. Then, the controller causes the inspection object W to be conveyed on the conveyor 11a until the position detection sensor 22a of the inspection device 29 detects the inspection object W. When the position detection sensor 22a detects that the inspection object W has arrived on the support base 22, the controller receives a signal from the position detection sensor 22a and stops the conveyor 11a (S1).

図8(b)に示すように、被検査物Wが支持台22上に配置されたところで、解析装置23は、各支持台22の昇降装置22bを制御して、各支持台22の土台22d、脚22c及び接触部22eを上昇させる。そして、解析装置23は、被検査物Wを予め設定された高さまで上昇させる(S2a)。このとき、被検査物Wを検査位置24と同じ高さまで上昇させることが好ましい。被検査物Wを予め設定された高さまで上昇させた後、制御装置26は、移動装置25を移動させて被検査物Wを加振装置20の下方に移動させる(S2b)。このとき、ステップS2aで被検査物Wを検査位置24と同じ高さまで上昇させていた場合、移動装置25の可動部の移動のみで、被検査物Wを検査位置24に配置することができる。   As shown in FIG. 8B, when the inspection object W is arranged on the support base 22, the analysis device 23 controls the lifting device 22 b of each support base 22, and the base 22 d of each support base 22. The leg 22c and the contact portion 22e are raised. Then, the analysis device 23 raises the inspection object W to a preset height (S2a). At this time, it is preferable to raise the workpiece W to the same height as the inspection position 24. After raising the to-be-inspected object W to the height set beforehand, the control apparatus 26 moves the moving apparatus 25, and moves the to-be-inspected object W below the vibration apparatus 20 (S2b). At this time, if the inspection object W is raised to the same height as the inspection position 24 in step S <b> 2 a, the inspection object W can be arranged at the inspection position 24 only by moving the movable part of the moving device 25.

被検査物Wを予め設定された検査位置24に配置すると、解析装置23は、加振装置20の出力をONにし、被検査物Wを振動させる(S3)。すると、搬送システム1(より詳しくは、検査装置29)は、図9(c)に示す状態となる。その後、解析装置23は、実施の形態1と同様に、ステップS4〜ステップS7の動作を繰り返す。   When the inspection object W is placed at the inspection position 24 set in advance, the analysis device 23 turns on the output of the vibration device 20 and vibrates the inspection object W (S3). Then, the transport system 1 (more specifically, the inspection device 29) is in the state shown in FIG. Thereafter, the analysis device 23 repeats the operations of Step S4 to Step S7 as in the first embodiment.

ステップS5において被検査物Wが良品であるかどうかの検査をした後、解析装置23はステップS8aへ進む。ステップS6において制限時間を超えていると判断した場合や、制限回数を超えていると判断した場合も、解析装置23は、同様にステップS8aへ進む。そして、ステップS8aにおいて、制御装置26は、図9(d)に示すように移動装置25を制御し、コンベア11bの上流部に被検査物Wを移動させる。そして、解析装置23は、図9(e)に示すように、昇降装置22bを制御して接触部22eを降下させて、被検査物Wをコンベア11b上へと戻す(S8b)。このとき、被検査物Wが傷ついたり破損したりしない程度の降下速度にして、丁寧に下ろすようにする。被検査物Wがコンベア11上に戻されると、コントローラーはコンベア11bを動作させ、被検査物Wを分別位置へと搬送する。また、制御装置26は、移動装置25を制御して、支持台22を初期位置(例えば、コンベア11aの下流部の待機位置)へ移動させる(S9b)。   After inspecting whether or not the inspection object W is a non-defective product in step S5, the analyzing apparatus 23 proceeds to step S8a. If it is determined in step S6 that the time limit has been exceeded, or if it is determined that the time limit has been exceeded, the analysis device 23 similarly proceeds to step S8a. In step S8a, the control device 26 controls the moving device 25 as shown in FIG. 9D to move the inspection object W to the upstream portion of the conveyor 11b. Then, as shown in FIG. 9 (e), the analysis device 23 controls the lifting device 22b to lower the contact portion 22e, and returns the inspection object W onto the conveyor 11b (S8b). At this time, the lowering speed is set so that the inspection object W is not damaged or damaged, and is carefully lowered. When the inspection object W is returned onto the conveyor 11, the controller operates the conveyor 11b and conveys the inspection object W to the sorting position. Moreover, the control apparatus 26 controls the moving apparatus 25, and moves the support stand 22 to the initial position (for example, standby position of the downstream part of the conveyor 11a) (S9b).

その後、分別装置30は、実施の形態1と同様に、ステップS10〜ステップS14の動作を行う。   Thereafter, the sorting apparatus 30 performs the operations of Steps S10 to S14 as in the first embodiment.

以上、本実施の形態2に係る検査装置29及び搬送システム1は、コンベア11aで検査前の被検査物Wを受け取った後、当該被検査物Wを水平移動して検査位置24に移動させる。また、本実施の形態2に係る検査装置29及び搬送システム1は、検査後の被検査物Wを水平移動してコンベア11b上に搬送し、当該被検査物Wをコンベア11bに受け渡す。このため、本実施の形態2に係る検査装置29及び搬送システム1は、図9(c)に示すように、検査装置29の構成要素を除き、検査位置24の周囲には被検査物Wしかない状態にすることができる。したがって、本実施の形態2に係る検査装置29及び搬送システム1は、実施の形態1で示した効果に加え、信号検出装置21の信号検出時に周囲からのノイズの影響を最小限に留めることができるという効果を得ることもできる。   As described above, the inspection apparatus 29 and the transport system 1 according to the second embodiment receive the inspection object W before the inspection by the conveyor 11a, and then horizontally move the inspection object W to the inspection position 24. In addition, the inspection apparatus 29 and the conveyance system 1 according to the second embodiment horizontally move the inspection object W after inspection and convey it onto the conveyor 11b, and deliver the inspection object W to the conveyor 11b. For this reason, as shown in FIG. 9C, the inspection apparatus 29 and the transport system 1 according to the second embodiment have only the inspection object W around the inspection position 24 except for the components of the inspection apparatus 29. Can be in no state. Therefore, in addition to the effects shown in the first embodiment, the inspection device 29 and the conveyance system 1 according to the second embodiment can minimize the influence of noise from the surroundings when the signal detection device 21 detects a signal. The effect that it is possible can also be obtained.

なお、上記の実施の形態1及び実施の形態2で示した検査装置29の構成や搬送システム1の構成は、あくまでも一例であり、本発明を限定するものではない。   Note that the configuration of the inspection apparatus 29 and the configuration of the transport system 1 described in the first embodiment and the second embodiment are merely examples, and do not limit the present invention.

例えば、実施の形態1に係る搬送システム1のコンベア11は、検査装置29の上流側から下流側まで連なった構成となっていたが、このコンベア11を例えば図11に示すような構成にしてもよい。つまり、並行して走る1組のコンベア11を検査装置29の位置だけ分断して構成し、当該位置のコンベア11の間隔を大きくしてもよい。そして、平面視において、検査装置29の支持台22を、当該位置のコンベア11の内側に設けてもよい。このようにコンベア11を構成することにより、信号検出装置21とコンベア11との距離を大きくすることができ、信号検出装置21の信号検出時にコンベア11に起因するノイズの影響を抑制することができる。   For example, the conveyor 11 of the transport system 1 according to Embodiment 1 has a configuration that is continuous from the upstream side to the downstream side of the inspection device 29. However, the conveyor 11 is configured as shown in FIG. Good. That is, a set of conveyors 11 that run in parallel may be divided by the position of the inspection device 29, and the interval between the conveyors 11 at the positions may be increased. Then, in plan view, the support base 22 of the inspection device 29 may be provided inside the conveyor 11 at the position. By configuring the conveyor 11 in this manner, the distance between the signal detection device 21 and the conveyor 11 can be increased, and the influence of noise caused by the conveyor 11 can be suppressed when the signal detection device 21 detects a signal. .

また例えば、上記の実施の形態1及び実施の形態2においては、昇降装置22bは本発明に係る支持装置(支持台22の土台22d、脚22c及び接触部22e)を昇降する構成となっていたが、本発明に係る昇降装置は、この昇降装置22bの構成に限定されるものではない。つまり、本発明に係る昇降装置は、少なくとも本発明に係る支持装置を昇降できるものであればよい。より詳しくは、本発明に係る昇降装置は、本発明に係る搬送装置(上記の実施の形態1,2のコンベア11)から被検査物Wを受け取るために本発明に係る支持装置を所定量上昇させることができれば、その後の被検査物Wと加振装置との間の距離の調整は加振装置20を昇降させて行ってもよい。被検査物Wと加振装置20との間の距離の調整に、本発明に係る支持装置と加振装置の双方を昇降させても勿論よい。   Further, for example, in the first embodiment and the second embodiment described above, the lifting device 22b is configured to lift and lower the support device (the base 22d, the leg 22c, and the contact portion 22e of the support base 22) according to the present invention. However, the lifting device according to the present invention is not limited to the configuration of the lifting device 22b. That is, the lifting device according to the present invention only needs to be capable of lifting and lowering at least the support device according to the present invention. More specifically, the lifting device according to the present invention raises the support device according to the present invention by a predetermined amount in order to receive the inspection object W from the transport device according to the present invention (the conveyor 11 in the first and second embodiments described above). If it can be made, the adjustment of the distance between the to-be-inspected object W and the vibration apparatus after that may be performed by raising / lowering the vibration apparatus 20. Of course, both the support device and the vibration device according to the present invention may be moved up and down to adjust the distance between the object to be inspected W and the vibration device 20.

また例えば、上記の実施の形態1及び実施の形態2においては信号検出装置21が固定配置された構成となっていたが、信号検出装置21を昇降させる昇降装置(本発明における第2の昇降装置に相当)を設けてもよい。被検査物Wと信号検出装置21との間の距離を調整することができ、信号検出精度が向上する。   Further, for example, in the first and second embodiments, the signal detection device 21 is fixedly arranged. However, the lift device that lifts and lowers the signal detection device 21 (the second lift device in the present invention). May be provided). The distance between the inspection subject W and the signal detection device 21 can be adjusted, and the signal detection accuracy is improved.

また例えば、上記の実施の形態1及び実施の形態2で示した検査装置29に被検査物Wを手動で供給する等して、検査装置29を単体で使用することも勿論できる。この場合、本発明に係る昇降装置は、支持装置及び加振装置のうちの少なくとも一方を昇降できるものであればよい。また、昇降装置が加振装置を昇降させるものの場合は、支持装置を所定量上昇させる機能を有する必要は特にない。支持装置を所定量上昇させる機能は、搬送装置と検査装置が被検査物Wを受け渡す際に必要な構成だからである。検査装置29を単体で使用する場合、このように昇降装置を構成しても、解析装置の検査結果に基づいて被検査物Wと加振装置との間の距離を調整することができ、本発明を実施することができる。   Further, for example, it is of course possible to use the inspection apparatus 29 alone by manually supplying the inspection object W to the inspection apparatus 29 shown in the first embodiment and the second embodiment. In this case, the lifting device according to the present invention may be any device that can lift and lower at least one of the support device and the vibration device. Further, when the lifting device lifts the vibration device, it is not particularly necessary to have a function of raising the support device by a predetermined amount. This is because the function of raising the support device by a predetermined amount is a configuration necessary when the conveyance device and the inspection device deliver the inspection object W. When the inspection device 29 is used alone, even if the lifting device is configured in this way, the distance between the inspection object W and the vibration device can be adjusted based on the inspection result of the analysis device. The invention can be implemented.

1 搬送システム、10 搬送装置、11(11a,11b) コンベア、12 落下防止装置、20 加振装置、21 信号検出装置、22 支持台、22a 位置検知センサー、22b 昇降装置、22c 脚、22d 土台、22e 接触部、23 解析装置、24 検査位置、25 移動装置、26 制御装置、29 検査装置、30 分別装置、31 不良判定品回収所、32 判定不可品回収所、W 被検査物、Wa 良品、Wb 不良品、Wc 判定不可品。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyance system, 10 Conveyance apparatus, 11 (11a, 11b) Conveyor, 12 Fall prevention apparatus, 20 Excitation apparatus, 21 Signal detection apparatus, 22 Support stand, 22a Position detection sensor, 22b Lifting apparatus, 22c Leg, 22d Base, 22e Contact part, 23 Analysis device, 24 Inspection position, 25 Moving device, 26 Control device, 29 Inspection device, 30 Sorting device, 31 Defective product collection place, 32 Undecidable product collection place, W Inspection object, Wa non-defective product, Wb Defective product, Wc cannot be judged.

Claims (15)

被検査物を支持する支持装置と、
支持装置の上方に設けられ、前記被検査物を振動させる加振装置と、
前記被検査物の振動により発生した音波、音圧及び振動のうちの少なくとも1つを検知する信号検出装置と、
前記信号検出装置の検知信号を解析し、前記被検査物を検査する解析装置と、
前記支持装置及び前記加振装置のうちの少なくとも1つを昇降させる第1の昇降装置と、
前記解析装置で解析された結果に基づいて前記第1の昇降装置を制御し、前記支持装置と前記加振装置との間の距離を調整する制御装置と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
A support device for supporting the object to be inspected;
A vibration exciter provided above the support device for vibrating the object to be inspected;
A signal detection device that detects at least one of a sound wave, a sound pressure, and vibration generated by vibration of the inspection object;
Analyzing the detection signal of the signal detection device, an analysis device for inspecting the inspection object,
A first lifting device for lifting and lowering at least one of the support device and the vibration device;
A control device for controlling the first lifting device based on a result analyzed by the analysis device and adjusting a distance between the support device and the vibration device;
An inspection apparatus comprising:
前記解析装置が、前記制御装置を兼ねたことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the analysis device also serves as the control device. 前記支持装置は、少なくとも3つの凸部により前記被検査物を支持することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the support device supports the object to be inspected by at least three convex portions. 前記支持装置は、前記凸部に対応した数の弾性体を備え、
前記凸部は、衝撃吸収材で形成され、各弾性体の上部に配置されて前記被検査物を支持することを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
The support device includes a number of elastic bodies corresponding to the convex portions,
The inspection apparatus according to claim 3, wherein the convex portion is formed of an impact absorbing material, and is disposed on an upper portion of each elastic body to support the object to be inspected.
前記信号検出装置において検出された信号が所定の検知信号でない場合には、
前記第1の制御装置は、前記第1の昇降装置を制御して前記支持装置と前記加振装置との間の距離を変更し、
前記解析装置は、前記支持装置と前記加振装置との間の距離の変更後に、前記被検査物を再度検査することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の検査装置。
When the signal detected by the signal detection device is not a predetermined detection signal,
The first control device controls the first lifting device to change a distance between the support device and the vibration device,
The said analysis apparatus inspects the said to-be-inspected object again after the change of the distance between the said support apparatus and the said vibration exciting apparatus, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. Inspection device.
前記解析装置は、
前記支持装置と前記加振装置との間の距離を変更する度に検査を繰り返し、
当該検査を所定の回数繰り返しても前記信号検出装置から所定の検知信号が得られない場合には検査を終了することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
The analysis device includes:
Repeat the inspection every time the distance between the support device and the vibration device is changed,
6. The inspection apparatus according to claim 5, wherein the inspection is terminated when a predetermined detection signal cannot be obtained from the signal detection apparatus even if the inspection is repeated a predetermined number of times.
前記解析装置は、
前記支持装置と前記加振装置との間の距離を変更する度に検査を繰り返し、
当該検査を所定の時間繰り返しても前記信号検出装置から所定の検知信号が得られない場合には検査を終了することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
The analysis device includes:
Repeat the inspection every time the distance between the support device and the vibration device is changed,
6. The inspection apparatus according to claim 5, wherein if the predetermined detection signal cannot be obtained from the signal detection apparatus even if the inspection is repeated for a predetermined time, the inspection is terminated.
前記加振装置は、前記被検査物を非接触で振動させるものであることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the vibration device vibrates the inspection object in a non-contact manner. 前記支持装置は、上部に前記被検査物が配置されたことを検知する検知センサーを備えたことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein the support device includes a detection sensor that detects that the inspection object is disposed on an upper portion thereof. 前記信号検出装置を昇降させる第2の昇降装置を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a second lifting device that lifts and lowers the signal detection device. 前記第1の昇降装置は、少なくとも前記支持装置を昇降させるものであり、
前記制御装置は、前記支持装置を所定高さ上昇させた後、前記支持装置と前記加振装置との間の距離を調整することを特徴とする請求項3、請求項4、又は請求項3に従属する請求項5〜請求項10のいずれか一項に記載の検査装置。
The first lifting device lifts or lowers at least the support device,
The said control apparatus adjusts the distance between the said support apparatus and the said vibration apparatus, after raising the said support apparatus to predetermined height, The Claim 3, The claim 4, or Claim 3 characterized by the above-mentioned. The inspection apparatus according to any one of claims 5 to 10, which is dependent on.
前記支持装置及び前記第1の昇降装置を水平方向に移動させる移動装置を備えたことを特徴とする請求項11に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 11, further comprising a moving device that moves the support device and the first lifting device in a horizontal direction. 請求項11に記載の検査装置と、
前記被検査物を前記検査装置に搬送し、前記検査装置で検査された被検査物を次工程へ搬送する搬送装置と、
を備えたことを特徴とする搬送システム。
An inspection apparatus according to claim 11;
A transport device for transporting the inspection object to the inspection device, and transporting the inspection object inspected by the inspection device to a next process;
A conveyance system characterized by comprising:
請求項12に記載の検査装置と、
前記被検査物を前記検査装置に搬送する第1の搬送装置と、
前記検査装置で検査された被検査物を次工程へ搬送する第2の搬送装置と、
を備え、
前記移動装置によって前記支持装置を前記第1の搬送装置側へ移動させて、前記第1の搬送装置から前記被検査物を受け取り、
前記移動装置によって前記支持装置を前記第2の搬送装置側へ移動させて、検査後の前記被検査物を前記第2の搬送装置へ受け渡すことを特徴とする搬送システム。
An inspection apparatus according to claim 12,
A first transfer device for transferring the inspection object to the inspection device;
A second transport device for transporting the inspection object inspected by the inspection device to the next process;
With
The support device is moved to the first transfer device side by the moving device, and the inspection object is received from the first transfer device,
A transport system, wherein the support device is moved toward the second transport device by the moving device, and the inspected object after inspection is delivered to the second transport device.
前記検査装置の検査結果に基づいて前記被検査物を分別する分別装置を備えたことを特徴とする請求項13又は請求項14に記載の搬送システム。   The transport system according to claim 13 or 14, further comprising a sorting device that sorts the inspection object based on an inspection result of the inspection device.
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