JP2013004173A - 薄膜リチウム二次電池の製造方法、基板処理装置、及び薄膜リチウム二次電池 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 147
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 101
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 101
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 122
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims abstract description 65
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims abstract description 65
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229910000625 lithium cobalt oxide Inorganic materials 0.000 claims description 43
- BFZPBUKRYWOWDV-UHFFFAOYSA-N lithium;oxido(oxo)cobalt Chemical compound [Li+].[O-][Co]=O BFZPBUKRYWOWDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 19
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 256
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 40
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 32
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 8
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 6
- 229910012305 LiPON Inorganic materials 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002200 LIPON - lithium phosphorus oxynitride Substances 0.000 description 1
- 229910012851 LiCoO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021314 NaFeO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- IDBFBDSKYCUNPW-UHFFFAOYSA-N lithium nitride Chemical compound [Li]N([Li])[Li] IDBFBDSKYCUNPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 235000002639 sodium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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Abstract
【解決手段】薄膜リチウム二次電池の製造方法は、コバルト酸リチウムからなる正極層を集電体層の形成された基板S上に成膜する成膜工程と、正極層を加熱してコバルト酸リチウムの結晶化を進める結晶化工程とを備えている。結晶化工程では、正極層の温度を第1温度で維持することにより、正極層の一部で低温相コバルト酸リチウムの結晶化を進める第1加熱工程と、第1加熱工程の後に第1温度よりも高い第2温度で正極層の温度を維持することにより、高温相コバルト酸リチウムの結晶化を正極層で進める第2加熱工程とを備えている。
【選択図】図2
Description
請求項1に記載の発明は、コバルト酸リチウムからなる正極層を基板上に成膜する成膜工程と、前記正極層を加熱してコバルト酸リチウムの結晶化を進める結晶化工程とを備える薄膜リチウム二次電池の製造方法であって、前記結晶化工程は、前記正極層の温度を第1温度で維持することにより、前記正極層の一部で低温相コバルト酸リチウムの結晶化を進める第1加熱工程と、前記第1加熱工程の後に前記第1温度よりも高い第2温度で前記正極層の温度を維持することにより、高温相コバルト酸リチウムの結晶化を前記正極層で進める第2加熱工程とを備えることを要旨とする。
請求項3に記載の発明では、第1温度を400℃以上500℃以下としていることから、第1加熱工程では、高温相コバルト酸リチウムの結晶化が進行し難くなる一方、正極層の一部が、より低温相コバルト酸リチウムとして結晶化されやすくなる。そのため、正極層が基板から剥がれることをより抑えられる。
[スパッタ装置]
まず、薄膜リチウム二次電池の製造に用いられる成膜装置であって、薄膜リチウム二次電池の正極層であるコバルト酸リチウム(LCO)層を成膜するスパッタ装置について図1を参照して説明する。図1に示されるように、スパッタ装置10の有する有底円筒状の真空槽11内には、処理対象物である基板Sを載置できる円筒状の基板ステージ12が配置されている。真空槽11は接地電位に接続される一方、基板ステージ12は浮遊電位とされており、そのため、該基板ステージ12に載置された基板Sも浮遊電位となる。基板ステージ12に載置される基板Sとは、角板状のガラス基板に対して正極集電体層及び負極集電体層であるチタン層と白金層とが順に積層されたものである。
[スパッタ装置の作用]
スパッタ装置10にて成膜工程としての基板Sに対するLCO層の積層が行われるときには、まず、上記排気部16が真空槽11内の流体を排気することによって、真空槽11内の圧力が所定圧力にまで減圧される。そして、基板Sが図示しない搬出入口から真空槽11内に搬入されると、基板Sが基板ステージ12に載置される。
[RTA装置]
次に、薄膜リチウム二次電池の製造に用いられる基板処理装置であって、基板上に積層されたLCO層を加熱するRTA装置について図2を参照して説明する。図2に示されるように、RTA装置20の有する有底円筒状の真空槽21には、該真空槽21の内壁面に沿って反射板22が配置されている。反射板22上であって、該反射板22によって囲まれた空間内には、上記スパッタ装置10にてLCO層の積層された基板Sを保持する載置部23が設置されている。
[RTA装置の作用]
上記RTA装置20の行う動作のうち、上記基板Sを加熱する加熱動作及びその作用について図3及び図4を参照して以下に説明する。RTA装置20にてLCO層を有する基板Sを加熱する際には、まず、排気部27による真空槽21内の排気が行われることで、真空槽21内の圧力が例えば1×10−6Pa以上1×10−5Pa以下に減圧される。
[クラスタ装置]
なお、上記スパッタ装置10とRTA装置20とは、これら装置と同程度の真空にまで減圧された搬送室を介して接続されたいわゆるクラスタ装置を構成している。そのため、水との反応性の高いアモルファス状のLCOが、スパッタ装置10にて基板S上に積層された後、大気に触れることなくRTA装置20にまで搬送される。なお、クラスタ装置は、これらスパッタ装置10及びRTA装置20以外にも、薄膜リチウム二次電池の各集電体層を形成する成膜装置、負極を形成する成膜装置、及び固体電解質層を形成する成膜装置等、上記装置10,20と同程度の真空にまで減圧可能な装置が上記搬送室に接続されていてもよい。
[実施例]
一辺が140mmの正方形であって、厚さが0.5mmであるガラス基板に対して、厚さが20nmであるチタン層と、厚さが200mmである白金層とがこの順に積層された基板上に、上記スパッタ装置により以下の条件にてLCO層を成膜した。
○成膜条件
・LCoO2ターゲットの直径 300mm
・ターゲット−基板間距離 60mm
・ターゲットへの供給電力 直流2300W 交流400W
・アルゴンガスの流量 49sccm
・真空槽内の圧力 0.8Pa
・基板温度 室温
そして、上記RTA装置により以下の条件にてLCO層の形成された基板を加熱した。
○加熱条件
・第1温度 400℃
・第2温度 580℃
・第1上昇期間 2分
・第2上昇期間 1分
・第1加熱工程 1分
・第2加熱工程 3分
・窒素ガスの流量 500sccm
・真空槽内の圧力 1atm
上記条件にて加熱した場合、図5(a)に示されるように、直径が30μm程度の緻密な割れが、LCO層33Aの略全体にわたって形成された。こうした緻密な割れの形成されたLCO層33Aでは、集電体層からのLCO層の剥離が生じなかった。
[比較例1]
上記実施例と同様の基板に対して、該実施例と同一のスパッタ装置及び成膜条件によりLCO層を成膜した。そして、LCO層の形成された基板を実施例と同一のRTA装置を用いて以下の条件で加熱した。
○加熱条件
・加熱温度 540℃
・上昇期間 3.5分
・加熱工程 10分
・窒素ガスの流量 500sccm
・真空槽内の圧力 1atm
上記条件にて加熱した場合、図5(b)に示されるように、上記実施例と同様、直径が30μm程度の緻密な割れが、LCO層33Bの略全体にわたって形成された。そのため、比較例1の条件にて加熱されたLCO層33Bでも、集電体層からのLCO層33Bの剥離が生じなかった。
[比較例2]
上記実施例と同様の基板に対して、該実施例と同一のスパッタ装置及び成膜条件によりLCO層を成膜した。そして、LCO層を形成された基板を実施例と同一のRTA装置を用いて以下の条件で加熱した。
○加熱条件
・加熱温度 580℃
・上昇期間 3.5分
・加熱工程 10分
・窒素ガスの流量 500sccm
・真空槽内の圧力 1atm
上記条件にて加熱した場合、図5(c)に示されるように、上記実施例及び比較例1のLCO層33A,33Bに比べて、直径が2倍から10倍程度の割れが、LCO層33Cの一部で形成されるとともに、その他の部分では、実施例及び比較例1と同等の割れが形成された。そして、実施例及び比較例1では形成されなかった程度に大きな割れが生じた領域にて、集電体層からのLCO層33Cの剥離が生じた。なお、比較例2の条件で加熱されたLCO層33Cのうち、80%以上のLCO層33Cにてこうした剥離が生じた。
(1)LCO層を加熱する際に、まず、加熱温度を第1温度で維持することによって、薄膜リチウム二次電池の正極層であるLCO層の一部で低温相LCOの結晶化を進めた後に、加熱温度を第1温度よりも高い第2温度で維持することにより、LCO層で高温相LCOの結晶化を進めるようにしている。そのため、LCO層の全てを一度に高温相LCOに結晶化するような加熱と比較して、LCO層に生じる膜応力を低下させることができる。それゆえに、正極層が基板から剥がれることを抑えられる。また、第1温度のみで加熱した場合と比較して、LCO層を有する薄膜リチウム二次電池の容量を高めることができる。したがって、薄膜リチウム二次電池の容量の低下を抑えつつ、該薄膜リチウム二次電池の製造の歩留まりを高めることができる。
・LCO層の成膜は、スパッタ装置10で行うようにしたが、アモルファス状のLCO層を形成できるのであれば、スパッタ装置に限らず、他の公知の成膜装置を用いるようにしてもよい。
・ターゲット14と基板Sとの距離であるTS距離を60mmとしたが、基板SへのLCO層の成膜が可能な範囲で適宜変更することができる。
・スパッタ装置10は、ターゲット14の内表面に垂直磁場を形成するマグネット15を有するようにしたが、該マグネット15を割愛してもよい。
・第2加熱工程の期間を第1加熱工程の期間よりも大きくするようにしたが、第2加熱工程の期間と第1加熱工程の期間とが同一であってもよいし、あるいは、第2加熱工程の期間よりも第1加熱工程の期間が大きくてもよい。要は、第1加熱工程と第2加熱工程とによって、LCO層に占める高温相LCOの割合が、低温相LCO層の割合よりも大きくなるようにすればよい。
・上記第1加熱工程及び第2加熱工程により結晶化されたLCO層は、該LCO層を有する薄膜リチウム二次電池の放電容量が、理論容量の70%未満であって、スパッタ装置10によって成膜されたのみのLCO層、つまり、アモルファスLCOが支配的なLCO層よりも大きい放電容量であればよい。例えば、スパッタ装置10により成膜されたアモルファス状のLCO層を有する薄膜リチウム二次電池の放電容量は、上記実施例と同一の条件において0.004mAhであって、理論容量の0.53%であることから、LCO層の加熱を行うことによって、アモルファス状のLCO層よりは大きな放電容量が得られるようになる。また、本実施形態では、放電容量の相対的に大きい高温相LCOがLCO層中に含まれるため、低温相LCOのみからなるLCO層よりも放電容量が高くなる。
・加熱後のLCO層では、該LCO層を有する薄膜リチウム二次電池にて所望の容量が得られるのであれば、高温相LCOと低温相LCOとが含まれる構成であればよく、例えば高温相LCOの割合が低温相LCOの割合よりも大きくなくてもよい。
Claims (6)
- コバルト酸リチウムからなる正極層を基板上に成膜する成膜工程と、
前記正極層を加熱してコバルト酸リチウムの結晶化を進める結晶化工程と
を備える薄膜リチウム二次電池の製造方法であって、
前記結晶化工程は、
前記正極層の温度を第1温度で維持することにより、前記正極層の一部で低温相コバルト酸リチウムの結晶化を進める第1加熱工程と、
前記第1加熱工程の後に前記第1温度よりも高い第2温度で前記正極層の温度を維持することにより、高温相コバルト酸リチウムの結晶化を前記正極層で進める第2加熱工程と
を備える
薄膜リチウム二次電池の製造方法。 - 前記結晶化工程は、
前記低温相コバルト酸リチウムが前記正極層に占める割合よりも、前記高温相コバルト酸リチウムが前記正極層に占める割合を大きくする
請求項1に記載の薄膜リチウム二次電池の製造方法。 - 前記第1温度は、400℃以上500℃以下である
請求項1又は2に記載の薄膜リチウム二次電池の製造方法。 - 前記基板は、ガラス基板であり、
前記第1温度は、400℃以上500℃以下であり、
前記第2温度は、660℃以下であり、
前記第2加熱工程の期間は、前記第1加熱工程の期間よりも大きい
請求項1〜3のいずれか一項に記載の薄膜リチウム二次電池の製造方法。 - コバルト酸リチウムからなる正極層の形成された基板を収容する真空槽と、
前記真空槽内の前記基板を加熱する加熱部とを備える基板処理装置であって、
前記加熱部は、
前記正極層の温度を第1温度で維持することにより、前記正極層の一部で低温相コバルト酸リチウムの結晶化を進めた後に、前記第1温度よりも高い第2温度で前記正極層の温度を維持することにより、高温相コバルト酸リチウムの結晶化を前記正極層で進める
ことを特徴とする基板処理装置。 - コバルト酸リチウムからなる正極層を基板上に成膜する成膜工程と、
前記正極層を加熱してコバルト酸リチウムの結晶化を進める結晶化工程と
により形成された正極層を有する薄膜リチウム二次電池であって、
前記結晶化工程では、
前記正極層の温度を第1温度で維持することにより、前記正極層の一部で低温相コバルト酸リチウムの結晶化を進める第1加熱工程と、
前記第1加熱工程の後に前記第1温度よりも高い第2温度で前記正極層の温度を維持することにより、高温相コバルト酸リチウムの結晶化を前記正極層で進める第2加熱工程とが行われる
ことを特徴とする薄膜リチウム二次電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011130519A JP5670262B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | 薄膜リチウム二次電池の製造方法、及び薄膜リチウム二次電池 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011130519A JP5670262B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | 薄膜リチウム二次電池の製造方法、及び薄膜リチウム二次電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013004173A true JP2013004173A (ja) | 2013-01-07 |
JP5670262B2 JP5670262B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=47672580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011130519A Active JP5670262B2 (ja) | 2011-06-10 | 2011-06-10 | 薄膜リチウム二次電池の製造方法、及び薄膜リチウム二次電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5670262B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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