JP2012527781A5 - - Google Patents

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Description

Figure 2012527781
本発明は以下の実施の態様を含むものである。
1.シリコンウエハの前面にグリッド電極を形成する方法であって、前記シリコンウエハがp型領域と、n型領域と、pn接合と、前記前面のARC層とを有し、:
(1)前記ARC層にファイヤースルー性を有する金属ペーストAを印刷して乾燥させるステップであって、(i)フィンガーラインの底部セットを形成する薄い平行なフィンガーラインと、(ii)前記フィンガーラインと直角に交差する2つ以上の平行なバスバーとを含むグリッドパターンで、前記金属ペーストAが印刷されるステップと、
(2)金属ペーストBをフィンガーラインの前記底部セットの上に印刷して乾燥させて、フィンガーラインの前記底部セットの上に重なるフィンガーラインの上部セットを形成するステップと、
(3)二重印刷されたシリコンウエハを焼成するステップとを含み、
前記金属ペーストAが、有機ビヒクルと、無機分であって(a1)銀、銅、およびニッケルからなる群から選択される少なくとも1種類の導電性金属粉末、および(a2)0.5〜8重量%のガラスフリットを含む無機分とを含み、
前記金属ペーストBが、有機ビヒクルと、無機分であって(b1)銀、銅、およびニッケルからなる群から選択される少なくとも1種類の導電性金属粉末、および(b2)0〜3重量%のガラスフリットを含む無機分とを含み、
金属ペーストBの前記無機分が、金属ペーストAの前記無機分よりも少ない量のガラスフリットに加えて、選択的に存在する他の無機添加剤を含有する、方法。
2.金属ペーストA中の前記導電性金属粉末の全含有率が50〜92重量%である、前記1に記載の方法。
3.金属ペーストB中の前記導電性金属粉末の全含有率が50〜92重量%である、前記1または2に記載の方法。
4.金属ペーストA中の前記少なくとも1種類の導電性金属粉末が銀粉末である、前記1〜3のいずれか1項に記載の方法。
5.金属ペーストB中の前記少なくとも1種類の導電性金属粉末が銀粉末である、前記1〜4のいずれか1項に記載の方法。
6.金属ペーストBがガラスフリットを含有しない、前記1〜5のいずれか1項に記載の方法。
7.金属ペーストBが他の無機添加剤を含有しない、前記6に記載の方法。
8.前記ARC層が、TiO x 、SiO x 、TiO x /SiO x 、SiN x 、またはSi 3 4 ARC層からなる群から選択される、前記1〜7のいずれか1項に記載の方法。
9.ステップ(1)と(2)との間に追加の焼成ステップ(1a)が行われる、前記1〜8のいずれか1項に記載の方法。
10.ステップ(1)および(2)の前記印刷がスクリーン印刷である、前記1〜9のいずれか1項に記載の方法。
11.金属ペーストBが、ステップ(1)において印刷されて乾燥された前記バスバーの上にも重ねて印刷される、前記1〜10のいずれか1項に記載の方法。
12.前記1〜11のいずれか1項に記載の方法により製造された前面グリッド電極。
13.シリコンウエハを含むシリコン太陽電池であって、前記シリコンウエハが、その前面にARC層を有し、かつ、前記12に記載の前面グリッド電極を有する、シリコン太陽電池。

Claims (1)

  1. シリコンウエハの前面にグリッド電極を形成する方法であって、前記シリコンウエハがp型領域と、n型領域と、pn接合と、前記前面のARC層とを有し、:
    (1)前記ARC層にファイヤースルー性を有する金属ペーストAを印刷して乾燥させるステップであって、(i)フィンガーラインの底部セットを形成する薄い平行なフィンガーラインと、(ii)前記フィンガーラインと直角に交差する2つ以上の平行なバスバーとを含むグリッドパターンで、前記金属ペーストAが印刷されるステップと、
    (2)金属ペーストBをフィンガーラインの前記底部セットの上に印刷して乾燥させて、フィンガーラインの前記底部セットの上に重なるフィンガーラインの上部セットを形成するステップと、
    (3)二重印刷されたシリコンウエハを焼成するステップとを含み、
    前記金属ペーストAが、有機ビヒクルと、無機分であって(a1)銀、銅、およびニッケルからなる群から選択される少なくとも1種類の導電性金属粉末、および(a2)0.5〜8重量%のガラスフリットを含む無機分とを含み、
    前記金属ペーストBが、有機ビヒクルと、無機分であって(b1)銀、銅、およびニッケルからなる群から選択される少なくとも1種類の導電性金属粉末、および(b2)0〜3重量%のガラスフリットを含む無機分とを含み、
    金属ペーストBの前記無機分が、金属ペーストAの前記無機分よりも少ない量のガラスフリットに加えて、選択的に存在する他の無機添加剤を含有する、方法。
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