JP2012521298A - プリント回路板ビア穴あけステージアセンブリ - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
本特許文献の開示部分は、著作権保護の対象となる記述を含んでいる。本著作権所有者は、特許商標庁の特許包袋又は記録のままに、何人が本特許文献又は特許開示をファクシミリ複製することに対しても異議はないが、この他は、如何なる場合も、37CFR§1.71(d)に基づく全ての著作権を留保する。
本発明は、ターゲット処理システムに関し、詳しくは、プリント回路板内のビア及び他のターゲットを作成するためのステージアーキテクチャに関する。
Claims (19)
- ターゲット支持機構と、ターゲット箇所上でツールを位置決めすることに貢献するツール支持機構とを備え、高スループットレートで動作する穴あけシステムが生成する穴あけツール位置決め誤差の発生を動作許容範囲内に低減する方法において、
前記ターゲット支持機構として、駆動機構と、前記ターゲットを保持するように構成され、重心及び剛心を有し、前記駆動機構によって駆動される可動部分とを有するデバイスを準備するステップと、
前記ターゲット支持機構を寸法的に安定した第1のベース構造に取り付けるステップと、
前記ツール支持機構として、それぞれが、駆動機構と、重心及び剛心を有し、前記駆動機構によって駆動される可動部分とを有する複数の穴あけツール位置決めデバイスを準備するステップと、
前記ツール支持機構を寸法的に安定した第2のベース構造に取り付けるステップと、
前記第1のベース構造に前記第2のベース構造を機械的に接続するステップと、
前記ツール支持機構によって搬送される複数の穴あけツールを取り付けるステップとを有し、前記複数の穴あけツールのそれぞれは、各穴あけツールを搬送する前記穴あけツール位置決めデバイスの重心及び剛心に実質的に揃えられた中心線を有し、この結果、前記穴あけツール位置決めデバイスがターゲット箇所上で各ツールを位置決めするための動きの間の加速又は減速による前記穴あけツール位置決めデバイスの意図しない回転運動から生じる位置決め誤差が実質的に排除される方法。 - 前記ターゲット支持機構は、パネルステージを含み、前記ツール支持機構は、複数のツールステージを含む請求項1記載の方法。
- 前記ターゲット支持機構の可動部分の重心及び剛心は、揃えられ、前記ターゲット支持機構の駆動機構は、前記重心及び剛心を介して前記ターゲット支持機構の可動部分を駆動し、
前記各穴あけツール位置決めデバイスの可動部分の重心及び剛心は、揃えられ、前記穴あけツール位置決めデバイスの駆動機構は、前記重心及び剛心を介して、前記各穴あけツール位置決めデバイスの可動部分を駆動し、この結果、
前記ターゲット支持機構の可動部分及び前記各穴あけツール位置決めデバイスの可動部分の加速又は減速によって引き起こされる振動によって生じるツール位置決め誤差の発生を動作許容範囲内に低減する請求項1記載の方法。 - 前記各穴あけツールは、それぞれが対物レンズを含むレーザビーム焦点制御サブシステムを含み、前記対物レンズの中心は、前記レーザビーム焦点制御サブシステムの中心線に揃えられている請求項1記載の方法。
- 前記寸法的に安定した第2のベース構造にスロットを設けるステップを更に有し、少なくとも1つの穴あけツールは、前記スロットを介して、ターゲットの穴あけ作業を実行する請求項1記載の方法。
- 穴あけツール動作部品を準備するステップと、
前記穴あけツール動作部品を前記寸法的に安定した第2のベース構造に取り付けるステップとを更に有する請求項1記載の方法。 - 前記第1のベース構造に第2のベース構造を接続するステップは、比較的短い剛性ループを実現するステップを含む請求項1記載の方法。
- 前記比較的短い剛性ループは、約800mmから約1500mmの範囲内である請求項7記載の方法。
- ターゲットを加工するためのターゲット加工システムにおいて、
寸法的に安定した第1のベース構造と、
前記第1のベース構造に機械的に接続され、デカルト座標系の第1の軸に沿ってターゲットを搬送するパネルステージと、
前記第1のベース構造に機械的に接続され、前記パネルステージ及び1つのターゲットを収容するよう寸法決めされたトンネルを含む寸法的に安定した第2のベース構造と、
前記第2のベース構造に機械的に接続され、前記第2のベース構造の上面に実質的に平行な平面内にある前記デカルト座標系の第1及び第2の軸のうち、前記デカルト座標系の第2の軸に沿ってツールを移動させるツールステージと、
前記ツールステージによって搬送され、前記パネルステージによって搬送されるターゲットを加工するツールとを備えるターゲット加工システム。 - 前記寸法的に安定した第1のベース構造及び前記寸法的に安定した第2のベース構造の固有振動数は、100Hzから150Hzの範囲内にある請求項9記載のターゲット加工システム。
- 前記第2のベース構造に開設され、前記第2のベース構造の上面を前記トンネルに接続する第1のスロットを更に備え、
前記ツールは、前記第1のスロットを介して、前記ターゲットを加工する請求項9記載のターゲット加工システム。 - 前記第2のベース構造に開設され、前記第2のベース構造の上面を前記トンネルに接続する第2のスロットと、
前記第2のベース構造に取り付けられ、前記デカルト座標系の第2の軸に沿って、第2のツールを動かす第2のツールステージと、
前記第2のベース構造に取り付けられ、前記デカルト座標系の第2の軸に沿って、第3のツールを動かす第3のツールステージと、
前記第2のベース構造に取り付けられ、前記デカルト座標系の第2の軸に沿って、第4のツールを動かす第4のツールステージとを更に備え、
前記第1のツール及び前記第2のツールは、前記第1のスロットを介して前記ターゲットを加工し、
前記第3のツール及び前記第4のツールは、前記第2のスロットを介して前記ターゲットを加工する請求項11記載のターゲット加工システム。 - 前記ツールステージによって搬送され、前記デカルト座標系の第3の軸に沿ってツールを動かすツールサブステージを更に備える請求項9記載のターゲット加工システム。
- 前記第1のベース構造及び前記第2のベース構造は、材料の固体ブロックから形成される請求項9記載のターゲット加工システム。
- ツールのための動作部品であって、前記第2のベース構造によって支持される動作部品を更に備える請求項9記載のターゲット加工システム。
- 前記ツールは、対物レンズを有し、レーザビーム伝播パスに沿って伝播するレーザビームをターゲットに方向付けるレーザビーム方向付けアセンブリを含み、前記部品は、レーザ発生器を含む請求項9記載のターゲット加工システム。
- 前記対物レンズは、中心線を有し、前記ツールステージは、重心を有し、
前記対物レンズの中心線は、前記ツールステージの重心に揃えられている請求項16記載のターゲット加工システム。 - 前記パネルステージは、モータ及び重心を有する可動部分を含み、前記パネルステージのモータは、前記重心を介して前記可動部分を駆動し、
前記ツールステージは、モータを含み、前記ツールステージのモータは、前記重心を介してツールステージを駆動する請求項17記載のターゲット加工システム。 - 前記パネルステージは、重心に揃えられた剛心を有し、
前記ツールステージは、重心に揃えられた剛心を有する請求項18記載のターゲット加工システム。
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