JP2012511169A5

JP2012511169A5 - 被加工物に書き込む方法およびシステム

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Publication number: JP2012511169A5
Application number: JP2011539039A
Authority: JP
Filing date: 2009-12-04
Publication date: 2013-01-31
Anticipated expiration: 2029-12-04

Claims

被加工物に書き込む方法であって、
固定式の光学画像装置を用いて、中継される画像情報を形成することと、
前記固定式の光学画像装置と前記被加工物の表面との間において、少なくとも一つの回転アームの光学系に沿って前記画像情報を中継することと、
前記被加工物の表面を横切って、湾曲ストライプを繰り返し掃引して、連結された部分画像から形成された連続画像を書き込むことと、
それぞれの部分画像のグリッドを決定することと、
前記部分画像を連結するために、コンピュータによる計算を用いて画像フィールドの変位量を補償することによって、共通基準グリッドと前記部分画像のグリッドとの間において変換することとを備える方法。
前記部分画像は重なり合い、前記部分画像を連結するために、画像処理によりその個々のグリッドと共通基準グリッドとの間においてそれぞれの部分画像のグリッドは変換される請求項１に記載の方法。
前記光学画像装置と前記表面との間において、ほぼ一定の方位角配向で、パターン情報を中継することをさらに備え、前記被加工物上の設定画像の中継される画像が前記光学アームの５度の掃引で分割される際に、前記光学画像装置における設定画像が前記中継される画像に対して、角度関係において０．５度以下の回転変動で、一定の角度関係を維持する場合、前記中継される画像情報の方位角配向はほぼ一定である請求項１に記載の方法。
前記光学画像装置と前記表面との間において、ほぼ一定の方位角配向で、パターン情報を中継することをさらに備え、前記被加工物上の設定画像の中継される画像が前記光学アームの４５度の掃引で分割される際に、前記光学画像装置における設定画像が、前記中継される画像に対して、角度関係において０．５度以下の回転変動で、一定の角度関係を維持する場合、前記中継される画像情報の方位角配向はほぼ一定である請求項１に記載の方法。
前記画像情報を中継することは、
前記固定式の光学画像装置に結合され、かつ前記回転アームの回転軸線に、又は回転軸線の近傍に位置決めされた第一の光軸をトラバースすることと、
前記表面に結合され、かつ前記回転軸線から前記回転アームに沿って遠位側に位置決めされた第二の光軸をトラバースすることとをさらに備える請求項１に記載の方法。
前記第一の光軸および前記第二の光軸は、約８度の範囲内で互いに対してほぼ平行であるか、逆平行である請求項５に記載の方法。
前記第二の光軸は、前記回転軸線から、前記第一の光軸の少なくとも十倍、離間している請求項５に記載の方法。
前記第一の光軸および前記第二の光軸がほぼ平行である場合に、前記中継される画像情報の光学的類似性を維持することをさらに備える請求項５に記載の方法。
前記第一の光軸および前記第二の光軸がほぼ逆平行である場合に、前記中継される画像情報の光学的類似性を反転することをさらに備える請求項５に記載の方法。
前記光学画像装置は、前記被加工物に中継される画像を形成する請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
前記画像を形成する前記光学画像装置は、ＳＬＭ（空間光変調器）である請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の方法。
前記画像を形成する前記光学画像装置は、書き込み用光線のアレイである請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の方法。
前記中継される画像情報は、パルス状の一連のスタンプで中継される請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の方法。
前記中継される画像情報は、ほぼ連続的な掃引で中継される請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の方法。
被加工物に書き込む光学式スキャン装置を備えるシステムであって、該光学式スキャン装置は、
ハブの周りを回転し、かつ回転軸線を有する少なくとも一つの光学アームと、
前記被加工物が配置され、かつ前記回転軸線に対して直交するステージと、
固定式の光学画像装置と、
前記固定式の光学画像装置と前記被加工物の表面との間にて、前記回転アームに沿って画像情報を中継するリレー光学系と、
前記表面の特定の部分にわたって前記回転アームが掃引する際に中継される前記画像情報に対応する部分画像から形成された連続画像を連結するように構成された画像処理器とを備え、
それぞれの部分画像のグリッドを決定するように構成されるとともに、前記部分画像を連結するために、コンピュータによる計算を用いて画像フィールドの変位量を補償することによって、共通基準グリッドと前記部分画像のグリッドとの間において前記部分画像を変換するように構成されるデータ経路をさらに備えるシステム。
前記リレー光学系は、前記光学画像装置と前記表面との間において、ほぼ一定の方位角配向で、パターン情報を中継し、前記被加工物上の設定画像の中継される画像が前記光学アームの５度の掃引で分割される際に、前記光学画像装置における設定画像が、前記中継される画像に対して、角度関係において０．５度以下の回転変動で、一定の角度関係を維持する場合、前記中継される画像情報の方位角配向はほぼ一定である請求項１５に記載のシステム。
前記リレー光学系は、前記光学画像装置と前記表面との間において、ほぼ一定の方位角配向で、パターン情報を中継し、前記被加工物上の設定画像の中継される画像が前記光学アームの４５度の掃引で分割される際に、前記光学画像装置における設定画像が、前記中継される画像に対して、角度関係において０．５度以下の回転変動で、一定の角度関係を維持する場合、前記中継される画像情報の方位角配向はほぼ一定である請求項１６に記載のシステム。
前記固定式の光学画像装置に結合され、かつ前記回転アームの回転軸線に、又は回転軸線の近傍に位置決めされた前記リレー光学系の第一の光軸と、
前記表面に結合され、かつ前記回転軸線から前記回転アームに沿って遠位側に位置決めされた前記リレー光学の第二の光軸とをさらに備える請求項１６に記載のシステム。
前記第一の光軸および前記第二の光軸は、約８度の範囲内で互いに対してほぼ平行、または逆平行である請求項１８に記載のシステム。
前記第二の光軸は、前記回転軸線から、前記第一の光軸の少なくとも十倍、離間している請求項１８に記載のシステム。
前記リレー光学系は、前記第一の光軸および前記第二の光軸がほぼ平行である場合に、前記中継される画像情報の光学的類似性を維持する請求項１８に記載のシステム。
前記リレー光学系は、前記第一の光軸および前記第二の光軸がほぼ逆平行である場合に、前記中継される画像情報の光学的類似性を反転する請求項１８に記載のシステム。
前記画像を形成する前記光学画像装置は、ＳＬＭ（空間光変調器）、ＧＬＶ（グレーティングライトバルブ）、ＤＭＤ（デジタルミラーデバイス）、及びＬＣＤ（液晶ディスプレイ）のいずれか一つである請求項１８乃至２２のいずれか一項に記載のシステム。
前記画像を形成する前記光学画像装置は、レーザダイオードアレイ及びＬＥＤアレイのいずれか一方である請求項１６乃至２２のいずれか一項に記載のシステム。
前記画像を形成する前記光学画像装置は、書き込み用光線のアレイである請求項１６乃至２２のいずれか一項に記載のシステム。
前記中継される画像情報は、パルス状の一連のスタンプで中継される請求項１６乃至２２のいずれか一項に記載のシステム。
前記中継される画像情報は、ほぼ連続的な掃引で中継される請求項１６乃至２２のいずれか一項に記載のシステム。