JP2012504098A

JP2012504098A - 複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置

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Inventors: 劉朝軒
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Abstract

複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置であって、高周波コイル技術分野に属し、本発明が分流槽の位置配置を変化し、且つ前記「Ｃ」形の分流槽と補助電流引導孔によって補助され、又は２つの引き孔がその間に分流槽によって接続されてバーベル状均部に形成され、分流槽外端の引き孔が放射状に形成され、電流が流れる時に、分流槽又は分流槽と補助電流引導孔の分流作用下で、ほぼ均一に前記各引き孔に回って流れ、分流槽の補助下での電流が更に均一に各引き孔の周囲に分布できるため、電流が引き孔の周囲に均一に分布する目的を達成し、不良品の数も低減する。

Description

本発明は、高周波コイル技術分野に属し、電流を引き孔の周囲に均一に分布させ、電流によってシリコン芯又はその他の結晶材料を均一に加熱し、それとともに、複数のシリコン芯又はその他の結晶材料を引く構造に関し、特に、電流を均一に分布させる複数のシリコン芯又は結晶材料を製造する高周波コイル引き孔の配置に関する。

再生不能なエネルギー資源が枯渇していることにつれて、太陽エネルギー等の新エネルギーを開発する傾向があり、多結晶シリコンが太陽電池を製造する主な原料であり、将来、世界各国が多結晶シリコンに対する需要が年々増加していて、しかし、シリコン芯の非シーメンス法によって多結晶シリコンを製造する原材料が世界各国の使用量が非常に大きいであることが分かった。現有のシリコン芯、単結晶シリコン及びその他の材料結晶がゾーンメルティング方式で生産したプロセスにおいて、普通、単孔高周波コイルを用い、その作業原理は、作業時に、高周波コイルに高周波電流を加えることによって、高周波コイルに電流を生じさせて原料棒に対し誘導加熱し、加熱後の原料棒上端に融合部が形成され、そして種晶を融合部に挿入し、種晶を徐々に上昇させ、融解後の原料が種晶とともに上昇し、新しい柱形結晶を形成し、この新しい柱形結晶がシリコン芯又はその他の材料結晶の製品である。

本人は鋭意に研究した後に、以下の中国実用新案特許（特許文献１〜１５）を先行出願した。

前記高周波コイル特許は配置が不合理であるため、一回で複数の本のシリコン芯又はその他の結晶材料を同時に引くと、種晶の厚さが不均一な現象を表し、前記先行出願が１０本以上の種晶を同時に引くことがほとんど不可能であり、しかし、一回で引いた種晶の量が投入産出比率に影響を直接与え、利益の多少が引いたシリコン芯製品の多少によって決められ、試験によって、前記高周波コイルが引き孔の周囲において電流の流れが希望の目的を達成できなく、中部と分流槽に接続される引き孔の電流の流れが大きい他に、外周に分布してあるその他の幾つの引き孔が電流を回って、高周波電流の流れ原理の影響を受け、大部分の引き孔の温度が分流槽の引き孔に近寄り又は接続される温度よりずっと低く、つまり、本分野に俗称する「電流が近道を取る現象」であり、この現象のため、生じる結果が上昇した種晶の直径の差異が非常に大きく、これで不良品の数が大幅に増加し、本発明が前記欠点に基づいて生じるものである。

考案の名称：一回で２本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な両孔高周波コイル。出願日：２００６年４月１４日。出願番号：ＣＮ２９２６２６４Ｙ。考案の名称：一回で２本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２０１００１２１１Ｙ。考案の名称：一回で２本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２３Ｙ。考案の名称：一回で３本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２００９９９２７０Ｙ。考案の名称：３本のシリコン芯又はその他の結晶材料を同時に製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２０１００１２０８Ｙ。考案の名称：一回で３本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２４Ｙ。考案の名称：一回で３本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２７Ｙ。考案の名称：一回で４本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２０１００１２０９Ｙ。考案の名称：一回で４本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２８Ｙ。考案の名称：一回で５本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２００９９６０５８Ｙ。考案の名称：一回で５本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２９Ｙ。考案の名称：一回で６本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２００９９９２６９Ｙ。考案の名称：一回で６本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２５Ｙ。考案の名称：一回で７本のシリコン芯又はその他の結晶材料を製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年１月１９日。出願番号：ＣＮ２００９９６０５９Ｙ。考案の名称：７本のシリコン芯又はその他の結晶材料を同時に製造可能な高周波コイル。出願日：２００７年２月１３日。出願番号：ＣＮ２０１０２４２２６Ｙ。

前記問題に鑑みて、本発明の目的は前記欠点を有効に克服できる複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置を開示し、前記高周波コイル引き孔の配置が分流槽の位置を変化することによって、且つ前記「Ｃ」形の分流槽と補助電流引導孔によって補助され、又は２つの引き孔がその間に分流槽によって接続されてバーベル状均部に形成され、分流槽外端の引き孔が放射状に形成され、電流が流れる時に、分流槽又は分流槽と補助電流引導孔の分流作用下で、基本的に均一に前記各引き孔を回って流れ、分流槽補助下の電流が各引き孔の周囲にさらに均一に分布するため、電流が引き孔の周囲に均一に分布する目的を達成し、不良品の数を低減することも実現する。

前記発明の目的を達成するように、本発明が以下の技術方案を用いる。

複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置であって、前記高周波コイル引き孔の配置が高周波コイル１の一側に相隣する電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６を設け、２つの相隣する電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間に内へ延伸する分流槽２が設けられ、前記高周波コイル１の高周波コイル上面９が中心位置へ陥入する斜面であり、前記高周波コイル１の高周波コイル下面１０に中部へ陥入する環状段階を設け、冷却水道４が高周波コイル１の外縁面内に回って埋められ、前記冷却水道４の両端がそれぞれ電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６に接続され、
前記分流槽２が高周波コイル１の中部コイル上の凹み７に設けられる引き孔３に接続され、又は直線距離が最も近い引き孔３に接続され、又は高周波コイル１中部に形成される「工」字分流槽２上下の任意一端「工」中部に設けられる直線分流槽２に接続され、
前記補助電流引導孔１１が「Ｃ」形分流槽１２の両端に設けられ、又は補助電流引導孔１１が分流槽２の中部に設けられ、又は補助電流引導孔１１が分流槽２の外端に設けられ、
前記引き孔３が少なくとも２つあり、２つの引き孔３が「工」字分流槽２の両側に設けられ、「工」字端点の間に対応して２本の引き孔の配置を形成し、又は２つの引き孔３が上下並列に設けられ、分流槽２を接続する引き孔３にその他の引き孔３を半分囲む「Ｃ」形分流槽を設け、且つ前記「Ｃ」形分流槽の両端に補助電流引導孔１１を設け、その他の２本の引き孔の配置を形成し、又は３つの引き孔３が「品」字に並べ、１つの引き孔３の一側が電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２に接続され、他側が「Ｔ」形分流槽２の下端に接続され、「Ｔ」形分流槽２の両側にそれぞれその他の２つの引き孔３を設け、前記１つの引き孔３の両辺にそれぞれ短槽１３を設けて３本の引き孔の配置を形成し、又は電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が高周波コイル１中部から離れて設けられる引き孔３に接続され、且つ引き孔３のその他の両面に分流槽２が設けられ、２つの分流槽２の外端にそれぞれ補助電流引導孔１１を設け、その他の２つの引き孔３が分流槽２の両側に設けられてその他の３本の引き孔の配置を形成し、又は４つの引き孔３が正方形に並べ、電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２がその２つの引き孔３に対応して接続され、２つの引き孔３の両側がそれぞれ分流槽２によって補助電流引導孔１１に接続され、２つの引き孔３の間に接続される分流槽２中部に補助電流引導孔１１を設け、その他の２つの引き孔３が補助電流引導孔１１の両側に設けられて４本の引き孔の配置を形成し、又は４つの引き孔３が中部に１つの引き孔３を設け、その他の３つの引き孔３が中部引き孔３の周囲を均一に回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が３つの周り引き孔３の２つの間を通して中部引き孔３に接続され、その他の２つの分流槽２が中部引き孔３から外へ３つの周り引き孔３の２つの引き孔３の間に延伸し、前記２つの分流槽２の外端が３つの周り引き孔３の環状中心線と３つの周り引き孔３の外周環状線との間にあってその他の４本の引き孔の配置を形成し、又は中部に１つの引き孔３を設け、複数の引き孔３が中部引き孔３の周囲を回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が中部引き孔３に接続され、外周を回る引き孔３と引き孔３との間にそれぞれ分流槽２を設け、又は中部引き孔３が分流槽２によって外周の引き孔３に直接接続される。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、５本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置は、５つの引き孔３が中部に１つの引き孔３を設け、その他の４つの引き孔３が中部引き孔３の周囲を均一に回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が４つの周り引き孔３において２つの間を通して中部引き孔３に接続され、その他の３つの分流槽２が中部引き孔３から外へ４つの周り引き孔３において３つの引き孔３の間に延伸し、前記３つの分流槽２の外端が４つの周り引き孔３の環状中心線と４つの周り引き孔３の外周環状線との間にあって５本の引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、６本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置は、６つの引き孔３が中部に１つの引き孔３を設け、その他の５つの引き孔３が中部引き孔３の周囲を均一に回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が５つの周り引き孔３において２つの間を通して中部引き孔３に接続され、その他の４つの分流槽２が中部引き孔３から外へ５つの周り引き孔３において４つの引き孔３の間に延伸し、前記４つの分流槽２の外端が５つの周り引き孔３の環状中心線と５つの周り引き孔３の外周環状線との間にあって６本の引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、７本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置は、７つの引き孔３が中部に１つの引き孔３を設け、その他の６つの引き孔３が中部引き孔３の周囲を均一に回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が６つの周り引き孔３において２つの間を通して中部引き孔３に接続され、その他の５つの分流槽２が中部引き孔３から外へ６つの周り引き孔３において５つの引き孔３の間に延伸し、前記５つの分流槽２の外端が６つの周り引き孔３の環状中心線と６つの周り引き孔３の外周環状線と間にあって７本の引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、８本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置は、８つの引き孔３が中部に１つの引き孔３を設け、その他の７つの引き孔３が中部引き孔３の周囲を均一に回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が７つの周り引き孔３において２つの間を通して中部引き孔３に接続され、その他の６つの分流槽２が中部引き孔３から外へ７つの周り引き孔３において６つの引き孔３の間に延伸し、前記６つの分流槽２の外端が７つの周り引き孔３の環状中心線と７つの周り引き孔３の外周環状線との間にあって８本の引き孔の配置を形成する。

本発明が拡大構造を有し、つまり、２つの引き孔３と接続される分流槽２とが形成されるバーベル状の引き孔３をそれぞれ中部引き孔３外周の引き孔３の間に設けて１３本の、１６本の、１９本の、２２本の高周波コイル引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、１３本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部の引き孔３の周囲に等距離にそれぞれ４つの中部引き孔３を回る引き孔３を設け、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が４つの中部周り引き孔３において１つの引き孔３に接続され、４つの周り引き孔３がそれぞれ分流槽２と中部引き孔３によって接続され、前記４つの周り引き孔３のそれぞれ２つの引き孔３の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、１３本の引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、１６本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部の引き孔３の外部に等距離の５つの中部引き孔３を回る引き孔３を環状分布させ、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が５つの中部周り引き孔３において１つの引き孔３に接続され、５つの周り引き孔３がそれぞれ分流槽２と中部引き孔３によって接続され、前記５つの周り引き孔３のそれぞれ２つの引き孔３の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、１６本の引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、１９本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部の引き孔３の外部に等距離の６つの中部引き孔３を回る引き孔３を環状分布させ、且つ前記６つの中部周り引き孔３の外周に６つの中部周り引き孔３に対応する引き孔３を更に設け、つまり、中部引き孔３外縁に二層の引き孔３が回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が６つの最外部周り引き孔３において１つの引き孔３に接続され、前記６つの最外部周り引き孔３がそれぞれ分流槽２によって中部のその他の６つの引き孔３を通して中部の引き孔３に接続されて中部から外へ束状構造を形成し、それぞれ２つの束状構造の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、且つバーベル状の引き構造と回る外周６つの引き孔３との間にそれぞれ独立の引き孔３を設けて１９本の引き孔の配置を形成する。

前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、２２本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部の引き孔３の外部に等距離の７つの中部引き孔３を回る引き孔３を環状分布させ、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が７つの中部周り引き孔３において１つの引き孔３に接続され、７つの周り引き孔３がそれぞれ分流槽２と中部引き孔３によって接続され、前記７つの周り引き孔３のぞれぞれ２つの引き孔３の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、２２本の引き孔の配置を形成する。
前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、前記その他の１９本の引き孔を有する拡大構造は、つまり、中部に１つの引き孔３を設け、中部引き孔３の外周に６つの引き孔３を設け、分流槽２が中部引き孔３によって放射状に６つの引き孔３に接続され、それぞれの引き孔３の間に設けられる２つの引き孔３及び接続される分流槽２からなるバーベル状引き孔３が前記その他の引き１９本の引き孔の配置を形成する。

前記技術方案を用いるため、本発明は以下のメリットを有する。

本発明の前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、前記配置が引き孔と引き孔との間に放射状の分流槽を設け、又は引き孔の両側に「Ｃ」形の分流槽を設け、且つ補助電流引導孔によって補助され、又は引き孔の両側にそれぞれ短槽を設け、又は２つの引き孔がその間に分流槽によって接続されてバーベル状均部に形成され、分流槽外端の引き孔が放射状に形成され、２〜８と１３本又は１６本又は１９本又は２２本のシリコン芯の引きを形成し、前記電流が流れる時に、分流槽又は分流槽と補助電流引導孔の分流作用下で、ほぼ均一に前記各引き孔に回って流れ、且つ分流槽が電流を補助して各引き孔周囲に更に均一に分布させ、電流が引き孔の周囲に均一に分布する目的を達成し、不良品の数を低減することも実現し、エネルギー利用率を上げ、生産コストと不良品を低減し、本発明が均一に加熱し、エネルギーを節約し、設備投資及び人工コストなどを低減するメリットも有する。

本発明の２つの引き孔の構造を示す図である。本発明の２つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の２つの引き孔のもう１つの実施例の構造を示す図である。本発明の２つの引き孔のもう１つの実施例の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の３つの引き孔の構造を示す図である。本発明の３つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の３つの引き孔のもう１つの実施例の構造を示す図である。本発明の３つの引き孔のもう１つの実施例の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の４つの引き孔の構造を示す図である。本発明の４つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の４つの引き孔のもう１つの実施例の構造を示す図である。本発明の４つの引き孔のもう１つの実施例の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の５つの引き孔の構造を示す図である。本発明の５つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の６つの引き孔の構造を示す図である。本発明の６つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の７つの引き孔の構造を示す図である。本発明の７つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の８つの引き孔の構造を示す図である。本発明の８つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の１３つの引き孔の構造を示す図である。本発明の１３つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の１６つの引き孔の構造を示す図である。本発明の１６つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の１６つの引き孔のもう１つの実施例の構造を示す図である。本発明の１６つの引き孔のもう１つの実施例の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の１９つの引き孔の構造を示す図である。本発明の１９つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明の２２つの引き孔の構造を示す図である。本発明の２２つの引き孔の電流の流れ作業原理を示す図である。本発明が引いた種晶において磁力線が高周波コイルの強弱磁力分布を示す図である。本発明の８つの引き孔の配置の立体図である。本発明の高周波コイルの断面構造を示す図である。

以下の実施例を参照し、本発明を更に詳しく説明し、しかし、本発明がこれら実施例に限られない。

図面３１、３２又は３３を参照し、その実施例において、前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置では、図１〜３０が本発明の各実施例の共用部分であり、前記高周波コイル引き孔の配置が高周波コイル１の一側に相隣する電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６を設け、２つの相隣する電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間に内へ延伸する分流槽２が設けられ、前記高周波コイル１の高周波コイル上面９は中心位置へ陥入する斜面であり、前記高周波コイル１の高周波コイル下面１０に中部へ陥入する環状段階を設け、冷却水道４が高周波コイル１の外縁面内に回って埋められ、前記冷却水道４の両端がそれぞれ電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６に接続され、
前記分流槽２が高周波コイル１の中部コイル上の凹み７に設けられる中部の引き孔３に接続され、又は直線距離が最も近い引き孔３に接続され、又は高周波コイル１中部に形成される「工」字分流槽２上下の任意一端に対応する「工」中部の直線分流槽２に接続され、分流槽２によって内外接続構造を形成する。

前記補助電流引導孔１１が「Ｃ」形分流槽１２の両端に設けられ、又は補助電流引導孔１１が分流槽２の中部に設けられ、又は補助電流引導孔１１が分流槽２の外端に設けられる。

本発明の権利要求に合わせて、前記引き孔３が少なくとも２つある。

図１、２を参照し、本発明は、２つの引き孔３が「工」字分流槽２の両側に設けられ、「工」字の端点間に対応して２本の引き孔の配置を形成する。作業時に、電流８が「工」字分流槽２のガイドによって、電流８が２つの引き孔３にそれぞれ回って均一に流れる。

図３、４を参照し、本発明のもう１つの実施例が２つの引き孔３で上下並列に設けられ、分流槽２に接続される引き孔３にもう１つの引き孔３を半分囲む「Ｃ」形分流槽を設け、且つ前記「Ｃ」形分流槽の両端に補助電流引導孔１１を設け、もう１つの２本の引き孔の配置を形成する。作業時に、電流８が回って流れ、「Ｃ」形分流槽２及び「Ｃ」形分流槽の両端に設けられる補助電流引導孔１１のガイドを通し、電流８を２つの引き孔３にそれぞれ回して均一に流す。

図５、６を参照し、本発明が前記３つの引き孔３を引く構造を実施し、３つの引き孔３が「品」字に並べ、１つの引き孔３一側が電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２に接続され、他側が「Ｔ」形分流槽２の下端に接続され、「Ｔ」形分流槽２の両側にそれぞれその他の２つの引き孔３を設け、前記１つの引き孔３の両辺にそれぞれ短槽１３を設けて３本の引き孔の配置を形成する。作業時に、電流８が回って流れ、「Ｔ」形分流槽２のガイドを通し、電流８がそれぞれ３つの引き孔３周囲を均一に回る。

図７、８を参照し、本発明が前記もう１つの３つの引き孔３を引く構造を実施し、電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が高周波コイル１中部から離れて設けられる引き孔３に接続され、且つ引き孔３のその他の両面に分流槽２が設けられ、２つの分流槽２の外端にそれぞれ補助電流引導孔１１を設け、その他の２つの引き孔３が分流槽２の両側に設けられてその他の３本の引き孔の配置を形成する。作業時に、電流８が回って流れ、中部から離れる引き孔３のその他の両面に設けられる分流槽２及び２つの分流槽２の外端の補助電流引導孔１１のガイドを通し、電流８をそれぞれ２つの引き孔３に均一に回して流す。

図９、１０を参照し、本発明が前記４つの引き孔３を引く構造を実施し、４つの引き孔３が正方形に並べ、電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２がその２つの引き孔３に対応して接続され、２つの引き孔３の両側にそれぞれ分流槽２によって補助電流引導孔１１に接続され、２つの引き孔３の間に接続される分流槽２の中部に補助電流引導孔１１を設け、その他の２つの引き孔３が補助電流引導孔１１の両側に設けられ、４本の引き孔の配置を形成する。作業時に、電流８が回って流れ、２つの電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２に対応する引き孔３の両側の分流槽２及び補助電流引導孔１１のガイドを通し、電流８をそれぞれ２つの引き孔３に均一に回して流す。

図１１〜２０を参照し、本発明が前記５〜８つの引き孔３を引く構造を実施し、前記引き孔３が中部に１つの引き孔３を設け、その他の４〜７つの引き孔３が中部引き孔３の周囲を均一に囲んであり、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が４〜７つの引き孔３において２つの間を通して中部引き孔３に接続され、引き孔３を回るその他の４〜７つの引き孔３の間にそれぞれ分流槽２を設け、前記分流槽２が中部引き孔３から外へ回る引き孔３の間に延伸し、前記各分流槽２の外端が引き孔３を回る環状中心線と引き孔３を回る外周環状線の間に５〜８つの引き孔の配置を形成する。特に説明するのは、本実施例に記載の５〜８つの引き孔の配置の構造が類似するため、ここでくどく述べない。

図２１〜２２を参照し、本発明が前記１３つの引き孔３の構造を実施し、前記１３本のシリコン芯を引く高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部引き孔３の周囲に等距離にそれぞれ４つの中部引き孔３を回る引き孔３を設け、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が中部引き孔３を回る４つの引き孔３において１つの引き孔３に接続され、４つの回り引き孔３がそれぞれ分流槽２と中部引き孔３によって接続され、前記４つの回る引き孔３のそれぞれ２つの引き孔３の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、１３本の引き孔の配置を形成する。作業時に、一部の電流８が１３つの引き孔外縁に回って流れ、もう１つの部分の電流８がバーベル状の引き孔３と中部引き孔３の間に往復し、電流８をそれぞれ１３つの引き孔３に回して均一に流す。

図２３〜２４を参照し、本発明が前記１６つの引き孔３の構造を実施し、前記１６本のシリコン芯を引く高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部引き孔３の周囲に等距離にそれぞれ５つの中部引き孔３を回る引き孔３を設け、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が中部引き孔３を回る５つの引き孔３において３つの引き孔３に接続され、５つの回り引き孔３がそれぞれ分流槽２と中部引き孔３によって接続され、前記５つの回る引き孔３のそれぞれ５つの引き孔３の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、１６本の引き孔の配置を形成する。作業時に、一部の電流８が１６つの引き孔外縁に回って流れ、もう１つの部分の電流８がバーベル状の引き孔３と中部引き孔３の間に往復し、電流８をそれぞれ１６つの引き孔３に回して均一に流す。

図２５〜２６を参照し、本発明が前記１９つの引き孔３の構造を実施し、前記１９本のシリコン芯を引く高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部の引き孔３の外部環状に等距離に６つの中部引き孔３を回る引き孔３を分布し、且つ前記６つの中部引き孔３外周を回る引き孔３が６つの中部引き孔３外周を回る引き孔３に対応する引き孔３を更に設け、つまり、中部引き孔３外縁に二層の引き孔３を回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が６つの最外部回る引き孔３において１つの引き孔３に接続され、前記最外部に回る６つの引き孔３がそれぞれ分流槽２によって中部のその他の６つの引き孔３を通して中部引き孔３に接続され中部から外への束状構造を形成し、それぞれ２つの束状構造の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、且つバーベル状の引き構造と外周を回る６つの引き孔３の間にそれぞれ独立な引き孔３を設けて１９本の引き孔の配置を形成する。作業時に、一部の電流８が１９つの引き孔外縁に回って流れ、もう１つの部分電流８がバーベル状の引き孔３及び独立な引き孔３と中部引き孔３に接続される束状引き孔３の間に往復し、電流８をそれぞれ１６つの引き孔３に回して均一に流す。

図２７〜２８を参照し、本発明がもう１つの前記１９つの引き孔３の構造を実施し、前記もう１つの１９本の引き孔を有する拡展構造が、つまり、中部に１つの引き孔３を設け、中部引き孔３の外周に６つの引き孔３を設け、分流槽２が中部引き孔３から放射状に６つの引き孔３に接続され、各引き孔３の間に設けられる２つの引き孔３及び接続される分流槽２からなるバーベル状引き孔３が前記もう１つの引き１９本の引き孔の配置を形成する。作業時に、一部の電流８が１９つの引き孔外縁に回って流れ、もう１つの部分の電流８がバーベル状の引き孔３及び外周の６つの引き孔３の間に往復し、電流８をそれぞれ１６つの引き孔３に回して均一に流す。

図２９〜３０を参照し、本発明が前記２２つの引き孔３の構造を実施し、前記２２本のシリコン芯を引く高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔３を設け、中部引き孔３の周囲に等距離にそれぞれ７つの中部引き孔３を回る引き孔３を設け、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽２が中部引き孔３を回る７つの引き孔３において１つの引き孔３に接続され、７つの回り引き孔３がそれぞれ分流槽２と中部引き孔３によって接続され、前記７つの回る引き孔３のそれぞれ２つの引き孔３の間にそれぞれ２つの引き孔３と２つの引き孔３の間に接続される分流槽２からなるバーベル状の引き構造を設け、２２本の引き孔の配置を形成する。作業時に、一部の電流８が２２つの引き孔外縁に回って流れ、もう１つの部分の電流８がバーベル状の引き孔３と中部引き孔３の間に往復し、電流８をそれぞれ２２つの引き孔３に回して均一に流す。

本発明に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置を実施する。

図３１、３２又は３３及び図１〜３０を参照し、電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ５及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間に分流槽２を設け、前記分流槽２の接続形式が図１〜３０の実際要求によって決められ、分流槽２の主な機能が高周波電流８に分界点で互いに借用又は交差を形成させ、原料棒１６を均一に加熱し、且つ補助化料「原料棒１６」の作用を実現する。原料棒１６「原料シリコン棒とも呼ぶ」の端末に高周波コイル下面１０に近づく部が溶解した後に、種晶コレット１４が種晶１５をつれて降下し、種晶１５が図１〜３０に記載の引き孔３を通した後に原料棒１６の融合部に挿入し、そして種晶１５を上昇し、原料棒１６上部の融解液体が種晶１５とともに上昇し、前記原料棒１６下部の下軸も相応的に徐々に上昇し、しかし、前記原料棒１６が高周波コイル１と接触しなく、原料棒１６の端部がスムーズではないため、高周波コイル下面１０が陥入段階と設計され、その作用が原料棒１６を高周波コイルの下部面にできるだけ近づいて、さらにすばやく液化し、前記高周波コイル上面９が外から内への斜めと設計され、斜めの作用が高周波電流８が中部に集中することを避け、前記電流８を高周波コイル３に均一に分布させ、均一に加熱する効果を達成する。原料棒１上部の融合部が種晶１５の接着につれて、且つ高周波コイル１引き孔３を通した後に、磁力線１７の低減によって凝縮され、１つの新しい柱型結晶を形成し、前記種晶コレット１４が種晶１５をつれて徐々に上昇し、希望長さの製品シリコン芯を形成する。

特に説明するのは、種晶コレット１４がただ本発明の実施過程においてもう１つの補助構造として、このため、本発明に詳しく説明しなく、また種晶コレット１４及びその他の設備が本発明の保護範囲に属しない。

本発明の目的を公開するため、本文に選ばれる実施例が適切な実施例であるが、本発明が本アイディアと本発明範囲内に属する実施例のすべての修正や変更を含むことを了承する。

１、高周波コイル；２、分流槽；３、引き孔；４、冷却水道；５、電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ；６、電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ；７、コイル上凹み；８、電流；９、高周波コイル上面；１０、高周波コイル下面；１１、補助電流引導孔；１２、「Ｃ」形分流槽；１３、短槽；１４、種晶コレット；１５、種晶；１６、原料棒；１７、磁力線。

Claims

高周波コイル引き孔の配置が高周波コイル（１）の一側に相隣する電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）を設け、２つの相隣する電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間に内へ延伸する分流槽（２）が設けられ、前記高周波コイル（１）の高周波コイル上面（９）が中心位置へ陥入する斜面であり、前記高周波コイル（１）の高周波コイル下面（１０）に中部へ陥入する環状段階を設け、冷却水道（４）が高周波コイル（１）の外縁面内に回って埋められ、前記冷却水道（４）の両端がそれぞれ電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）に接続される複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置であって、
前記分流槽（２）が高周波コイル（１）の中部コイル上の凹み（７）に設けられる引き孔（３）に接続され、又は直線距離が最も近い引き孔（３）に接続され、又は高周波コイル（１）中部に形成される「工」字分流槽（２）上下の任意一端「工」中部の直線分流槽（２）に接続され、
補助電流引導孔（１１）が「Ｃ」形分流槽（１２）の両端に設けられ、又は補助電流引導孔（１１）が分流槽（２）の中部に設けられ、又は補助電流引導孔（１１）が分流槽（２）の外端に設けられ、
前記引き孔（３）が少なくとも２つあり、２つの引き孔（３）が「工」字分流槽（２）の両側に設けられ、「工」字端点の間に対応して２本の引き孔の配置を形成し、又は２つの引き孔（３）が上下並列に設けられ、分流槽（２）を接続する引き孔（３）にもう一つの引き孔（３）を半分囲む「Ｃ」形分流槽（１２）を設け、且つ前記「Ｃ」形分流槽（１２）の両端に補助電流引導孔（１１）を設け、もう一つの２本の引き孔の配置を形成し、又は３つの引き孔（３）が「品」字に並べ、１つの引き孔（３）の一側が電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間の分流槽（２）に接続され、もう一側が「Ｔ」形分流槽（２）の下端に接続され、「Ｔ」形分流槽（２）の両側にそれぞれ他の２つの引き孔（３）を設置し、前記１つの引き孔（３）の両辺にそれぞれ短槽（１３）を設置してから、３本の引き孔の配置を形成し、又は電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間の分流槽（２）が高周波コイル（１）中部から離れて設置される引き孔（３）に接続され、且つ引き孔（３）の他の二つの面に分流槽（２）を設置し、２つの分流槽（２）の外端にそれぞれ補助電流引導孔（１１）を設け、その他の２つの引き孔（３）が分流槽（２）の両側に設置され、もう一つの３本の引き孔の配置を形成し、又は４つの引き孔（３）が正方形に並べ、電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間の分流槽（２）が２つの引き孔（３）に対応して接続され、２つの引き孔（３）の両側がそれぞれ分流槽（２）によって補助電流引導孔（１１）に接続され、２つの引き孔（３）の間に接続される分流槽（２）中部に補助電流引導孔（１１）を設置し、他の２つの引き孔（３）が補助電流引導孔（１１）の両側に設けられ、４本の引き孔の配置を形成することを特徴とする複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置。
前記引き孔の配置が拡大構造を有し、つまり、２つの引き孔（３）と接続される分流槽（２）が形成されるバーベル状の引き孔（３）をそれぞれ中部引き孔（３）と外周の引き孔（３）の間に設置し、１３本の、１６本の、１９本の、２２本の高周波コイル引き孔の配置を形成する請求項１に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置であって、
前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、１３本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔（３）を設置し、中部の引き孔（３）の外周に均一にそれぞれ４つの中部引き孔（３）を回る引き孔（３）を設置し、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間の分流槽（２）が４つの中部周り引き孔（３）において１つの引き孔（３）に接続され、４つの周り引き孔（３）がそれぞれ分流槽（２）と中部引き孔（３）によって接続され、前記４つの周り引き孔（３）の２つの引き孔（３）の間毎にそれぞれ２つの引き孔（３）及び２つの引き孔（３）の間に接続される分流槽（２）からなるバーベル状の引き構造を設置し、１３本の引き孔の配置を形成することを特徴とする請求項１に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置。
前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、１６本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔（３）を設置し、中部の引き孔（３）の外周に均一に中部引き孔（３）を回る引き孔（３）を５つ環状分布し、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ６の間の分流槽（２）が中部引き孔（３）を回る５つの引き孔（３）の中の一つに接続され、５つの周り引き孔（３）がそれぞれ分流槽（２）により中部引き孔（３）と接続され、前記５つの周り引き孔（３）の２つの引き孔（３）の間毎にそれぞれ２つの引き孔（３）及び２つの引き孔（３）の間に接続される分流槽（２）からなるバーベル状の引き構造を設置し、１６本の引き孔の配置を形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置。
前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、１９本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔（３）を設置し、中部の引き孔（３）の外周に均一にそれぞれ６つの中部引き孔（３）を回る引き孔（３）を環状分布し、更に前記６つの中部周り引き孔（３）の外周に６つの中部周り引き孔（３）に対応する引き孔（３）を設置し、つまり、中部の引き孔（３）外縁に二層の引き孔（３）を回り、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間の分流槽（２）が６つの最外部周り引き孔（３）の中の１つの引き孔（３）に接続され、前記６つの最外部周り引き孔（３）がそれぞれ分流槽（２）によって中部のその他の６つの引き孔（３）を貫通してから、中部の引き孔（３）に接続され、中部から外へ束状構造を形成し、２つ束状構造の間毎にそれぞれ２つの引き孔（３）及び２つの引き孔（３）の間に接続される分流槽（２）からなるバーベル状の引き構造を設置し、且つバーベル状の引き構造と６つの最外部周り引き孔（３）との間にそれぞれ独立の引き孔（３）を設けて、１９本の引き孔の配置を形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置。
前記複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置においては、２２本のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置が中部に１つの引き孔（３）を設置し、中部の引き孔（３）の外周に均一に７つの中部引き孔（３）を回る引き孔（３）を環状分布し、前記電流輸送と冷却水輸送銅管Ａ（５）及び電流輸送と冷却水輸送銅管Ｂ（６）の間の分流槽（２）が中部引き孔（３）を回る７つの引き孔（３）の中の一つに接続され、７つの周り引き孔（３）がそれぞれ分流槽（２）により中部引き孔（３）と接続され、前記７つの回り引き孔（３）の２つの引き孔（３）の間毎にそれぞれ２つの引き孔（３）及び２つの引き孔（３）の間に接続される分流槽（２）からなるバーベル状の引き構造を設置し、２２本の引き孔の配置を形成することを特徴とする請求項１又は６に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置。
前記もう一つの１９本の引き孔を有する拡大構造であって、つまり、中部に１つの引き孔（３）を設置し、中部引き孔（３）の外周に６つの引き孔（３）を設置し、分流槽（２）が中部引き孔（３）から放射状に６つの引き孔（３）に接続され、引き孔（３）の間毎に設置される２つの引き孔（３）及び接続される分流槽（２）からなるバーベル状引き孔（３）が前記もう一つの引き１９本の引き孔の配置を形成することを特徴とする請求項１に記載の複数のシリコン芯を製造する高周波コイル引き孔の配置。