JP2012255792A - 3次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】3次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、3次元形状測定装置は容易に管理することができる。
【選択図】図4
Description
また、本発明の解決しようとする他の課題は、製造コストの低減、照明部の小型化、検査精度の向上、および制御の単純化を図ることのできる基板検査装置を提供することにある。
また、本発明の解決しようとする更に他の課題は、前記基板検査装置を用いて基板を検査する基板検査方法を提供することにある。
θ2=90−θproj−2・θmir2・・・(2)
θ1−θmir1=θmir1+θ2→
θ1=2・θmir1+θ2・・・・・・・・・(3)
続いて、数式(2)を数式(3)に適用すると、下記の数式(4)を導出することができる。
θ1=2・θmir1+90−θproj−2・θmir2・・・(4)
続いて、数式(4)を数式(1)に適用して整理すると、下記の数式(5)を導出することができる。
<数5>θgrat+θproj=2・(θmir1−θmir2)・・・・(5)
θmir1−θmir2=(θgrat+θproj)/2・・・・(6)
よって、前記投射レンズ1410と前記第1および第2反射鏡(1140、1150)は上記数式(6)のような関係を有する。
θmir1−θmir2=K(常数)・・・・・(6−1)
b=S2・tan(θproj)・・・・・・(9)
30 格子ユニット
32 格子パターン
50 四角錐
100 測定ステージ部
200 画像撮影部
300 第1照明部
320 第1格子ユニット
322 第1格子パターン
400 第2照明部
420 第2格子ユニット
422、424 第2格子パターン
500、502 格子移送ユニット
600 第2照明ユニット
700 画像取得部
800 モジュール制御部
900 中央制御部
1100 照明部
1110 光源ユニット
1120 格子ユニット
1130 投射レンズ
1140 第1反射鏡
1150 第2反射鏡
1200 格子連結ユニット
1300 格子移送ユニット
1400 撮像モジュール
1410 結像レンズ
1420 カメラ
PD 格子パターン方向
MD 格子移送方向
RP 格子平面
Claims (9)
- 光を発生する光源ユニット、前記光源ユニットから発生された光を格子パターン光に変更する格子ユニット、および前記格子パターン光を投射する投射レンズをそれぞれ含む複数の照明部と、
前記それぞれの投射レンズを透過した前記格子パターン光を測定対象物に提供する光経路変更部と、
前記照明部の格子ユニットを予め決められた回数だけ同時に移送させる格子移送ユニットと、
前記測定対象物で反射された前記格子パターン光を用いて撮像する撮像モジュールと、
前記撮像モジュールで撮像された画像を用いて前記測定対象物を検査する制御部と、を含み、
前記格子ユニットは、同一平面上に配置されて前記同一平面上にて前記格子移送ユニットによって同時に移送されることを特徴とする基板検査装置。 - 前記光経路変更部は、
前記それぞれの投射レンズを透過した前記格子パターン光を反射させる複数の第1反射鏡と、
前記第1反射鏡で反射された前記格子パターン光を反射させて前記測定対象物に提供する複数の第2反射鏡と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記格子平面と前記投射レンズの基準面との間の角度を格子角(θgrat)として定義し、前記第1反射鏡の法線が前記格子平面となす角度を第1ミラー角(θmir1)として定義し、前記第2反射鏡が前記格子平面となす角度を第2ミラー角(θmir2)として定義し、前記第1および第2反射鏡でそれぞれ反射されて前記検査基板へ入射される入射光が前記格子平面の法線となす角度を投射角(θproj)として定義する場合、前記投射レンズと前記第1および第2反射鏡は、数式“θmir1−θmir2=(θgrat+θproj)/2”の関係を有することを特徴とする請求項2に記載の基板検査装置。
- 前記格子移送ユニットは、前記格子ユニットの格子パターン方向と異なる方向に前記格子ユニットを同時に移送することを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記投射レンズの基準面は、前記格子平面と所定の角度をなすことを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 同一平面上に配置された格子ユニットの格子パターン方向と異なる格子移送方向に前記格子ユニットを前記同一平面に沿って一定のピッチで同時に移送し、
前記格子ユニットを通過した格子パターン光を光経路変更部を通じて検査基板に提供し、
前記検査基板から反射された前記格子パターン光を受光して撮像すること、を含むことを特徴とする基板検査方法。 - 光を発生する第1光源ユニットおよび前記第1光源ユニットから発生された光を第1格子パターンを有する第1格子パターン光に変更する第1格子ユニットを含み、前記第1格子パターン光を第1方向から測定対象物上に照射する第1照明部と、
光を発生する第2光源ユニットおよび前記第2光源ユニットから発生された光を第2格子パターンを有する第2格子パターン光に変更する第2格子ユニットを含み、前記第2格子パターン光を前記第1方向と異なる第2方向から前記測定対象物上に照射する第2照明部と、
前記第1格子ユニットおよび前記第2格子ユニットをN角錐の角を定義する隣接した2つの傾斜面上にそれぞれ配置し、前記第1格子ユニットおよび第2格子ユニットを前記2つの傾斜面上で移動するように同時に移送させる格子移送ユニットと、を含むことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記格子移送ユニットは、前記第1格子ユニットおよび前記第2格子ユニットが配置された前記2つの傾斜面によって定義される前記角に沿って移動することを特徴とする請求項7に記載の3次元形状測定装置。
- 光を発生する光源ユニット、前記光源ユニットから発生された光を格子パターン光に変更する少なくとも3つの格子ユニット、および前記格子パターン光を投射する投射レンズをそれぞれ含む複数の照明部と、
前記それぞれの投射レンズを透過した前記格子パターン光を測定対象物に提供する光経路変更部と、
前記照明部の格子ユニットを予め決められた回数だけ同時に移送させる格子移送ユニットと、
前記測定対象物で反射された前記格子パターン光を用いて撮像する撮像モジュールと、
前記撮像モジュールで撮像された画像を用いて前記測定対象物を検査する制御部と、を含み、
前記格子ユニットは、同一平面上に配置されて前記同一平面上にて前記格子移送ユニットによって同時に移送されることを特徴とする基板検査装置。
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Related Parent Applications (1)
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---|---|---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9441957B2 (en) | 2013-06-13 | 2016-09-13 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Three-dimensional shape measuring apparatus |
WO2016203638A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装装置および部品実装方法 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101311251B1 (ko) * | 2010-11-12 | 2013-09-25 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사장치 |
JP5765651B2 (ja) * | 2011-02-01 | 2015-08-19 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | 3次元測定装置 |
KR101295760B1 (ko) * | 2011-03-10 | 2013-08-13 | 주식회사 미르기술 | 다중 격자 무늬를 이용한 비전검사장치 |
KR101245148B1 (ko) * | 2011-03-10 | 2013-03-19 | 주식회사 미르기술 | 영상 선명도가 개선된 비전검사장치 |
AT511223B1 (de) * | 2011-03-18 | 2013-01-15 | A Tron3D Gmbh | Vorrichtung zum aufnehmen von bildern von dreidimensionalen objekten |
US9402036B2 (en) | 2011-10-17 | 2016-07-26 | Rudolph Technologies, Inc. | Scanning operation with concurrent focus and inspection |
JP5640025B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2014-12-10 | Ckd株式会社 | 三次元計測装置 |
KR101410220B1 (ko) * | 2012-05-22 | 2014-06-20 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 형상 측정장치의 높이 측정 방법 |
TWI460394B (zh) * | 2012-07-20 | 2014-11-11 | Test Research Inc | 三維影像量測裝置 |
JP6195801B2 (ja) * | 2014-03-11 | 2017-09-13 | 協和界面科学株式会社 | 観察用光学装置および接触角計 |
US10634487B2 (en) * | 2016-02-01 | 2020-04-28 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for optical three dimensional topography measurement |
CN109387514A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-02-26 | 德星技术(苏州)有限公司 | 一种过滤网三维检测系统 |
CN109764817A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-05-17 | 南京信息工程大学 | 非接触式透镜中心厚测量系统及方法 |
JP7308689B2 (ja) * | 2019-08-06 | 2023-07-14 | 株式会社キーエンス | 三次元形状測定装置 |
CN112729165A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-30 | 江苏烽禾升智能科技有限公司 | 一种基于机械视觉的三维扫描系统及测试方法 |
WO2023205109A1 (en) * | 2022-04-19 | 2023-10-26 | Velocity Image Processing LLC | Auto focus system for inspection of high-density parts |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0719825A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-20 | Sharp Corp | 基板検査装置 |
JP2002257527A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Aval Data Corp | 三次元計測法および三次元計測装置 |
JP2004309240A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 3次元形状測定装置 |
JP2005106491A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Nec Engineering Ltd | 頭部の三次元形状計測システム |
JP2005214653A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Olympus Corp | 3次元形状測定方法及びその装置 |
JP2005233780A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Olympus Corp | 高さ測定方法及びその装置 |
JP2006516719A (ja) * | 2003-02-06 | 2006-07-06 | コー ヤング テクノロジー インコーポレイテッド | 3次元形状測定装置 |
JP2007256278A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Koh Young Technology Inc | 3次元形状測定装置 |
JP2008281543A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Koh Young Technology Inc | 多方向映写式モアレ干渉計及びこれを用いた検査方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3619065A (en) * | 1967-07-29 | 1971-11-09 | Kenneth Leslie Agnew | Verification of three-dimensional shapes by means of contour lines |
JPS6026161B2 (ja) | 1977-08-17 | 1985-06-22 | 新日本製鐵株式会社 | 電磁超音波による金属管偏肉測定装置 |
US4564295A (en) * | 1983-03-07 | 1986-01-14 | New York Institute Of Technology | Apparatus and method for projection moire topography |
DE4134546A1 (de) * | 1991-09-26 | 1993-04-08 | Steinbichler Hans | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der absolut-koordinaten eines objektes |
DE4318851A1 (de) * | 1993-06-07 | 1994-12-08 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Erfassung und Vermessung von Oberflächen |
US5461455A (en) * | 1993-08-23 | 1995-10-24 | International Business Machines Corporation | Optical system for the projection of patterned light onto the surfaces of three dimensional objects |
DE4416108C2 (de) * | 1994-05-06 | 2000-05-11 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum berührungsfreien Vermessen einer Objektoberfläche |
JPH11242189A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-09-07 | Olympus Optical Co Ltd | 像形成法、像形成装置 |
DE19919584A1 (de) * | 1999-04-29 | 2000-11-02 | Klaus Koerner | Verfahren und Anordnung zur 3D-Aufnahme |
JP3936270B2 (ja) * | 2002-10-03 | 2007-06-27 | 株式会社山武 | 3次元計測装置及び3次元計測方法 |
US7286246B2 (en) * | 2003-03-31 | 2007-10-23 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for non-contact three-dimensional surface measurement |
JP2005135935A (ja) | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Nikon Corp | シアリング干渉計測装置 |
WO2005090905A1 (en) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Spiral Scratch Limited | Optical profilometer apparatus and method |
CN101287960A (zh) * | 2004-10-13 | 2008-10-15 | 阿克罗米特里克斯有限责任公司 | 测量连续移动样品的样品表面平整度的系统与方法 |
US7830528B2 (en) * | 2005-12-14 | 2010-11-09 | Koh Young Technology, Inc. | 3D image measuring apparatus and method thereof |
KR20080043047A (ko) * | 2006-11-13 | 2008-05-16 | 주식회사 고영테크놀러지 | 새도우 모아레를 이용한 3차원형상 측정장치 |
KR100839167B1 (ko) * | 2007-09-18 | 2008-06-17 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | 모아레 무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 3차원형상측정장치 및 그 방법 |
-
2010
- 2010-07-01 US US12/828,615 patent/US8754936B2/en active Active
- 2010-07-01 JP JP2010151199A patent/JP5441840B2/ja active Active
- 2010-07-01 DE DE102010030833.1A patent/DE102010030833B4/de active Active
- 2010-07-05 CN CN2012102263765A patent/CN102840840A/zh active Pending
- 2010-07-05 CN CN201010224594.6A patent/CN101943570B/zh active Active
-
2012
- 2012-07-24 JP JP2012164066A patent/JP5887225B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0719825A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-20 | Sharp Corp | 基板検査装置 |
JP2002257527A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Aval Data Corp | 三次元計測法および三次元計測装置 |
JP2006516719A (ja) * | 2003-02-06 | 2006-07-06 | コー ヤング テクノロジー インコーポレイテッド | 3次元形状測定装置 |
JP2004309240A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 3次元形状測定装置 |
JP2005106491A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Nec Engineering Ltd | 頭部の三次元形状計測システム |
JP2005214653A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Olympus Corp | 3次元形状測定方法及びその装置 |
JP2005233780A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Olympus Corp | 高さ測定方法及びその装置 |
JP2007256278A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Koh Young Technology Inc | 3次元形状測定装置 |
JP2008281543A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Koh Young Technology Inc | 多方向映写式モアレ干渉計及びこれを用いた検査方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9441957B2 (en) | 2013-06-13 | 2016-09-13 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Three-dimensional shape measuring apparatus |
WO2016203638A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装装置および部品実装方法 |
US10621745B2 (en) | 2015-06-19 | 2020-04-14 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Component mounting device and component mounting method |
US10650543B2 (en) | 2015-06-19 | 2020-05-12 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Component mounting device |
Also Published As
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