JP2012255207A - 真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空処理装置1は、被処理材Sをキャリア3に保持した状態で搬送路Rに沿って搬送し、搬送路Rに沿って配置された複数のプロセスチャンバで所定の真空処理を行う装置であり、搬送路Rの角の部分にそれぞれ配置されている複数の方向転換チャンバ内でキャリア3に保持される被処理材Sの交換が行われる。
【選択図】図1
Description
図1〜7は本発明の第1の実施形態に係る真空処理装置を示す図であり、図1は真空処理装置の構成摸式図、図2は図1のI−I断面図、図3,図4はキャリアの構成図、図5〜7真空処理装置のキャリアの動きを示す説明図である。なお、図面の煩雑化を防ぐため一部を除いて省略している。
Like Carbon)を成膜するためのCVD成膜チャンバとして用いられる。ただし、PC1、PC2のプロセスは決まっておらず、同じプロセスを行ってもよい。また、プロセスも加熱や成膜だけでなく、エッチング処理であっても良いことはもちろんである。本実施形態においてプロセスチャンバPC1,PC2は同様の構成であるが、プロセスチャンバPC1とPC2の構成を異なるものとしてもよい。
まず、図3,4に基づいてキャリア3の構成を説明する。キャリア3は、上述したように被処理材Sを保持した状態で搬送装置によって真空処理装置1内を移動する部材であり、被処理材Sを支持する枠状のホルダ部5と、ホルダ部5の下側に設けられ、後述する搬送装置の磁気ネジと磁気結合する磁石列4aが水平方向に沿って取付けられるスライダ部4とからなる。
図6は、各プロセスユニットA,B,C,Dでの真空処理を独立して行う際のキャリア3の配置例である。各プロセスユニットA,B,C,Dを構成する真空チャンバの間をキャリア3が往復しながら被処理材Sの真空処理が行われるため、各プロセスユニットA,B,C,Dで1つのキャリア3が配置される。
図8,9は、本発明の第2の実施形態に係る真空処理装置を示す説明図であり、図8は真空処理装置2の構成摸式図、図9はキャリア30の構成図である。なお、第1の実施形態と同様の部材、配置等には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。真空処理装置2は、6つのプロセスユニットA〜Fから構成されている。各プロセスユニットの構成は、第1の実施形態の真空処理装置1と同様であり、2つのプロセスチャンバPC(PC1,PC2)とコーナチャンバCCからなっている。
electrolyte fuel cell)に用いられるセパレータの製造する例が挙げられる。具体的には、本発明に係る処理装置は、所定形状のステンレス鋼板の表面にカーボン膜コーティングを形成する処理工程に適用される。具体的には、被処理材Sとして150〜300mm角、厚さ0.05〜0.5mmのステンレス鋼板を、アルミ製のキャリア3によって垂直方向に保持し、複数のプロセスチャンバ間に搬送し処理を行う。その中の一室の処理室において、処理品にパルスDCパワーを印加して、エチレンガスのプラズマCVDによる処理品のカーボン膜コーティングを行う。
LL,LL1,LL2 ロードロックチャンバ
PC,PC1,PC2 プロセスチャンバ
CC,CCa〜CCj コーナチャンバ(方向転換チャンバ)
GV ゲートバルブ
CLL キャリアロードロックチャンバ
RB 基板移載装置
R 搬送路
S 被処理材
1,2,50 真空処理装置
3,30 キャリア
4 スライダ部
4a 磁石列
4b 搬送マグネット
5,6 ホルダ部
5a ガイド部
5b バネ式支持部
21 温度測定手段
22 パルスDC電源
23 電圧印加用シリンダー
24 ガス導入系
25 メインバルブ
26 ターボ分子ポンプ
27 背圧排気用ポンプ
28 シールド
29 磁場形成手段
Claims (2)
- 被処理材を保持するキャリアと、
該キャリアを多角形状の搬送路に沿って搬送する搬送装置と、
前記被処理材に対して所定の真空処理を行うよう搬送路に沿って配置された複数のプロセスチャンバと、
前記多角形状の搬送路の角の部分に配置され、前記キャリアの向きを転換する方向転換チャンバとを有する真空処理装置であって、
複数の前記方向転換チャンバ内で、前記キャリアに未処理の前記被処理材を移載され、若しくは、前記キャリアから処理済みの前記被処理材を取り外されることを特徴とする真空処理装置。 - 前記被処理材を供給し、又は所定の真空処理後の前記被処理材が排出されるロードロックチャンバをさらに有し、
前記ロードロックチャンバはゲートバルブを介して前記方向転換チャンバに連結されることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
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2012
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