JP2012253101A - レーザ出射装置及びレーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】メーカ側でのメンテナンス性をより向上させることができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】種光源２３、予備増幅器３０及び主増幅器５０のそれぞれの駆動状態のデータである光出力情報、電力情報及び温度情報を検出する各フォトダイオード２５，３９，５８、各駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂ及び各サーミスタ３６，５４を備える。そして、駆動情報のデータと、その検出時における日時データとをＣＰＵ２１ａにて対応付けて記憶するメモリ２１ｂと、メモリ２１ｂに記憶される日時データ及び駆動状態のデータを出力可能なＣＰＵ２１ａとを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、レーザ出射装置及びレーザ加工装置に関するものである。

従来、ファイバ型のレーザ出射装置は、信号用レーザ光を出力する信号用レーザ光源と、信号用レーザ光を励起用レーザ光源からの励起レーザ光により希土類ドープ光ファイバ内において所定の増幅率で増幅させて増幅光として出力する増幅手段を備える。このようなレーザ出射装置では、信号用レーザ光源や増幅手段の異常を検出する異常状態検出手段を備えるものがある（例えば、特許文献１参照）。このような構成によれば、レーザ出射装置に例えばレーザ出力が極端に落ちた等の故障が発生したときに、信号用レーザ光源の異常が原因か又は増幅手段の異常が原因か等、どこの箇所の異常であるかを知ることが可能となっている。

特開２００６−１１４６２８号公報

ところで、上記のようなレーザ出射装置では、異常が検出された場合、異常発生箇所の特定は可能であるが、メーカ側でのレーザ出射装置の修理や交換等のメンテナンスの際に、そのメンテナンス性を向上させることができるレーザ出射装置の開発が望まれている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、メーカ側でのメンテナンス性をより向上させることができるレーザ出射装置及びレーザ加工装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、信号用レーザ光を出力する信号用レーザ光源と、前記信号用レーザ光を励起用レーザ光源からの励起レーザ光により希土類ドープ光ファイバ内で増幅させて出力する増幅手段とを備えたレーザ出射装置であって、前記信号用レーザ光源及び増幅手段のそれぞれにおける、光出力、温度及び駆動電力の内の少なくとも１種類の駆動状態を、前記信号用レーザ光が出力されている間に少なくとも１度検出する駆動状態検出手段と、前記駆動状態検出手段によって前記信号用レーザ光が出力されている間において検出された前記駆動情報のデータと、その検出時における日時データとを対応付けて記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶される日時データ及び駆動状態のデータを出力可能な出力手段とを備えたことをその要旨とする。

この発明では、信号用レーザ光源及び増幅手段のそれぞれにおける、光出力、温度及び駆動電力の内の少なくとも１種類の駆動状態を、信号用レーザ光が出力されている間に少なくとも１度検出する駆動状態検出手段と、駆動状態検出手段によって信号用レーザ光が出力されている間において検出された駆動情報のデータと、その検出時における日時データとを対応付けて記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶される日時データ及び駆動状態のデータを出力可能な出力手段とを備える。つまり、出力手段から出力された信号用レーザ光源及び増幅手段の駆動状態のデータを例えば表示装置等に表示させることで、どの部位で異常が生じたかを確認することができ、更にその状態が記憶された日時が分かるため、メーカ側での情報収集が容易となりメンテナンス性の向上に寄与することができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザ出射装置において、前記出力手段から出力される前記日時データ及び駆動状態のデータを表示する表示手段を備えたことをその要旨とする。

この発明では、出力手段から出力される日時データ及び駆動状態のデータを表示する表示手段を備えるため、メーカ側並びにユーザ側で駆動状態とその駆動状態が記憶された日時を確認することが可能となる。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のレーザ出射装置において、前記表示手段は、前記信号用レーザ光源及び前記増幅手段の少なくとも一方のみの駆動状態のデータを選択的に表示可能に構成されたことを特徴とする。

この発明では、表示手段は、信号用レーザ光源及び増幅手段の少なくとも一方のみの駆動状態のデータを選択的に表示可能に構成されるため、表示手段における表示態様を変更することができる。これにより、部位毎に駆動状態のデータを確認することができるため、メンテナンス性の向上に寄与することができる。

請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載のレーザ出射装置において、前記駆動状態のデータ内から異常状態を検出する異常状態検出手段を備え、前記表示手段は、前記駆動状態のデータ内から前記異常状態検出手段にて異常状態と検出された前記駆動状態のデータのみを表示可能に構成されたことを特徴とする。

この発明では、駆動状態のデータ内から異常状態を検出する異常状態検出手段を備え、表示手段は、駆動状態のデータ内から異常状態検出手段にて異常状態と検出された駆動状態のデータのみを表示可能に構成される。これにより、表示手段に表示されるデータについては全て異常であるという事となり、どこに異常が生じたか容易に確認することが可能となる。

請求項５に記載の発明は、請求項２又は３に記載のレーザ出射装置において、前記駆動状態のデータ内から異常状態を検出する異常状態検出手段を備え、前記表示手段は、前記駆動状態のデータ内で、前記異常状態検出手段にて異常状態と検出された前記駆動状態のデータと、異常状態と検出されていない前記駆動状態のデータとで異なる表示色で表示可能に構成されたことを特徴とする。

この発明では、駆動状態のデータ内から異常状態を検出する異常状態検出手段を備え、前記表示手段は、前記駆動状態のデータ内で、前記異常状態検出手段にて異常状態と検出された前記駆動状態のデータと、異常状態と検出されていない前記駆動状態のデータとで異なる表示色で表示可能に構成される。これにより、異常であるか否かが容易に確認することが可能となる。

請求項６に記載の発明は、請求項２〜５のいずれか一項に記載のレーザ出射装置において、前記表示手段は、前記日時データ及び駆動状態のデータをグラフ表示可能に構成されたことを特徴とする。

この発明では、表示手段は、日時データ及び駆動状態のデータをグラフ表示可能に構成されるため、駆動状態のデータを直感的に分かりやすい形で表示することができる。このため、駆動状態のデータの傾き等が容易にわかるため、異常であるか否かがより容易に確認することが可能となる。

請求項７に記載の発明は、請求項１又は２に記載のレーザ出射装置において、前記記憶手段には、前記駆動状態のデータと、その駆動状態から想定される異常要因に関するデータとが対応付けて記憶され、前記出力手段は、前記記憶手段に対応付けて記憶された前記駆動状態のデータと前記異常要因に関するデータとを出力可能であることをその要旨とする。

この発明では、記憶手段には、駆動状態のデータと、その駆動状態から想定される異常要因に関するデータとが対応付けて記憶され、出力手段は、記憶手段に対応付けて記憶された駆動状態のデータと異常要因に関するデータとを出力可能である。このため、駆動状態のデータだけでなく、その駆動状態から例えば装置内で異常が発生した場合には想定される異常要因も例えば表示装置に表示させることが可能となるため、より有用な情報を与えることが可能となる。

請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載のレーザ出射装置において、前記増幅手段は、前記信号用レーザ光を第１励起用レーザ光源からの励起レーザ光により第１希土類ドープ光ファイバ内で増幅させて第１増幅光として出力する第１増幅部と、前記第１増幅光を第２励起用レーザ光源からの励起レーザ光により第２希土類ドープ光ファイバ内で増幅させて第２増幅光として出力する第２増幅部とを備えたことを特徴とする。

この発明では、増幅手段は信号用レーザ光を第１及び第２増幅部で段階的に増幅するため、１つの増幅部によって１段階のみで増幅する構成に比べて効率的に高出力の増幅を行うことが可能となる。

請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか一項に記載のレーザ出射装置において、前記信号用レーザ光源を含む信号用光源ユニットと、前記増幅手段の少なくとも一部を含む増幅ユニットとをそれぞれ交換可能に備えたことを特徴とする。

この発明では、信号用レーザ光源を含む信号用光源ユニットと、前記増幅手段の少なくとも一部を含む増幅ユニットとをそれぞれ交換可能に備えるため、各ユニット毎での交換が可能となる。これにより、レーザ出射装置に異常が生じたときに装置全体を交換する必要がなくなるため、メンテナンス性を向上させることが可能となる。

請求項１０に記載の発明は、レーザ出射装置から出射されたレーザ光を集光レンズにて加工対象に集光させてその加工対象への加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザ出射装置には、請求項１〜９のいずれか１項に記載のレーザ出射装置が用いられていることをその要旨とする。

この発明では、レーザ出射装置から出射されたレーザ光を集光レンズにて加工対象に集光させてその加工対象への加工を行うレーザ加工装置において、レーザ出射装置には、請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザ出射装置が用いられる。このため、請求項１〜３のいずれか一項に記載の効果と同様の効果を奏することができるレーザ加工装置を提供することができる。

従って、上記記載の発明によれば、メーカ側でのメンテナンス性をより向上させることができるレーザ出射装置及びレーザ加工装置を提供することができる。

第１実施形態におけるレーザ加工装置の概略構成を示す斜視図である。 同上におけるレーザ加工装置の概略構成を示すブロック図である。 第２実施形態におけるレーザ加工装置の概略光性を示す斜視図である。 同上におけるレーザ加工装置の概略光性を示すブロック図である。

（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、本実施形態のレーザ加工装置１０は、本体部１１と、この本体部１１にファイバケーブル１２及び電気ケーブル１３を介して接続されるヘッド部１４と、本体部１１に電気ケーブル１５を介して接続されるコンソール１６とを備える。

図２に示すように、本体部１１を構成するレーザ出射装置は、ＣＰＵ２１ａと、このＣＰＵ２１ａと接続されるメモリ２１ｂと、ＣＰＵ２１ａに接続されるシステム時計２１ｃとを備える。ＣＰＵ２１ａは、駆動回路２２を介して信号用レーザ光源としての種光源２３を駆動するとともに、駆動された種光源２３は赤外線レーザ（信号用レーザ光）をパルス発振する。そして、種光源２３からの信号用レーザ光は、前記種光源２３とファイバ接続される分岐用ファイバカプラ２４により、その一部がフォトダイオード２５に入射され、その大半が第１増幅部としての予備増幅器３０に入射される。

フォトダイオード２５は、前記種光源２３からのレーザ光の光出力を検出するものであり、フォトダイオード２５からの検出信号がＡ／Ｄ変換回路２６を介してデジタル信号に変換されてＣＰＵ２１ａに入力される。

予備増幅器３０に入射されたレーザ光（信号用レーザ光）はその予備増幅器３０において、ワークＷへの印字が可能なレベルより低い光強度となるように第１増幅率で予備増幅される。

予備増幅器３０は、第１希土類ドープ光ファイバ３１、第１ファイバカプラ３２、光アイソレータ３３、第１駆動回路３４及び第１励起用レーザ光源としての第１励起用半導体レーザ３５を備える。

第１希土類ドープ光ファイバ３１は、希土類元素である例えばイッテルビウム（Ｙｂ）を含むガラスファイバである。この第１希土類ドープ光ファイバ３１は、屈曲可能であるとともに、図示しないボビンに多数回巻回することにより所要の長さの光路が確保されている。

ここで、前記ＣＰＵ２１ａには、第１希土類ドープ光ファイバ３１の温度を監視するサーミスタ３６がＡ／Ｄ変換回路３７を介して接続され、サーミスタ３６にて検出された温度情報がＡ／Ｄ変換回路３７によりデジタル信号に変換されてＣＰＵ２１ａに入力される。

また、第１希土類ドープ光ファイバ３１の入射側（図１において左側）には第１ファイバカプラ３２が設けられるとともに、出射側（図１において右側）には光アイソレータ３３が設けられている。

前記第１ファイバカプラ３２は、前記種光源２３からの信号用レーザ光を第１希土類ドープ光ファイバ３１の入射端に入射させる。また、第１ファイバカプラ３２は、第１駆動回路３４を介して前記ＣＰＵ２１ａにて駆動される第１励起用半導体レーザ３５からのレーザ光を、同第１希土類ドープ光ファイバ３１の入射側から出射側に向かって入射させる。従って、第１ファイバカプラ３２の作用により、第１希土類ドープ光ファイバ３１において、種光源２３からのレーザ光に、第１励起用半導体レーザ３５からのレーザ光が合流されて第１増幅率で予備増幅される。

前記光アイソレータ３３はレーザ光を一方向（入射側から出射側に向かう方向）にのみ通過させる。この光アイソレータ３３は、光ファイバの接合部分やレーザ照射面から反射するレーザ光が種光源２３、第１励起用半導体レーザ３５及び第１希土類ドープ光ファイバ３１に逆流することによってこれらが損傷することを防止するために設けられている。

前記予備増幅器３０にて増幅されたレーザ光（第１増幅光）は、その予備増幅器３０の光アイソレータ３３と接続される分岐用ファイバカプラ３８により、その一部がフォトダイオード３９に入射され、その大半が主増幅器５０に入射される。

フォトダイオード３９は、前記予備増幅器３０内で増幅されたレーザ光（第１増幅光）の光出力を検出するものであり、フォトダイオード３９からの検出信号がＡ／Ｄ変換回路４０を介してデジタル信号に変換されてＣＰＵ２１ａに入力される。

主増幅器５０に入射されたレーザ光（第１増幅光）は、予備増幅器３０の後段に設けられる主増幅器５０において、ワークＷへの印字が可能な光強度となるよう前記第１増幅率よりも高い第２増幅率で増幅される。

主増幅器５０は、第２希土類ドープ光ファイバ５１、第２，第３ファイバカプラ５２ａ，５３ａ、第２及び第３駆動回路５２ｂ，５３ｂ、第２励起用レーザ光源としての第２及び第３励起用半導体レーザ５２ｃ，５３ｃを備える。

第２希土類ドープ光ファイバ５１は、第１希土類ドープ光ファイバ３１と同様に、希土類元素である例えばイッテルビウム（Ｙｂ）を含むガラスファイバである。そして、第２希土類ドープ光ファイバ５１は、屈曲可能であるとともに、図示しないボビンに多数回巻回する事により所要の長さの光路が確保されている。

ここで、前記ＣＰＵ２１ａには、第２希土類ドープ光ファイバ５１の温度を監視するサーミスタ５４がＡ／Ｄ変換回路５５を介して接続され、サーミスタ３６にて検出された温度情報がＡ／Ｄ変換回路３７によりデジタル信号に変換されてＣＰＵ２１ａに入力される。

また、第２希土類ドープ光ファイバ５１の入射側（図２において左側）には第２ファイバカプラ５２ａが設けられるとともに、出射側（図２において右側）には第３ファイバカプラ５３ａが設けられている。

第２ファイバカプラ５２ａは、前記予備増幅器３０からのレーザ光（第１増幅光）を第２希土類ドープ光ファイバ５１の入射端に入射させる。また、第２ファイバカプラ５２ａは、第２駆動回路５２ｂを介して前記ＣＰＵ２１ａにて駆動される第２励起用半導体レーザ５２ｃからのレーザ光を、同第２希土類ドープ光ファイバ５１の入射端に入射させる。従って、第２ファイバカプラ５２ａの作用により、第２希土類ドープ光ファイバ５１において、予備増幅器３０からのレーザ光（第１増幅光）に、第２励起用半導体レーザ５２ｃからのレーザ光が合流される。また、第３ファイバカプラ５３ａは、前記第３駆動回路５３ｂを介して前記ＣＰＵ２１ａにて駆動される第３励起用半導体レーザ５３ｃからのレーザ光を、第２希土類ドープ光ファイバ５１の入射端側に向けて入射させるものである。そして、前記第２ファイバカプラ５２ａ及び第３ファイバカプラ５３ａにより、第２希土類ドープ光ファイバ５１のレーザ光が前記第１増幅率よりも高い増幅率である第２増幅率で増幅される。

主増幅器５０にて増幅されたレーザ光（第２増幅光）は、その主増幅器５０と接続される分岐用ファイバカプラ５６により、その一部が減光フィルタ（ＮＤフィルタ）５７を介してフォトダイオード５８に入射され、その大半がヘッド部１４（ファイバケーブル１２）に入射される。

減光フィルタ５７は、主増幅器５０にて増幅されたレーザ光（第２増幅光）の一部が入射される光を更に減衰させて、フォトダイオード５８の検出エラーや破損等を抑えるためのものである。フォトダイオード５８は、前記主増幅器５０内で増幅されたレーザ光（第１増幅光）の光出力を検出するものであり、フォトダイオード５８からの検出信号がＡ／Ｄ変換回路５９を介してデジタル信号に変換されてＣＰＵ２１ａに入力される。

前記本体部１１とファイバケーブルを介して接続されるヘッド部１４は、本体部１１からファイバケーブル１２から出射されるレーザ光（第２増幅光）を平行光あるいは収束光に絞るコリメータレンズ６１を備えている。コリメータレンズ６１を通じて絞られたレーザ光（第２増幅光）は、ヘッド部１４に設けられた光走査機構６２によって所要の方向に反射される。光走査機構６２は、増幅光を反射する２つのガルバノミラーを有して構成されるものであって、各ガルバノミラーの傾斜角度を変化させることにより、コリメータレンズ６１を通じて絞られた増幅光を所要の方向に走査させるものである。尚、ヘッド部１４には、ＣＰＵ２１ａの制御に基づき光走査機構６２を駆動する駆動回路６３が設けられている。光走査機構６２にて反射された増幅光は、集光レンズ６４によりスポットレーザ光に絞り込まれる。そして、絞り込まれた増幅光がレーザ光ＬとしてワークＷの表面上を走査することにより所望のマーキングが行われる。

コンソール１６は、前記ＣＰＵ２１ａと電気的に接続される表示手段としての表示部１６ａと、ユーザがレーザ加工装置１０の各種設定を行うためのボタンを備えるとともに前記ＣＰＵ２１ａと電気的に接続される操作部１６ｂとを備えている。

ここで、本実施形態のレーザ出射装置を備えたレーザ加工装置１０は、種光源２３、予備増幅器３０及び主増幅器５０の駆動状態の検出が可能とされる。以下に、その駆動状態の検出（取得）方法について詳細に説明する。

本実施形態のレーザ加工装置１０に備えられるＣＰＵ２１ａは、前記駆動回路２２を介して種光源２３からレーザ光（信号用レーザ光）が出力されるタイミングに同期して各部の駆動状態のデータ（情報）を検出する。

ＣＰＵ２１ａは、種光源２３及び各増幅器３０，５０から出力されるレーザ光の光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３を各フォトダイオード２５，３９，５８にて検出し、フォトダイオード２５，３９，５８からの光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３を各Ａ／Ｄ変換回路２６，４０，５９を介して取得する。

ＣＰＵ２１ａは、種光源２３及び各半導体レーザ３５を駆動させる各駆動回路２２，３４，５２ｂ、５３ｂの駆動電力に基づく電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４を取得する。ちなみに、この電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４は、電圧又は電流の一方から得ることが可能である。

更にＣＰＵ２１ａは、第１及び第２希土類ドープ光ファイバ３１，５１の温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２を各サーミスタ３６，５４にて検出し、各サーミスタ３６，５４からの温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２をＡ／Ｄ変換回路３７，５５を介して取得する。

そして、ＣＰＵ２１ａは、検出した光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２をＣＰＵ２１ａと電気的に接続されるメモリ２１ｂに、システム時計２１ｃから得られる日時データと対応付けて記憶させる。また、ＣＰＵ２１ａは、検出した光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２をＣＰＵ２１ａと電気的に接続されるコンソール１６の表示部１６ａに日時データとともに出力して、表示部１６ａに日時データとともに電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２を表示するようになっている。なお、前記メモリ２１ｂに検出した光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２が記憶されているため、ユーザ並びにメーカの任意のタイミングで表示部１６ａに駆動状態の情報（データ）を出力して表示することが可能となっている。

また、ＣＰＵ２１ａは、各フォトダイオード２５，３９，５８、各駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂ及び各サーミスタ３６，５４から検出された光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２から異常状態を検出するようになっている。

具体的には、例えばフォトダイオード２５，３９，５８で検出される光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３が下限となる閾値Ｓｈ１よりも下回った場合には、ＣＰＵ２１ａは、その光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３に異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。同様に、前記光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３が上限となる閾値Ｓｈ２よりも上回った場合には、ＣＰＵ２１ａは、その光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３に異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。また、光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３を種光源２３からレーザ光が出力されるタイミングに同期して所定期間連続して取得する場合には、ＣＰＵ２１ａは得られた光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３の時間変化が所定の傾きから逸脱した時に異常が生じたと判定して、その光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３に異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。

例えば各駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂで検出される電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４が下限となる閾値Ｓｐ１よりも下回った場合には、ＣＰＵ２１ａは、その電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４が異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。同様に、前記電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４が上限となる閾値Ｓｐ２よりも上回った場合には、ＣＰＵ２１ａは、その電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４が異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。また、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４を種光源２３からレーザ光が出力されるタイミングに同期して所定期間連続して取得する場合には、ＣＰＵ２１ａは得られた電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４の時間変化が所定の傾きから逸脱した時に異常が生じたと判定して、その電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４に異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。

例えば、各サーミスタ３６，５４で検出される温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２が下限となる閾値Ｓｔ１よりも下回った場合には、ＣＰＵ２１ａは、その温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２が異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。同様に、前記温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２が上限となる閾値Ｓｔ２よりも上回った場合には、ＣＰＵ２１ａは、その温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２が異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。また、温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２を種光源２３からレーザ光が出力されるタイミングに同期して所定期間連続して取得する場合には、ＣＰＵ２１ａは得られた温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２の時間変化が所定の傾きから逸脱した時に異常が生じたと判定して、その温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２に異常状態である旨を関連付けてメモリ２１ｂに記憶させる。

上述したように、検出される光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２からＣＰＵ２１ａでどこの部位が異常状態であるのかが検出（判定）されて、異常状態と判定されると異常状態である旨を、該当する情報（データ）とともにメモリ２１ｂに記憶される。このとき、光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２がシステム時計２１ｃから得られる日時データとＣＰＵ２１ａにより対応付けられてメモリ２１ｂに記憶されるため、同時に異常状態である旨とともに記憶された該当情報（データ）が日時データと対応付けられることとなる。

次に、本実施形態の特徴的な効果を記載する。
（１）種光源２３、予備増幅器３０及び主増幅器５０のそれぞれの駆動状態のデータである光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２を検出する各フォトダイオード２５，３９，５８、各駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂ及び各サーミスタ３６，５４を備える。そして、駆動情報のデータと、その検出時における日時データとをＣＰＵ２１ａにて対応付けて記憶するメモリ２１ｂと、メモリ２１ｂに記憶される日時データ及び駆動状態のデータを出力可能なＣＰＵ２１ａとを備える。このため、例えばＣＰＵ２１ａから出力された種光源２３、予備増幅器３０及び主増幅器５０の駆動状態のデータを少なくともメーカ側で例えば表示装置等に表示させることで、どの部位で異常が生じたかを少なくともメーカ側で確認することができる。更にその状態が記憶された日時データが分かるため、メーカ側での情報収集が容易となりメンテナンス性の向上に寄与することができる。なお、前記表示装置は本実施形態の表示部１６ａに限らない。

（２）ＣＰＵ２１ａから出力される日時データ及び駆動状態のデータを表示する表示部１６ａを備えるため、メーカ側で駆動状態のデータとその駆動状態のデータが記憶された日時を確認することが可能となる。また、本実施形態では、駆動状態のデータから本体部１１内の何処が異常（異常状態）であるかを検出して表示部１６ａで表示しているため、ユーザに対してもどこが異常であるかを報知することができる。

（３）本実施形態の増幅手段は、信号用レーザ光を半導体レーザ３５からの励起レーザ光により希土類ドープ光ファイバ３１内で増幅させて第１増幅光として出力する予備増幅器３０と、第１増幅光を半導体レーザ５２ｃ，５３ｃからの励起レーザ光により希土類ドープ光ファイバ５１内で増幅させて第２増幅光として出力する主増幅器５０とを備える。即ち、増幅手段は信号用レーザ光を各増幅器３０，５０で段階的に増幅するため、１つの増幅器（増幅部）によって１段階のみで増幅する構成に比べて効率的に高出力の増幅を行うことが可能となる。

（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図面に従って説明する。なお、第１実施形態と同じ構成については同一符号を付してその説明の一部又は全部を適宜割愛する。

本実施形態のレーザ加工装置１０では、図３及び図４に示すように本体部１１のハウジング内に、それぞれが個別に交換可能とされた第１〜第８のユニットＵ１〜Ｕ８が収容されている点が第１実施形態のレーザ加工装置と異なる。

本体部１１の各ユニットＵ１〜Ｕ８は、本実施形態のレーザ出射装置の構成要素であり、以下にその詳細を説明する。
図４に示すように、信号用光源ユニットとしての第１のユニットＵ１は、信号用レーザ光源としての種光源２３と、駆動回路２２と、光分岐部としての分岐用ファイバカプラ２４と、フォトダイオード２５と、Ａ／Ｄ変換回路２６とを備えている。

予備増幅器３０は、第１のユニットＵ１に図示しないファイバコネクタを介して接続される第２のユニットＵ２と、この第２のユニットＵ２に図示しないファイバコネクタを介して接続される第３のユニットＵ３とで構成される。第２のユニットＵ２は、第１のユニットＵ１と前記ファイバコネクタを介して着脱可能に接続されるものであり、第１ファイバカプラ３２と、第１駆動回路３４と、第１励起用レーザ光源としての第１励起用半導体レーザ３５とを備えている。一方、第３のユニットＵ３は、第２のユニットＵ２と前記ファイバコネクタを介して着脱可能に接続されるものであり、第１希土類ドープ光ファイバ３１と、光アイソレータ３３と、サーミスタ３６と、Ａ／Ｄ変換回路３７とを備えている。

第４のユニットＵ４は、図示しないファイバコネクタを介して第３のユニットＵ３と着脱可能に接続されるものであり、分岐用ファイバカプラ３８と、フォトダイオード３９と、Ａ／Ｄ変換回路４０とを備えている。

主増幅器５０は、第４のユニットＵ４に図示しないファイバコネクタを介して接続される第５のユニットＵ５と、この第５のユニットＵ５に図示しないファイバコネクタを介して接続される第６のユニットＵ６と、この第６のユニットＵ６に図示しないファイバコネクタを介して接続される第７のユニットＵ７とで構成される。

第５のユニットＵ５は、第４のユニットＵ４と前記ファイバコネクタを介して着脱可能に接続されるものであり、第２ファイバカプラ５２ａと、駆動回路５２ｂと、第２励起用半導体レーザ５２ｃとを備えている。

第６のユニットＵ６は、第５のユニットＵ５と前記ファイバコネクタを介して着脱可能に接続されるものであり、第２希土類ドープ光ファイバ５１と、第２希土類ドープ光ファイバの駆動状態（温度情報Ｄｔ２）を検出するサーミスタ５４と、Ａ／Ｄ変換回路５５とを備えている。

第７のユニットＵ７は、第６のユニットＵ６と前記ファイバコネクタを介して着脱可能に接続されるものであり、第３ファイバカプラ５３ａと、駆動回路５３ｂと、第３励起用半導体レーザ５３ｃとを備えている。

第８のユニットＵ８は、図示しないファイバコネクタを介して第７のユニットＵ７と着脱可能に接続されるものであり、分岐用ファイバカプラ５６と、減光フィルタ（ＮＤフィルタ）５７と、フォトダイオード５８と、Ａ／Ｄ変換回路５９とを備えている。第８のユニットＵ８は、前記ファイバケーブル１２の入射側端部と図示しないファイバコネクタを介して着脱可能に接続されるようになっている。

上記のように構成されたレーザ加工装置１０におけるＣＰＵ２１ａの制御態様について説明する。
ＣＰＵ２１ａは、コンソール１６（操作部１６ｂ）を介して加工情報が入力されるとその加工情報に基づいて種光源２３から信号用レーザ光を出力させる。この信号用レーザ光の出力のタイミングに同期して、ＣＰＵ２１ａは駆動回路３４，５２ｂ、５３ｂを制御して各半導体レーザ３５，５２ｃ，５３ｃから励起用レーザ光を出力させる。これと同時に、駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂの駆動電力に基づく電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４をそれぞれ取得する。尚、この電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４は、電圧又は電流の一方から得ることが可能である。ＣＰＵ２１ａは、取得した各電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４と、取得した時点の日時データとを対応付けてメモリ２１ｂに記憶させる。そして、ＣＰＵ２１ａは、駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂの電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４に基づき、第１のユニットＵ１、第２のユニットＵ２、第５のユニットＵ５及び第７のユニットＵ７のそれぞれの異常判定を行う。

また、ＣＰＵ２１ａは、信号用レーザ光の出力のタイミングに同期してサーミスタ３６，５４から出力された検出信号をそれぞれ取得し、その取得した各検出信号に基づく温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２と取得した時点の日時データとを対応付けてメモリ２１ｂに記憶させる。そして、ＣＰＵ２１ａは、サーミスタ３６，５４の温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２に基づいて第３のユニットＵ３及び第６のユニットＵ６のそれぞれの異常判定を行う。

また、ＣＰＵ２１ａは、信号用レーザ光の出力のタイミングに同期して、種光源２３から出力された信号用レーザ光の一部を受光するフォトダイオード２５から出力された受光信号を取得し、その取得した受光信号に基づく光出力情報Ｄｈ１と取得した時点の日時データとを対応付けてメモリ２１ｂに記憶させる。そして、ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード２５の光出力情報Ｄｈ１に基づいて第１のユニットＵ１の異常判定を行う。

また、ＣＰＵ２１ａは、信号用レーザ光の出力のタイミングに同期して、第１増幅光の一部を受光するフォトダイオード３９及び第２増幅光の一部を受光するフォトダイオード５８からそれぞれ出力された受光信号を取得し、その取得した各受光信号に基づく光出力情報Ｄｈ２，Ｄｈ３と取得した時点の日時データとを対応付けてメモリ２１ｂに記憶させる。

ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード３９からの受光信号が所定の下限レベルを下回ったとき、又は受光信号が所定の上限レベルを超えたとき、又は受光信号の単位時間当たりの変動が所定量を超えたときに、第１増幅光の出力が異常状態であると判定する。そして、このように第１増幅光の出力異常を検知したとき、ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード３９の光出力情報Ｄｈ２だけでなく、駆動回路２２，３４の電力情報Ｄｐ１，Ｄｐ２、サーミスタ３６の温度情報Ｄｔ１及びフォトダイオード２５の光出力情報Ｄｈ１も複合的に考慮して第１〜第４のユニットＵ１〜Ｕ４の少なくとも１つのユニットに異常が生じたと判定する。

また、ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード５８からの受光信号が所定の下限レベルを下回ったとき、又は受光信号が所定の上限レベルを超えたとき、又は受光信号の単位時間当たりの変動が所定量を超えたときに、第２増幅光の出力が異常状態であると判定する。そして、このように第２増幅光の出力異常を検知したとき、ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード５８の光出力情報Ｄｈ３だけでなく、駆動回路２２，３４，５２ｂ，５３ｂの電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４、サーミスタ３６，５４の温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２及びフォトダイオード２５，３９の光出力情報Ｄｈ１，Ｄｈ２も複合的に考慮して第１〜第８のユニットＵ１〜Ｕ８の少なくとも１つのユニットに異常が生じたと判定する。

ＣＰＵ２１ａは、ユニットＵ１〜Ｕ８のいずれかの異常を検出すると、そのユニットに異常が生じた旨を示すデータ（異常状態に関するデータであって、異常検出情報）と、その異常を検出した時点での日時データとを対応付けてメモリ２１ｂに記憶させる。そして、ＣＰＵ２１ａは、メモリ２１ｂに対応付けて記憶させた異常検出情報と日時データとを表示部１６ａに表示させる。

これにより、表示部１６ａに表示された異常検出情報と日時データとから、ユニットＵ１〜Ｕ８のうちのどのユニットで、いつ異常が生じたかを確認することが可能となっている。そして、例えば、それを確認したユーザが、異常状態が検出されたユニットを正常動作する新しいものと交換することが可能となっている。このため、故障時にレーザ出射装置全体を交換する必要がなく、その結果、メンテナンス性の向上、及び交換時の低コスト化が可能となっている。

次に、本実施形態の特徴的な効果を記載する。
（１）種光源２３を含む第１のユニットＵ１と、半導体レーザ３５及び第１希土類ドープ光ファイバ３１をそれぞれ含む第２及び第３のユニットＵ２，Ｕ３（予備増幅器３０）と、半導体レーザ５２ｃ、第２希土類ドープ光ファイバ５１及び半導体レーザ５３ｃをそれぞれ含む第５〜第７のユニットＵ５〜Ｕ７（主増幅器）とを、ユニット毎で個別に交換可能に備える。従って、例えば、それを異常状態が検出されたユニット毎で正常動作する新しいユニットと交換することが可能となるため、故障時にレーザ出射装置全体を交換する必要がなく、その結果、メンテナンス性の向上、及び交換時の低コスト化が可能となる。

（２）ＣＰＵ２１ａは、駆動状態のデータ（電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４、温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２及び光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３）を取得し、その駆動状態のデータに基づいて各ユニットＵ１〜Ｕ８の異常状態を検出する。このため、駆動状態のデータに基づいて各ユニットＵ１〜Ｕ８の異常状態を好適に検出することが可能となる。

尚、本発明の各実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記各実施形態では、検出される光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２から異常状態をＣＰＵ２１ａにて判定する構成としたが、これに加えて、この異常状態から想定される異常要因に関するデータをメモリ２１ｂに記憶してメモリ２１ｂからその異常要因に関するデータを日時データと対応付けて出力可能としてもよい。このとき、前記日時データと対応付けられた異常状態に関するデータを同時に出力することが望ましい。このような構成について以下に説明する。

例えばＣＰＵ２１ａは、検知した各種の駆動状態のデータを個々で考慮、又は各種の駆動状態のデータを複合的に考慮して駆動状態のデータから想定される異常要因をシステム時計２１ｃの日時データとともにメモリ２１ｂに記憶させる。また、その異常要因をＣＰＵ２１ａによりコンソール１６の表示部１６ａに表示させてもよい。

ここで、各種の駆動状態のデータ（光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２）から想定される異常要因の想定方法について説明する。
ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード２５により検出される光出力情報Ｄｈ１から異常状態を判定した場合には、種光源２３が異常要因であると判定し、その旨を含んだ異常要因のデータがメモリ２１ｂに記憶される。

また、ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード３９により検出される光出力情報Ｄｈ２から異常状態を判定した場合には、このフォトダイオード３９よりも前段側（種光源２３側）となる予備増幅器３０又は種光源２３が異常要因であると判定する。

このとき、例えばフォトダイオード２５により検出される光出力情報Ｄｈ１についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定していない時には、ＣＰＵ２１ａは予備増幅器３０の異常の可能性が高いと判定し、その旨を含んだ異常要因に関するデータをメモリ２１ｂに記憶させる。更に、このとき予備増幅器３０の第１希土類ドープ光ファイバ３１及び第１励起用半導体レーザ３５の駆動状態を検出するサーミスタ３６及び駆動回路３４により検出される温度情報Ｄｔ１及び電力情報Ｄｐ２のいずれか一方についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定して更に異常要因を想定してもよい。即ち、前記光出力情報Ｄｈ２及び温度情報Ｄｔ１についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した場合には、ＣＰＵ２１ａは第１希土類ドープ光ファイバ３１が異常要因と想定してシステム時計２１ｃから得られる駆動状態のデータを検出した日時データとともにメモリ２１ｂに記憶させる。また、前記光出力情報Ｄｈ２及び電力情報Ｄｐ２についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した場合には、ＣＰＵ２１ａは駆動回路３４及び第１励起用半導体レーザ３５の少なくとも一方が異常要因と想定してシステム時計２１ｃから得られる駆動状態のデータを検出した日時データとともにメモリ２１ｂに記憶させる。

一方、フォトダイオード２５により検出される光出力情報Ｄｈ１についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した時には、ＣＰＵ２１ａは予備増幅器３０及び種光源２３のいずれか又は両方が異常要因であると想定し、その旨を含んだ異常要因に関するデータをメモリ２１ｂに記憶させる。

ＣＰＵ２１ａは、フォトダイオード５８により検出される光出力情報Ｄｈ３から異常状態を判定した場合には、このフォトダイオード５８よりも前段側（種光源２３側）となる主増幅器又は予備増幅器３０又は種光源２３が異常要因であると判定する。

このとき、例えばフォトダイオード５８よりも前段側（種光源２３側）であるフォトダイオード２５，３９により検出される光出力情報Ｄｈ１，Ｄｈ２についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定しない時には、ＣＰＵ２１ａは主増幅器５０の異常の可能性が高いと判定し、その旨を含んだ異常要因に関するデータをメモリ２１ｂに記憶させる。更に、このとき主増幅器５０の第２希土類ドープ光ファイバ５１、第２及び第３励起用半導体レーザ５２ｃ，５３ｃの駆動状態を検出するサーミスタ５４及び駆動回路５２ｂ，５３ｂにより検出される温度情報Ｄｔ２及び電力情報Ｄｐ３，Ｄｐ４の少なくとも１つについてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定して更に異常要因を想定してもよい。即ち、前記光出力情報Ｄｈ３及び温度情報Ｄｔ２についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した場合には、ＣＰＵ２１ａは第２希土類ドープ光ファイバ５１が異常要因と想定してシステム時計２１ｃから得られる駆動状態のデータを検出した日時データとともにメモリ２１ｂに記憶させる。また、前記光出力情報Ｄｈ３及び電力情報Ｄｐ３についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した場合には、ＣＰＵ２１ａは駆動回路５２ｂ及び第２励起用半導体レーザ５２ｃの少なくとも一方が異常要因と想定してシステム時計２１ｃから得られる駆動状態のデータを検出した日時データとともにメモリ２１ｂに記憶させる。更に、前記光出力情報Ｄｈ３及び電力情報Ｄｐ４についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した場合には、ＣＰＵ２１ａは駆動回路５３ｂ及び第３励起用半導体レーザ５３ｃの少なくとも一方が異常要因と想定してシステム時計２１ｃから得られる駆動状態のデータを検出した日時データとともにメモリ２１ｂに記憶させる。

一方、フォトダイオード２５，３９により検出される光出力情報Ｄｈ１，Ｄｈ２についてＣＰＵ２１ａが異常状態と判定した時には、ＣＰＵ２１ａは主増幅器５０、予備増幅器３０及び種光源２３の少なくとも１つが異常要因であると想定し、その旨を含んだ異常要因に関するデータをメモリ２１ｂに記憶させる。

上述したように、ＣＰＵ２１ａでは、駆動状態のデータ（光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２）から異常要因を想定して、メモリ２１ｂに異常要因に関するデータを記憶させることができる。このため、メモリ２１ｂに記憶された駆動状態のデータと異常要因に関するデータをＣＰＵ２１ａにて表示装置（例えば表示部１６ａ）に表示させてメーカ側で確認することができる。また、ユーザ側でも表示部１６ａに表示させて確認することが可能となるため、より有用な情報を与えることが可能となる。

・上記各実施形態では、主増幅器５０を本体部１１内に設ける構成としたが、主増幅器５０をヘッド部１４側に設ける構成を採用してもよい。このような構成とすることで、最終的なレーザ光の増幅をヘッド部１４側で行うことができる。そのため、本体部１１において増幅された光がファイバケーブル１２でヘッド部１４に伝送される際、ラマン散乱が発生することが抑制される。従ってラマン散乱に起因する印字品質の低下を抑制することができる。

ここで、ラマン散乱とは、一般に、単色光であるレーザ光をファイバケーブル（伝送用光ファイバ）に入射させた場合に、入射したレーザ光とは異なる波長の散乱光が生じる現象である。この現象のため、ファイバケーブルから出射されたレーザ光は、複数の波長を有するレーザ光となる。そして、ファイバケーブルから出射されたレーザ光が複数の波長を有するレーザ光になると、集光レンズでの屈曲率が波長によって異なるため、ワーク（加工対象）に照射されるレーザ光の焦点がぼけてしまう。因みに、この現象は極めて高い光強度のレーザ光をファイバケーブルにて伝送する場合に特に顕著に現れる。従って、加工可能な高いレベルに増幅したレーザ光（増幅光）をファイバケーブルにて伝送する構成では、ラマン散乱の影響が大きいために、ワークでのレーザ光の焦点ぼけが顕著となってしまい、印字品質が低下するという問題が出てくる。そこで、本構成では、その対策として、本体部１１で予備増幅した印字不能な低パワーのレーザ光（第１増幅光）をファイバケーブル１２にてヘッド部１４に伝送し、ヘッド部１４において印字可能な高パワーのレーザ光（第２増幅光）に増幅する構成としている。

なお、主増幅器５０を構成する第２希土類ドープ光ファイバ５１、第２及び第３ファイバカプラ５２ａ，５３ａをヘッド部１４に設けて、主増幅器５０を構成する第２及び第３駆動回路５２ｂ，５３ｂと第２，第３励起用半導体レーザ５２ｃ，５３ｃを本体部１１に設ける構成としてもよい。このような構成とすることで、主増幅器５０の全てをヘッド部１４に設ける構成と比較してヘッド部１４の大きさを抑えることができる。

・上記各実施形態並びに上記構成では、ＣＰＵ２１ａと電気的に接続されるメモリ２１ｂに検出される駆動状態のデータ（光出力情報Ｄｈ１〜Ｄｈ３、電力情報Ｄｐ１〜Ｄｐ４及び温度情報Ｄｔ１，Ｄｔ２）や日時データを記憶する構成としたが、メモリ２１ｂ以外に記憶する構成としてもよい。具体的には、ＳＤカードやＣＦカード等の着脱可能な外部の記憶媒体に記憶させたり、パソコン等の外部機器を通信ケーブル（ＵＳＢケーブルやＲＳ−２３２Ｃケーブルなど）で接続してパソコン側に記憶させたりする構成としてもよい。要は、少なくとも前記駆動状態のデータや日時データを出力できる構成であればよい。

・上記実施形態では、表示部１６ａにおける駆動状態のデータ等の表示態様について具体的に言及していないが、例えば以下の表示態様とすることが考えられる。
表示部１６ａは、種光源２３及び増幅手段（予備増幅器３０及び主増幅器５０）の内の少なくとも一方のみの駆動状態のデータを選択的に表示可能に構成する。ここで、例えば、操作部１６ｂに選択スイッチを設けてこの選択スイッチの操作により、駆動状態のデータを選択が可能とされる。このような構成とすることで、表示部１６ａにおける表示態様を変更することができる。これにより、レーザ出射装置を構成する部位（種光源２３，予備増幅器３０及び主増幅器５０）毎に駆動状態のデータを確認することができるため、メンテナンス性の向上に寄与することができる。

また、表示部１６ａは、駆動状態のデータ内から異常状態検出手段としてのＣＰＵ２１ａにて異常状態と検出された駆動状態のデータのみを表示可能に構成する。このような構成とすることで、表示部１６ａに表示されるデータについては全て異常であるという事となり、どこに異常が生じたか容易に確認することが可能となる。

また、表示部１６ａは、駆動状態のデータ内で、異常状態検出手段としてのＣＰＵ２１ａにて異常状態と検出された駆動状態のデータと、異常状態と検出されていない駆動状態のデータとで異なる表示色で表示可能に構成する。これにより、異常状態か否かで表示される駆動状態のデータの表示色が異なるため、どのデータが異常であるか否かが容易に確認することが可能となる。

また、表示部１６ａは、日時データ及び駆動状態のデータをグラフ表示可能な構成とする。ここで、例えば、２次元グラフとして考えた場合、横軸を時間として、その時間に対応する駆動状態のデータを縦軸とすることで、駆動状態のデータが時間変化に伴って変化した場合には、縦軸におけるずれとして表示することができる。このように駆動状態のデータを直感的に分かりやすい形で表示することができる。このため、駆動状態のデータの傾き等が容易にわかるため、異常であるか否かがより容易に確認することが可能となる。

・上記各実施形態並びに上記構成では、主増幅器５０における第２増幅率が予備増幅器３０における第１増幅率よりも高い設定としたが、これに限らない。例えば、第１増幅率と第２増幅率とが同程度の増幅率としてもよく、又は第１増幅率が第２増幅率よりも高い設定としてもよい。

・上記各実施形態並びに上記構成では、コンソール１６を本体部１１に接続する構成としたが、省略する構成を採用してもよい。また、コンソール１６の代わりにパソコン等の他の外部機器を接続可能な外部接続部（コネクタ）を本体部１１に設けて、この外部接続部に外部機器を接続して外部機器にてコンソール１６と同等の役割をさせてもよい。

・上記各実施形態では、表示手段としての表示部１６ａをコンソール１６に設ける構成としたが、ヘッド部１４及び本体部１１の少なくとも一方に表示部１６ａ（表示手段）を設ける構成を採用してもよい。また、表示部１６ａを省略した構成を採用してもよい。

・上記各実施形態では、システム時計２１ｃがレーザ加工装置１０に内蔵された構成としたが、これに限らず、例えば生産ラインのコントロール装置やホストコンピュータ等の外部機器のシステム時計から日時データを取得する構成であってもよい。

次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
（イ） 請求項１０に記載のレーザ出射装置において、
前記レーザ出射装置は、前記第２増幅部から出力された前記第２増幅光を集光レンズにて加工対象に集光させてその加工対象への加工を行うレーザ加工装置に用いられるものであり、
前記レーザ加工装置は、前記信号用レーザ光源及び前記第１増幅部を備えた本体部と、前記第２増幅部及び前記集光レンズを備え前記本体部にファイバケーブルを介して接続されたヘッド部と
を備え、前記第１増幅部は、前記加工対象への加工が不能なレベルに増幅した前記第１増幅光を前記ファイバケーブルを介して前記ヘッド部の前記第２増幅部に出力し、
前記第２増幅部は、前記第１増幅光を前記加工対象への加工が可能なレベルまで増幅して前記第２増幅光として出力することを特徴とするレーザ出射装置。

これにより、本体部側の第１増幅部で弱い増幅（予備増幅）を行い、その光出力（第１増幅光）をファイバケーブルを介してヘッド部に伝送し、最終的な加工対象への加工が可能なレベルへの増幅（主増幅）をヘッド部側の第２増幅部で行うことができる。そのため、本体部において増幅された光がファイバケーブルでヘッド部に伝送される際、ラマン散乱が発生することが抑制される。従ってラマン散乱に起因する印字品質の低下を抑制することができる。

１０…レーザ加工装置、１６ａ…表示部（表示手段）、２１…ＣＰＵ（駆動状態検出手段及び出力手段及び異常状態検出手段）、２１ｂ…メモリ（記憶手段）、２２，３４，５２ｂ，５３ｂ…駆動回路（駆動状態検出手段）、２３…種光源（信号用レーザ光源）、２５，３９，５８…フォトダイオード（駆動状態検出手段）、３０…予備増幅器（第１増幅部）、３１…第１希土類ドープ光ファイバ、３６，５４…サーミスタ（駆動状態検出手段）、５０…主増幅器（第２増幅部）、５１…第２希土類ドープ光ファイバ、６４…集光レンズ、Ｄｈ１〜Ｄｈ３…光出力情報（駆動状態のデータ）、Ｄｐ１〜Ｄｐ４…電力情報（駆動状態のデータ）、Ｄｔ１，Ｄｔ２…温度情報（駆動状態のデータ）、Ｌ…レーザ光、Ｕ１〜Ｕ８…ユニット、Ｗ…ワーク（加工対象）。

Claims (10)

1. 信号用レーザ光を出力する信号用レーザ光源と、
   前記信号用レーザ光を励起用レーザ光源からの励起レーザ光により希土類ドープ光ファイバ内で増幅させて出力する増幅手段と
   を備えたレーザ出射装置であって、
   前記信号用レーザ光源及び増幅手段のそれぞれにおける、光出力、温度及び駆動電力の内の少なくとも１種類の駆動状態を、前記信号用レーザ光が出力されている間に少なくとも１度検出する駆動状態検出手段と、
   前記駆動状態検出手段によって前記信号用レーザ光が出力されている間において検出された前記駆動情報のデータと、その検出時における日時データとを対応付けて記憶する記憶手段と、
   前記記憶手段に記憶される日時データ及び駆動状態のデータを出力可能な出力手段と
   を備えたことを特徴とするレーザ出射装置。
2. 請求項１に記載のレーザ出射装置において、
   前記出力手段から出力される前記日時データ及び駆動状態のデータを表示する表示手段を備えたことを特徴とするレーザ出射装置。
3. 請求項２に記載のレーザ出射装置において、
   前記表示手段は、前記信号用レーザ光源及び前記増幅手段の少なくとも一方のみの駆動状態のデータを選択的に表示可能に構成されたことを特徴とするレーザ出射装置。
4. 請求項２又は３に記載のレーザ出射装置において、
   前記駆動状態のデータ内から異常状態を検出する異常状態検出手段を備え、
   前記表示手段は、前記駆動状態のデータ内から前記異常状態検出手段にて異常状態と検出された前記駆動状態のデータのみを表示可能に構成されたことを特徴とするレーザ出射装置。
5. 請求項２又は３に記載のレーザ出射装置において、
   前記駆動状態のデータ内から異常状態を検出する異常状態検出手段を備え、
   前記表示手段は、前記駆動状態のデータ内で、前記異常状態検出手段にて異常状態と検出された前記駆動状態のデータと、異常状態と検出されていない前記駆動状態のデータとで異なる表示色で表示可能に構成されたことを特徴とするレーザ出射装置。
6. 請求項２〜５のいずれか一項に記載のレーザ出射装置において、
   前記表示手段は、前記日時データ及び駆動状態のデータをグラフ表示可能に構成されたことを特徴とするレーザ出射装置。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載のレーザ出射装置において、
   前記記憶手段には、前記駆動状態のデータと、その駆動状態から想定される異常要因に関するデータとが対応付けて記憶され、
   前記出力手段は、前記記憶手段に対応付けて記憶された前記駆動状態のデータと前記異常要因に関するデータとを出力可能であることを特徴とするレーザ出射装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のレーザ出射装置において、
   前記増幅手段は、
   前記信号用レーザ光を第１励起用レーザ光源からの励起レーザ光により第１希土類ドープ光ファイバ内で増幅させて第１増幅光として出力する第１増幅部と、
   前記第１増幅光を第２励起用レーザ光源からの励起レーザ光により第２希土類ドープ光ファイバ内で増幅させて第２増幅光として出力する第２増幅部と
   を備えたことを特徴とするレーザ出射装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のレーザ出射装置において、
   前記信号用レーザ光源を含む信号用光源ユニットと、前記増幅手段の少なくとも一部を含む増幅ユニットとをそれぞれ交換可能に備えたことを特徴とするレーザ出射装置。
10. レーザ出射装置から出射されたレーザ光を集光レンズにて加工対象に集光させてその加工対象への加工を行うレーザ加工装置において、
    前記レーザ出射装置には、請求項１〜９のいずれか１項に記載のレーザ出射装置が用いられていることを特徴とするレーザ加工装置。

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