JP2012248879A - Component mounting apparatus - Google Patents

Component mounting apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2012248879A
JP2012248879A JP2012178966A JP2012178966A JP2012248879A JP 2012248879 A JP2012248879 A JP 2012248879A JP 2012178966 A JP2012178966 A JP 2012178966A JP 2012178966 A JP2012178966 A JP 2012178966A JP 2012248879 A JP2012248879 A JP 2012248879A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
nozzle
component
correction
work stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012178966A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshio Ichikawa
良雄 市川
Ryuichi Komatsu
龍一 小松
Kouji Akaishi
恒史 赤石
Toru Goto
徹 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Original Assignee
Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi High Tech Instruments Co Ltd filed Critical Hitachi High Tech Instruments Co Ltd
Priority to JP2012178966A priority Critical patent/JP2012248879A/en
Publication of JP2012248879A publication Critical patent/JP2012248879A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/75Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Die Bonding (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component mounting apparatus capable of improving correction workability of a worker, and very surely mounting a component on a member to be mounted when the height of a placement surface of the member to be mounted or the height of a component mounting surface is slightly changed at a work station.SOLUTION: When the mounting of a component is performed for the number of times which is set on a correction method setting screen, a nozzle 5 or nozzle 55 not holding a component 15 is moved downward onto a work stage 3 or a printed circuit 12, and the fact that the nozzle 5 or the nozzle 55 comes into contact with the work stage 3 or the printed circuit 12 is detected by a touch sensor 27, thereby performing the correction of the amount of nozzle downward movement.

Description

本発明は、ヘッドによりウェハ等の部品供給部から部品を保持し、被実装部材上に実装する部品実装装置に関する。   The present invention relates to a component mounting apparatus for holding a component from a component supply unit such as a wafer by a head and mounting the component on a member to be mounted.

この種の部品実装装置は、例えば特許文献1などに開示されているが、ベアチップなどの部品を吸着保持するボンディングノズルを有する実装ヘッドを備え、X軸方向移動、Y軸方向移動及びθ回転する載置台上のウェハから実装ヘッドのボンディングノズルが部品をピックアップし、作業ステーションにて搬送シュートによって搬送されてきた被実装部材である実装基板或いはリードフレームなどの上に部品を実装する。
特開2004−363607号公報
This type of component mounting apparatus is disclosed in, for example, Patent Document 1, but includes a mounting head having a bonding nozzle that sucks and holds a component such as a bare chip, and moves in the X-axis direction, the Y-axis direction, and θ rotation. A bonding nozzle of the mounting head picks up a component from the wafer on the mounting table, and mounts the component on a mounting substrate or a lead frame that is a mounted member that has been transported by the transport chute at the work station.
JP 2004-363607 A

このような従来の部品実装装置において、作業ステーションでは、実装ヘッドは予め設定されている下降量(ストローク)下降し、部品が被実装部材上に実装される。   In such a conventional component mounting apparatus, at the work station, the mounting head is lowered by a preset lowering amount (stroke), and the component is mounted on the mounted member.

しかしながら、このような部品実装装置において、運転時、部品実装装置が運転を開始してからの時間経過に伴う周囲の温度変化などのために、作業ステーションでの被実装部材の載置面の高さが僅かに変化し、部品実装面の高さも僅かに変化し、この結果、部品が被実装部材に確実に実装されないという問題が発生する。   However, in such a component mounting apparatus, the height of the mounting surface of the mounted member at the work station is increased during operation due to a change in ambient temperature with the passage of time after the component mounting apparatus starts operation. As a result, the height of the component mounting surface changes slightly. As a result, there arises a problem that the component is not surely mounted on the mounted member.

また、作業者が下降量の補正作業を行うに際しても、作用者が一時部品実装装置を停止させ補正を行う必要があるなど、作業者による補正作業が煩雑になり、また、補正作業を行うことを作業者が忘れる虞があるという問題が発生する。   In addition, when the operator performs the correction work for the descending amount, the operator needs to stop the temporary component mounting apparatus to perform the correction, and the correction work by the operator becomes complicated. There is a problem that the operator may forget.

そこで本発明は、作業者による補正作業性を向上することができ、また、作業ステーションでの被実装部材の載置面の高さが僅かに変化したとき、または、部品実装面の高さも僅かに変化したときにも、部品を被実装部材に極力確実に実装できる部品実装装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can improve the correction workability by the operator, and when the height of the mounting surface of the mounted member at the work station is slightly changed, or the height of the component mounting surface is also small. It is an object of the present invention to provide a component mounting apparatus capable of mounting a component on a member to be mounted as much as possible even when it changes.

このため第1の発明は、搬送されてきた被実装部材上に部品を搭載する作業ステージと、部品を保持する保持具を備え、前記作業ステージにて昇降する作業ヘッドとを備え、前記作業ヘッドに設けられ、前記保持具の前記作業ステージ或いは被実装部材への接触を検出する検出器と、
前記作業ステージにおいて、前記保持具が部品を保持していない状態で前記作業ヘッドを下降させ、前記検出器の検出結果に基づいて前記作業ヘッドの下降量を測定し、この測定結果を基に前記作業ヘッドの前記作業ステージでの下降量を補正する下降量補正作業を制御する制御装置とを備えたことを特徴とする。
For this reason, the first invention includes a work stage for mounting a component on the conveyed mounted member, a work head that includes a holder for holding the component, and moves up and down on the work stage. A detector that detects contact of the holder with the work stage or a mounted member;
In the work stage, the work head is lowered in a state where the holder does not hold a part, and the amount of the work head lowered is measured based on the detection result of the detector. And a control device for controlling a descent amount correction operation for correcting a descent amount of the work head at the work stage.

また、第2の発明は、搬送されてきた被実装部材上に部品を搭載する作業ステージと、部品を保持する保持具を備え、前記作業ステージにて昇降する作業ヘッドとを備え、前記作業ヘッドに設けられ、前記保持具の前記作業ステージ或いは被実装部材への接触を検出する検出器と、
前記作業ステージにおいて、前記保持具が部品を保持していない状態で前記作業ヘッドを下降させ、前記検出器の検出結果に基づいて前記作業ヘッドの下降量を測定し、この測定結果を基に前記作業ヘッドの前記作業ステージでの下降量を補正する下降量補正作業を部品実装の自動運転中の所定の部品実装動作後に行うよう制御する制御装置とをことを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, the working head includes: a work stage for mounting a component on the transported member to be mounted; a work head that includes a holder for holding the component and moves up and down on the work stage; A detector that detects contact of the holder with the work stage or a mounted member;
In the work stage, the work head is lowered in a state where the holder does not hold a part, and the amount of the work head lowered is measured based on the detection result of the detector. And a control device that controls to perform a descent amount correction operation for correcting a descent amount of the work head at the work stage after a predetermined component mounting operation during automatic operation of component mounting.

本発明は、作業者による補正作業性を向上することができ、また、作業ステーションでの被実装部材の載置面の高さが僅かに変化したとき、または、部品実装面の高さも僅かに変化したときにも、部品を被実装部材に極力確実に実装できる部品実装装置を提供することができる。   The present invention can improve the correction workability by the operator, and when the height of the mounting surface of the mounted member at the work station is slightly changed, or the height of the component mounting surface is also slightly It is possible to provide a component mounting apparatus capable of mounting a component on a member to be mounted as much as possible even when it has changed.

本願発明の実施形態の部品実装装置の概略側面図である。It is a schematic side view of the component mounting apparatus of embodiment of this invention. 作業ヘッドの概略側面図である。It is a schematic side view of a working head. 制御装置のブロック図である。It is a block diagram of a control apparatus. 補正方法設定画面の図である。It is a figure of a correction method setting screen. 複数の補正方法の設定の説明図である。It is explanatory drawing of the setting of a several correction method. ノズルが部品載置テーブルの上面に当たったときの作業ヘッドの概略側面図である。It is a schematic side view of the working head when the nozzle hits the upper surface of the component placement table. タッチセンサが接触片に接触したときの作業ヘッドの概略側面図である。It is a schematic side view of a working head when a touch sensor contacts a contact piece.

以下、添付図面を参照して、本願発明に係る部品実装装置の実施形態について説明する。この部品実装装置は、各種電子部品をプリント基板或いはリードフレームなどの被実装部材に実装する。   Hereinafter, an embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This component mounting apparatus mounts various electronic components on a mounted member such as a printed board or a lead frame.

図1は部品実装装置の概略側面図であり、部品実装装置本体1には、部品供給ステージ2、第1の作業ステージ3、ボンディング位置である第2の作業ステージ4及び部品保持具であるノズル5、55をそれぞれが備えた2個の後述する作業ヘッドが設けられている。   FIG. 1 is a schematic side view of a component mounting apparatus. A component mounting apparatus main body 1 includes a component supply stage 2, a first work stage 3, a second work stage 4 as a bonding position, and a nozzle as a component holder. Two later-described work heads, each having 5 and 55, are provided.

部品供給ステージ2は、例えば多数の部品6が集合した部品群であるダイシングされた半導体ウェハ(以下、ウェハといい、ウェハから取出されるベアチップなどの部品を部品という。)7を載置支持するウェハテーブルである載置台8を備えている。   The component supply stage 2 places and supports a diced semiconductor wafer (hereinafter referred to as a wafer, and a component such as a bare chip taken out from the wafer is referred to as a component) 7 which is a group of components in which a large number of components 6 are assembled. A mounting table 8 which is a wafer table is provided.

第1の作業ステージ3は部品載置テーブル10と、この載置テーブル10の下方に設けられた第1の加熱装置11とを備えている。また、第2の作業ステージ4は、被実装部材であるプリント基板12を載置しプリント基板12の周囲を覆うと共に、上面に開口130が形成された作業用テーブル13と、この作業テーブル13に設けられた第2の加熱装置14とを備えている。プリント基板12は作業テーブル13上を図示しない搬送機構によって上流から搬送され、部品15の実装作業が終了した後、下流へ搬送される。   The first work stage 3 includes a component placement table 10 and a first heating device 11 provided below the placement table 10. The second work stage 4 has a work table 13 on which a printed circuit board 12 as a mounted member is placed to cover the periphery of the printed circuit board 12 and an opening 130 is formed on the upper surface. And a second heating device 14 provided. The printed circuit board 12 is transported from the upstream on the work table 13 by a transport mechanism (not shown), and is transported downstream after the component 15 mounting operation is completed.

以下、部品を移載する作業ヘッドについて説明する。なお、部品を部品供給ステージ2から第1の作業ステージ3へ移載する作業ヘッドと、部品を第1の作業ステージ3から第2の作業ステージ4に移載する作業ヘッドとは同一の機構であり、以下、部品を部品供給ステージ2から第1の作業ステージ3へ移載する作業ヘッドについて、図2に基づいて説明し、部品を部品供給ステージ2から第1の作業ステージ3へ移載する作業ヘッドについては説明を省略する。   Hereinafter, a work head for transferring parts will be described. The work head for transferring parts from the part supply stage 2 to the first work stage 3 and the work head for transferring parts from the first work stage 3 to the second work stage 4 have the same mechanism. There will be described a work head for transferring parts from the component supply stage 2 to the first work stage 3 with reference to FIG. 2, and the parts are transferred from the component supply stage 2 to the first work stage 3. Description of the working head is omitted.

16は作業ヘッド20のヘッド支持部であり、このヘッド支持部16には、その上部から外方向に延びたセンサ支持部17が形成されている。また、上下方向に配置されたガイド18に沿い昇降する。ガイド18はレール21とこのレール21にスライド自在に支持されたスライド部材22とを備えている。また、ガイド18には、作業ヘッド20の例えばリニアモータなどの昇降駆動部(固定子及び可動子)23が設けられている。   Reference numeral 16 denotes a head support portion of the work head 20, and the head support portion 16 is formed with a sensor support portion 17 extending outward from the upper portion thereof. Moreover, it raises / lowers along the guide 18 arrange | positioned at an up-down direction. The guide 18 includes a rail 21 and a slide member 22 that is slidably supported by the rail 21. Further, the guide 18 is provided with an elevating drive unit (stator and mover) 23 such as a linear motor of the work head 20.

また、ヘッド支持部16の下部にはほぼ垂直にボールブッシュ24が設けられ、このボールブッシュ24にノズル5がほぼ垂直に昇降自在に支持されている。また、ノズル5のほぼ中間位置には、接触片25が水平に取り付けられている。この接触片25の上面とセンサ支持部17の下面との間には、圧縮バネ26が設けられ、この圧縮バネ26によって接触片25を介してノズル5が下降へ付勢されている。   Further, a ball bush 24 is provided substantially vertically at the lower portion of the head support portion 16, and the nozzle 5 is supported by the ball bush 24 so as to be vertically movable. Further, a contact piece 25 is attached horizontally at a substantially intermediate position of the nozzle 5. A compression spring 26 is provided between the upper surface of the contact piece 25 and the lower surface of the sensor support portion 17, and the nozzle 5 is biased downward by the compression spring 26 via the contact piece 25.

27はセンサ支持部17を貫通して取り付けられた検出器としてのタッチセンサであり、このタッチセンサ27の下端には、接触端28が設けられている。そして、ノズル5の下端が他の部材に接触して上昇していない状態では、接触端28の下端と接触片25の上面との間には、僅かな隙間が形成されている。   Reference numeral 27 denotes a touch sensor as a detector attached through the sensor support portion 17, and a contact end 28 is provided at the lower end of the touch sensor 27. In a state where the lower end of the nozzle 5 is not in contact with other members and is not raised, a slight gap is formed between the lower end of the contact end 28 and the upper surface of the contact piece 25.

次に、作業ヘッド20の昇降などの制御装置について、図3に基づいて説明する。   Next, a control device for raising and lowering the work head 20 will be described with reference to FIG.

30は、昇降駆動部23の昇降などを制御する制御装置であり、この制御装置30には、インターフェース(図示せず)を介して昇降駆動部23、タッチセンサ27及び表示装置であるタッチパネルを備えたモニタ31などが接続されている。   Reference numeral 30 denotes a control device that controls the raising / lowering of the raising / lowering drive unit 23. The control device 30 includes a raising / lowering drive unit 23, a touch sensor 27, and a touch panel as a display device via an interface (not shown). A monitor 31 is connected.

制御装置30には、CPU(セントラルプロセッシングユニット)32、RAM(ランダムアクセスメモリ)33及びROM(リードオンリーメモリ)34が設けられ、CPU32はタッチセンサ27からの信号を入力すると共に、予めRAM33に格納されている昇降ストロークのデータ及びROM34に格納されている制御プログラムに基づいて昇降駆動部23を制御すると共に、第1の加熱装置11及び第2の加熱装置14への通電を制御する。   The control device 30 is provided with a CPU (Central Processing Unit) 32, a RAM (Random Access Memory) 33, and a ROM (Read Only Memory) 34. The CPU 32 inputs a signal from the touch sensor 27 and stores it in the RAM 33 in advance. The lift drive unit 23 is controlled based on the lift stroke data and the control program stored in the ROM 34, and energization to the first heating device 11 and the second heating device 14 is controlled.

また、RAM33には、予め作業者による例えばモニタ31操作によって設定された後述するノズル5又は55の下降ストロークの補正(キャリブレーション)の間隔及び回数、即ち、下降ストロークを補正する間隔及び補正する回数が格納されている。   Further, the RAM 33 stores an interval and the number of lower stroke corrections (calibration) of a nozzle 5 or 55 described later, which are set in advance by, for example, an operation of the monitor 31 by the operator, that is, an interval for correcting the lower stroke and the number of corrections. Is stored.

以下、作業者が上記ストロークの補正をするときの操作について説明する。   Hereinafter, an operation when the operator corrects the stroke will be described.

まず、部品実装装置をスタートさせる前に、作業者がモニタ31(補正設定装置)を操作し、図4に示した補正方法設定画面を表示させる。   First, before starting the component mounting apparatus, the operator operates the monitor 31 (correction setting apparatus) to display the correction method setting screen shown in FIG.

設定画面には、補正間隔、即ち、部品の実装が何回行われるごとに補正を行うかを設定するサイクル設定部36と、補正を何回行うかを設定する回数設定部37とを有した複数、実施例においては3つの第1設定部41、第2設定部42及び第3設定部43が設けられている。更に、各設定部の下方には、回数の増減部44及び回数の決定部45が設けられ、画面の右部には、設定終了部46が設けられている。   The setting screen has a cycle setting unit 36 for setting a correction interval, that is, how many times component mounting is performed, and a number setting unit 37 for setting how many times correction is performed. In the embodiment, three first setting units 41, second setting units 42, and third setting units 43 are provided. Further, a number increase / decrease unit 44 and a number determination unit 45 are provided below each setting unit, and a setting end unit 46 is provided on the right side of the screen.

そして、作業者が第1設定部41のサイクル設定部36に触れるとサイクルの設定が可能になる。この状態で増減部44を触れることによって、サイクル設定部36に表示される回数は増減し、例えばサイクル設定部36に「5」が表示された状態で、決定部45及び設定終了部46に触れると、RAM33には、「実装動作が5回行われるごとにストロークの補正を行う制御プリグラム」、及び「この補正を部品実装装置での部品実装の自動運転が停止されるまで継続させる制御プログラム」(図5の例1参照)が格納される。   When the operator touches the cycle setting unit 36 of the first setting unit 41, the cycle can be set. By touching the increase / decrease unit 44 in this state, the number of times displayed on the cycle setting unit 36 increases or decreases. For example, when “5” is displayed on the cycle setting unit 36, the determination unit 45 and the setting end unit 46 are touched. In the RAM 33, “a control program for correcting the stroke every time the mounting operation is performed five times” and “a control program for continuing this correction until the automatic operation of component mounting in the component mounting apparatus is stopped”. (See Example 1 in FIG. 5) is stored.

また、第1設定部41の回数設定部37、第2設定部42及び第3設定部43の各サイクル設定部36及び回数設定部37には「−」が表示される。   In addition, “−” is displayed in the number setting unit 37 of the first setting unit 41, the cycle setting unit 36 and the number of times setting unit 37 of the second setting unit 42 and the third setting unit 43.

各サイクル設定部36の「−」の表示は、補正を実行する回数が設定されていないことを表している。また、第1、第2及び第3設定部41、42及び43において、サイクル設定部36にサイクルが設定され表示されているが、回数設定部37に回数が設定されていなく「−」が表示されているときは、サイクル設定部に設定されているサイクルでの補正を部品実装装置の自動運転が停止するまで継続することを表している。   The display of “−” in each cycle setting unit 36 indicates that the number of times of executing correction is not set. In the first, second and third setting sections 41, 42 and 43, the cycle is set and displayed in the cycle setting section 36, but the number of times is not set in the number setting section 37 and “-” is displayed. When it is, it means that the correction in the cycle set in the cycle setting unit is continued until the automatic operation of the component mounting apparatus is stopped.

また、作業者が上述したように、第1設定部41のサイクル設定部36に「5」を設定し、更に、回数設定部37に触れると回数設定が可能になる。この状態で増減部44を触れることによって、回数設定部37に表示される回数は増減し、例えば回数設定部37に「10」が表示された状態で、決定部45及び設定終了部46に触れると、RAM33には、「実装動作が5回行われるごとにストロークの補正を行う制御プログラム」、及び「この補正を10回繰り返した後、補正を行わずに部品実装装置での自動運転を継続させる制御プログラム」(図5の例2参照)が格納される。なお、第2及び第3設定部42及び43においては、サイクル及び回数が設定されていないため、各サイクル設定部36及び回数設定部37は「−」を表示している。   Further, as described above, when the operator sets “5” in the cycle setting unit 36 of the first setting unit 41 and touches the number setting unit 37, the number of times can be set. By touching the increase / decrease unit 44 in this state, the number of times displayed on the number setting unit 37 increases or decreases. For example, when “10” is displayed on the number setting unit 37, the determination unit 45 and the setting end unit 46 are touched. In the RAM 33, “a control program for correcting the stroke every time the mounting operation is performed five times” and “after repeating this correction ten times, the automatic operation in the component mounting apparatus is continued without correction. "Control program to be executed" (see Example 2 in FIG. 5) is stored. In the second and third setting units 42 and 43, since the cycle and the number of times are not set, each cycle setting unit 36 and the number of times setting unit 37 display “−”.

更に、上述したように、作業者が第1設定部41にて、補正のサイクル及び回数を設定した後、設定作業を終了せずに第2設定部42のサイクル設定部36に触れるとサイクルの設定が可能になる。この状態で増減部44を触れることによって、サイクル設定部36に表示される回数は増減し、例えばサイクル設定部36に「20」が表示された状態で、決定部45及び設定終了部46に触れると、RAM33には、「実装動作が5回行われるごとのストロークの補正が10回繰り返され、その後、実装動作が20回行われるごとのストロークの補正を部品実装装置での部品実装の自動運転が停止されるまで継続させる制御プログラム」(図5の例3参照)が格納される。   Further, as described above, when the operator sets the correction cycle and the number of times in the first setting unit 41 and then touches the cycle setting unit 36 of the second setting unit 42 without ending the setting operation, the cycle is set. Setting is possible. By touching the increase / decrease unit 44 in this state, the number of times displayed on the cycle setting unit 36 increases or decreases. For example, when “20” is displayed on the cycle setting unit 36, the determination unit 45 and the setting end unit 46 are touched. In the RAM 33, “the correction of the stroke every time the mounting operation is performed five times is repeated 10 times, and then the correction of the stroke every time the mounting operation is performed 20 times is performed automatically in the component mounting in the component mounting apparatus. Is stored until it is stopped ”(see Example 3 in FIG. 5).

また、第2設定部41の回数設定部37、第3設定部43のサイクル設定部36及び回数設定部37には「−」が表示される。   Further, “−” is displayed in the number setting unit 37 of the second setting unit 41, the cycle setting unit 36 and the number of times setting unit 37 of the third setting unit 43.

更にまた、上述したように、作業者が第1設定部41にて、補正のサイクル及び回数を設定した後、設定作業を終了せずに第2設定部42のサイクル設定部36にてサイクルを設定し、更に、第2設定部42の回数設定部37に触れると回数設定が可能になる。この状態で増減部44を触れることによって、回数設定部37に表示される回数は増減し、例えば回数設定部37に「5」が表示された状態で、決定部45及び設定終了部46に触れると、RAM33には、「実装動作が5回行われるごとにストロークの補正が10回繰り返され、その後、実装動作が20回行われるごとにストロークの補正が5回繰り返され、その後は補正を行わずに部品実装装置での自動運転を継続させる制御プログラム」(図5の例4参照)が格納される。なお、第3設定部43においては、サイクル及び回数が設定されていないため、サイクル設定部36及び回数設定部37は「−」を表示している。   Furthermore, as described above, after the operator sets the correction cycle and the number of times in the first setting unit 41, the cycle is set in the cycle setting unit 36 of the second setting unit 42 without ending the setting operation. When the number is set and the number setting unit 37 of the second setting unit 42 is touched, the number can be set. By touching the increase / decrease unit 44 in this state, the number of times displayed on the number setting unit 37 increases or decreases. For example, when “5” is displayed on the number setting unit 37, the determination unit 45 and the setting end unit 46 are touched. In the RAM 33, “the stroke correction is repeated 10 times every time the mounting operation is performed 5 times, and then the stroke correction is repeated 5 times every time the mounting operation is performed 20 times, and then the correction is performed. The control program for continuing the automatic operation in the component mounting apparatus ”(see Example 4 in FIG. 5) is stored. In the third setting unit 43, since the cycle and the number of times are not set, the cycle setting unit 36 and the number of times setting unit 37 display “−”.

また、第2設定部に設定されたサイクル及び回数の補正が終了した後も補正を所定のサイクル、所定の回数行うときには、第1及び第2設定部41及び42での設定時と同様に、第3の設定部43のサイクル設定部36、回数設定部37、増減部44を操作してサイクル及び回数を設定すればよい。   In addition, when the correction is performed for a predetermined cycle and a predetermined number of times after the correction of the cycle and the number of times set in the second setting unit is completed, as in the setting in the first and second setting units 41 and 42, The cycle and the number of times may be set by operating the cycle setting unit 36, the number of times setting unit 37, and the increase / decrease unit 44 of the third setting unit 43.

このように設定された状態で、部品実装装置の図示しないスタートスイッチを作業者が操作すると、部品実装装置の自動運転がスタートする。   When the operator operates a start switch (not shown) of the component mounting apparatus in the state set as described above, automatic operation of the component mounting apparatus starts.

そして、まず、制御装置30は第1の加熱装置11及び第2の加熱装置14への通電を開始させる。そして、所定時間経過すると、制御装置30が動作し、作業ヘッド20の図示しないXY方向移動機構へ駆動信号を出力し、この結果、作業ヘッド20は、部品供給ステージ2の上方へ移動する。そして、制御装置30からの駆動信号に基づいて下降して半導体ウェハ7から部品を吸着保持し、上昇する。   First, the control device 30 starts energization of the first heating device 11 and the second heating device 14. When a predetermined time elapses, the control device 30 operates to output a drive signal to an XY direction moving mechanism (not shown) of the work head 20, and as a result, the work head 20 moves above the component supply stage 2. Then, it descends based on the drive signal from the control device 30, sucks and holds components from the semiconductor wafer 7, and rises.

その後、制御装置30が動作し、作業ヘッド20の図示しないXY方向移動機構へ駆動信号を出力し、この結果、作業ヘッド20は、部品供給ステージ2の上方から第1の作業ステージ3の上方へ移動する。そして、制御装置30からの駆動信号に基づいて予め設定されRAM33に格納されているストローク下降し、吸着保持していた部品を部品載置テーブル10に載置し、その後上昇する。   Thereafter, the control device 30 operates to output a drive signal to an XY direction moving mechanism (not shown) of the work head 20, and as a result, the work head 20 moves from above the component supply stage 2 to above the first work stage 3. Moving. Then, the stroke set in advance based on the drive signal from the control device 30 and stored in the RAM 33 is lowered, the component held by suction is placed on the component placement table 10, and then raised.

その後、制御装置30が動作し、作業ヘッド20は、第1の作業ステージ3の上方から部品供給ステージ2の上方へ移動し、下降して再び半導体ウェハ7から部品を吸着保持して上昇する。   Thereafter, the control device 30 operates, and the work head 20 moves from above the first work stage 3 to above the component supply stage 2, descends, and ascends and holds the parts from the semiconductor wafer 7 again.

以後同様に作業ヘッド20は部品供給ステージ2と第1の作業ステージ3との間を移動し、部品を部品載置テーブル10に載置する。   Thereafter, similarly, the work head 20 moves between the component supply stage 2 and the first work stage 3 to place the component on the component placement table 10.

また、ノズル55を備え、作業ヘッド20と同様に構成された図示しない作業ヘッドが、制御装置30からの駆動信号に基づいて第1の作業ステージ3と第2の作業ステージ4との間を移動する。第1の作業ステージ3では、作業ヘッドと共にノズル55が下降し、部品搭載テーブル10に載置されていた部品を吸着保持し、上昇し、第2の作業ステージ4へ移動する。第2の作業ステージ4では、作業ヘッドと共にノズル55が下降し、保持していた部品をプリント基板12上に搭載し、上昇して第1の作業ステージ3へ移動する。   In addition, a work head (not shown) provided with a nozzle 55 and configured in the same manner as the work head 20 moves between the first work stage 3 and the second work stage 4 based on a drive signal from the control device 30. To do. In the first work stage 3, the nozzle 55 moves down together with the work head, sucks and holds the components placed on the component mounting table 10, moves up, and moves to the second work stage 4. In the second work stage 4, the nozzle 55 is lowered together with the work head, the held components are mounted on the printed circuit board 12, and are moved up and moved to the first work stage 3.

以後同様に、ノズル55を備えた作業ヘッドは第1の作業ステージ3と第2の作業ステージ4の間を移動し、部品をプリント基板12に実装する。即ち、部品をプリント基板12に実装する自動運転が継続する。   Thereafter, similarly, the work head provided with the nozzle 55 moves between the first work stage 3 and the second work stage 4 to mount the components on the printed circuit board 12. That is, the automatic operation for mounting components on the printed circuit board 12 continues.

そして、プリント基板12へ部品の実装運転が、予め第1設定部41にて設定されたサイクル、即ち5回修了すると、ノズル5及びノズル55の下降量の補正が行われる。   When the component mounting operation on the printed circuit board 12 is completed in a cycle set in advance by the first setting unit 41, that is, five times, the lowering amounts of the nozzle 5 and the nozzle 55 are corrected.

まず、制御装置30からの駆動信号に基づいて、ノズル5が作業ヘッド20のノズル5は、部品を吸着せずに、既に部品がノズル55によって吸着保持され載置されていない第1の作業ステージ3の上方へ移動し、下降する。   First, based on a drive signal from the control device 30, the first work stage in which the nozzle 5 of the work head 20 does not pick up the component and the component is already sucked and held by the nozzle 55. 3 moves upward and descends.

ノズル5が図2に示したノズル5の下降開始前の下端と第1の作業ステージ3の上面61との間隔Z分下降すると、図6に示したように、ノズル5の下端が部品搭載テーブル10の上面61に接触する。このときは、タッチセンサ27の接触端28と接触片25の上面との間には僅かな隙間が形成されている。   When the nozzle 5 is lowered by an interval Z between the lower end of the nozzle 5 before starting to descend shown in FIG. 2 and the upper surface 61 of the first work stage 3, as shown in FIG. 6, the lower end of the nozzle 5 becomes the component mounting table. 10 is in contact with the upper surface 61 of the substrate. At this time, a slight gap is formed between the contact end 28 of the touch sensor 27 and the upper surface of the contact piece 25.

そして、更にノズル5が下降すると、下降に伴いノズル5は圧縮バネ26の付勢力に抗してヘッド支持部16に対して相対的に上方へ移動する。このため、予めRAM33に格納されている接触端28と接触片25の上面との間の僅かな隙間と同様な距離L分ノズル5が移動すると、図7に示したように、接触端28が接触片25の上面と接触し、タッチセンサ27は信号を制御装置30に出力する。   When the nozzle 5 further descends, the nozzle 5 moves upward relative to the head support portion 16 against the urging force of the compression spring 26 as it descends. For this reason, when the nozzle 5 moves by a distance L similar to a slight gap between the contact end 28 stored in advance in the RAM 33 and the upper surface of the contact piece 25, as shown in FIG. The touch sensor 27 outputs a signal to the control device 30 in contact with the upper surface of the contact piece 25.

信号を入力した制御装置30は、信号を入力するまでの作業ヘッド20の下降量から距離Lを引いた値を算出する。算出した値がノズル5が第1の作業ステージ3の上面61まで下降したときの実際の下降量L1であり、RAM33に格納される。更に、制御装置30によって、RAN33に格納されたノズル5の下降量L1とRAMに格納されている部品の厚さに基づいて、部品を第1の作業ステージ3に載置するときのノズル5の下降量(ストローク)L2を算出し、算出した下降量L2によって以前の下降量を補正し、補正された下降量がノズル5の下降量としてRAM33に格納される。即ち、ノズル5の下降量L2が教示される。   The control device 30 that has input the signal calculates a value obtained by subtracting the distance L from the descending amount of the work head 20 until the signal is input. The calculated value is an actual lowering amount L1 when the nozzle 5 is lowered to the upper surface 61 of the first work stage 3, and is stored in the RAM 33. Further, the controller 30 sets the nozzle 5 when the component is placed on the first work stage 3 based on the lowering amount L1 of the nozzle 5 stored in the RAN 33 and the thickness of the component stored in the RAM. A descending amount (stroke) L2 is calculated, the previous descending amount is corrected by the calculated descending amount L2, and the corrected descending amount is stored in the RAM 33 as the descending amount of the nozzle 5. That is, the lowering amount L2 of the nozzle 5 is taught.

また、ノズル55の第1の作業ステージ3での下降量の補正もノズル55が部品を保持していなく、且つ部品載置テーブル10に部品が載置されていない状態で、ノズル5のときと同様に行われる。即ち、部品を第1の作業ステージ3にて保持するときのノズル55の下降量(ストローク)を算出し、算出した下降量によって以前の下降量を補正し、補正された下降量がノズル55の下降量としてRAM33に格納される。即ち、第1の作業ステージ3でのノズル55の下降量が教示される。   Further, the correction of the lowering amount of the nozzle 55 on the first work stage 3 is also performed when the nozzle 55 is in a state where the nozzle 55 does not hold the component and the component is not placed on the component placement table 10. The same is done. That is, the lowering amount (stroke) of the nozzle 55 when the part is held on the first work stage 3 is calculated, and the previous lowering amount is corrected by the calculated lowering amount. The amount of decrease is stored in the RAM 33. That is, the lowering amount of the nozzle 55 on the first work stage 3 is taught.

更に、ノズル55の第2の作業ステージ4での下降量の補正もノズル55が部品を保持していなく、且つ作業テーブル13に部品15及びプリント基板12が載置されていない状態で、第1の作業ステージ3での補正のときと同様に行われる。   Further, the amount of lowering of the nozzle 55 on the second work stage 4 is corrected in the state where the nozzle 55 does not hold the component and the component 15 and the printed circuit board 12 are not placed on the work table 13. This is performed in the same manner as in the correction on the work stage 3.

即ち、ノズル55は、作業ヘッド20と同様に構成され圧縮バネ及びタッチセンサ備えた作業ヘッドに設けられており、部品を吸着せずに、プリント基板及び部品が載置されていない第2の作業ステージ4の上方へ移動し、下降する。   That is, the nozzle 55 is configured in the same manner as the work head 20 and is provided in the work head including the compression spring and the touch sensor. The second work in which the printed circuit board and the parts are not placed without sucking the parts. It moves above the stage 4 and descends.

ノズル55が下降すると、ノズル55の下端が作業テーブル13の上面61に接触する。そして、更にノズル55が下降すると、下降に伴いノズル55は圧縮バネの付勢力に抗して相対的に上方へ移動する。このため、タッチセンサが作業ヘッドに設けられた接触片の上面と接触し、タッチセンサ27は信号を制御装置30に出力する。   When the nozzle 55 is lowered, the lower end of the nozzle 55 comes into contact with the upper surface 61 of the work table 13. When the nozzle 55 further descends, the nozzle 55 moves relatively upward against the urging force of the compression spring as it descends. For this reason, the touch sensor comes into contact with the upper surface of the contact piece provided on the work head, and the touch sensor 27 outputs a signal to the control device 30.

信号を入力した制御装置30は、信号を入力するまでの作業ヘッドの下降量から予めRAM33に格納されている上述した距離Lを引いた値を算出する。算出した値はノズル55が第2の作業ステージ4の上面62まで下降したときの実際の下降量L3であり、RAM33に格納される。更に、制御装置30によって、RAM33に格納されたノズル55の下降量L3とRAMに格納されている部品15の厚さ及びプリント基板12の厚さに基づいて、部品を第2の作業ステージ4にてプリント基板12に実装するときのノズル55の下降量(ストローク)L4を算出し、算出した下降量L4によって以前の下降量を補正し、補正された下降量がノズル55の下降量としてRAM33に格納される。即ち、第1の作業ステージ3でのノズル55の下降量が教示される。   The control device 30 receiving the signal calculates a value obtained by subtracting the above-described distance L stored in the RAM 33 in advance from the descending amount of the working head until the signal is input. The calculated value is an actual lowering amount L3 when the nozzle 55 is lowered to the upper surface 62 of the second work stage 4 and is stored in the RAM 33. Further, the control device 30 causes the component to be placed on the second work stage 4 based on the lowering amount L3 of the nozzle 55 stored in the RAM 33 and the thickness of the component 15 and the thickness of the printed circuit board 12 stored in the RAM. The lowering amount (stroke) L4 of the nozzle 55 when mounted on the printed circuit board 12 is calculated, the previous lowering amount is corrected by the calculated lowering amount L4, and the corrected lowering amount is stored in the RAM 33 as the lowering amount of the nozzle 55. Stored. That is, the lowering amount of the nozzle 55 on the first work stage 3 is taught.

以後、上述したノズル5の第1の作業ステージ3での下降量の補正、ノズル55の第1の作業ステージ3及び第2の作業ステージ4での下降量の補正は、部品実装装置の運転スタート前に設定された補正のサイクル及び回数に基づいて行われ、例えば、図5に示した例1のように、サイクルが「5」とのみ設定されたときには、部品実装装置の運転スタート時から実装動作が5回行われるごとにノズル5及びノズル55のストロークの補正が部品実装装置での部品実装の自動運転が停止されるまで継続される。   Thereafter, the correction of the lowering amount of the nozzle 5 at the first work stage 3 and the correction of the lowering amount of the nozzle 55 at the first work stage 3 and the second work stage 4 are the operation start of the component mounting apparatus. For example, when the cycle is set to only “5” as in Example 1 shown in FIG. 5, mounting is performed from the start of operation of the component mounting apparatus. Every time the operation is performed five times, the correction of the strokes of the nozzle 5 and the nozzle 55 is continued until the automatic operation of component mounting in the component mounting apparatus is stopped.

また、例2、例3及び例4に示したように補正のサイクル及び回数が設定されたときには、設定に基づいて制御装置30は動作し、部品実装装置の運転スタート時からサイクル及び回数に従って補正が行われる。   Further, as shown in Examples 2, 3, and 4, when the correction cycle and number of times are set, the control device 30 operates based on the setting, and the correction is performed according to the cycle and the number of times from the start of operation of the component mounting apparatus. Is done.

上述したように、ノズル5及びノズル55の下降時のストロークの補正を、そのサイクル及び回数の双方について、作業者が設定することによって、補正が自動的に行われるので、補正作業に係る作業者の負担を大幅に軽減することができる。   As described above, since the correction of the stroke when the nozzle 5 and the nozzle 55 are lowered is set by the worker for both the cycle and the number of times, the correction is automatically performed. Can be greatly reduced.

また、補正のサイクル及び回数を設定する際に、補正を行うサイクルを長くする或いは補正を行う回数を極力少なくして設定することが可能であり、実装運転時の補正の回数を減らしてタクトの低下を極力少なくすることもできる。   In addition, when setting the correction cycle and the number of corrections, it is possible to set the correction cycle longer or the number of corrections as small as possible. The decrease can be minimized.

更に、補正のサイクル及び回数を設定する複数の設定部、即ち第1、第2及び第3設定部41、42及び43にて、異なるサイクル及び回数の補正タイミングを設定でき、例えば、第1の加熱装置11或いは第2の加熱装置14の加熱による温度変化が大きく、部品載置テーブル10の上面61或いは作業テーブル13の上面62のレベルの変化が大きい虞がある部品実装装置の運転スタート時は補正のサイクルを短くし、時間が経過してから補正のサイクルを次第に長く設定すること、或いは回数を次第に少なくすることも可能であり、部品を確実に載置或いは実装しつつ、補正によるタクトの低下を少なくすることもでき、また、作業者の要望に沿った設定が可能である。   Furthermore, a plurality of setting units for setting the correction cycle and the number of times, that is, the first, second and third setting units 41, 42 and 43, can set correction timings of different cycles and times, for example, the first At the start of operation of a component mounting apparatus in which the temperature change due to heating of the heating device 11 or the second heating device 14 is large and the level change of the upper surface 61 of the component mounting table 10 or the upper surface 62 of the work table 13 may be large. It is possible to shorten the correction cycle and set the correction cycle gradually longer after the time has passed, or to gradually reduce the number of times. The reduction can be reduced, and the setting according to the operator's request is possible.

なお、上述した実施形態においては、ノズル5及びノズル55の下降時のストロークの補正を、同様にそのサイクル及び回数の双方について設定したが、第1の作業ステージ3でのノズル5の下降量の補正、第1の作業ステージ3でのノズル55の下降量の補正及び第2の作業ステージ4でのノズル55の下降量の補正を、それぞれ独立して行えるようにしてもよい。例えば、図4に示した補正方法設定画面を第1の作業ステージ3でのノズル5の下降量の補正の設定、第1の作業ステージ3でのノズル55の下降量の補正の設定及び第2の作業ステージ4でのノズル55の下降量の補正の設定ごとに切り換えるようにし、各設定を行えるようにすることにより、第1の作業ステージ3でのノズル5の下降量の補正及び第1の作業ステージ3でのノズル55の下降量の補正は設定せずに、第2の作業ステージ4でのノズル55の下降量の補正のみを設定することも可能になり、一層作業者の要望に沿った設定ができる。   In the above-described embodiment, the correction of the stroke when the nozzle 5 and the nozzle 55 are lowered is set for both the cycle and the number of times, but the amount of the lowering of the nozzle 5 in the first work stage 3 is set. The correction, the correction of the lowering amount of the nozzle 55 on the first work stage 3 and the correction of the lowering amount of the nozzle 55 on the second work stage 4 may be performed independently. For example, the correction method setting screen shown in FIG. 4 is used to set the correction of the descent amount of the nozzle 5 in the first work stage 3, the correction setting of the descent amount of the nozzle 55 in the first work stage 3, and the second By switching each time the setting of correction of the descent amount of the nozzle 55 in the work stage 4 is performed, and each setting can be performed, the correction of the descent amount of the nozzle 5 in the first work stage 3 and the first correction are performed. It is possible to set only the correction of the lowering amount of the nozzle 55 in the second work stage 4 without setting the correction of the lowering amount of the nozzle 55 in the work stage 3, and further according to the demand of the worker. Can be set.

以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。   Although the embodiments of the present invention have been described above, various alternatives, modifications, and variations can be made by those skilled in the art based on the above description, and the present invention is not limited to the various embodiments described above without departing from the spirit of the present invention. It encompasses alternatives, modifications or variations.

1 部品実装装置本体
2 部品供給ステージ
3 第1の作業ステージ
4 第2の作業ステージ
5 ノズル
6 部品
10 部品載置テーブル
11 第1の加熱装置
12 プリント基板(被実装部材)
13 作業テーブル
14 第2の加熱装置
15 部品
20 作業ヘッド
27 タッチセンサ(検出器)
30 制御装置(補正設定装置)
31 モニタ
36 サイクル設定部
37 回数設定部
41 第1設定部
42 第2設定部
43 第3設定部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus main body 2 Component supply stage 3 1st operation | work stage 4 2nd operation | work stage 5 Nozzle 6 Component 10 Component mounting table 11 1st heating apparatus 12 Printed circuit board (member to be mounted)
13 Work Table 14 Second Heating Device 15 Parts 20 Work Head 27 Touch Sensor (Detector)
30 Control device (correction setting device)
31 Monitor 36 Cycle Setting Unit 37 Number Setting Unit 41 First Setting Unit 42 Second Setting Unit 43 Third Setting Unit

Claims (2)

搬送されてきた被実装部材上に部品を搭載する作業ステージと、
部品を保持する保持具を備え、前記作業ステージにて昇降する作業ヘッドとを備え、
前記作業ヘッドに設けられ、前記保持具の前記作業ステージ或いは被実装部材への接触を検出する検出器と、
前記作業ステージにおいて、前記保持具が部品を保持していない状態で前記作業ヘッドを下降させ、前記検出器の検出結果に基づいて前記作業ヘッドの下降量を測定し、この測定結果を基に前記作業ヘッドの前記作業ステージでの下降量を補正する下降量補正作業を制御する制御装置とを備えた
ことを特徴とする部品実装装置。
A work stage for mounting parts on the mounted member that has been transported;
A holding tool for holding parts, a working head that moves up and down on the work stage,
A detector that is provided in the working head and detects contact of the holder with the working stage or a mounted member;
In the work stage, the work head is lowered in a state where the holder does not hold a part, and the amount of the work head lowered is measured based on the detection result of the detector. A component mounting apparatus comprising: a control device that controls a descent amount correction operation for correcting a descent amount of the work head at the work stage.
搬送されてきた被実装部材上に部品を搭載する作業ステージと、
部品を保持する保持具を備え、前記作業ステージにて昇降する作業ヘッドとを備え、
前記作業ヘッドに設けられ、前記保持具の前記作業ステージ或いは被実装部材への接触を検出する検出器と、
前記作業ステージにおいて、前記保持具が部品を保持していない状態で前記作業ヘッドを下降させ、前記検出器の検出結果に基づいて前記作業ヘッドの下降量を測定し、この測定結果を基に前記作業ヘッドの前記作業ステージでの下降量を補正する下降量補正作業を部品実装の自動運転中の所定の部品実装動作後に行うよう制御する制御装置とを備えた
ことを特徴とする部品実装装置。
A work stage for mounting parts on the mounted member that has been transported;
A holding tool for holding parts, a working head that moves up and down on the work stage,
A detector that is provided in the working head and detects contact of the holder with the working stage or a mounted member;
In the work stage, the work head is lowered in a state where the holder does not hold a part, and the amount of the work head lowered is measured based on the detection result of the detector. A component mounting apparatus comprising: a control device configured to control a downward amount correction operation for correcting a downward amount of the work head at the work stage after a predetermined component mounting operation during automatic operation of component mounting.
JP2012178966A 2012-08-10 2012-08-10 Component mounting apparatus Pending JP2012248879A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012178966A JP2012248879A (en) 2012-08-10 2012-08-10 Component mounting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012178966A JP2012248879A (en) 2012-08-10 2012-08-10 Component mounting apparatus

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008093952A Division JP5065969B2 (en) 2008-03-31 2008-03-31 Component mounting equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012248879A true JP2012248879A (en) 2012-12-13

Family

ID=47468979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012178966A Pending JP2012248879A (en) 2012-08-10 2012-08-10 Component mounting apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012248879A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016157465A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 新電元工業株式会社 Pressurization unit

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03257936A (en) * 1990-03-08 1991-11-18 Rohm Co Ltd Pick-up equipment for semiconductor chip
JP2004288715A (en) * 2003-03-19 2004-10-14 Nec Machinery Corp Die bonder

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03257936A (en) * 1990-03-08 1991-11-18 Rohm Co Ltd Pick-up equipment for semiconductor chip
JP2004288715A (en) * 2003-03-19 2004-10-14 Nec Machinery Corp Die bonder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016157465A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 新電元工業株式会社 Pressurization unit
JPWO2016157465A1 (en) * 2015-03-31 2017-04-27 新電元工業株式会社 Pressure unit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6807755B2 (en) Mounting device and control method of mounting device
JP5065969B2 (en) Component mounting equipment
JP5946908B2 (en) Electronic component holding head, electronic component detection method, and die feeder
JP5427507B2 (en) Lifting device for suction nozzle and load control method thereof
JP5800383B2 (en) Component mounter
JP2014067860A (en) Electronic component mounting device
JP6840158B2 (en) Die mounting device
JP6103745B2 (en) Thrust height measurement system
JP2012248879A (en) Component mounting apparatus
JP2017098287A (en) Component mounter and wafer component suction height adjustment method of component mounter
JP2016139629A (en) Bonding device and bonding method
JP2013115142A (en) Surface mounting device and head drive control method
JP5715751B2 (en) Adsorption nozzle drive control method
CN105472962B (en) Component suction head and component suction method using the same
KR100844346B1 (en) Control method for bonding machine
CN109691257B (en) Component mounting machine
JP2006261367A (en) Device and method for mounting electronic component
WO2019097675A1 (en) Component mounter, component inspection method, component inspection program, and recording medium
JP2019061990A (en) Component mounting equipment and component mounting method
CN109561648B (en) Component mounting device and component mounting method
WO2018061151A1 (en) Component mounting apparatus
JP4389868B2 (en) Chip mounting apparatus and chip mounting method
JP6016683B2 (en) Method for detecting height of mounting head in electronic component mounting apparatus and electronic component mounting apparatus
JPWO2019008674A1 (en) Component mounting equipment
KR20150051584A (en) Device for controlling the horizontality

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130703

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20131029